JPH1096848A - 自動焦点検出装置 - Google Patents
自動焦点検出装置Info
- Publication number
- JPH1096848A JPH1096848A JP8250593A JP25059396A JPH1096848A JP H1096848 A JPH1096848 A JP H1096848A JP 8250593 A JP8250593 A JP 8250593A JP 25059396 A JP25059396 A JP 25059396A JP H1096848 A JPH1096848 A JP H1096848A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- sample
- objective lens
- stage
- specimen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 45
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 41
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 9
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 5
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/24—Base structure
- G02B21/241—Devices for focusing
- G02B21/244—Devices for focusing using image analysis techniques
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
- Focusing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、自動焦点検出の高速化と高精度化を
実現できる自動焦点検出装置を提供する。 【解決手段】入れ替え前と入れ替え後のそれぞれの対物
レンズ３の光学的特性と入れ替え前の対物レンズによる
標本画像の周波数分布の特徴から、対物レンズ３の入れ
替えた後の標本２に関する画像状態の周波数分布の注目
すべき範囲を予測し、この注目周波数帯域について、鮮
明度レベルが最大になるように、ステージ１を上下動さ
せながら合焦点検出動作を行う。
実現できる自動焦点検出装置を提供する。 【解決手段】入れ替え前と入れ替え後のそれぞれの対物
レンズ３の光学的特性と入れ替え前の対物レンズによる
標本画像の周波数分布の特徴から、対物レンズ３の入れ
替えた後の標本２に関する画像状態の周波数分布の注目
すべき範囲を予測し、この注目周波数帯域について、鮮
明度レベルが最大になるように、ステージ１を上下動さ
せながら合焦点検出動作を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、顕微鏡などの光学
機器に適用される自動焦点検出装置に関するものであ
る。
機器に適用される自動焦点検出装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、顕微鏡などの光学機器に適用され
る自動焦点検出装置は、その検出方法に様々なものが考
えられており、一例として、特開平２−１０９００８号
公報に開示されるように、撮影光学系を通して撮像画面
上に結像した被写体像について撮影光学系を合焦制御す
る自動焦点制御において、被写体像に対応するフォーカ
スエリアを複数の検出領域に分割するとともに、これら
各領域の合焦情報のうち、曖昧さを有する合焦情報を除
外して合焦制御するようにしたものや、特開昭５７−５
０１６号公報に開示されるように、結像光学系によって
形成される像を走査手段を用いて走査することで像の照
度分布を表す走査信号を得るととともに、この走査信号
を照度変化検出手段に与えることにより像中の各微少部
分での照度変化を表す信号を得、この照度変化信号に基
づいて走査面上での像の鮮明度信号を得るようにした像
鮮明度検出装置であって、照度変化検出手段として、そ
の動作特性が調整可能な微分回路を用いるとともに、こ
の微分回路の動作特性を調整するための調整手段を設
け、この調整手段によって微分回路の動作特性やゲイン
を結像光学系の開口値情報に基づいて調整可能としたも
のが提案されている。
る自動焦点検出装置は、その検出方法に様々なものが考
えられており、一例として、特開平２−１０９００８号
公報に開示されるように、撮影光学系を通して撮像画面
上に結像した被写体像について撮影光学系を合焦制御す
る自動焦点制御において、被写体像に対応するフォーカ
スエリアを複数の検出領域に分割するとともに、これら
各領域の合焦情報のうち、曖昧さを有する合焦情報を除
外して合焦制御するようにしたものや、特開昭５７−５
０１６号公報に開示されるように、結像光学系によって
形成される像を走査手段を用いて走査することで像の照
度分布を表す走査信号を得るととともに、この走査信号
を照度変化検出手段に与えることにより像中の各微少部
分での照度変化を表す信号を得、この照度変化信号に基
づいて走査面上での像の鮮明度信号を得るようにした像
鮮明度検出装置であって、照度変化検出手段として、そ
の動作特性が調整可能な微分回路を用いるとともに、こ
の微分回路の動作特性を調整するための調整手段を設
け、この調整手段によって微分回路の動作特性やゲイン
を結像光学系の開口値情報に基づいて調整可能としたも
のが提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、特開平２−
１０９００８号公報に開示されるように、撮影光学系を
通ってきた画像の中で焦点検出に適したエリアを選択す
るような方法によると、例えば、顕微鏡において低倍率
の対物レンズから高倍率の対物レンズに変換して標本観
察を行うような場合、高倍率の対物レンズによる観察で
は、標本の観察範囲は狭くなるため、標本の観察位置に
よっては、対物レンズを高倍率のものに変換すると、標
本像が視野外または焦点検出用センサの範囲外になって
しまい焦点検出ができなくなってしまうことがあり、ま
た、焦点からの外れ量が大きい場合には、標本像がほと
んど見えないことから、その中から焦点検出に適したエ
リアを選択するのはほとんど不可能で、かなり焦点位置
に近づいてからでないと、このような方法による効力を
発揮できないという問題点があった。
１０９００８号公報に開示されるように、撮影光学系を
通ってきた画像の中で焦点検出に適したエリアを選択す
るような方法によると、例えば、顕微鏡において低倍率
の対物レンズから高倍率の対物レンズに変換して標本観
察を行うような場合、高倍率の対物レンズによる観察で
は、標本の観察範囲は狭くなるため、標本の観察位置に
よっては、対物レンズを高倍率のものに変換すると、標
本像が視野外または焦点検出用センサの範囲外になって
しまい焦点検出ができなくなってしまうことがあり、ま
た、焦点からの外れ量が大きい場合には、標本像がほと
んど見えないことから、その中から焦点検出に適したエ
リアを選択するのはほとんど不可能で、かなり焦点位置
に近づいてからでないと、このような方法による効力を
発揮できないという問題点があった。
【０００４】また、特開昭５７−５０１６号公報に開示
されるように、結像光学系の条件によって画像の鮮明度
評価関数を変化させて常に適正な画像評価を行うように
した方法では、例えば、顕微鏡に適用した場合、同じ結
像光学系を通過しても観察する標本像の周波数分布は標
本により様々であり、結像光学系の条件によっては、画
像の鮮明度評価関数を変化させても、それが常に適正な
関数になるとは限らないという問題点がある。
されるように、結像光学系の条件によって画像の鮮明度
評価関数を変化させて常に適正な画像評価を行うように
した方法では、例えば、顕微鏡に適用した場合、同じ結
像光学系を通過しても観察する標本像の周波数分布は標
本により様々であり、結像光学系の条件によっては、画
像の鮮明度評価関数を変化させても、それが常に適正な
関数になるとは限らないという問題点がある。
【０００５】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、自動焦点検出の高速化と高精度化を得られるととも
に、安定した焦点検出を実現できる自動焦点検出装置を
提供することを目的とする。
で、自動焦点検出の高速化と高精度化を得られるととも
に、安定した焦点検出を実現できる自動焦点検出装置を
提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
標本を載置するステージと、前記ステージ上の標本に対
する光路中に選択的に挿入される光学条件の異なる複数
の対物レンズと、前記標本の画像が前記対物レンズより
結像光学系を介して投影されるイメージセンサーと、こ
のイメージセンサーより出力される前記標本の画像信号
に基づいて前記標本画像の特徴要素を演算する画像信号
演算手段と、前記光路に選択的に挿入される対物レンズ
の入れ替え前と入れ替え後のそれぞれの対物レンズの特
徴および入れ替え前の標本画像の特徴要素から対物レン
ズ入れ替え後の標本画像の特徴要素を予測する予測手段
と、この予測手段により予想された標本画像の特徴要素
に基づいて前記ステージ上の標本に対する合焦動作を制
御する制御手段とにより構成している。
標本を載置するステージと、前記ステージ上の標本に対
する光路中に選択的に挿入される光学条件の異なる複数
の対物レンズと、前記標本の画像が前記対物レンズより
結像光学系を介して投影されるイメージセンサーと、こ
のイメージセンサーより出力される前記標本の画像信号
に基づいて前記標本画像の特徴要素を演算する画像信号
演算手段と、前記光路に選択的に挿入される対物レンズ
の入れ替え前と入れ替え後のそれぞれの対物レンズの特
徴および入れ替え前の標本画像の特徴要素から対物レン
ズ入れ替え後の標本画像の特徴要素を予測する予測手段
と、この予測手段により予想された標本画像の特徴要素
に基づいて前記ステージ上の標本に対する合焦動作を制
御する制御手段とにより構成している。
【０００７】請求項２記載の発明は、請求項１記載にお
いて、前記予測手段は、対物レンズ入れ替え後の標本画
像の特徴要素として前記標本画像の周波数分布を予測
し、前記制御手段は、前記予測手段で予測された周波数
分布の強度の高い領域に注目して前記ステージ上の標本
に対する合焦動作を制御するようにしている。
いて、前記予測手段は、対物レンズ入れ替え後の標本画
像の特徴要素として前記標本画像の周波数分布を予測
し、前記制御手段は、前記予測手段で予測された周波数
分布の強度の高い領域に注目して前記ステージ上の標本
に対する合焦動作を制御するようにしている。
【０００８】請求項３記載の発明は、請求項１記載にお
いて、前記予測手段は、対物レンズ入れ替え後の標本画
像の特徴要素として前記標本画像の形状を予測し、前記
制御手段は、前記予測手段で予測された標本画像形状の
コントラストの強い領域に注目して前記ステージ上の標
本に対する合焦動作を制御するようにしている。
いて、前記予測手段は、対物レンズ入れ替え後の標本画
像の特徴要素として前記標本画像の形状を予測し、前記
制御手段は、前記予測手段で予測された標本画像形状の
コントラストの強い領域に注目して前記ステージ上の標
本に対する合焦動作を制御するようにしている。
【０００９】この結果、本発明によれば、対物レンズの
入れ替え後の焦点検出のを高速化を得られ、さらに、標
本にごみなどが付着していたり迷光が入り込んで、標本
と別のコントラストを発生していても、標本の持つ特徴
と異なればこれらを排除して画像評価を行うことから、
精度の高い焦点検出を実現することもできる。
入れ替え後の焦点検出のを高速化を得られ、さらに、標
本にごみなどが付着していたり迷光が入り込んで、標本
と別のコントラストを発生していても、標本の持つ特徴
と異なればこれらを排除して画像評価を行うことから、
精度の高い焦点検出を実現することもできる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に従い説明する。 （第１の実施の形態）図１は、本発明の自動焦点検出装
置を顕微鏡に適用した場合の概略構成を示している。
に従い説明する。 （第１の実施の形態）図１は、本発明の自動焦点検出装
置を顕微鏡に適用した場合の概略構成を示している。
【００１１】図において、１は顕微鏡のステージで、こ
のステージ１には、標本２を載置している。そして、ス
テージ１上方に落射照明用光源７を配置している。この
場合、落射照明用光源７からの落射照明光は、ハーフミ
ラー４によりステージ１上の標本２側へ反射され、対物
レンズ３を介して標本２を照明するようにしている。ま
た、照明光を受けた標本２の光像は、対物レンズ３、ハ
ーフミラー４を通過して分割プリズム６に入射され、こ
の分割プリズム６で２つの光路に分割され、その一方が
接眼レンズ５を通って観察者による観察に供され、もう
一方はミラー８、結像レンズ９を通ってイメージセンサ
ー１０に投影されるようになっている。
のステージ１には、標本２を載置している。そして、ス
テージ１上方に落射照明用光源７を配置している。この
場合、落射照明用光源７からの落射照明光は、ハーフミ
ラー４によりステージ１上の標本２側へ反射され、対物
レンズ３を介して標本２を照明するようにしている。ま
た、照明光を受けた標本２の光像は、対物レンズ３、ハ
ーフミラー４を通過して分割プリズム６に入射され、こ
の分割プリズム６で２つの光路に分割され、その一方が
接眼レンズ５を通って観察者による観察に供され、もう
一方はミラー８、結像レンズ９を通ってイメージセンサ
ー１０に投影されるようになっている。
【００１２】メージセンサー１０は、標本２の画像を電
気信号に変換するもので、この電気信号を画像信号演算
回路１３に入力するようにしている。画像信号演算回路
１３は、ＣＰＵ１５からの指令によって、イメージセン
サー１０から受け取った電気信号から標本２の画像が持
っている周波数分布や鮮明度レベルなどの画像の特徴要
素を演算するもので、この結果をＣＰＵ１５に伝達する
ようになっている。
気信号に変換するもので、この電気信号を画像信号演算
回路１３に入力するようにしている。画像信号演算回路
１３は、ＣＰＵ１５からの指令によって、イメージセン
サー１０から受け取った電気信号から標本２の画像が持
っている周波数分布や鮮明度レベルなどの画像の特徴要
素を演算するもので、この結果をＣＰＵ１５に伝達する
ようになっている。
【００１３】ＣＰＵ１５には、ステージ駆動回路１１、
レボルバ制御回路１２、予測回路１４、外部入力回路１
６およびＸＹ駆動回路１７を接続している。この場合、
ステージ駆動回路１１は、ステージ１を対物レンズ３の
光軸方向に沿って上下動させるもので、画像信号演算回
路１３から受け取った標本２像の鮮明度レベルに基づく
ＣＰＵ１５の制御指令により、鮮明度レベルが最大にな
るようにステージ１を駆動制御して合焦点検出を行うよ
うにしている。
レボルバ制御回路１２、予測回路１４、外部入力回路１
６およびＸＹ駆動回路１７を接続している。この場合、
ステージ駆動回路１１は、ステージ１を対物レンズ３の
光軸方向に沿って上下動させるもので、画像信号演算回
路１３から受け取った標本２像の鮮明度レベルに基づく
ＣＰＵ１５の制御指令により、鮮明度レベルが最大にな
るようにステージ１を駆動制御して合焦点検出を行うよ
うにしている。
【００１４】レボルバ制御回路１２は、倍率や開口数な
ど光学条件の異なる複数の対物レンズ３を支持するレボ
ルバ１８を回転制御するもので、レボルバ１８の位置を
検出してＣＰＵ１５に伝達するとともに、ＣＰＵ１５の
制御指令を受けてレボルバ１８を回転させ、光路中の対
物レンズ３を、倍率の異なる他のものと入れ替えるよう
にしている。
ど光学条件の異なる複数の対物レンズ３を支持するレボ
ルバ１８を回転制御するもので、レボルバ１８の位置を
検出してＣＰＵ１５に伝達するとともに、ＣＰＵ１５の
制御指令を受けてレボルバ１８を回転させ、光路中の対
物レンズ３を、倍率の異なる他のものと入れ替えるよう
にしている。
【００１５】ＸＹ駆動回路１７は、ステージ１を対物レ
ンズ３の光軸と直交する方向、つまりＸＹ方向に駆動す
るもので、ＣＰＵ１５の制御指令を受けてステージ１上
の標本２に対する観察エリアを変えられるようになって
いる。
ンズ３の光軸と直交する方向、つまりＸＹ方向に駆動す
るもので、ＣＰＵ１５の制御指令を受けてステージ１上
の標本２に対する観察エリアを変えられるようになって
いる。
【００１６】外部入力回路１６は、複数のスイッチなど
の操作手段を有し、それそれの操作手段には、レボルバ
１８の回転、ステージ２の上下動、ＸＹ駆動、焦点検出
動作など対応する動作が決められていて、観察者が所望
動作に対応するスイッチを操作すると、この時の操作内
容をＣＰＵ１５に伝達するようにしている。また、外部
入力回路１６は、図示しない通信回線を介してホストコ
ンピュータと接続していて、ホストコンピュータから通
信回線を通じて指令を受信しても、その指令情報をＣＰ
Ｕ１５に伝達するようにしている。
の操作手段を有し、それそれの操作手段には、レボルバ
１８の回転、ステージ２の上下動、ＸＹ駆動、焦点検出
動作など対応する動作が決められていて、観察者が所望
動作に対応するスイッチを操作すると、この時の操作内
容をＣＰＵ１５に伝達するようにしている。また、外部
入力回路１６は、図示しない通信回線を介してホストコ
ンピュータと接続していて、ホストコンピュータから通
信回線を通じて指令を受信しても、その指令情報をＣＰ
Ｕ１５に伝達するようにしている。
【００１７】予測回路１４は、レボルバ１８により光路
中の対物レンズ３の入れ替えを行うような場合、入れ替
え前と入れ替え後のそれぞれの対物レンズ３の光学的特
性と、入れ替え前の標本２の画像周波数分布の情報をＣ
ＰＵ１５から受け取るようになっていて、この受け取っ
た情報に基づき対物レンズ３を入れ替えた後の標本２に
関する画像状態として周波数分布を予測するものであ
る。
中の対物レンズ３の入れ替えを行うような場合、入れ替
え前と入れ替え後のそれぞれの対物レンズ３の光学的特
性と、入れ替え前の標本２の画像周波数分布の情報をＣ
ＰＵ１５から受け取るようになっていて、この受け取っ
た情報に基づき対物レンズ３を入れ替えた後の標本２に
関する画像状態として周波数分布を予測するものであ
る。
【００１８】ＣＰＵ１５は、外部入力回路１６から受け
取った情報に基づいて、ステージ駆動回路１１、レボル
バ制御回路１２、ＸＹ駆動回路１７に制御指令を与え、
レボルバ１８の回転やステージ１の上下動、ＸＹ駆動、
焦点検出動作を行うようにしている。また、ＣＰＵ１５
は、予測回路１４から受け取った標本画像の周波数分布
の予測結果に基づいて、画像演算回路１３に対して鮮明
度レベルを演算する際の注目すべき周波数帯域を指定
し、さらに、対物レンズ３入れ替え後に、画像演算回路
１３からの鮮明度レベルを繰り返し受け取って、鮮明度
レベルの最大となる位置ヘステージ１を移動させるなど
の制御を行うようにしている。
取った情報に基づいて、ステージ駆動回路１１、レボル
バ制御回路１２、ＸＹ駆動回路１７に制御指令を与え、
レボルバ１８の回転やステージ１の上下動、ＸＹ駆動、
焦点検出動作を行うようにしている。また、ＣＰＵ１５
は、予測回路１４から受け取った標本画像の周波数分布
の予測結果に基づいて、画像演算回路１３に対して鮮明
度レベルを演算する際の注目すべき周波数帯域を指定
し、さらに、対物レンズ３入れ替え後に、画像演算回路
１３からの鮮明度レベルを繰り返し受け取って、鮮明度
レベルの最大となる位置ヘステージ１を移動させるなど
の制御を行うようにしている。
【００１９】次に、このように構成した実施の形態の動
作を説明する。いま、外部入力回路１６の操作により標
本観察を指示すると、落射照明用光源７が点灯され、落
射照明用光源７より出射された照明光は、ハーフミラー
４で反射され対物レンズ３を介してステージ１上の標本
２に照射される。照明光を受けた標本２の光像は、対物
レンズ３、ハーフミラー４を通り分割プリズム６に送ら
れ、２つの光路に分割され、一方は接眼レンズ５を通っ
て観察者による観察に供され、もう一方はミラー８、結
像レンズ９を通ってイメージセンサー１０に投影され
る。
作を説明する。いま、外部入力回路１６の操作により標
本観察を指示すると、落射照明用光源７が点灯され、落
射照明用光源７より出射された照明光は、ハーフミラー
４で反射され対物レンズ３を介してステージ１上の標本
２に照射される。照明光を受けた標本２の光像は、対物
レンズ３、ハーフミラー４を通り分割プリズム６に送ら
れ、２つの光路に分割され、一方は接眼レンズ５を通っ
て観察者による観察に供され、もう一方はミラー８、結
像レンズ９を通ってイメージセンサー１０に投影され
る。
【００２０】イメージセンサー１０に投影された標本２
の画像は、電気信号に変換され、画像信号演算回路１３
に送られ、ここで、ＣＰＵ１５の指示により、イメージ
センサー１０から受け取った信号から、画像の持ってい
る周波数分布や鮮明度レベルなどの特徴要素が演算さ
れ、この結果がＣＰＵ１５に送られる。
の画像は、電気信号に変換され、画像信号演算回路１３
に送られ、ここで、ＣＰＵ１５の指示により、イメージ
センサー１０から受け取った信号から、画像の持ってい
る周波数分布や鮮明度レベルなどの特徴要素が演算さ
れ、この結果がＣＰＵ１５に送られる。
【００２１】ＣＰＵ１５では、画像信号演算回路１３か
ら受け取った標本像の鮮明度レベルに基づいてステージ
駆動回路１１に指令を発し、ステージ１を対物レンズ３
の光軸方向に上下動させる。そして、ステージ１を移動
させた後についても、再度画像信号演算回路１３により
標本２の画像の鮮明度レベルを求め、以下、鮮明度レベ
ルが最大になるように、ステージ１を上下動させながら
合焦点検出動作を行うようになる。
ら受け取った標本像の鮮明度レベルに基づいてステージ
駆動回路１１に指令を発し、ステージ１を対物レンズ３
の光軸方向に上下動させる。そして、ステージ１を移動
させた後についても、再度画像信号演算回路１３により
標本２の画像の鮮明度レベルを求め、以下、鮮明度レベ
ルが最大になるように、ステージ１を上下動させながら
合焦点検出動作を行うようになる。
【００２２】次に、この状態から、光路中の対物レンズ
３を倍率の異なるものと入れ替えるような場合、ＣＰＵ
１５の制御指令によりレボルバ制御回路１２を駆動しレ
ボルバ１８を回転させて、所望する倍率の対物レンズ３
を光路中に挿入する。
３を倍率の異なるものと入れ替えるような場合、ＣＰＵ
１５の制御指令によりレボルバ制御回路１２を駆動しレ
ボルバ１８を回転させて、所望する倍率の対物レンズ３
を光路中に挿入する。
【００２３】この場合、入れ替え前と入れ替え後のそれ
ぞれの対物レンズ３の光学的特性と、入れ替え前の標本
画像の周波数分布の情報が、ＣＰＵ１５より予測回路１
４に伝達される。
ぞれの対物レンズ３の光学的特性と、入れ替え前の標本
画像の周波数分布の情報が、ＣＰＵ１５より予測回路１
４に伝達される。
【００２４】予測回路１４では、ＣＰＵ１５より受け取
った情報に基づいて、対物レンズ３を入れ替えた後の標
本画像の周波数分布が予測され、この予測結果がＣＰＵ
１５に伝達される。例えば、現在観察に用いられる対物
レンズ３の倍率が５倍で、標本画像の周波数分布が図２
に示すような特徴を有するものとすると、対物レンズ３
の倍率を１０倍のものに入れ替えた場合、ＣＰＵ１５よ
り、倍率１０倍の対物レンズ３の光学的特性と標本画像
の周波数分布の特徴が予測回路１４に伝えられる。する
と、予測回路１４では、対物レンズ入れ替え後の倍率が
２倍になるので、標本画像の周波数分布は、対物レンズ
入れ替え前の標本画像の周波数分布に比べ、周波数にし
て１／２にシフトして図３に示すようになると予測され
ＣＰＵ１５に伝達される。
った情報に基づいて、対物レンズ３を入れ替えた後の標
本画像の周波数分布が予測され、この予測結果がＣＰＵ
１５に伝達される。例えば、現在観察に用いられる対物
レンズ３の倍率が５倍で、標本画像の周波数分布が図２
に示すような特徴を有するものとすると、対物レンズ３
の倍率を１０倍のものに入れ替えた場合、ＣＰＵ１５よ
り、倍率１０倍の対物レンズ３の光学的特性と標本画像
の周波数分布の特徴が予測回路１４に伝えられる。する
と、予測回路１４では、対物レンズ入れ替え後の倍率が
２倍になるので、標本画像の周波数分布は、対物レンズ
入れ替え前の標本画像の周波数分布に比べ、周波数にし
て１／２にシフトして図３に示すようになると予測され
ＣＰＵ１５に伝達される。
【００２５】そして、この予測結果に基づいて、ＣＰＵ
１５では、図３に示す予測周波数分布の内の最も強度の
高い領域（図３のＡ部）を注目すべき周波数帯域として
画像信号演算回路１３に指定し、この場合も、ＣＰＵ１
５により画像信号演算回路１３の標本画像中の注目周波
数帯域での鮮明度レベルを求め、この鮮明度レベルが最
大になる位置まで、ステージ１を上下動させながら合焦
点検出動作を行うようになる。
１５では、図３に示す予測周波数分布の内の最も強度の
高い領域（図３のＡ部）を注目すべき周波数帯域として
画像信号演算回路１３に指定し、この場合も、ＣＰＵ１
５により画像信号演算回路１３の標本画像中の注目周波
数帯域での鮮明度レベルを求め、この鮮明度レベルが最
大になる位置まで、ステージ１を上下動させながら合焦
点検出動作を行うようになる。
【００２６】従って、このようにすれば、入れ替え前と
入れ替え後のそれぞれの対物レンズ３の光学的特性と入
れ替え前の対物レンズによる標本画像の周波数分布の特
徴から、対物レンズ３の入れ替えた後の標本２に関する
画像状態の周波数分布の注目すべき範囲を予測し、この
注目周波数帯域について、鮮明度レベルが最大になるよ
うに、ステージ１を上下動させながら合焦点検出動作を
行うようにすることで、対物レンズ３の入れ替え後の焦
点検出速度を高速化でき、さらに、例えば、標本２にご
みなどが付着していたり、迷光が入り込んでいて標本２
と別のコントラストを発生しているような場合でも、標
本２の持つ特徴と異なればこれらを排除して画像評価を
行うようにできるので、標本２に対して精度の高い焦点
検出を行うこともできる。
入れ替え後のそれぞれの対物レンズ３の光学的特性と入
れ替え前の対物レンズによる標本画像の周波数分布の特
徴から、対物レンズ３の入れ替えた後の標本２に関する
画像状態の周波数分布の注目すべき範囲を予測し、この
注目周波数帯域について、鮮明度レベルが最大になるよ
うに、ステージ１を上下動させながら合焦点検出動作を
行うようにすることで、対物レンズ３の入れ替え後の焦
点検出速度を高速化でき、さらに、例えば、標本２にご
みなどが付着していたり、迷光が入り込んでいて標本２
と別のコントラストを発生しているような場合でも、標
本２の持つ特徴と異なればこれらを排除して画像評価を
行うようにできるので、標本２に対して精度の高い焦点
検出を行うこともできる。
【００２７】次に、現在の観察に用いられる対物レンズ
３は、倍率が２０倍で、標本画像の周波数分布が、仮に
図３に示すような特徴を有するものとし、この状態か
ら、対物レンズ３の倍率を５倍のものに入れ替えたよう
な場合、ＣＰＵ１５より、倍率５倍の対物レンズ３の光
学的特性と標本画像の特徴が予測回路１４に伝えられ、
予測回路１４では、対物レンズ入れ替え後の倍率が１／
４倍になるので、標本画像の周波数分布は、対物レンズ
入れ替え前の標本画像の周波数分布に比べ、周波数にし
て４倍にシフトして図４に示すようになると予測してＣ
ＰＵ１５に伝達される。
３は、倍率が２０倍で、標本画像の周波数分布が、仮に
図３に示すような特徴を有するものとし、この状態か
ら、対物レンズ３の倍率を５倍のものに入れ替えたよう
な場合、ＣＰＵ１５より、倍率５倍の対物レンズ３の光
学的特性と標本画像の特徴が予測回路１４に伝えられ、
予測回路１４では、対物レンズ入れ替え後の倍率が１／
４倍になるので、標本画像の周波数分布は、対物レンズ
入れ替え前の標本画像の周波数分布に比べ、周波数にし
て４倍にシフトして図４に示すようになると予測してＣ
ＰＵ１５に伝達される。
【００２８】そして、この予測結果に基づいて、ＣＰＵ
１５では、図４に示す予測周波数分布の内の最も強度の
高い領域を注目周波数帯域として画像信号演算回路１３
に指定する同時に、この指定された周波数帯域がイメー
ジセンサー１０で検出可能な周波数帯域（例えば図４の
Ｂ領域）であるかを判断し、検出可能な周波数帯域であ
れば、上述したと同様にして画像信号演算回路１３の標
本画像中の注目周波数帯域での鮮明度レベルを求め、ス
テージ１を上下動させながら合焦点検出動作を行い、一
方、指定された周波数帯域がイメージセンサー１０の画
素サイズに対して高すぎて検出できないと判断した場合
は、対物レンズの入れ替え後の焦点検出動作を停止する
ようにすれば、不必要な動作を避けることができる。 （第２の実施の形態）上述した第１の実施の形態では、
予測回路１４により標本画像の周波数分布を予測するよ
うにしたが、この第２の実施の形態では、標本画像の画
像形状を予測して、この予測した画像形状の情報に基づ
いて合焦点検出動作を行うようにしている。
１５では、図４に示す予測周波数分布の内の最も強度の
高い領域を注目周波数帯域として画像信号演算回路１３
に指定する同時に、この指定された周波数帯域がイメー
ジセンサー１０で検出可能な周波数帯域（例えば図４の
Ｂ領域）であるかを判断し、検出可能な周波数帯域であ
れば、上述したと同様にして画像信号演算回路１３の標
本画像中の注目周波数帯域での鮮明度レベルを求め、ス
テージ１を上下動させながら合焦点検出動作を行い、一
方、指定された周波数帯域がイメージセンサー１０の画
素サイズに対して高すぎて検出できないと判断した場合
は、対物レンズの入れ替え後の焦点検出動作を停止する
ようにすれば、不必要な動作を避けることができる。 （第２の実施の形態）上述した第１の実施の形態では、
予測回路１４により標本画像の周波数分布を予測するよ
うにしたが、この第２の実施の形態では、標本画像の画
像形状を予測して、この予測した画像形状の情報に基づ
いて合焦点検出動作を行うようにしている。
【００２９】この場合、図１に示す予測回路１４は、レ
ボルバ１８により光路中の対物レンズ３の入れ替えを行
う場合、入れ替え前と入れ替え後のそれぞれの対物レン
ズ３の光学的特性と、入れ替え前の標本画像の画像形状
の情報をＣＰＵ１５から受け取るようになっていて、こ
の受け取った情報に基づいて対物レンズ３を入れ替えた
後の標本２に関する画像形状を予測するものである。そ
の他は、図１と同様なので、ここでは、同図を援用する
ものとする。
ボルバ１８により光路中の対物レンズ３の入れ替えを行
う場合、入れ替え前と入れ替え後のそれぞれの対物レン
ズ３の光学的特性と、入れ替え前の標本画像の画像形状
の情報をＣＰＵ１５から受け取るようになっていて、こ
の受け取った情報に基づいて対物レンズ３を入れ替えた
後の標本２に関する画像形状を予測するものである。そ
の他は、図１と同様なので、ここでは、同図を援用する
ものとする。
【００３０】このような場合も、光路中の対物レンズ３
を倍率の異なるものと入れ替えるには、ＣＰＵ１５の制
御指令によりレボルバ制御回路１２を駆動しレボルバ１
８を回転させて、所望する倍率の対物レンズ３を光路中
に挿入する。
を倍率の異なるものと入れ替えるには、ＣＰＵ１５の制
御指令によりレボルバ制御回路１２を駆動しレボルバ１
８を回転させて、所望する倍率の対物レンズ３を光路中
に挿入する。
【００３１】この場合、入れ替え前と入れ替え後のそれ
ぞれの対物レンズ３の光学的特性と、入れ替え前の標本
画像の形状の情報が、ＣＰＵ１５より予測回路１４に伝
達される。
ぞれの対物レンズ３の光学的特性と、入れ替え前の標本
画像の形状の情報が、ＣＰＵ１５より予測回路１４に伝
達される。
【００３２】予測回路１４では、ＣＰＵ１５より受け取
った情報に基づいて、対物レンズ３を入れ替えた後の標
本画像の形状が予測され、この予測結果がＣＰＵ１５に
伝達される。例えば、現在の観察に用いられる対物レン
ズ３は、倍率が５倍で、標本画像の形状が図５に示すよ
うな特徴を有するものとすると、対物レンズ３の倍率を
１０倍のものに入れ替えた場合、ＣＰＵ１５より、倍率
１０倍の対物レンズ３の光学的特性と標本画像の形状特
徴が予測回路１４に伝えられ、予測回路１４では、対物
レンズ入れ替え後の倍率が２倍になるので、標本画像の
形状は、対物レンズ入れ替え前の標本画像の形状に比
べ、図６に示すようになると予測してＣＰＵ１５に伝達
される。
った情報に基づいて、対物レンズ３を入れ替えた後の標
本画像の形状が予測され、この予測結果がＣＰＵ１５に
伝達される。例えば、現在の観察に用いられる対物レン
ズ３は、倍率が５倍で、標本画像の形状が図５に示すよ
うな特徴を有するものとすると、対物レンズ３の倍率を
１０倍のものに入れ替えた場合、ＣＰＵ１５より、倍率
１０倍の対物レンズ３の光学的特性と標本画像の形状特
徴が予測回路１４に伝えられ、予測回路１４では、対物
レンズ入れ替え後の倍率が２倍になるので、標本画像の
形状は、対物レンズ入れ替え前の標本画像の形状に比
べ、図６に示すようになると予測してＣＰＵ１５に伝達
される。
【００３３】この予測結果に基づいて、ＣＰＵ１５で
は、図６に示す予測画像形状から焦点検出に必要なコン
トラストの最も強い領域（図６のＣ部）を注目すべき形
状領域として画像信号演算回路１３に指定し、ＣＰＵ１
５により画像信号演算回路１３の標本画像中の注目形状
領域での鮮明度レベルを求め、この鮮明度レベルが最大
になる位置まで、つまり、注目領域のコントラスト強度
が最も強くなる位置までステージ１を上下動させながら
合焦点検出動作を行うようになる。
は、図６に示す予測画像形状から焦点検出に必要なコン
トラストの最も強い領域（図６のＣ部）を注目すべき形
状領域として画像信号演算回路１３に指定し、ＣＰＵ１
５により画像信号演算回路１３の標本画像中の注目形状
領域での鮮明度レベルを求め、この鮮明度レベルが最大
になる位置まで、つまり、注目領域のコントラスト強度
が最も強くなる位置までステージ１を上下動させながら
合焦点検出動作を行うようになる。
【００３４】このようにしても、予め与えられる対物レ
ンズ３の光学的特性と標本の画像形状の特徴から注目す
べき形状領域を予測し、この注目の形状領域について、
鮮明度レベルが最大になるように、ステージ１を上下動
させながら合焦点検出動作を行うようにすることで、対
物レンズ３の入れ替え後の焦点検出の速度を高速化で
き、さらに、例えば、標本２にごみなどが付着していた
り、迷光が入り込んでいて標本２と別のコントラストを
発生しているような場合でも、標本２の持つ特徴と異な
ればこれらを排除して画像評価を行うようにできるの
で、標本２に対して精度の高い焦点検出を行うこともで
きる。
ンズ３の光学的特性と標本の画像形状の特徴から注目す
べき形状領域を予測し、この注目の形状領域について、
鮮明度レベルが最大になるように、ステージ１を上下動
させながら合焦点検出動作を行うようにすることで、対
物レンズ３の入れ替え後の焦点検出の速度を高速化で
き、さらに、例えば、標本２にごみなどが付着していた
り、迷光が入り込んでいて標本２と別のコントラストを
発生しているような場合でも、標本２の持つ特徴と異な
ればこれらを排除して画像評価を行うようにできるの
で、標本２に対して精度の高い焦点検出を行うこともで
きる。
【００３５】次に、例えば、現在観察に用いられる対物
レンズ３の倍率が５倍で、標本画像の形状が図７に示す
ような特徴を有するものとすると、対物レンズ３の倍率
を１０倍のものに入れ替えた場合、ＣＰＵ１５より、倍
率１０倍の対物レンズ３の光学的特性と標本の画像形状
の特徴が予測回路１４に伝えられる。この場合、予測回
路１４では、対物レンズ入れ替え後の倍率が２倍になる
ので、現在観察している標本２の画像が、イメージセン
サー１０の入力範囲から外れてしまうことを予測するこ
とがある（図８のＤ領域）。
レンズ３の倍率が５倍で、標本画像の形状が図７に示す
ような特徴を有するものとすると、対物レンズ３の倍率
を１０倍のものに入れ替えた場合、ＣＰＵ１５より、倍
率１０倍の対物レンズ３の光学的特性と標本の画像形状
の特徴が予測回路１４に伝えられる。この場合、予測回
路１４では、対物レンズ入れ替え後の倍率が２倍になる
ので、現在観察している標本２の画像が、イメージセン
サー１０の入力範囲から外れてしまうことを予測するこ
とがある（図８のＤ領域）。
【００３６】この予測がＣＰＵ１５に伝えられると、Ｃ
ＰＵ１５では、図８のＤ領域に示す標本像をイメージセ
ンサー１０上に投影するために、ステージ１をＸＹ方向
にどれたけ移動すればよいかが演算し、この結果により
ＸＹ駆動回路１７が制御され、ステージ１上の標本２の
画像（図８のＤ領域）がイメージセンサー１０上に投影
されるように調整される。
ＰＵ１５では、図８のＤ領域に示す標本像をイメージセ
ンサー１０上に投影するために、ステージ１をＸＹ方向
にどれたけ移動すればよいかが演算し、この結果により
ＸＹ駆動回路１７が制御され、ステージ１上の標本２の
画像（図８のＤ領域）がイメージセンサー１０上に投影
されるように調整される。
【００３７】この状態から、画像信号演算回路１３によ
る標本画像中の領域での鮮明度レベルが求められ、この
鮮明度レベルが最大になる位置までステージ１を上下動
させながら合焦点検出動作が行われ、その後、合焦が得
られたら、再度ＸＹ駆動回路１７にＣＰＵ１５より指令
を出し、ステージ１の位置を元にもどす。
る標本画像中の領域での鮮明度レベルが求められ、この
鮮明度レベルが最大になる位置までステージ１を上下動
させながら合焦点検出動作が行われ、その後、合焦が得
られたら、再度ＸＹ駆動回路１７にＣＰＵ１５より指令
を出し、ステージ１の位置を元にもどす。
【００３８】従って、このようにすれば、対物レンズ３
の入れ替え時に、標本２を見失うことがなくなり、焦点
検出の動作の安定度をさらに高めることができ、これに
より、特に顕微鏡とＸＹスキャニングステージを組み合
わせた自動検査装置などにおいて人の目による確認作業
を軽減させることも可能になる。
の入れ替え時に、標本２を見失うことがなくなり、焦点
検出の動作の安定度をさらに高めることができ、これに
より、特に顕微鏡とＸＹスキャニングステージを組み合
わせた自動検査装置などにおいて人の目による確認作業
を軽減させることも可能になる。
【００３９】なお、本発明には、以下の発明も含まれる
ものである。 （１）請求項２記載の自動焦点検出装置において、前記
制御手段は、前記予測手段で予測された標本画像の周波
数帯域が前記イメージセンサーの画像入力範囲から外れ
ると判断すると、焦点検出動作を停止するようにしてい
る。
ものである。 （１）請求項２記載の自動焦点検出装置において、前記
制御手段は、前記予測手段で予測された標本画像の周波
数帯域が前記イメージセンサーの画像入力範囲から外れ
ると判断すると、焦点検出動作を停止するようにしてい
る。
【００４０】（２）請求項３記載の自動焦点検出装置に
おいて、さらにステージを対物レンズの光軸と直交する
方向に駆動する駆動手段を有し、前記制御手段は、前記
予測手段で予測された標本画像が前記イメージセンサー
の画像入力範囲から外れると判断すると、前記駆動手段
により前記ステージを駆動して前記標本画像が前記イメ
ージセンサーで捕らえられる位置まで移動するようにし
ている。
おいて、さらにステージを対物レンズの光軸と直交する
方向に駆動する駆動手段を有し、前記制御手段は、前記
予測手段で予測された標本画像が前記イメージセンサー
の画像入力範囲から外れると判断すると、前記駆動手段
により前記ステージを駆動して前記標本画像が前記イメ
ージセンサーで捕らえられる位置まで移動するようにし
ている。
【００４１】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、対
物レンズの入れ替え後の焦点検出動作の高速化を得られ
るとともに、迷光、ゴミなどの外乱に対しても影響を受
けにくい精度の高い焦点検出を実現することができる。
物レンズの入れ替え後の焦点検出動作の高速化を得られ
るとともに、迷光、ゴミなどの外乱に対しても影響を受
けにくい精度の高い焦点検出を実現することができる。
【図１】本発明の第１の実施の形態の自動焦点検出装置
を顕微鏡に適用した場合の概略構成を示す図。
を顕微鏡に適用した場合の概略構成を示す図。
【図２】第１の実施の形態を説明するための図。
【図３】第１の実施の形態を説明するための図。
【図４】第１の実施の形態を説明するための図。
【図５】本発明の第２の実施の形態を説明するための
図。
図。
【図６】第２の実施の形態を説明するための図。
【図７】第２の実施の形態を説明するための図。
【図８】第２の実施の形態を説明するための図。
１…ステージ、 ２…標本、 ３…対物レンズ、 ４…ハーフミラー、 ５…接眼レンズ、 ６…分割プリズム、 ７…落射照明用光源、 ８…ミラー、 ９…結像レンズ、 １０…イメージセンサー、 １１…ステージ駆動回路、 １２…レボルバ制御回路、 １３…画像信号演算回路、 １４…予測回路、 １５…ＣＰＵ、 １６…外部入力回路、 １７…ＸＹ駆動回路。
Claims (3)
- 【請求項１】 標本を載置するステージと、 前記ステージ上の標本に対する光路中に選択的に挿入さ
れる光学条件の異なる複数の対物レンズと、 前記標本の画像が前記対物レンズより結像光学系を介し
て投影されるイメージセンサーと、 このイメージセンサーより出力される前記標本の画像信
号に基づいて前記標本画像の特徴要素を演算する画像信
号演算手段と、 前記光路に選択的に挿入される対物レンズの入れ替え前
と入れ替え後のそれぞれの対物レンズの特徴および入れ
替え前の標本画像の特徴要素から対物レンズ入れ替え後
の標本画像の特徴要素を予測する予測手段と、 この予測手段により予想された標本画像の特徴要素に基
づいて前記ステージ上の標本に対する合焦動作を制御す
る制御手段とを具備したことを特徴とする自動焦点検出
装置。 - 【請求項２】 前記予測手段は、対物レンズ入れ替え後
の標本画像の特徴要素として前記標本画像の周波数分布
を予測し、 前記制御手段は、前記予測手段で予測された周波数分布
の強度の高い領域に注目して前記ステージ上の標本に対
する合焦動作を制御することを特徴とする請求項１記載
の自動焦点検出装置。 - 【請求項３】 前記予測手段は、対物レンズ入れ替え後
の標本画像の特徴要素として前記標本画像の形状を予測
し、 前記制御手段は、前記予測手段で予測された標本画像形
状のコントラストの強い領域に注目して前記ステージ上
の標本に対する合焦動作を制御することを特徴とする請
求項１記載の自動焦点検出装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8250593A JPH1096848A (ja) | 1996-09-20 | 1996-09-20 | 自動焦点検出装置 |
| US08/933,261 US5886813A (en) | 1996-09-20 | 1997-09-18 | Autofocus control apparatus and method applied to microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8250593A JPH1096848A (ja) | 1996-09-20 | 1996-09-20 | 自動焦点検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1096848A true JPH1096848A (ja) | 1998-04-14 |
Family
ID=17210205
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8250593A Withdrawn JPH1096848A (ja) | 1996-09-20 | 1996-09-20 | 自動焦点検出装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5886813A (ja) |
| JP (1) | JPH1096848A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011008245A (ja) * | 2009-05-29 | 2011-01-13 | Olympus Corp | 生体観察装置 |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7133078B2 (en) * | 1997-05-21 | 2006-11-07 | Olympus Optical Co., Ltd. | Automatic focal point sensing device |
| US6259080B1 (en) * | 1998-03-18 | 2001-07-10 | Olympus Optical Co. Ltd. | Autofocus device for microscope |
| US6974938B1 (en) | 2000-03-08 | 2005-12-13 | Tibotec Bvba | Microscope having a stable autofocusing apparatus |
| MXPA02009721A (es) * | 2000-04-03 | 2004-09-06 | Pocketscope Com Llc | Lentes y usos, incluyendo microscopios. |
| US6970789B2 (en) * | 2001-02-02 | 2005-11-29 | Cellomics, Inc. | Method of determining a best initial focal position estimate |
| JP4937457B2 (ja) * | 2001-03-01 | 2012-05-23 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡制御装置、顕微鏡制御システム、顕微鏡の制御方法、プログラム、及び記録媒体 |
| US6441958B1 (en) * | 2001-03-29 | 2002-08-27 | Chak Sing Richard Yeung | Digital imaging microscope |
| DE50209087D1 (de) * | 2002-10-31 | 2007-02-08 | Leica Microsystems | Vergleichendes optisches System |
| US7813579B2 (en) * | 2004-05-24 | 2010-10-12 | Hamamatsu Photonics K.K. | Microscope system |
| US20060066751A1 (en) * | 2004-09-24 | 2006-03-30 | Lu Yen H | Micro-photoing system |
| US8878923B2 (en) * | 2007-08-23 | 2014-11-04 | General Electric Company | System and method for enhanced predictive autofocusing |
| JP5440801B2 (ja) * | 2008-03-11 | 2014-03-12 | 株式会社ニコン | 基準球検出装置、基準球位置検出装置、及び、三次元座標測定装置 |
| US8390926B2 (en) * | 2010-08-12 | 2013-03-05 | Photon Dynamics, Inc. | High speed acquisition vision system and method for selectively viewing object features |
| JP5696396B2 (ja) | 2010-08-16 | 2015-04-08 | ソニー株式会社 | 顕微鏡及びゴースト除去方法 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS575016A (en) * | 1980-06-12 | 1982-01-11 | Canon Inc | Image definition detector |
| US4695137A (en) * | 1986-02-26 | 1987-09-22 | Carl-Zeiss-Stiftung, Heidenheim/Brenz | Motorized focus drive for a microscope |
| JPH02109008A (ja) * | 1988-10-18 | 1990-04-20 | Sony Corp | 自動焦点制御方法 |
| US5260825A (en) * | 1989-03-20 | 1993-11-09 | Olympus Optical Co., Ltd. | Microscope |
| US5235375A (en) * | 1990-04-12 | 1993-08-10 | Olympus Optical Co., Ltd. | Focusing position detecting and automatic focusing apparatus with optimal focusing position calculation method |
| JP2925647B2 (ja) * | 1990-04-16 | 1999-07-28 | オリンパス光学工業株式会社 | 顕微鏡変倍装置 |
| US5557456A (en) * | 1994-03-04 | 1996-09-17 | Oncometrics Imaging Corp. | Personal interface device for positioning of a microscope stage |
| IL111229A (en) * | 1994-10-10 | 1998-06-15 | Nova Measuring Instr Ltd | Autofocusing microscope |
| JP3357210B2 (ja) * | 1995-02-03 | 2002-12-16 | 株式会社日立国際電気 | 自動焦点検出方法 |
-
1996
- 1996-09-20 JP JP8250593A patent/JPH1096848A/ja not_active Withdrawn
-
1997
- 1997-09-18 US US08/933,261 patent/US5886813A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011008245A (ja) * | 2009-05-29 | 2011-01-13 | Olympus Corp | 生体観察装置 |
| US9810895B2 (en) | 2009-05-29 | 2017-11-07 | Olympus Corporation | Biological observation apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5886813A (en) | 1999-03-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9930243B2 (en) | Variable focal length imaging system | |
| JP6717692B2 (ja) | 倍率調整可能光学システムにおける可変焦点距離レンズの適応的な動作周波数の調整方法 | |
| JPH1096848A (ja) | 自動焦点検出装置 | |
| US5270527A (en) | Method for autofocusing of microscopes and autofocusing system for microscopes | |
| JPH08190056A (ja) | 観察光学装置 | |
| JP7149700B2 (ja) | 高速可変焦点距離レンズを含む撮像システムにおける焦点探索範囲の拡大 | |
| JP4021183B2 (ja) | 合焦状態信号出力装置 | |
| JP5096955B2 (ja) | 観察装置の制御方法および観察装置ならびに観察装置の制御プログラム | |
| JPS58181005A (ja) | 自動焦点位置合せ及び測定装置並びに方法 | |
| JP5064764B2 (ja) | 自動焦点検出装置、その制御方法、及び顕微鏡システム | |
| EP1326116B1 (en) | Variable magnification microscope | |
| JP3631304B2 (ja) | 顕微鏡の自動焦点整合装置 | |
| JP2001091821A (ja) | 顕微鏡用オートフォーカスシステム | |
| JP3349711B2 (ja) | 自動焦点検出装置 | |
| EP1972982B1 (en) | Microscope equipped with automatic focusing mechanism and method of adjusting the same | |
| JP4477181B2 (ja) | 顕微鏡装置 | |
| JP2013020172A (ja) | オートフォーカス装置、顕微鏡装置 | |
| US20040145816A1 (en) | Microscope lens arrangement | |
| JP2000352661A (ja) | 合焦装置 | |
| JP2000056232A (ja) | 顕微鏡 | |
| JP3078083B2 (ja) | 自動合焦装置 | |
| JPH11167060A (ja) | 合焦検出装置及び方法 | |
| JP3845164B2 (ja) | 自動焦点調整方法及びその装置 | |
| JPH05127068A (ja) | 双眼実体顕微鏡 | |
| JPH07124175A (ja) | 手術用顕微鏡 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20031202 |