JPH0217518B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0217518B2 JPH0217518B2 JP59240261A JP24026184A JPH0217518B2 JP H0217518 B2 JPH0217518 B2 JP H0217518B2 JP 59240261 A JP59240261 A JP 59240261A JP 24026184 A JP24026184 A JP 24026184A JP H0217518 B2 JPH0217518 B2 JP H0217518B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling water
- outlet
- rotating shaft
- seal plate
- water inlet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
- C30B15/14—Heating of the melt or the crystallised materials
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は単結晶引き上げ装置において、高温加
熱中に成長結晶を取り出すための成長結晶を上方
へ移動させ、高温加熱雰囲気を遮断するために使
用するアイソレーシヨンバルブの構造に関する。
熱中に成長結晶を取り出すための成長結晶を上方
へ移動させ、高温加熱雰囲気を遮断するために使
用するアイソレーシヨンバルブの構造に関する。
従来使用されているアイソレーシヨンバルブ
は、常温または常温よりもやや高い温度の真空雰
囲気やガス雰囲気で使用するのが常であるが、Si
単結晶成長の如き場合には高温雰囲気を遮断する
ためシールプレートを水冷ジヤケツト構造にしな
ければならない。
は、常温または常温よりもやや高い温度の真空雰
囲気やガス雰囲気で使用するのが常であるが、Si
単結晶成長の如き場合には高温雰囲気を遮断する
ためシールプレートを水冷ジヤケツト構造にしな
ければならない。
この場合の従来のアイソレーシヨンバルブは、
水冷ジヤケツト構造のシールプレートに冷却水導
入、導出管を介して冷却水を流通させて当該シー
ルプレートを冷却する構造とし、この冷却水導
入、導出管の接続部分にゴム製のＯリングがパツ
キン等のシール材を装着して冷却水が外部に漏れ
ないようにしている。
水冷ジヤケツト構造のシールプレートに冷却水導
入、導出管を介して冷却水を流通させて当該シー
ルプレートを冷却する構造とし、この冷却水導
入、導出管の接続部分にゴム製のＯリングがパツ
キン等のシール材を装着して冷却水が外部に漏れ
ないようにしている。
しかしながら上記のような従来のアイソレーシ
ヨンバルブにあつては、シール材の損傷が消耗に
よつて冷却水が外部に漏れると、成長中の単結晶
が不良になることは無論のこと、漏れた冷却水が
高温雰囲気にふれて水蒸気爆発を起し、作業者に
危害を及ぼすおそれがあるという問題点があつ
た。
ヨンバルブにあつては、シール材の損傷が消耗に
よつて冷却水が外部に漏れると、成長中の単結晶
が不良になることは無論のこと、漏れた冷却水が
高温雰囲気にふれて水蒸気爆発を起し、作業者に
危害を及ぼすおそれがあるという問題点があつ
た。
本発明アイソレーシヨンバルブは上記の問題点
を解決し、気密性を確保して信頼性と安全性を高
めるため、図示のように容器１のシール面２の形
状の合致しこれを開閉する冷却ジヤケツト構造の
シールプレート３を回転軸４に支持し、この回転
軸４の軸端部に設けられた冷却水入口５及び出口
６にそれぞれ連通する冷却水導入、導出通路１
４，１５を当該回転軸４の側方に開口して回転軸
内に設け、これらの冷却水導入、導出通路１４，
１５にそれぞれ冷却水導入、導出管７，８の一端
部を接続する部分を溶接継手構造９にすると共に
冷却水導入、導出管７，８の他端部にそれぞれ水
冷ジヤケツト構造のシールプレート３に設けられ
た冷却水導入、導出管を接続する部分を溶接継手
構造９としたものである。
を解決し、気密性を確保して信頼性と安全性を高
めるため、図示のように容器１のシール面２の形
状の合致しこれを開閉する冷却ジヤケツト構造の
シールプレート３を回転軸４に支持し、この回転
軸４の軸端部に設けられた冷却水入口５及び出口
６にそれぞれ連通する冷却水導入、導出通路１
４，１５を当該回転軸４の側方に開口して回転軸
内に設け、これらの冷却水導入、導出通路１４，
１５にそれぞれ冷却水導入、導出管７，８の一端
部を接続する部分を溶接継手構造９にすると共に
冷却水導入、導出管７，８の他端部にそれぞれ水
冷ジヤケツト構造のシールプレート３に設けられ
た冷却水導入、導出管を接続する部分を溶接継手
構造９としたものである。
水冷ジヤケツト構造のシールプレート３が容器
１のシール面２に密接した状態で、回転軸４の一
端部の冷却水入口５より冷却水を供給すると、冷
却水は冷却水導入通路１４及び冷却水導入管７を
経てシールプレート３のジヤケツト内に導入さ
れ、これより冷却水導出管８及び冷却水導出通路
１５を経て回転軸４の一端部の冷却水出口６から
導出され流通する。この流通する冷却水によつて
シールプレート３が冷却されることになる。
１のシール面２に密接した状態で、回転軸４の一
端部の冷却水入口５より冷却水を供給すると、冷
却水は冷却水導入通路１４及び冷却水導入管７を
経てシールプレート３のジヤケツト内に導入さ
れ、これより冷却水導出管８及び冷却水導出通路
１５を経て回転軸４の一端部の冷却水出口６から
導出され流通する。この流通する冷却水によつて
シールプレート３が冷却されることになる。
この場合、シールプレート３は容器１のシール
面２に合致してこれを密閉しているので、内部の
高温加熱雰囲気を完全に遮断し気密性を保持して
おり、また、冷却水導入、導出管７，８の接続部
分は溶接継手構造９によつて完全に密封されてい
るので、冷却水が外部に漏れるおそれはない。
面２に合致してこれを密閉しているので、内部の
高温加熱雰囲気を完全に遮断し気密性を保持して
おり、また、冷却水導入、導出管７，８の接続部
分は溶接継手構造９によつて完全に密封されてい
るので、冷却水が外部に漏れるおそれはない。
第１図は本発明アイソレーシヨンバルブの一実
施例を示す簡略横断面図、第２図は第１図の―
線断面図、第３図は第１図の背面図である。
施例を示す簡略横断面図、第２図は第１図の―
線断面図、第３図は第１図の背面図である。
まず、その構成を説明する。
図面において１はバルブ本体１０内下部に設け
た容器、３はこの容器１のシール面２の形状に合
致しこれを開閉する水冷ジヤケツト構造のシール
プレートで、回転軸４に支持されている。１１は
シールプレート３の中心部の自在軸、１２は回転
軸４に歯車機構１３を介して連結されたハンドル
軸のハンドルである。
た容器、３はこの容器１のシール面２の形状に合
致しこれを開閉する水冷ジヤケツト構造のシール
プレートで、回転軸４に支持されている。１１は
シールプレート３の中心部の自在軸、１２は回転
軸４に歯車機構１３を介して連結されたハンドル
軸のハンドルである。
７，８はそれぞれステンレス製の冷却水導入、
導出管で、自在軸１１の周囲にラセン状に巻回配
置されている。この冷却水導入、導出管７，８の
一端部は回転軸４の側方に接続され、回転軸４の
一端部の冷却水入口５及び出口６にそれぞれ回転
軸４内に設けられた冷却水導入、導出通路１４，
１５を介して連通している。また冷却水導入、導
出管７，８のの他端部は水冷ジヤケツト構造のシ
ールプレート３に冷却水導入、導出通路（図示せ
ず）に接続されている。
導出管で、自在軸１１の周囲にラセン状に巻回配
置されている。この冷却水導入、導出管７，８の
一端部は回転軸４の側方に接続され、回転軸４の
一端部の冷却水入口５及び出口６にそれぞれ回転
軸４内に設けられた冷却水導入、導出通路１４，
１５を介して連通している。また冷却水導入、導
出管７，８のの他端部は水冷ジヤケツト構造のシ
ールプレート３に冷却水導入、導出通路（図示せ
ず）に接続されている。
回転軸４と冷却水導入、導出管７，８の接続部
分及び冷却水導入、導出管７，８と水冷ジヤケツ
ト構造のシールプレート３の接続部分は溶接によ
る継手構造９になつている。
分及び冷却水導入、導出管７，８と水冷ジヤケツ
ト構造のシールプレート３の接続部分は溶接によ
る継手構造９になつている。
次にその作用を説明する。
水冷ジヤケツト構造のシールプレート３が容器
１のシール面２に密接した状態で、、回転軸４の
一端部の冷却水入口５より冷却水を供給すると、
冷却水は回転軸４内の通路１４を通り冷却水導入
管７を経てシールプレート３のジヤケツト内に導
入され、これより冷却水導出管８を経て回転軸４
内の通路１５を通り回転軸４の一端部の冷却水出
口６から導出され流通する。この流通する冷却水
によつてシールプレート３が冷却されることにな
る。
１のシール面２に密接した状態で、、回転軸４の
一端部の冷却水入口５より冷却水を供給すると、
冷却水は回転軸４内の通路１４を通り冷却水導入
管７を経てシールプレート３のジヤケツト内に導
入され、これより冷却水導出管８を経て回転軸４
内の通路１５を通り回転軸４の一端部の冷却水出
口６から導出され流通する。この流通する冷却水
によつてシールプレート３が冷却されることにな
る。
この場合、シールプレート３は容器１のシール
面２に合致してこれを密閉しているので、内部の
高温加熱雰囲気を完全に遮断し気密性を保持して
おり、また、冷却水導入、導出管７，８の接続部
分は溶接継手構造９によつて完全に密封されてい
るので、冷却水が外部に漏れるおそれはない。
面２に合致してこれを密閉しているので、内部の
高温加熱雰囲気を完全に遮断し気密性を保持して
おり、また、冷却水導入、導出管７，８の接続部
分は溶接継手構造９によつて完全に密封されてい
るので、冷却水が外部に漏れるおそれはない。
ハンドル１２を第１図において時計方向に回転
して回転軸４を第２図において時計方向に回転す
ると、回転軸４に支持されたシールプレート３も
同じ時計方向に回転され、該シールプレート３を
開くことができ、ハンドル１２を逆方向に回転す
ればシールプレート３を閉じることができる。
して回転軸４を第２図において時計方向に回転す
ると、回転軸４に支持されたシールプレート３も
同じ時計方向に回転され、該シールプレート３を
開くことができ、ハンドル１２を逆方向に回転す
ればシールプレート３を閉じることができる。
本実施例の場合、冷却水導入、導出管７，８を
ステンレス製としたので、発錆のおそれがなく信
頼性、安全性を一層高め得るものである。
ステンレス製としたので、発錆のおそれがなく信
頼性、安全性を一層高め得るものである。
上述のように本発明によれば、シールプレート
３を容器１のシール面２に合致してこれを密閉で
きるので、内部の高温加熱雰囲気を完全に遮断し
気密性を保持することができる。また冷却水導
入、導出管７，８の一端部と回転軸４内の冷却水
導入、導出通路１４，１５を接続する部分、及び
冷却水導入、導出管７，８の他端部と水冷ジヤケ
ツト構造のシールプレート３の冷却水導入、導出
路を接続する部分を溶接継手構造９としたので、
当該接続部分を完全に密封するとができ、冷却水
が外部に漏れることはないから、成長中の単結晶
が不良になることも、また水蒸気爆発を起して作
業者に危害を及ぼすおそれもなく、信頼性、安全
性を高めることができるのみならず、シール材の
如き消耗品を使用していないので、保守管理が容
易になる。
３を容器１のシール面２に合致してこれを密閉で
きるので、内部の高温加熱雰囲気を完全に遮断し
気密性を保持することができる。また冷却水導
入、導出管７，８の一端部と回転軸４内の冷却水
導入、導出通路１４，１５を接続する部分、及び
冷却水導入、導出管７，８の他端部と水冷ジヤケ
ツト構造のシールプレート３の冷却水導入、導出
路を接続する部分を溶接継手構造９としたので、
当該接続部分を完全に密封するとができ、冷却水
が外部に漏れることはないから、成長中の単結晶
が不良になることも、また水蒸気爆発を起して作
業者に危害を及ぼすおそれもなく、信頼性、安全
性を高めることができるのみならず、シール材の
如き消耗品を使用していないので、保守管理が容
易になる。
第１図は本発明アイソレーシヨンバルブの一実
施例を示す簡略横断面図、第２図は第１図の―
線断面図、第３図は第１図の背面図である。 １…容器、２…シール面、３…水冷ジヤケツト
構造のシールプレート、４…回転軸、５，６…冷
却水入口及び出口、７，８…冷却水導入、導出
管、９…溶接継手構造、１４，１５…通路。
施例を示す簡略横断面図、第２図は第１図の―
線断面図、第３図は第１図の背面図である。 １…容器、２…シール面、３…水冷ジヤケツト
構造のシールプレート、４…回転軸、５，６…冷
却水入口及び出口、７，８…冷却水導入、導出
管、９…溶接継手構造、１４，１５…通路。
Claims (1)
- １ 容器のシール面の形状に合致しこれを開閉す
る水冷ジヤケツト構造のシールプレートを回転軸
に支持し、この回転軸の軸端部に設けられた冷却
水入口及び出口にそれぞれ連通する冷却水導入、
導出通路を当該回転軸の側方を開口して回転軸内
に設け、これらの冷却水導入、導出通路にそれぞ
れ冷却水導入、導出管の一端部を接続する部分を
溶接継手構造にすると共に冷却水導入、導出管の
他端部にそれぞれ水冷ジヤケツト構造のシールプ
レートに設けられた冷却水導入、導出路を接続す
る部分を溶接継手構造としたことを特徴とするア
イソレーシヨンバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24026184A JPS61117192A (ja) | 1984-11-13 | 1984-11-13 | アイソレ−シヨンバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24026184A JPS61117192A (ja) | 1984-11-13 | 1984-11-13 | アイソレ−シヨンバルブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61117192A JPS61117192A (ja) | 1986-06-04 |
| JPH0217518B2 true JPH0217518B2 (ja) | 1990-04-20 |
Family
ID=17056862
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24026184A Granted JPS61117192A (ja) | 1984-11-13 | 1984-11-13 | アイソレ−シヨンバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61117192A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102330145A (zh) * | 2011-09-28 | 2012-01-25 | 上海汉虹精密机械有限公司 | 单晶炉隔离系统 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2628370B2 (ja) * | 1989-03-24 | 1997-07-09 | 信越半導体 株式会社 | 単結晶引上装置 |
| JP4488654B2 (ja) * | 2001-06-18 | 2010-06-23 | コマツ工機株式会社 | 半導体単結晶引上装置のゲートバルブ |
| US8266912B2 (en) | 2008-09-16 | 2012-09-18 | General Electric Company | Reusable weld joint for syngas fuel nozzles |
| KR101060479B1 (ko) | 2009-11-25 | 2011-08-30 | (주)에스테크 | 잉곳성장장치의 게이트밸브 냉각장치 |
| KR101136066B1 (ko) * | 2009-11-27 | 2012-04-18 | (주)에스테크 | 잉곳성장장치의 게이트밸브 냉각수 공급장치 |
| JP2012101965A (ja) * | 2010-11-09 | 2012-05-31 | Matels Inc | 熱遮蔽機 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5115140U (ja) * | 1974-07-22 | 1976-02-03 |
-
1984
- 1984-11-13 JP JP24026184A patent/JPS61117192A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102330145A (zh) * | 2011-09-28 | 2012-01-25 | 上海汉虹精密机械有限公司 | 单晶炉隔离系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61117192A (ja) | 1986-06-04 |
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