JPH02174046A - 電子顕微鏡およびこれに用いる試料微動装置の制御方法 - Google Patents
電子顕微鏡およびこれに用いる試料微動装置の制御方法Info
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- JPH02174046A JPH02174046A JP63327783A JP32778388A JPH02174046A JP H02174046 A JPH02174046 A JP H02174046A JP 63327783 A JP63327783 A JP 63327783A JP 32778388 A JP32778388 A JP 32778388A JP H02174046 A JPH02174046 A JP H02174046A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、電子顕微鏡およびこれに用いる試料微動装置
の制御方法に係り、特に、電子顕微鏡の拡大倍率に拘ら
ず、拡大像の移動距離を設定する手段である回転つまみ
等の回転量（回転角度）と、拡大像の移動距離との関係
が常に一定になるようにした電子顕微鏡およびこれに用
いる試料微動装置の制御方法に関するものである。
の制御方法に係り、特に、電子顕微鏡の拡大倍率に拘ら
ず、拡大像の移動距離を設定する手段である回転つまみ
等の回転量（回転角度）と、拡大像の移動距離との関係
が常に一定になるようにした電子顕微鏡およびこれに用
いる試料微動装置の制御方法に関するものである。
（従来の技術）
従来技術の電子顕微鏡の試料微動装置では、歯車等が組
み合わされた駆動機構の駆動ハンドルをオペレータが回
し、その回転力を駆動機構を介して試料ステージに伝達
し、該試料ステージを移動させることによって試料の移
動を行っていた。
み合わされた駆動機構の駆動ハンドルをオペレータが回
し、その回転力を駆動機構を介して試料ステージに伝達
し、該試料ステージを移動させることによって試料の移
動を行っていた。
このような試料微動装置では、駆動ハンドルの回転量と
試料の移動距離との関係が、電子顕微鏡の拡大倍率に拘
らず常に一定であったため、拡大倍率が高い場合には、
駆動ハンドルの回転量に対する拡大像の移動量が大きく
なってしまい、微調整が難しいという問題があった。
試料の移動距離との関係が、電子顕微鏡の拡大倍率に拘
らず常に一定であったため、拡大倍率が高い場合には、
駆動ハンドルの回転量に対する拡大像の移動量が大きく
なってしまい、微調整が難しいという問題があった。
また、駆動ハンドルの回転量に対する試料の移動距離が
小さくなるように、前記駆動機構の伝達比（ギア比）を
変更すると、拡大倍率が低い場合に、駆動ハンドルの回
転量に対する拡大像の移動量が小さくなってしまい、拡
大像を大きく移動させたい場合には、駆動ハンドルを多
く回転させなければならないという問題があった。
小さくなるように、前記駆動機構の伝達比（ギア比）を
変更すると、拡大倍率が低い場合に、駆動ハンドルの回
転量に対する拡大像の移動量が小さくなってしまい、拡
大像を大きく移動させたい場合には、駆動ハンドルを多
く回転させなければならないという問題があった。
また、このような問題点を解決するものとしては、特開
昭５５−４６１６３号公報に記載されるように、電子顕
微鏡の拡大倍率に応じて駆動機構内の伝達比を変更する
ことによって、拡大倍率を変えても、前記した回転ハン
ドルに相当するモータの回転量と、螢光板上の拡大像の
移動距離との関係がほぼ一定になるようにした装置があ
った。
昭５５−４６１６３号公報に記載されるように、電子顕
微鏡の拡大倍率に応じて駆動機構内の伝達比を変更する
ことによって、拡大倍率を変えても、前記した回転ハン
ドルに相当するモータの回転量と、螢光板上の拡大像の
移動距離との関係がほぼ一定になるようにした装置があ
った。
（発明が解決しようとする課題）
駆動機構内の伝達比を変更することによって、モータの
回転量と拡大像の移動距離との関係を調整する方法では
、すべての拡大倍率において正確に前記関係を調整する
ためには、設定可能な拡大倍率の種類に応じただけのギ
ア比の組み合せが必要となり、このようなことはその機
構上困難である。したがって、すべての拡大倍率におい
てモータの回転量と鷹大像の移動距離との関係を正確に
一定に保つことはできない。
回転量と拡大像の移動距離との関係を調整する方法では
、すべての拡大倍率において正確に前記関係を調整する
ためには、設定可能な拡大倍率の種類に応じただけのギ
ア比の組み合せが必要となり、このようなことはその機
構上困難である。したがって、すべての拡大倍率におい
てモータの回転量と鷹大像の移動距離との関係を正確に
一定に保つことはできない。
さらに、上記したような構成では駆動機構の構成が複雑
になってしまい、装置の大型化、信頼性の低下等の問題
があった。
になってしまい、装置の大型化、信頼性の低下等の問題
があった。
本発明の目的は、上記した問題点を解決し、電子顕微鏡
の拡大倍率に拘らず、拡大像の移動距離を設定する回転
ハンドル、モータ等の回転量と、拡大像の移動距離との
関係が常に一定になるようにした試料微動装置を有する
電子顕微鏡および該試料微動装置の制御方法を提供する
ことにある。
の拡大倍率に拘らず、拡大像の移動距離を設定する回転
ハンドル、モータ等の回転量と、拡大像の移動距離との
関係が常に一定になるようにした試料微動装置を有する
電子顕微鏡および該試料微動装置の制御方法を提供する
ことにある。
（課題を解決するための手段）
第１図は、本発明の全体構成を示したブロック図である
。
。
同図において、電子顕微鏡の試料台をＸ１Ｙ方向に移動
させる駆動手段２１は第１のパルス発生回路２２に接続
されており、その移動距離を示す電気的信号あるいは機
械的変位量を出力する。第１のパルス発生回路２２は演
算回路２６に接続されており、前記電気的信号あるいは
機械的変位量を、試料台の移動距離に応じた数のパルス
ＰＸＩ、ＰＹＩに変換して出力する。
させる駆動手段２１は第１のパルス発生回路２２に接続
されており、その移動距離を示す電気的信号あるいは機
械的変位量を出力する。第１のパルス発生回路２２は演
算回路２６に接続されており、前記電気的信号あるいは
機械的変位量を、試料台の移動距離に応じた数のパルス
ＰＸＩ、ＰＹＩに変換して出力する。
電子顕微鏡の拡大倍率Ｍを設定する倍率設定手段２３は
演算回路２６に接続されており、該拡大倍率Ｍを表す信
号を出力する。
演算回路２６に接続されており、該拡大倍率Ｍを表す信
号を出力する。
拡大像の移動距離を設定する入力手段２４は第２のパル
ス発生回路２５に接続されており、その移動距離を示す
電気的信号あるいは機械的変位量を出力する。第２のパ
ルス発生回路２５は演算回路２６に接続されており、前
記電気的信号あるいは機械的変位量を、前記設定された
拡大像の移動距離に応じた数のパルスＰＸ２．ＰＹ２に
変換して出力する。
ス発生回路２５に接続されており、その移動距離を示す
電気的信号あるいは機械的変位量を出力する。第２のパ
ルス発生回路２５は演算回路２６に接続されており、前
記電気的信号あるいは機械的変位量を、前記設定された
拡大像の移動距離に応じた数のパルスＰＸ２．ＰＹ２に
変換して出力する。
演算回路２６は、ＰＸ２×Ｋ／Ｍ （Ｋｉｔ定数）とＰ
ＸＩとの大きさ、およびＰＹ２ＸＫ／ＭとＰＹＩとの大
きさをそれぞれ比較し、その比較結果を制御回路２７に
出力する。
ＸＩとの大きさ、およびＰＹ２ＸＫ／ＭとＰＹＩとの大
きさをそれぞれ比較し、その比較結果を制御回路２７に
出力する。
制御回路２７は前記駆動手段２１に接続されており、前
記ＰＸ２×Ｋ／ＭとＰＸＩとの大きさ、およびＰＹ２×
Ｋ／ＭとＰＹＩとの大きさがそれぞれ等しくなるように
、駆動手段２１の動作を制御する。
記ＰＸ２×Ｋ／ＭとＰＸＩとの大きさ、およびＰＹ２×
Ｋ／ＭとＰＹＩとの大きさがそれぞれ等しくなるように
、駆動手段２１の動作を制御する。
（作用）
上記した構成によれば、拡大倍率Ｍが高くなるにしたが
って、設定された拡大像の移動距離に対する試料台の移
動距離が小さくなり、また逆に、拡大倍率Ｍが低くなる
にしたがって、設定された拡大像の移動距離に対する試
料台の移動距離が大きくなる。
って、設定された拡大像の移動距離に対する試料台の移
動距離が小さくなり、また逆に、拡大倍率Ｍが低くなる
にしたがって、設定された拡大像の移動距離に対する試
料台の移動距離が大きくなる。
すなわち、電子顕微鏡の拡大倍率に拘らず、設定された
拡大像の移動距離と、拡大像の移動距離との関係が常に
一定に保たれるので、拡大像観察時における電子顕微鏡
の操作性が著しく向上する。
拡大像の移動距離と、拡大像の移動距離との関係が常に
一定に保たれるので、拡大像観察時における電子顕微鏡
の操作性が著しく向上する。
（実施例）
以下、本発明の一実施例を第２図を用いて説明する。
電子銃１より放出された電子線２は、照射レンズ系３に
よって収束された後に試料４に照射される。試料４を透
過した電子線２は対物レンズを始めとする結線レンズ系
５によって拡大され螢光板６上において、試料の拡大像
を結ぶ。
よって収束された後に試料４に照射される。試料４を透
過した電子線２は対物レンズを始めとする結線レンズ系
５によって拡大され螢光板６上において、試料の拡大像
を結ぶ。
試料４はステージ７上に置かれ、該ステージ７はモータ
ＩＯＸ、ＩＯＹの回転をそれぞれ減速機９Ｘ、９Ｙによ
って減速し、該回転を、前記ステージ７が接続されたリ
ニアアクチュエータ８Ｘ。
ＩＯＸ、ＩＯＹの回転をそれぞれ減速機９Ｘ、９Ｙによ
って減速し、該回転を、前記ステージ７が接続されたリ
ニアアクチュエータ８Ｘ。
８Ｙで直進運動に変換することによってＸ、 Ｙ方向に
移動されることができる。
移動されることができる。
モータ１０Ｘ、１０Ｙには、その回転軸を共用する第１
および第２のロータリエンコーダ１１Ｘ。
および第２のロータリエンコーダ１１Ｘ。
１１Ｙが接続されている。ロータリエンコーダ１１Ｘ、
ＩＩＹから出力され、前記モータの回転数に応じたパル
スＰＸ１、ＰＹ１はマイクロプロセッサ１２で積算され
る。
ＩＩＹから出力され、前記モータの回転数に応じたパル
スＰＸ１、ＰＹ１はマイクロプロセッサ１２で積算され
る。
マイクロプロセッサ１２は、モータ駆動用電源１３Ｘ、
１３Ｙを介してモータの駆動制御を行なう。試料ステー
ジ７を移動するための入力装置１４は、その移動量を入
力するための回転つまみ１８Ｘ、１８Ｙの軸に第３およ
び第４のロータリエンコーダ１４Ｘ、１４Ｙが直結され
たものであり、その回転量に比例した数のパルスマイク
ロプロセッサ１２に対して出力する。
１３Ｙを介してモータの駆動制御を行なう。試料ステー
ジ７を移動するための入力装置１４は、その移動量を入
力するための回転つまみ１８Ｘ、１８Ｙの軸に第３およ
び第４のロータリエンコーダ１４Ｘ、１４Ｙが直結され
たものであり、その回転量に比例した数のパルスマイク
ロプロセッサ１２に対して出力する。
なお、前記マイクロプロセッサ１２の制御を行うための
プログラム、データ等はメモリ１５に記憶されている。
プログラム、データ等はメモリ１５に記憶されている。
倍率設定手段１９は、電子顕微鏡の拡大倍率を設定する
ためのものである。位置検出器１６は、試料ステージの
基準点を検出するためのものであり、その詳細は後に説
明する。
ためのものである。位置検出器１６は、試料ステージの
基準点を検出するためのものであり、その詳細は後に説
明する。
以下に、このような構成を有する電子顕微鏡の動作につ
いて詳細に説明する。
いて詳細に説明する。
オペレータが倍率設定手段１９によって電子顕微鏡の拡
大倍率Ｍを指定すると、マイクロプロセッサ１２は、図
示しないレンズ系の制御手段に制御信号を送ることによ
ってレンズ系５の励磁電流を調整し、拡大倍率を指定さ
れた倍率Ｍに設定する。
大倍率Ｍを指定すると、マイクロプロセッサ１２は、図
示しないレンズ系の制御手段に制御信号を送ることによ
ってレンズ系５の励磁電流を調整し、拡大倍率を指定さ
れた倍率Ｍに設定する。
ここで、オペレータが拡大像の観察位置を変えるために
回転つまみ１８Ｘ、１８Ｙを回転操作すると、該回転つ
まみ１１３Ｘ、１８Ｍのそれぞれに直結された第３およ
び第４のエンコーダ１４Ｘ１１４Ｙからは、機械的変位
である回転操作に応じた数のパルスＰＸ２、ＰＹ２がマ
イクロプロセッサ１２に対して出力される。
回転つまみ１８Ｘ、１８Ｙを回転操作すると、該回転つ
まみ１１３Ｘ、１８Ｍのそれぞれに直結された第３およ
び第４のエンコーダ１４Ｘ１１４Ｙからは、機械的変位
である回転操作に応じた数のパルスＰＸ２、ＰＹ２がマ
イクロプロセッサ１２に対して出力される。
このとき、マイクロプロセッサ１２には、すでに電子顕
微鏡の拡大倍率Ｍが登録されているので、マイクロプロ
セッサ１２では、第３および第４のエンコーダ１４Ｘ、
１４Ｙからのパルス数ＰＸ２、ＰＹ２に対してに／Ｍ
（Ｋは定数）を掛は合わせ、その値ＰＸ２×Ｋ／Ｍ、Ｐ
Ｙ２×Ｋ／Ｍを演算後パルレスとして５己憶する。
微鏡の拡大倍率Ｍが登録されているので、マイクロプロ
セッサ１２では、第３および第４のエンコーダ１４Ｘ、
１４Ｙからのパルス数ＰＸ２、ＰＹ２に対してに／Ｍ
（Ｋは定数）を掛は合わせ、その値ＰＸ２×Ｋ／Ｍ、Ｐ
Ｙ２×Ｋ／Ｍを演算後パルレスとして５己憶する。
なお、定数には電子顕微鏡ごとにあらかじめ設定された
数値であって、たとえば、拡大倍率が１万倍のときに第
３および第４のエンコーダ１４Ｘ（Ｙ）からの１パルス
に対して第１および第２のエンコーダＩＩＸ（Ｙ）から
の１パルスが対応するように設定するのであれば、定数
には１万に設定される。
数値であって、たとえば、拡大倍率が１万倍のときに第
３および第４のエンコーダ１４Ｘ（Ｙ）からの１パルス
に対して第１および第２のエンコーダＩＩＸ（Ｙ）から
の１パルスが対応するように設定するのであれば、定数
には１万に設定される。
このようにすれば、例えば拡大倍率が１００万倍に設定
され、エンコーダ１４Ｘ、１４Ｙからのパルス数がそれ
ぞれ１０００．５００パルスであるとすると、演算後パ
ルスＰＸ２ＸＫ／Ｍ、ｐｙ２ＸＫ／Ｍは、それぞれ１０
．５パルスとなる。
され、エンコーダ１４Ｘ、１４Ｙからのパルス数がそれ
ぞれ１０００．５００パルスであるとすると、演算後パ
ルスＰＸ２ＸＫ／Ｍ、ｐｙ２ＸＫ／Ｍは、それぞれ１０
．５パルスとなる。
一方、モータＩＯＸ、ＩＯＹの回転数に応じた数のパル
ス、すなわち試料ステージのＸ、Ｙ方向の実際の移動距
離に応じた数のパルスＰＸＩ、ＰＹＩも、エンコーダ１
１Ｘ１１１Ｙからマイクロプロセッサ１２に入力される
。
ス、すなわち試料ステージのＸ、Ｙ方向の実際の移動距
離に応じた数のパルスＰＸＩ、ＰＹＩも、エンコーダ１
１Ｘ１１１Ｙからマイクロプロセッサ１２に入力される
。
マイクロプロセッサ１２では、前記演算後パル、Ｚ、Ｐ
Ｘ２ＸＫ／ＭＳＰＹ２×Ｋ／ＭとパルスＰｘ１、ＰＹＩ
とを比較し、その差（ＰＸ２ＸＫ／Ｍ）−ＰＸＩ、（Ｐ
Ｙ２ＸＫ／Ｍ）＝ＰＹＩが共に０となるように電源１３
Ｘ、１３Ｙに制御信号を出力する。
Ｘ２ＸＫ／ＭＳＰＹ２×Ｋ／ＭとパルスＰｘ１、ＰＹＩ
とを比較し、その差（ＰＸ２ＸＫ／Ｍ）−ＰＸＩ、（Ｐ
Ｙ２ＸＫ／Ｍ）＝ＰＹＩが共に０となるように電源１３
Ｘ、１３Ｙに制御信号を出力する。
電源１３Ｘ、１３Ｙは、それぞれモータ１０Ｘ１１０Ｙ
に駆動信号を出力してリニアアクチュエータ８Ｘ、８Ｙ
を前進・後退運動させる。
に駆動信号を出力してリニアアクチュエータ８Ｘ、８Ｙ
を前進・後退運動させる。
このようにすれば、拡大倍率が１００万倍の場合には、
エンコーダ１４Ｘ、１４Ｙから出力される１００パルス
に対してエンコーダＩＩＸ、１１Ｙからの１パルスが対
応するようになるので、回転つまみ１８Ｘ、１８Ｙの回
転数（回転角度）に対する試料ステージ７の移動量は、
拡大倍率が１万倍の場合の１／１００となる。
エンコーダ１４Ｘ、１４Ｙから出力される１００パルス
に対してエンコーダＩＩＸ、１１Ｙからの１パルスが対
応するようになるので、回転つまみ１８Ｘ、１８Ｙの回
転数（回転角度）に対する試料ステージ７の移動量は、
拡大倍率が１万倍の場合の１／１００となる。
したがって、電子顕微鏡の拡大倍率に拘らず、回転つま
み１１３Ｘ、１８Ｙの回転数と拡大像の移動量との関係
は常に一定となり、拡大像観察時における電子顕微鏡の
操作性が著しく向上する。
み１１３Ｘ、１８Ｙの回転数と拡大像の移動量との関係
は常に一定となり、拡大像観察時における電子顕微鏡の
操作性が著しく向上する。
なお、第１ないし第４のロークリエンコーダ１１Ｘ、Ｉ
ＩＹ、１４Ｘ、１４Ｙは、位相の９０″異なった２つの
パルスを出力し、その位相の差によってどちらの回転方
向かを区別することができる。
ＩＹ、１４Ｘ、１４Ｙは、位相の９０″異なった２つの
パルスを出力し、その位相の差によってどちらの回転方
向かを区別することができる。
したがって、第３および第４のエンコーダ１４Ｘ、１４
Ｙから逆回転を示すパルスが出力されたならば、マイク
ロプロセッサ１２は第１および第２のロータリエンコー
ダ１１Ｘ、１１Ｙのパルスも逆回転を示すようにモータ
ＩＯＸ、ＩＯＹを制御する。
Ｙから逆回転を示すパルスが出力されたならば、マイク
ロプロセッサ１２は第１および第２のロータリエンコー
ダ１１Ｘ、１１Ｙのパルスも逆回転を示すようにモータ
ＩＯＸ、ＩＯＹを制御する。
また、上記のように、第１および第２のエンコーダＩＩ
Ｘ、ＩＩＹからのパルスのＰＸ１、ＰＹ１が演算後パル
スと同じとなるようにモータ１０Ｘ、ＩＯＹを制御する
うえで、モータ１０ｘ。
Ｘ、ＩＩＹからのパルスのＰＸ１、ＰＹ１が演算後パル
スと同じとなるようにモータ１０Ｘ、ＩＯＹを制御する
うえで、モータ１０ｘ。
１０Ｙが回転しすぎてしまったような場合には、超えた
パルス数だけの逆方向を示すパルスが積算されるまでモ
ータを制御する。
パルス数だけの逆方向を示すパルスが積算されるまでモ
ータを制御する。
位置検出器１６は、試料ステージ７の基準点を検出する
ためのもので、光電スイッチ等のセンサおよび該センサ
の制御回路によって構成されている。
ためのもので、光電スイッチ等のセンサおよび該センサ
の制御回路によって構成されている。
この位置検出器１６は、拡大像の観察位置を素早く検出
するために用いられるものであり、本発明の目的達成に
直接作用するものではないが、該位置検出器１６を用い
ることによって、電子顕微鏡の操作性がさらに向上する
。
するために用いられるものであり、本発明の目的達成に
直接作用するものではないが、該位置検出器１６を用い
ることによって、電子顕微鏡の操作性がさらに向上する
。
試料ステージ７の中心位置には、図中下部に突起物が設
けられており、また、位置検出器１６にも、該試料ステ
ージが移動可能範囲の中心に位置したときに該突起物に
よって遮光される光電スイッチが設置されている。突起
物が光電スイッチを横切ると、位置検出器１６の制御回
路がそれを検知して検知信号をマイクロプロセッサ１２
に出力する。
けられており、また、位置検出器１６にも、該試料ステ
ージが移動可能範囲の中心に位置したときに該突起物に
よって遮光される光電スイッチが設置されている。突起
物が光電スイッチを横切ると、位置検出器１６の制御回
路がそれを検知して検知信号をマイクロプロセッサ１２
に出力する。
本実施例では、電子顕微鏡の電源をオンにすると、マイ
クロプロセッサ１２は試料ステージをＸ。
クロプロセッサ１２は試料ステージをＸ。
Ｙ方向へ移動させ、前記検知信号を受信した時点の試料
ステージ７の位置を基準点として登録し、それ以降の試
料ステージ７の位置は、該基準点に対する相対位置とし
て登録する。
ステージ７の位置を基準点として登録し、それ以降の試
料ステージ７の位置は、該基準点に対する相対位置とし
て登録する。
この相対位置は表示装置１７にも出力され、オペレータ
は該表示装置１７を確認することによって、試料ステー
ジ７の位置を容易に判断することができるようになる。
は該表示装置１７を確認することによって、試料ステー
ジ７の位置を容易に判断することができるようになる。
このようにすれば、拡大像の観察位置は、常に前記基準
点に対する相対位置として表されるので、その相対位置
を記録しておけば、次回の観察時にも、前回の観察位置
を容易に探し出すことができるようになる。
点に対する相対位置として表されるので、その相対位置
を記録しておけば、次回の観察時にも、前回の観察位置
を容易に探し出すことができるようになる。
なお、上記した実施例においては、試料ステージ７の移
動量を、モータ１０ｘ、ＩＯＹの回転量から求めるもの
として説明したが、本発明はこれのみに限定されるもの
ではなく、リニアアクチュエータまたは試料台の前進後
退運動の移動量を、エンコーダ等の適宜の手段で検知し
、その移動量から求めるようにしても良い。
動量を、モータ１０ｘ、ＩＯＹの回転量から求めるもの
として説明したが、本発明はこれのみに限定されるもの
ではなく、リニアアクチュエータまたは試料台の前進後
退運動の移動量を、エンコーダ等の適宜の手段で検知し
、その移動量から求めるようにしても良い。
さらに、上記した実施例においては、拡大像の移動距離
が回転つまみの機械的変位量として入力され、該機械的
変位量は前記回転つまみの軸に直結されたロータリーエ
ンコーダによってパルス信号に変換されるものとして説
明したが、スイッチ手段が開成状態にある場合のみ予定
のパルス信号を出力するようなパルス出力回路を設け、
拡大像の移動距離は、前記スイッチ手段の開成時間とし
て入力されるようにしてもよい。
が回転つまみの機械的変位量として入力され、該機械的
変位量は前記回転つまみの軸に直結されたロータリーエ
ンコーダによってパルス信号に変換されるものとして説
明したが、スイッチ手段が開成状態にある場合のみ予定
のパルス信号を出力するようなパルス出力回路を設け、
拡大像の移動距離は、前記スイッチ手段の開成時間とし
て入力されるようにしてもよい。
第３図は、本発明の試料微動装置の制御方法を示したフ
ローチャートである。
ローチャートである。
電子顕微鏡の電源がオンにされると、ステップＳ１では
、マイクロプロセッサ１２が試料ステージをＸＳＹ方向
へ移動させ、前記基準位置を示す検知信号が受信される
位置に試料ステージ７を移動すると共に、その時点の試
料ステージ７の位置を基準点として登録する。
、マイクロプロセッサ１２が試料ステージをＸＳＹ方向
へ移動させ、前記基準位置を示す検知信号が受信される
位置に試料ステージ７を移動すると共に、その時点の試
料ステージ７の位置を基準点として登録する。
ステップＳ２では、オペレータが電子顕微鏡の拡大倍率
Ｍを設定する。
Ｍを設定する。
ステップＳ３では、第３および第４のエンコーダ１４Ｘ
、１４Ｙから出力されるパルスＰＸ２、ＰＹ２がマイク
ロプロセッサ１２で積算される。
、１４Ｙから出力されるパルスＰＸ２、ＰＹ２がマイク
ロプロセッサ１２で積算される。
ステップＳ４では、前記パルスＰＸ２、ＰＹ２の積算値
に対して、定数に／拡大倍率Ｍを掛は合わせ、演算後パ
ルスであるＰＸ２×Ｋ／Ｍ、ＰＹ２ＸＫ／Ｍを得る。
に対して、定数に／拡大倍率Ｍを掛は合わせ、演算後パ
ルスであるＰＸ２×Ｋ／Ｍ、ＰＹ２ＸＫ／Ｍを得る。
ステップＳ５では、第１および第２のエンコーダＩＩＸ
、ＩＩＹから出力されるパルスＰＸＩ、ＰＹＩがマイク
ロプロセッサ１２で積算される。
、ＩＩＹから出力されるパルスＰＸＩ、ＰＹＩがマイク
ロプロセッサ１２で積算される。
ステップＳ６では、演算後パルスＰＸ２ｘＫ／Ｍ、ＰＹ
２×Ｋ／Ｍの積算値と、パルスＰＸ１、ＰＹＩＹの積算
値とがそれぞれ比較される。
２×Ｋ／Ｍの積算値と、パルスＰＸ１、ＰＹＩＹの積算
値とがそれぞれ比較される。
回転つまみ１８Ｘ、１８Ｙが回転されていない初期状態
、すなわち、オペレータが拡大像の移動量を入力してい
ない状態では、演算後パルスＰＸ２ＸＫ／Ｍ、ＰＹ２
ＸＫ／ＭとパルスＰＸＩ、ＰＹＩとが共にＯであるため
、マイクロプロセッサ１２は両者が同値であると判断し
、当該処理はステップＳ８に移行する。
、すなわち、オペレータが拡大像の移動量を入力してい
ない状態では、演算後パルスＰＸ２ＸＫ／Ｍ、ＰＹ２
ＸＫ／ＭとパルスＰＸＩ、ＰＹＩとが共にＯであるため
、マイクロプロセッサ１２は両者が同値であると判断し
、当該処理はステップＳ８に移行する。
ここで、オペレータが回転つまみ１１３Ｘ、１８Ｙを操
作して拡大像の移動量を入力すると、ステップＳ３では
、該移動量に応じたパルスＰＸ２、ＰＹ２がエンコーダ
１４Ｘ、１４Ｙから出力され、マイクロプロセッサ１２
はそのパルス数を積算する。
作して拡大像の移動量を入力すると、ステップＳ３では
、該移動量に応じたパルスＰＸ２、ＰＹ２がエンコーダ
１４Ｘ、１４Ｙから出力され、マイクロプロセッサ１２
はそのパルス数を積算する。
その後のステップＳ５では、モータ１０Ｘ１１０Ｙがま
だ回転していないので、前回と同様にＰＸＩ−０、ＰＹ
Ｉ−０が入力される。
だ回転していないので、前回と同様にＰＸＩ−０、ＰＹ
Ｉ−０が入力される。
ステップＳ６において演算パルスＰＸ２×Ｋ／Ｍ、ＰＹ
２ＸＫ／Ｍの積算値と、パルスＰＸＩ、ＰＹＩＹの積算
値とが比較されると、今回はＰＸ２×Ｋ／Ｍ＞ＰＸｌ、
ｐＹ２×Ｋ／Ｍ＞ＰＩ３となるので、当該処理はステッ
プＳ７に移行する。
２ＸＫ／Ｍの積算値と、パルスＰＸＩ、ＰＹＩＹの積算
値とが比較されると、今回はＰＸ２×Ｋ／Ｍ＞ＰＸｌ、
ｐＹ２×Ｋ／Ｍ＞ＰＩ３となるので、当該処理はステッ
プＳ７に移行する。
ステップＳ７では、ＰＸ２ＸＫ／ＭとＰＸＩとの差、お
よびＰＹ２ＸＫ／ＭとＰＩ３との差に基づいて、ＰＸ２
×Ｋ／Ｍ−ＰＸＩ、ＰＹ２×Ｋ／Ｍ−ＰＩ３となるよう
なモータＩＯＸ、ＩＯＹの最適回転数が求められ、該回
転数に応じた制御信号が電源１３Ｘ、１３Ｙに出力され
る。
よびＰＹ２ＸＫ／ＭとＰＩ３との差に基づいて、ＰＸ２
×Ｋ／Ｍ−ＰＸＩ、ＰＹ２×Ｋ／Ｍ−ＰＩ３となるよう
なモータＩＯＸ、ＩＯＹの最適回転数が求められ、該回
転数に応じた制御信号が電源１３Ｘ、１３Ｙに出力され
る。
ステップＳ８では、拡大倍率Ｍが変更されたか否かが判
断され、当該処理は、変更された場合はステップＳ２へ
、変更されない場合はステップＳ３へそれぞれ移行し、
以後、上記と同様の処理を繰り返す。なお、当該処理は
、電子顕微鏡のスイッチがオフされることによって終了
する。
断され、当該処理は、変更された場合はステップＳ２へ
、変更されない場合はステップＳ３へそれぞれ移行し、
以後、上記と同様の処理を繰り返す。なお、当該処理は
、電子顕微鏡のスイッチがオフされることによって終了
する。
（発明の効果）
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、次の
ような効果が達成される。
ような効果が達成される。
（１）電子顕微鏡の拡大倍率に拘らず、拡大像の移動距
離を設定する回転つまみの回転量と、拡大像の移動距離
との関係が常に一定になるので、拡大像観察時における
電子顕微鏡の操作性が著しく向上する。
離を設定する回転つまみの回転量と、拡大像の移動距離
との関係が常に一定になるので、拡大像観察時における
電子顕微鏡の操作性が著しく向上する。
（２）位置検出器を付加し、試料ステージの位置検出お
よび、拡大像の観察点の位置設定等を、該位置検出器で
検出された試料ステージ７の基準点に基づいて行い、拡
大像の観察位置は、前記基準点に対する相対位置として
表すようにすれば、次回の観察時にも、前回の観察位置
を容易に探し出すことができるようになって、電子顕微
鏡の操作性がさらに向上する。
よび、拡大像の観察点の位置設定等を、該位置検出器で
検出された試料ステージ７の基準点に基づいて行い、拡
大像の観察位置は、前記基準点に対する相対位置として
表すようにすれば、次回の観察時にも、前回の観察位置
を容易に探し出すことができるようになって、電子顕微
鏡の操作性がさらに向上する。
第１図は本発明の全体構成を示したブロック図である。
第２図は本発明の一実施例である電子顕微鏡のブロック
図である。 第３図は本発明の試料微動装置の制御方法を示したフロ
ーチャートである。 ７・・・舎へ料ステージ、８Ｘ、８Ｙ・・・アクチュエ
ータ、９Ｘ、９Ｙ・・・減速機、ＩＯＸ、ＩＯＹ・・・
モータ、１１Ｘ、ｉ ＩＹ、１４Ｘ、１４Ｙ・・・エン
コーダ、１２・・・マイクロプロセッサ、１３Ｘ、１３
Ｙ・・電源、１５・・・メモ１バ１６−・・位置検出器
、１７・・・表示装置、１８Ｘ、１８Ｙ・・・回転つま
み、１９・・・倍率設定手段
図である。 第３図は本発明の試料微動装置の制御方法を示したフロ
ーチャートである。 ７・・・舎へ料ステージ、８Ｘ、８Ｙ・・・アクチュエ
ータ、９Ｘ、９Ｙ・・・減速機、ＩＯＸ、ＩＯＹ・・・
モータ、１１Ｘ、ｉ ＩＹ、１４Ｘ、１４Ｙ・・・エン
コーダ、１２・・・マイクロプロセッサ、１３Ｘ、１３
Ｙ・・電源、１５・・・メモ１バ１６−・・位置検出器
、１７・・・表示装置、１８Ｘ、１８Ｙ・・・回転つま
み、１９・・・倍率設定手段
Claims (7)
- （１）電子顕微鏡の試料台を一平面上でＸ、Ｙ方向に移
動させる駆動手段と、 電子顕微鏡の拡大倍率Ｍを設定する手段と、前記試料台
のＸ、Ｙ方向への移動距離に応じた数のパルスＰＸ１、
ＰＹ１を出力する第１のパルス出力回路と、 拡大像のＸ、Ｙ方向への移動距離を設定する入力手段と
、 前記入力手段で設定された拡大像のＸ、Ｙ方向への移動
距離に応じた数のパルスＰＸ２、ＰＹ２を出力する第２
のパルス出力回路と、 （ＰＸ１×Ｋ／Ｍ）＝ＰＸ２、かつ（ＰＹ１×Ｋ／Ｍ）
＝ＰＹ２（Ｋは定数）になるまで前記駆動手段を制御す
る駆動制御手段とを具備したことを特徴とする電子顕微
鏡。 - （２）試料台の基準位置を検知する手段と、試料台の位
置を、該基準位置からの距離として表示する表示手段と
をさらに具備したことを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の電子顕微鏡。 - （３）前記駆動手段は、一対のモータおよび該一対のモ
ータのそれぞれの回転運動を直線運動に変換する一対の
リニアアクチュエータによって構成され、前記第１のパ
ルス出力回路は、該一対のモータのそれぞれの回転軸に
直結された一対のロータリーエンコーダであることを特
徴とする特許請求の範囲第１項または第２項記載の電子
顕微鏡。 - （４）前記第１のパルス出力回路は、前記リニアアクチ
ュエータの前進後退運動を検知して、その移動量に応じ
たパルスを出力することを特徴とする特許請求の範囲第
３項記載の電子顕微鏡。 - （５）前記入力手段は一対の回転つまみであって、前記
第２のパルス出力回路は、該一対の回転つまみのそれぞ
れの回転軸に直結された一対のロータリーエンコーダで
あることを特徴とする特許請求の範囲第１項ないし第４
項のいずれかに記載の電子顕微鏡。 - （６）電子顕微鏡に用いる試料微動装置の制御方法であ
って、 電子顕微鏡の拡大倍率Ｍを設定し、 拡大像のＸ、Ｙ方向への移動距離を設定し、前記設定さ
れた拡大像のＸ、Ｙ方向への移動距離に応じた数のパル
スＰＸ２、ＰＹ２を出力し、試料台のＸ、Ｙ方向への移
動距離に応じた数のパルスＰＸ１、ＰＹ１を出力し、 （ＰＸ１×Ｋ／Ｍ）＝ＰＸ２、かつ（ＰＹ１×Ｋ／Ｍ）
＝ＰＹ２（Ｋは定数）になるように試料台の位置を制御
する試料微動装置の制御方法。 - （７）電子顕微鏡に用いる試料微動装置の制御方法であ
って、 試料台を基準位置まで移動し、 電子顕微鏡の拡大倍率Ｍを設定し、 拡大像の、前記基準位置からＸ、Ｙ方向への移動距離を
設定し、 前記設定された拡大像のＸ、Ｙ方向への移動距離に応じ
た数のパルスＰＸ２、ＰＹ２を出力し、試料台の、前記
基準位置からＸ、Ｙ方向への移動距離に応じた数のパル
スＰＸ１、ＰＹ１を出力し、 （ＰＸ１×Ｋ／Ｍ）＝ＰＸ２、かつ（ＰＹ１×Ｋ／Ｍ）
＝ＰＹ２（Ｋは定数）になるように試料台の位置を制御
する試料微動装置の制御方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63327783A JPH02174046A (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 | 電子顕微鏡およびこれに用いる試料微動装置の制御方法 |
| US07/456,522 US5012092A (en) | 1988-12-27 | 1989-12-26 | Method and apparatus for fine movement of specimen stage of electron microscope |
| DE68922598T DE68922598T2 (de) | 1988-12-27 | 1989-12-27 | Methode und Vorrichtung zur feinen Bewegungssteuerung des Probenhalters eines Elektronenmikroskops. |
| EP89124031A EP0376286B1 (en) | 1988-12-27 | 1989-12-27 | Method and apparatus for fine movement of specimen stage of electron microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63327783A JPH02174046A (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 | 電子顕微鏡およびこれに用いる試料微動装置の制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02174046A true JPH02174046A (ja) | 1990-07-05 |
Family
ID=18202935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63327783A Pending JPH02174046A (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 | 電子顕微鏡およびこれに用いる試料微動装置の制御方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5012092A (ja) |
| EP (1) | EP0376286B1 (ja) |
| JP (1) | JPH02174046A (ja) |
| DE (1) | DE68922598T2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08179222A (ja) * | 1992-04-30 | 1996-07-12 | Becton Dickinson & Co | 顕微鏡ステージ |
| JP2006509999A (ja) * | 2002-08-02 | 2006-03-23 | イー エイ フィシオネ インストルメンツ インコーポレーテッド | 顕微鏡の試料調製方法及び装置 |
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| DE69128104T2 (de) * | 1990-05-18 | 1998-04-09 | Hitachi Ltd | Elektronenmikroskop, Probenstellglied für ein Elektronenmikroskop und Verfahren zum Beobachten von mikroskopischen Bildern |
| JP2984083B2 (ja) * | 1991-04-04 | 1999-11-29 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡用試料駆動装置 |
| US6822563B2 (en) | 1997-09-22 | 2004-11-23 | Donnelly Corporation | Vehicle imaging system with accessory control |
| JP3014274B2 (ja) * | 1994-06-29 | 2000-02-28 | 株式会社日立製作所 | ２軸傾斜試料微動装置及び像の逃げ補正方法 |
| US7655894B2 (en) | 1996-03-25 | 2010-02-02 | Donnelly Corporation | Vehicular image sensing system |
| CH694338A5 (de) * | 2000-09-06 | 2004-11-30 | Rene Trottmann | Schalungselement zum Bau eines halbkugelförmigigen Gebäudes und Verfahren zur Schalung bei dessen Bau. |
| AU2003225228A1 (en) | 2002-05-03 | 2003-11-17 | Donnelly Corporation | Object detection system for vehicle |
| JP4551071B2 (ja) * | 2003-09-19 | 2010-09-22 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡用電動ステージ制御システム、該制御装置、及び該制御方法 |
| US7526103B2 (en) | 2004-04-15 | 2009-04-28 | Donnelly Corporation | Imaging system for vehicle |
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| JPS4834347B1 (ja) * | 1969-08-11 | 1973-10-20 | ||
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-
1988
- 1988-12-27 JP JP63327783A patent/JPH02174046A/ja active Pending
-
1989
- 1989-12-26 US US07/456,522 patent/US5012092A/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-12-27 EP EP89124031A patent/EP0376286B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-12-27 DE DE68922598T patent/DE68922598T2/de not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0376286A2 (en) | 1990-07-04 |
| EP0376286B1 (en) | 1995-05-10 |
| US5012092A (en) | 1991-04-30 |
| DE68922598T2 (de) | 1996-01-18 |
| DE68922598D1 (de) | 1995-06-14 |
| EP0376286A3 (en) | 1990-09-12 |
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