JPH0217699U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す一部破断正面
図、第２図は本考案の他の一実施例を示す一部破
断正面図、第３図ａ，ｂはそれぞれ第１図に示す
平行板バネの代りに用いる他の二つの例を示す平
面図、第４図は従来の一例を示す一部破断正面図
、第５図は第４図に示す高圧部および調圧部の代
りに使用する圧力制御部の一例を示す一部破断正
面図である。 １……基盤、２，２′……筒部、３，３′，３
″……平行板バネ、３′ａ，３″ａ……スリツト
、４……ステージ、５，５′……作動ベローズ、
６，６′……駆動ベローズ、７，７′……圧力容
器、８……非圧縮性流体、９……駆動部、９ａ…
…駆動ロツド、９ｂ……駆動機構、１０……ポー
ト、１１……調圧部、１２……配管、１３……高
圧部、１４……可撓管、１５……容器、１６……
容器支持台、１７……支柱。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 基盤と、前記基盤に一端を固定した筒部と、前
   記筒部の内周面に沿い外周部を固着して設けられ
   た平行板バネと、前記平行板バネの中心に設けら
   れた穴部に中央部が嵌着し弾性変位が上下自在に
   設けられ上面にウエハを載置するステージと、上
   端と下端を前記ステージの底面と前記基盤に気密
   に固着した作動ベローズと前記作動ベローズの下
   端部側面に設けられた穴部に一端が気密に固着し
   他端が密閉し有効断面積が前記作動ベローズより
   小さい駆動ベローズとからなる圧力容器と、前記
   圧力容器に充満された非圧縮性流体と、前記基盤
   に固定された駆動機構と前記駆動機構により駆動
   され前記駆動ベローズの前記他端を押圧する駆動
   ロツドとからなる駆動部とを含むことを特徴とす
   るステージ微動機構。