JPH0217709A - 弾性表面波共振子 - Google Patents
弾性表面波共振子Info
- Publication number
- JPH0217709A JPH0217709A JP63168253A JP16825388A JPH0217709A JP H0217709 A JPH0217709 A JP H0217709A JP 63168253 A JP63168253 A JP 63168253A JP 16825388 A JP16825388 A JP 16825388A JP H0217709 A JPH0217709 A JP H0217709A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface acoustic
- acoustic wave
- wave resonator
- substrate
- piezoelectric substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は電気回路においてフィルタや、発振子として機
能するところの弾性表面波を利用する弾性表面波共振子
に関するものである。
能するところの弾性表面波を利用する弾性表面波共振子
に関するものである。
従来の技術
従来、この種の弾性表面波共振子は、第４図に示すよう
な構成であった。第４図において、１は圧電基板、２は
櫛形電極（以下ＩＤＴ電極という）、３はグレーティン
グ反射器である。
な構成であった。第４図において、１は圧電基板、２は
櫛形電極（以下ＩＤＴ電極という）、３はグレーティン
グ反射器である。
通常、このような素子は、フォトリングラフィ技術によ
り圧電基板１の表面によりＴ電極２とグレーティング反
射器３を形成した後、切断することにより作製され、弾
性表面波が伝搬する方向の端面４は基板１の表面に対し
て垂直になっていた。
り圧電基板１の表面によりＴ電極２とグレーティング反
射器３を形成した後、切断することにより作製され、弾
性表面波が伝搬する方向の端面４は基板１の表面に対し
て垂直になっていた。
発明が解決しようとする課題
このような従来の構成では、バルクの振動が端面で反射
し、弾性表面波の応答以外に不要なスプリアスが発生す
る。このために、弾性表面波共振子のＱが低下したり、
弾性表面共振子により帯域通過フィルタを構成したとき
に、通過域以外の減衰特性が悪化するという問題があっ
た。
し、弾性表面波の応答以外に不要なスプリアスが発生す
る。このために、弾性表面波共振子のＱが低下したり、
弾性表面共振子により帯域通過フィルタを構成したとき
に、通過域以外の減衰特性が悪化するという問題があっ
た。
課題を解決するための手段
この課題を解決するために本発明は、圧電基板表面に少
なくとも一組のよりＴ電極と、グレーティング反射器を
形成し、弾性表面波が伝搬する方向の基板端面の角を削
り取ってなるものである。
なくとも一組のよりＴ電極と、グレーティング反射器を
形成し、弾性表面波が伝搬する方向の基板端面の角を削
り取ってなるものである。
作用
この構成により、利用する弾性表面波以外のバルク振動
による不要なスゲリアスが減少することになる。
による不要なスゲリアスが減少することになる。
実施例
第１図は本発明の一実施例による弾性表面波共振子の斜
視図であり、第１図において、１１は水晶などの圧電性
を有する圧電基板であり、この基板１１上には二組のＩ
ＤＴ電極１２．１３とグレーティング反射器１４．１６
がフォトリソグラフィ技術などにより形成されている。
視図であり、第１図において、１１は水晶などの圧電性
を有する圧電基板であり、この基板１１上には二組のＩ
ＤＴ電極１２．１３とグレーティング反射器１４．１６
がフォトリソグラフィ技術などにより形成されている。
１６．１７は角を削り取った弾性表面波が伝搬する方向
の基板端面である。この端面１６，１７の角を削りとる
方法としては、圧電基板上にＩＤＴ電極及びグレーティ
ング反射器を形成した後、個々の素子に切り離す際、ま
ず第２図ａのように圧電基板の厚み方向の途中まで溝を
入れ、その後に第２図すのように完全に切断するという
方法で形成することができるものである。
の基板端面である。この端面１６，１７の角を削りとる
方法としては、圧電基板上にＩＤＴ電極及びグレーティ
ング反射器を形成した後、個々の素子に切り離す際、ま
ず第２図ａのように圧電基板の厚み方向の途中まで溝を
入れ、その後に第２図すのように完全に切断するという
方法で形成することができるものである。
第３図のａは従来における素子の切断面が圧電基板表面
に対して垂直になっている弾性表面波共振子を利用した
帯域通過フィルタのスプリアス特性であシ、第３図のｂ
は本発明の一実施例による弾性表面波の伝搬方向の端面
の角が削シとられた弾性表面波共振子のスプリアス特性
であり、本発明の特性すの方が優れていることが解る。
に対して垂直になっている弾性表面波共振子を利用した
帯域通過フィルタのスプリアス特性であシ、第３図のｂ
は本発明の一実施例による弾性表面波の伝搬方向の端面
の角が削シとられた弾性表面波共振子のスプリアス特性
であり、本発明の特性すの方が優れていることが解る。
ここで、ＩＤＴ電極は少なくとも一組あれば良いもので
ある。
ある。
発明の効果
以上のように本発明によれば、圧電基板表面に少なくと
も１対のＩＤＴ電極とグレーティング反射器を持った弾
性表面波共振子の弾性表面波が伝搬する方向の基板端面
の角を削り取ることによシ、バルク振動による不要なス
プリアスを減少させることができる。本発明によれば、
素子端面に樹脂を塗布したりすることなく、従来のダイ
シング装置により量産性良く作成することができ、弾性
表面波共振子の性能が向上するという効果が得られる０
も１対のＩＤＴ電極とグレーティング反射器を持った弾
性表面波共振子の弾性表面波が伝搬する方向の基板端面
の角を削り取ることによシ、バルク振動による不要なス
プリアスを減少させることができる。本発明によれば、
素子端面に樹脂を塗布したりすることなく、従来のダイ
シング装置により量産性良く作成することができ、弾性
表面波共振子の性能が向上するという効果が得られる０
第１図は本発明の一実施例による弾性表面波共振子を示
す斜視図、第２図ａ、ｂは本発明の一実施例による素子
端面の形成方法を示す断面図、第３図は本発明と従来に
おける弾性表面波共振子を利用した帯域通過フィルタの
スプリアス特性図、第４図は従来の弾性表面波共振子を
示す斜視図である。 １１・・・・・・圧電基板、１２．１３・・・・・・Ｉ
ＤＴ電極（櫛形電極）、１４，１５・・・・・・グレー
ティング反射器、１６．１７・・・・・・角を削り取っ
た端面。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか１名ｊＩ
２ 区
す斜視図、第２図ａ、ｂは本発明の一実施例による素子
端面の形成方法を示す断面図、第３図は本発明と従来に
おける弾性表面波共振子を利用した帯域通過フィルタの
スプリアス特性図、第４図は従来の弾性表面波共振子を
示す斜視図である。 １１・・・・・・圧電基板、１２．１３・・・・・・Ｉ
ＤＴ電極（櫛形電極）、１４，１５・・・・・・グレー
ティング反射器、１６．１７・・・・・・角を削り取っ
た端面。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか１名ｊＩ
２ 区
Claims (1)
- 水晶などの圧電性を有する圧電基板上に、少なくとも一
組の櫛形電極と、グレーティング反射器を構成し、弾性
表面波が伝搬する方向の基板端面の角を削り取ってなる
弾性表面波共振子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63168253A JPH0217709A (ja) | 1988-07-06 | 1988-07-06 | 弾性表面波共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63168253A JPH0217709A (ja) | 1988-07-06 | 1988-07-06 | 弾性表面波共振子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0217709A true JPH0217709A (ja) | 1990-01-22 |
Family
ID=15864585
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63168253A Pending JPH0217709A (ja) | 1988-07-06 | 1988-07-06 | 弾性表面波共振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0217709A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100866309B1 (ko) * | 2007-05-04 | 2008-11-05 | 박세윤 | 증숙장치 |
| EP1734654A4 (en) * | 2004-04-08 | 2009-12-23 | Murata Manufacturing Co | SURFACE WAVE FILTER AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR |
| CN105098370A (zh) * | 2015-09-07 | 2015-11-25 | 南京大学 | 利用声超构材料实现低频声波自准直异常透射的方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5541048A (en) * | 1978-09-18 | 1980-03-22 | Toshiba Corp | Surface acoustic wave element |
-
1988
- 1988-07-06 JP JP63168253A patent/JPH0217709A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5541048A (en) * | 1978-09-18 | 1980-03-22 | Toshiba Corp | Surface acoustic wave element |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1734654A4 (en) * | 2004-04-08 | 2009-12-23 | Murata Manufacturing Co | SURFACE WAVE FILTER AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR |
| KR100866309B1 (ko) * | 2007-05-04 | 2008-11-05 | 박세윤 | 증숙장치 |
| CN105098370A (zh) * | 2015-09-07 | 2015-11-25 | 南京大学 | 利用声超构材料实现低频声波自准直异常透射的方法 |
| CN105098370B (zh) * | 2015-09-07 | 2017-11-10 | 南京大学 | 利用声超构材料实现低频声波自准直异常透射的方法 |
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