JPH0217402A - 回転位置検出器 - Google Patents
回転位置検出器Info
- Publication number
- JPH0217402A JPH0217402A JP16841988A JP16841988A JPH0217402A JP H0217402 A JPH0217402 A JP H0217402A JP 16841988 A JP16841988 A JP 16841988A JP 16841988 A JP16841988 A JP 16841988A JP H0217402 A JPH0217402 A JP H0217402A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reflecting mirror
- interferometer
- arm
- mirror
- rotation
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、例えば回転関節の回転角度の検出を行う、
回転位置検出器に関するものである。
回転位置検出器に関するものである。
第３図は例えば日経メカニカル（１９８４年１月１６日
号）に示された従来の回転位置検出器である磁気式ロー
タリーエンフーグの概略構成を示す図であり、図におい
て（１）は回転軸、（２）は回転軸（１）に固定したド
ラム、Ｃ３）はドラム（２）の円周上に配置した磁極、
（４）は磁気センサ、〔５）は配線である。ここで回路
構成は省略している。
号）に示された従来の回転位置検出器である磁気式ロー
タリーエンフーグの概略構成を示す図であり、図におい
て（１）は回転軸、（２）は回転軸（１）に固定したド
ラム、Ｃ３）はドラム（２）の円周上に配置した磁極、
（４）は磁気センサ、〔５）は配線である。ここで回路
構成は省略している。
次に動作について説明する。回転軸（１）が回転すると
、回転軸（１）に固定したドラム（２）が回転し、ドラ
ム（２）の円周上の磁極（３）による磁界を磁気センサ
（４）、たとえば磁気抵抗素子やホール素子により検出
する。
、回転軸（１）に固定したドラム（２）が回転し、ドラ
ム（２）の円周上の磁極（３）による磁界を磁気センサ
（４）、たとえば磁気抵抗素子やホール素子により検出
する。
従来の回、転位置検出器は以上のように構成されて−る
ので、分解能を高めるには磁極形成ピッチを狭くする必
要があり、この場合発生する磁界が弱くなり信号検出が
できなくなると−う問題がある。したがって、よシ高分
解能の回転位置検出器を得ようとするとドラム（２）の
径が非常に大きくなってしまい、重量化も招くなど装置
組込に好ましくないという問題点があった。
ので、分解能を高めるには磁極形成ピッチを狭くする必
要があり、この場合発生する磁界が弱くなり信号検出が
できなくなると−う問題がある。したがって、よシ高分
解能の回転位置検出器を得ようとするとドラム（２）の
径が非常に大きくなってしまい、重量化も招くなど装置
組込に好ましくないという問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、超高分解能であり、かつ小形軽量である回転
位置検出器を得ることを目的とする０ 〔課題を解決するための手段〕 この発明に係る回転位置検出器は、反射鏡を組み合わせ
て、レーザ光の干渉を用いて回転位置を検出するもので
ある。
たもので、超高分解能であり、かつ小形軽量である回転
位置検出器を得ることを目的とする０ 〔課題を解決するための手段〕 この発明に係る回転位置検出器は、反射鏡を組み合わせ
て、レーザ光の干渉を用いて回転位置を検出するもので
ある。
この発明における第１の反射鏡α冶は回転中心α９から
の角度によシ段階的に高さが変わるように構成されてお
り、例えば第１アームα力に対して第２アーム（至）が
相対的に回転した時、干渉計◎と第２の反射波叩との間
の光路長を変化させる０〔実施例〕 以下、この発明の一実施例の回転位置検出器を図につい
て説明する。第１図の部分断面構成図において卸はレー
ザ光源、（２）はレーザ光、０は干渉計、α４は第１の
反射鏡、（２）は第２の反射鏡、（至）はレシーバ、α
ηは第１アーム、（至）は第２アーム、α９は回転中心
、ωは軸、（財）は軸受、■は測定信号ケーブルである
。
の角度によシ段階的に高さが変わるように構成されてお
り、例えば第１アームα力に対して第２アーム（至）が
相対的に回転した時、干渉計◎と第２の反射波叩との間
の光路長を変化させる０〔実施例〕 以下、この発明の一実施例の回転位置検出器を図につい
て説明する。第１図の部分断面構成図において卸はレー
ザ光源、（２）はレーザ光、０は干渉計、α４は第１の
反射鏡、（２）は第２の反射鏡、（至）はレシーバ、α
ηは第１アーム、（至）は第２アーム、α９は回転中心
、ωは軸、（財）は軸受、■は測定信号ケーブルである
。
次に動作について説明する。レーザ光源０Ｄは第１アー
ムα力の基部に固定されており、レーザ光源０から出た
レーザ光（ハ）は干渉計［相］を通り、第１の反射鏡−
，第２の反射鏡αＧ、さらに第１の射鏡α（イ）から干
渉計（至）に戻シレシーバ（２）に入る。レシーバωか
らの測定信号は測定信号ケープ／Ｉ／器からコントロー
ラ（図示しない）に取シ込まれる。
ムα力の基部に固定されており、レーザ光源０から出た
レーザ光（ハ）は干渉計［相］を通り、第１の反射鏡−
，第２の反射鏡αＧ、さらに第１の射鏡α（イ）から干
渉計（至）に戻シレシーバ（２）に入る。レシーバωか
らの測定信号は測定信号ケープ／Ｉ／器からコントロー
ラ（図示しない）に取シ込まれる。
第１の反射鏡α４は第２アーム（至）上に固定されてお
り、第２の反射鏡（２）は第１アームαηに固定されて
いる。第１の反射鏡α端は、第２図に示すように、回転
中心α９からの角度により段階的に高さ（回転軸方向の
位置）が変わるような購造となっておシ、第１アームα
ηに対して第２アーム（至）が回転すると干渉計α３→
第１の反射鏡α４→第２の反射鏡０９→第１の反射鏡α
４→干渉計ｌの光路長が変化することにより回転位置変
化を測定することができる。
り、第２の反射鏡（２）は第１アームαηに固定されて
いる。第１の反射鏡α端は、第２図に示すように、回転
中心α９からの角度により段階的に高さ（回転軸方向の
位置）が変わるような購造となっておシ、第１アームα
ηに対して第２アーム（至）が回転すると干渉計α３→
第１の反射鏡α４→第２の反射鏡０９→第１の反射鏡α
４→干渉計ｌの光路長が変化することにより回転位置変
化を測定することができる。
具体例として、レーザ光源としてＨｅ−？Ｊｅレーザー
を用い測定分解能力０．０１μｍ１回転中心０！と第１
の反射鏡α４上のレーザが反射する位置との水平距＄
３０ｍｍ、第１の反射鏡Ｉの傾斜角を４５ とすると
角度分解能θｒｅｓｏは次式で与えられる。
を用い測定分解能力０．０１μｍ１回転中心０！と第１
の反射鏡α４上のレーザが反射する位置との水平距＄
３０ｍｍ、第１の反射鏡Ｉの傾斜角を４５ とすると
角度分解能θｒｅｓｏは次式で与えられる。
０．０ＩＸＩＯ’−３０Ｘθｒ・１１０したがってこの
場合θｒｅａｏ ”−、３，３Ｘ １０ ｒａｄとな
る０これは一回転約１８８５万分割に相当する０なお、
光学系の構成は上記実施例に固定されたものでは無く、
反射鏡、ビームベンダなどを様々に組み合わせて構成し
ても上記実施例と同様の効果を奏する回転位置検出器を
構成することができる０ さらに、上記実施例では第１の反射鏡（ロ）は回転中心
的からの角度によシ高さが直線的に変化する場合を示し
ているが、この高さと回転中心αｌからの角度は線形関
係で無くても良い０ 〔発明の効果〕 以上のように、この発明によればレーザ光の干渉を用い
て回転位置を検出できるため、超高分解能かつ小型、軽
量である回転位置検出器が得られる効果がある。
場合θｒｅａｏ ”−、３，３Ｘ １０ ｒａｄとな
る０これは一回転約１８８５万分割に相当する０なお、
光学系の構成は上記実施例に固定されたものでは無く、
反射鏡、ビームベンダなどを様々に組み合わせて構成し
ても上記実施例と同様の効果を奏する回転位置検出器を
構成することができる０ さらに、上記実施例では第１の反射鏡（ロ）は回転中心
的からの角度によシ高さが直線的に変化する場合を示し
ているが、この高さと回転中心αｌからの角度は線形関
係で無くても良い０ 〔発明の効果〕 以上のように、この発明によればレーザ光の干渉を用い
て回転位置を検出できるため、超高分解能かつ小型、軽
量である回転位置検出器が得られる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例による回転位置検出器の構
成を示す部分断面構成図、第２図（、）（′ｂ）は各々
第１図の検出器の動作説明図、第３図・は従来の回転位
置検出器の一例を示す概略構成図である。 図において、（２）はレーザ光、（至）は干渉計、α４
は第１の反射鏡、（２）は第２の反射鏡、α傷は回転中
心である。 なお、図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
成を示す部分断面構成図、第２図（、）（′ｂ）は各々
第１図の検出器の動作説明図、第３図・は従来の回転位
置検出器の一例を示す概略構成図である。 図において、（２）はレーザ光、（至）は干渉計、α４
は第１の反射鏡、（２）は第２の反射鏡、α傷は回転中
心である。 なお、図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (1)
- レーザ光源、干渉計、回転体に取着され回転角度に応じ
てレーザ光の照射位置が略回転軸方向に変位する第１の
反射鏡、及び第２の反射鏡を備え、上記レーザ光源より
出射されたレーザ光が上記干渉計を通り、第１の反射鏡
、第２の反射鏡、第１の反射鏡を経由して上記干渉計に
戻るように構成し、上記回転体の回転角度を上記干渉計
と第２の反射鏡との間の光路長変化に変換することによ
り、レーザ光の干渉を利用して回転位置の検出を行う回
転位置検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16841988A JPH0217402A (ja) | 1988-07-06 | 1988-07-06 | 回転位置検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16841988A JPH0217402A (ja) | 1988-07-06 | 1988-07-06 | 回転位置検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0217402A true JPH0217402A (ja) | 1990-01-22 |
Family
ID=15867776
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16841988A Pending JPH0217402A (ja) | 1988-07-06 | 1988-07-06 | 回転位置検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0217402A (ja) |
-
1988
- 1988-07-06 JP JP16841988A patent/JPH0217402A/ja active Pending
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