JPH02174238A - 半導体封止装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は半導体封止装置に関する。

（従来の技術） 従来の半導体封止装置は、樹脂封止すべく供給されるリ
ードフレームと、樹脂の粉を固めた樹脂タブレットを搬
送機構（ロータ）によって金型内ヘセットされて樹脂封
止されるものが知られている。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上記の半導体封止装置には次のような課
題が有る。

樹脂タブレットの搬送機構への送り込みは、上方から搬
送機構内の所定位置へ落下させることにより行なわれて
いるため、川に樹脂粉を固めただけの樹脂タブレットは
脆いので崩れてしまうことが多い。樹脂タブレットが崩
れてしまうと、崩れた樹脂粉が半導体封止装置内を汚し
てしまう。特に、リードフレーム上や金型のキャビティ
内に落下した場合は不良品が形成されてしまうという課
題が有る。

従って、本発明は樹脂タブレットの損傷を防止してクリ
ーンで不良品の形成防止が可能な半導体封止装置を提供
することを目的とする。

（課題を解決するための手段） 上記課題を解決するため本発明は次の構成を備える。

すなわち、リードフレームと樹脂タブレットが所定の位
置に載置される載置部と、該載置部の上方と、前記リー
ドフレームを樹脂封止する金型の上方との間に亘って往
復動可能なロータと、該ロータに設けられ、ロータが前
記載置部上方に位置した際に、前記リードフレームを把
持可能であり、ロータが前記金型上方に位置した際に、
リードフレームを金型内に七ンＩ・すべく把持したリー
ドフレームを解放可能な把持機構と、前記ロータに設け
られ、ロータが前記′ｆ２置部上方に位置した際に、送
り込まれた前記樹脂タブレットを保持可能であり、ロー
タが前記金型上方に位置した際に、樹脂タブレットを金
型内に七ソ卜すべく保持した樹脂タブレットを解放可能
な保持機構と、前記載置部からｍ１記保持機構へ前記樹
脂タブレットを下方から押上げて送り込む押上機構と、
前記ロータを前記往復動させるための駆動機構とを具備
することを特徴とする。

（作用） 作用について説明する。

樹脂タブレットは押上機構によってロータへ下方から送
り込まれるので、送り込みの際に樹脂タブレットには衝
撃力は作用しない。従って、樹脂タブレットが崩れるこ
とがないので樹脂粉による汚損や、それに起因する不良
成形品の発生を防止することができる。

（実施例） 以下、本発明の好適な実施例について添付図面と共に詳
述する。

まず構成について説明する 第１図には本実施例の半導体封止装置の正面図、第２図
にはその平面図を示す。この装置の概要について説明す
ると、リードフレームの樹脂封止用タブレットはホッパ
１０から投入され、位置Ｂ（以下、Ｂステーションと呼
ぶ）において整列される。Ｂステーションにおいて整列
された樹脂タブレットはリードフレームと共に位置Ａ（
以下、Ａステーションと呼ぶ）においてロータ（不図示
）に保持され、ロータが金型１２の位置まで移動して金
型１２内にリードフレーム１４・・・と樹脂タブレット
がセットされるのである。本実施例の半導体封止装置で
は同時に４列のリードフレーム１４・・・を同時に封止
するものを例として挙げる。

次に各構成部分毎に詳しく説明する。

第３図には、Ｂステーションにおいて樹脂タブレットを
整列させるためのタブレットロータ１６の平面図を示す
。第４図にはそのタブレットロータ１６をＢステーショ
ンからＡステーションへＩＭ送する１絞込機構を示した
側面図を示す。

タブレットロータ１６は平面コ字伏をなし、上面にはＨ
［！ｉｌずつ２列のタブレットホルダ１８・・・が配さ
れている。タブレットホルダ１８・・は両端開口した筒
状に形成されており、タブレットロータ１Ｇ上面に嵌着
固定されている。また、タブレットロータ１６にはタブ
レットホルダ１８・・・の内径より小径で、かつ樹脂タ
ブレット２０・・・より小径の透孔２２・・・がタブレ
ソ（・ホルダ１８・・・と間軸に透設されている。

ホッパ１０から投入された樹脂タブレンＩ・２０・・・
は各タブレットホルダ１８・・・に、１個ずつ適宜な分
配機構（不図示）により挿入される。

樹脂タブレット２０・・・は透孔２２・・・より大径な
のでタブレットホルダ１８・・・内より落下しない。

タブレットロータ１６の右端部は、本体２４に架設され
た日ソドレスシリンダ２６の駆動部２８に設けられた支
持部３０に取り付けられており、シリンダ部３２の端部
からエアが供給されることにより駆動部２８が左右方向
へ移動可能になっている。その際、タブレットロータ１
６の両側縁は本体２４に設けられたローラガイド３４・
・・によって上下両面及び側面がガイドされる。口・ノ
ドレスシリンダ２６の駆動部２８が右方へ移動すると、
タブレットロータ１Ｇも駆動部２８に設けられた支持部
３０と一体に右方へ移動してタブレ・ノドロータ１６は
Ａステーションへ進むことができる。

第５図にはＡステーションの側面図を示す。タブレット
ロータ１６は前記の搬送機構によりＡステーションへ送
られる。Ａステーションにおけるタブレットロータ１６
の位置を二点鎖線１６ａに示す。同図において、３６は
押上機構であり、ベース３８上に下端が固定されたシリ
ンダ装置４０と、そのシリンダ装置４０のロッド４２上
端に固定された可動板４４と、その可動板４４上面に所
定の間隙をもって植設された押上棒４６・・・とからな
っている。押上棒４６・・・はロッド４２の伸長により
可動板４４が上動した際に一斉に上＋ＪＪするようにな
っている。押上棒４６・・・の太さは前記タブレットロ
ータＩ６の透孔２２・・・より小径に形成されており、
また、タブレットロータ１６が位置１６ａに在る時に、
上動された押上棒４６・・・が透孔２２・・・及びタブ
レ・ノドホルダ■８・・・内を貫挿可能になっている。

４８は載置部であり、支柱５０・・・、中間板５２、支
柱５４・・・を介してベース３８に対して位置が固定さ
れている。載置部４８の下面には両端が開口したガイド
筒５６・・・が下方へ延設されている。そのガイド筒５
６・・・はａ置部４８に透設された透孔５８に嵌着固定
されている。ガイド筒５６・・・の内径は樹脂タブレ・
ノド２０・・・が通過可能な大きさに形成されている。

つまり、タブレットロータ１６が位置１６ａに在る時、
押上棒４６・・・が上動されると押上棒４６・・・はタ
ブレットロータ１６内へ進入して樹脂タブレット２０・
・・を上方へ押し上げる。その際、ガイドｆｆ１５６・
・・はタブレットホルダ１８・の直上に位置するよう設
けられているため、樹脂タブレ゛ット２０・・・はガイ
ド筒５６・・・内を通り載置部４８上面より突出するよ
うになっている。また載置部４８に′は、第１図のリー
ドフレーム供給機構６０から樹脂封止されるリードフレ
ーム１４・・・が４列所定の位置へ供給される。

載置部４８は図示しないがもう１組第５図紙面垂直方向
に対して平行に配設されている。

第６図に載置部４８の平面図を示す。リードフレーム供
給機構６０によって供給されたリードフレーム１４・・
・は透孔５８・・・の列の両側に凹設された凹溝６２・
・・上に載置される。その凹溝６２・・・の両側部には
切欠６４・・・が刻設されているが、この切欠６４・・
・は後述するロータの把持機構を構成する爪がリードフ
レーム１４・・・を把持する際に通過する逃がし用の切
欠である。載置部４８の上面にリードフレーム１４・・
・が載置され、かつ樹脂タブレッｌ−２０・・・が透孔
５８・・・を通って載置部４８上面に突出したら、これ
らの樹脂タブレット２０・・・とり一トフレーム１４・
・・を金型１２まで１般送する必要が有る。この搬送に
ロータが用いられる。

第７図にはロータ６６が樹脂タブレ・ノド２０・・・を
保持する状態を示している。ロータ６６は載置部４８上
方に位置した際には保持機構が樹脂タブレット２０・・
・を保持可能になっている。

その保持機構について第８図と第９図をさらに参照して
説明する。

第８図にはロータ６６の底面図を示し、第９図にはロー
タ６６の内部構造の平面図を示す。ロータ６Ｇの下面に
は樹脂タブレット２０・・・が通過可能に棒体６８・・
・が４本ずつ垂下された枠部７０・・・が８組ずつ２列
平行に設けられている。

７２・・・はシャッタであり、それぞれ８（固の穴７４
・・・が枠部７０・・・の間隔と同間隔に透設された１
枚の板状体である。その穴７４・・・には内側へ向けて
突出した突部７６・・・が形成されている。第７図に示
す押上棒４６・・・が樹脂タブレット２０・・・を枠部
７０・・・内へ押し入れた状態において、シャッタ７２
・・・が右方へ突部７６・・・の長さ分だけ移動すると
、突部７６・・・が樹脂タブレット２０・・・を下から
支えることが可能となり、押上棒４６・・・が下動して
も樹脂タブレッＩ・２０・・・はロータ６６に保持され
るのである。シャッタ７２・・・の左右方向への駆動機
構を第９図に示す。シャッタ７２・・・上面に立設され
たピン７８・・・が長孔８０・・・を通りロータ６６の
上面に突出している。このピン７８・・・には軸８２・
・・を介して平面的に回動可能な回動片８４・・・の−
端がスライド可能に掛止しており、回動片８４・・・の
他端にはロータ６６上面に固定されたシリンダ装置８６
・・・のロッド８８先端がスライド可能に掛止している
。従って、ロッド８８・・・の伸縮に伴ってシャッタ７
２・・・は左右方向へ駆動されるのである。なお、シャ
ッタ７２・・・の側縁部は掛止部材９０・・・によって
支持及びガイドされており下方への落下が防止されてい
る。

枠部７０・・・に樹脂タブレット２０・・・を収容して
シャッタ７２・・・を閉じることにより樹脂タブレット
２０・・・を保持したロータ６６は、金型１２まで樹脂
タブレット２０・・・を搬送し、シャッタ７２・・・を
開いて樹脂タブレット２０・・・を金型１２内へ落下さ
せるのであるが、その際枠部７０・・・内へ上方から突
棒９２・・・を押し入れることにより確実に樹脂タブレ
ット２０・・・を落下させるようになっている。その突
出し機構について第１Ｏ図と第１１図を参照して説明す
る。突棒９２・・・の上端は移動板９４に固定されてい
る。逆り字状のリンク９６の上端は移動板９４に固定さ
れ、下端は軸９８を中心に回動可能な回動リンク１００
ヘスライド可能に掛止されている。またシリンダ装置１
０２のロッド１０４先端は軸１０６により回動リンク１
００へ軸着されている。従って、シリンダ装置１０２の
ロッド１０６が伸縮することにより移動板９４は上下動
し、突棒９２・・・もそれに伴って上下動可能になって
いる。

続いてリードフレーム１４・・・の把持機構について説
明する。第８図において、１０８・・・は把持機構であ
る爪であり、載置部４８上のリードフレーム１４・・・
を挾持すべく設けられている。その爪１０８・・・の開
閉動機構について第１１図と共に説明する。爪１０８・
・・はロータ本体に対して固定された軸１１０・・・を
中心に回動自在に軸着されている。しかし、爪１０８・
・・はスプリング１１２・・・に上方へ付勢された押動
部材１１４・・・により常時閉じる方向へ付勢されてい
る。シリンダ装置１１６が駆動されるとロッド１１８が
爪１０８・・・の基部１２０・・・をスプリング１１２
・・・の付勢力に抗して下方へ押すと、爪１０８・・・
は軸１１０・・・を中心に回動して開くようになってい
る。このようにしてロータ６６の爪１０８・・・がリー
ドフレーム１４・・・を把持可能になっている。

ロー１”６６がリードフレーム１４・・・及ヒ樹脂タブ
レット２０・・・を載置部４８上方で把持したり、金型
１２上でそれらを解放したりする場合にはロータ６６自
体を上下動させる必要が有る。

その上下動機構を第１０図と共に説明する。

１２２はシリンダ装置であり、ロータ６６を載置部４８
上方から金型１２上方の間に亘って往復動させるための
ガイドレール（後述）へ嵌合スる連結部１２４へ下端が
固定されている。ガイドレール（後述）は本体へ固定さ
れているためシリンダ装置１２２の高さ位置は一定とな
る。そのシリンダ装置１２２のロッド１２６の上端はロ
ータ６６の枠体１２８へ固定されており、ロッド１２６
の伸縮によりロータ６６は上下動が可能になっている。

次にロータ６６をｖ２装部４８上方と金型１２上方との
間に亘って往ｉ又動させるための駆動機構について第１
２図と第１３図を参照して説明する。

前述した連結部１２４はロータ６６の片側に設けられて
おり、ロータ６６の前記往復動方向へ延びるように固定
されたレール１３０へ嵌合している。

つまりレール１３０内壁面に曲設された凸条部１３２へ
連結部１２４の外側部に設けられた嵌合片１３４の凹溝
１３６が摺動自在に嵌合しておりその結果ロータ６６は
レール１３０に沿ってレール１３０のしさ方向へ案内さ
れるようになっている。ロータ６６の往復動の駆動手段
としては本体１４０に対して固定されたシリンダ装置１
３８のロッド１４０の先端が連結部１２４に固定されて
おり、ロッド１４０の伸縮によりロータ６６は往復動を
行うようになっている。

続いてこの半導体封止装置の動作について説明する。ホ
ッパ１０から樹脂タブレット２０・・・が投入されると
分配機構（不図示）により樹脂り、プレット２０・・・
はタブレットロータ１６のタブレットホルダ１８・・・
内へ１個ずつ挿入される。

ロッドレスシリンダ２６が駆動され、駆動部２８が矢印
入方向へ駆動されるとタブレットロータ１６は矢印Ａ方
向（Ａステーション方向）へ進む。

Ａステーションの所定位置１６ａにタブレットロータ１
６が位置すると、シリンダ装置４０が駆動され、押上棒
４６・・・が樹脂タブレット２０・・・を押し上げて載
置部４８上へ突出させる。

同時にリードフレーム供給機構６０からリードフレーム
１４・・・が載置部４８上の所定位置へ送り込まれる。

この時、載置部４８上方に待機しているロータ６６はシ
リンダ装置１２２が駆動されて下動し、樹脂タブレット
２０・・・は枠部７０・・・内に入り、シリンダ装置８
Ｇ・・・の駆動によりシャッタ７２・・・が閉じられる
。シャッタ７２・・・が閉じたらシリンダ装置４０は押
上＋６４６・・・を下降させる。一方、爪１０８・・・
はシリンダ装置１１６が駆動されて先端を開き載置部４
８上のリードフレーム１４・・・を把持する。樹脂タブ
レット２０・・・が枠部７０・・・に収容保持され、リ
ードフレーム１４・・・が爪１０８・・によって把持さ
れたらシリンダ装置１２２の駆動によりロータ６６は上
昇する。所定の高さに達したらシリンダ装置１３８が駆
動されてロータ６６を金型１２上方までレール１３０に
沿って移動させる。

ロータ６６が金型１２上方に達したらシリンダ装置１２
２が駆動してロータ６６は下降する。そしてシリンダ装
置１１６が駆動されて爪１０８・・・が開きリードフレ
ーム１４・・・は金型１２内にセットされる。同時にシ
リンダ装？ｉ！８Ｇ・・・が駆動され、シャッタ７２・
・・が開くと樹脂タブレット２０・・・も金型１２内ヘ
セツトされる。

樹脂タブレット２０・・・とり−ドフレーム１４・・・
がセットされたらロータ６６は上昇し、再び載置部４８
上方へ戻り次のサイクルに備える。

て来たが、本発明は上述の実施際に限定されるのではな
く、発明の精神を逸脱しない範囲で多（の改変を施し得
るのはもちろんである。

（発明の効果） 本発明に係る半導体封止装置を用いると、樹脂タブレッ
トはロータへ下方から送り込まれるので、落下による衝
撃力は全く樹脂タブレットに加えられないので脆い樹脂
タブレットであっても崩れることがない。従って、樹脂
粉による装置内の汚損、特に樹脂封止するリードフレー
ムや金型内に落ちた樹脂粉に起因する不良成形品の発生
防止を図ることができる等の著効を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本実施例の半導体装置の正面図、第２図はその
平面図、第３図はタブレットロータの平面図、第４図は
タブレットロータの搬送機構を示した側面図、第５図は
押上機構を示した側面図、第６図は載置部の平面図、第
７図は樹脂タブレットをロータへ送り込んだ状態を示し
た側面図、第８図はロータの底面図、第９図はロータの
内部構造を示した平面図、第１Ｏ図はロータの内部構造
を示した部分側面図、第１１図はその部分正面図、第１
２図はロータの駆動機構を示した部分正面図、第１３図
はレール近傍を示した部分側面図。 １２・・・金型、　　１４・・・リードフレーム、２０
・・・樹脂タブレット、　　３６・・・押上機構、 ・載置部、 （ｊ ロータ、 ；３ ・シャック、 レール、 ・爪、 シリンダ装 置。 特許用１頭人 株式会社 山田製作所 代表者 柘 植 修 舅 ♂ 笥 図 竿 図 第 図 舅 図 舅 図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、リードフレームと樹脂タブレットが所定の位置に載
   置される載置部と、 該載置部の上方と、前記リードフレームを 樹脂封止する金型の上方との間に亘って往復動可能なロ
   ータと、 該ロータに設けられ、ロータが前記載置部 上方に位置した際に、前記リードフレームを把持可能で
   あり、ロータが前記金型上方に位置した際に、リードフ
   レームを金型内にセットすべく把持したリードフレーム
   を解放可能な把持機構と、 前記ロータに設けられ、ロータが前記載置 部上方に位置した際に、送り込まれた前記樹脂タブレッ
   トを保持可能であり、ロータが前記金型上方に位置した
   際に、樹脂タブレットを金型内にセットすべく保持した
   樹脂タブレットを解放可能な保持機構と、 前記載置部から前記保持機構へ前記樹脂タ ブレットを下方から押上げて送り込む押上機構と、 前記ロータを前記往復動させるための駆動 機構とを具備することを特徴とする半導体封止装置。