JPH10145183A - 弾性表面波フィルタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 帯域内挿入損失及びリップルを低減しつつ広
帯域化を図り得る弾性表面波フィルタを得る。 【解決手段】 直列腕共振子３，４と並列腕共振子５〜
７とを入出力間において交互に配置してラダー型フィル
タ回路を構成してなる弾性表面波フィルタ１において、
直列腕共振子３，４としてインターデジタルトランスデ
ューサ３ａ，４ａの両側に反射器３ｂ，３ｃ，４ｂ，４
ｃを配置したものを用い、並列腕共振子５〜７として反
射器を有しない１ポート型ＳＡＷ共振子であって、電極
指の対数が多対であるものを用いたことを特徴とする弾
性表面波フィルタ１。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧電基板上に複数
のＳＡＷ共振子を構成してなる弾性表面波フィルタに関
し、より詳細には、複数のＳＡＷ共振子がラダー型フィ
ルタ回路を構成するように配置された弾性表面波フィル
タに関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、移動体通信機器において、高周
波用の帯域フィルタとして、複数のＳＡＷ共振子を圧電
基板上に構成してなる弾性表面波フィルタが知られてい
る。例えば、特公昭５６−１９７６５号公報には、圧電
基板上に複数のＳＡＷ共振子を形成してラダー型フィル
タ回路を構成してなる弾性表面波フィルタが開示されて
いる。

【０００３】図５は、先行技術に開示されている弾性表
面波フィルタを説明するための模式的平面図である。弾
性表面波フィルタ３１は、矩形の圧電基板３２を用いて
構成されている。圧電基板３２上には、複数のＳＡＷ共
振子が、直列腕共振子３３，３４及び並列腕共振子３
５，３６として形成されている。すなわち、入力端子３
７と出力端子３８との間に構成される直列腕において直
列腕共振子３３，３４が直列に接続されている。また、
上記直列腕と基準電位との間に、並列腕共振子３５，３
６が接続されている。直列腕共振子３３，３４と並列腕
共振子３５，３６とは入出力間において交互に配置され
ている。

【０００４】ラダー型フィルタ３１では、直列腕共振子
３３，３４及び並列腕共振子３５，３６が、何れも、中
央にインターデジタルトランスデューサ３３ａ，３４
ａ，３５ａ，３６ａを有し、ＩＤＴ３３ａ〜３６ａの両
側に反射器３３ｂ，３３ｃ〜３６ｂ，３６ｃを形成した
構造を有する。

【０００５】すなわち、弾性表面波フィルタ３１では、
直列腕共振子３３，３４及び並列腕共振子３５，３６の
何れもが、ＩＤＴの両側に反射器を配置した１ポート型
ＳＡＷ共振子により構成されている。

【０００６】上記弾性表面波フィルタ３１の動作原理は
以下の通りである。図６に電極部分のみを模式的に平面
図で示すように、１ポート型ＳＡＷ共振子４０は、中央
に配置されたＩＤＴ４１の両側に反射器４２，４３を配
置した構造を有する。ＩＤＴ４１は、少なくとも１本の
電極指を有するくし歯電極４１ａと、少なくとも１本の
電極指を有するくし歯電極４１ｂとを、互いの電極指が
間挿し合うように配置した構造を有する。

【０００７】１ポート型ＳＡＷ共振子４０では、ＩＤＴ
４１で励振された表面波が、反射器４２，４３で反射さ
れて定在波とされ、反射器４２，４３間に閉じ込めら
れ、ＳＡＷ共振子４０は高いＱ値を有する共振子として
動作する。このＳＡＷ共振子４０のインピーダンス特性
においては、周知のように、共振周波数ｆｒ付近でイン
ピーダンスが低くなる極が存在し、反共振周波数ｆａに
おいてインピーダンスが高くなる極が現れる。

【０００８】弾性表面波フィルタ３１では、上記１ポー
ト型ＳＡＷ共振子のインピーダンス特性を利用して通過
帯域を得ている。すなわち、直列腕共振子３３，３４の
共振周波数ｆｒと、並列腕共振子３５，３６の反共振周
波数ｆａとを一致させることにより、この一致された周
波数付近において入出力インピーダンスを特性インピー
ダンスと整合させており、それによって通過帯域を構成
している。

【０００９】また、１ポート型ＳＡＷ共振子は上記イン
ピーダンス特性を有するため、直列腕共振子３３，３４
の反共振周波数付近では非常に高インピーダンスとな
り、並列腕共振子３５，３６の共振周波数付近では非常
に低インピーダンスとなるため、弾性表面波フィルタ３
１では、これらの周波数を極とする減衰域が形成され
る。

【００１０】弾性表面波フィルタ３１では、直列腕共振
子３３，３４及び並列腕共振子３５，３６が上記のよう
に構成されているため、挿入損失の低減を図ることがで
き、かつ通過帯域近傍における減衰量が比較的大きくな
るとされている。

【００１１】また、特開平５−１８３３８０号公報に
は、弾性表面波フィルタ３１と同様に構成されており、
さらに、並列腕共振子にインダクタンスを加え、それに
よって帯域を広げた弾性表面波フィルタが開示されてい
る。

【００１２】さらに、特開平６−２９１６００号公報に
は、弾性表面波フィルタ３１とは異なり、ＩＤＴの両側
に反射器を有しない複数のＳＡＷ共振子を用いて、直列
腕共振子及び並列腕共振子を構成している弾性表面波フ
ィルタが開示されており、反射器を有しないＳＡＷ共振
子を用いることにより通過帯域内リップルの低減が図ら
れるとされている。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】近年、移動体通信機器
などにおいては、より広帯域のフィルタが求められてお
り、上述した複数のＳＡＷ共振子を用いてラダー型回路
を構成してなる弾性表面波フィルタにおいても、通過帯
域幅の拡大が強く求められている。

【００１４】しかしながら、上述した従来のラダー型回
路構成を有する弾性表面波フィルタでは、圧電基板とし
て水晶やＬｉＴａＯ₃ からなる基板を用いたものが多
く、通過帯域は比較的狭かった。

【００１５】また、１ポート型ＳＡＷ共振子における反
射器は、弾性表面波のエネルギーを共振子内に効率良く
閉じ込める機能を果たすものの、ストップバンドと呼ば
れている、高い反射係数が得られる周波数範囲が有限で
ある。ＳＡＷ共振子では、ストップバンド内では非常に
Ｑ値の高い共振特性を実現し得るが、ストップバンド外
では大きなＱ値を得ることができない。

【００１６】また、ストップバンドの上限周波数及び下
限周波数において、反射係数が急激に変化するため、ス
トップバンドの上限周波数及び下限周波数において、共
振特性に大きなスプリアスが現れる。

【００１７】従って、弾性表面波フィルタにおいて、１
ポート型ＳＡＷ共振子の反射器のストップバンドが、フ
ィルタの通過帯域に比べて十分広い場合には、良好なフ
ィルタ特性を得ることができるが、ストップバンドがフ
ィルタの通過帯域に比べて狭い場合にはフィルタ特性が
悪化することになる。これを、図７及び図８を参照して
説明する。

【００１８】図７は、反射器が設けられた１ポート型Ｓ
ＡＷ共振子の一例のインピーダンス特性及び反射器の反
射率特性を示す図である。図７から明らかなように、反
射器のストップバンドの上限周波数が反共振周波数近傍
にある場合、インピーダンス特性上においては、反共振
周波数付近で大きなスプリアス（矢印Ａで示す）が現れ
ていることがわかる。

【００１９】従って、このような１ポート型ＳＡＷ共振
子を並列腕共振子として用い、上述した弾性表面波フィ
ルタを構成した場合、並列腕共振子の反共振周波数を通
過帯域として使用しているので、反共振周波数近傍にお
ける共振特性の劣化により、図８に示すフィルタ特性上
において、矢印Ｂで示す大きな帯域内リップルが現れ、
かつ挿入損失も増大していた。なお、図８において、実
線Ｃは、実線Ｄで示す減衰量周波数特性を、右側のスケ
ールに沿って拡大した特性である。

【００２０】上記のような１ポート型ＳＡＷ共振子にお
ける反射器のストップバンドの制限による帯域内リップ
ルを抑制する方法として、前述した特開平６−２９１６
００号公報には、反射器を有しない複数の１ポート型Ｓ
ＡＷ共振子を用いた弾性表面波フィルタが開示されてい
る。しかしながら、反射器を設けなかった場合には、弾
性表面波がＩＤＴの側方に漏洩し、挿入損失の悪化を避
けることができなかった。

【００２１】他方、上述した反射器のストップバンドは
音響アドミタンス比により決定されるため、音響アドミ
タンス比を大きくすることにより反射器のストップバン
ドの周波数範囲を広げる方法も考えられるが、その場合
には、弾性表面波の伝搬損失が大きくなり、やはりフィ
ルタ特性が劣化する。

【００２２】本発明の目的は、通過帯域内挿入損失や通
過帯域内リップルを低減しつつ高帯域化を図ることが可
能な弾性表面波フィルタを提供することにある。

【００２３】

【課題を解決するための手段】本発明は、入出力間を直
列腕とし、該直列腕と基準電位との間に少なくとも一つ
の並列腕を有するラダー型フィルタを構成するように、
圧電基板上に直列腕共振子及び並列腕共振子を形成して
なり、前記直列腕共振子の共振周波数と、並列腕共振子
の反共振周波数とをほぼ一致させてなる弾性表面波フィ
ルタにおいて、直列腕共振子が、ＩＤＴと、ＩＤＴの両
側に配置された反射器とを有する反射器付きＳＡＷ共振
子で構成されており、前記並列腕共振子が、直列腕共振
子のＩＤＴの電極指の対数よりも電極指の対数が大きな
ＩＤＴを有し、該ＩＤＴの両側に反射器を有さないよう
に構成されている反射器なしＳＡＷ共振子により構成さ
れていることを特徴とする。

【００２４】すなわち、本発明は、複数のＳＡＷ共振子
を直列腕共振子及び並列腕共振子として用いたラダー型
回路構成を有する弾性表面波フィルタにおいて、直列腕
共振子のみに反射器を配置し、並列腕共振子については
反射器を有しない構造としたことを特徴とする。

【００２５】前述したように、反射器付きの１ポート型
ＳＡＷ共振子では、反射器のストップバンドの上限周波
数及び下限周波数において共振特性上にスプリアスが発
生する。従って、このスプリアスが弾性表面波フィルタ
の通過帯域内に入る位置において発生すると、弾性表面
波フィルタにおいて損失及び帯域内リップルが増加し、
特性が悪化することになる。

【００２６】しかしながら、複数の１ポート型ＳＡＷ共
振子を直列腕共振子及び並列腕共振子としてラダー型回
路を構成してなる弾性表面波フィルタでは、並列腕共振
子の反共振周波数と、直列腕共振子の共振周波数とを利
用して通過帯域を構成している。すなわち、並列腕共振
子の反共振周波数における共振特性が、弾性表面波フィ
ルタのフィルタ特性に大きく影響する。

【００２７】本発明では、並列腕共振子においては、反
射器が設けられていないため、並列腕共振子の反共振周
波数においては反射器のストップバンドの上限周波数及
びその近傍のスプリアスに起因する特性の劣化が解消さ
れる。すなわち、反射器を設けていないため、上記のよ
うなスプリアスに起因する挿入損失の増大や帯域内リッ
プルの増大を抑制することができる。

【００２８】また、１ポート型ＳＡＷ共振子では、弾性
表面波を反射させて閉じ込めるために反射器が設けられ
ているが、反射器が設けられずとも、ＩＤＴのくし型電
極自体が弾性表面波を反射させるため、並列腕共振子に
おいて反射器を設けずとも表面波は発生する。また、反
射器を設けない場合には、弾性表面波エネルギーの漏洩
が問題となるが、この弾性表面波エネルギーの漏洩によ
る特性の劣化に比べて、反射器を設けた場合のストップ
バンドに起因する特性の劣化の方が大きい。従って、本
発明に従って並列腕共振子において反射器を設けない方
が、より良好なフィルタ特性を得ることができる。加え
て、本発明では、上記並列腕共振子のＩＤＴの電極指の
対数が、直列腕共振子の電極指の対数よりも多く、すな
わち、多対とされているため、弾性表面波エネルギーの
漏洩も抑制される。

【００２９】好ましくは、請求項２に記載のように、並
列腕共振子のＩＤＴの電極指の対数を１３０以上とすれ
ば、電極指の対数の増加により弾性表面波エネルギーの
漏洩をより確実に抑制することができ、例えば、音響ア
ドミタンス１．０７程度の基板を用いた場合でも弾性表
面波エネルギーの漏洩を０．１ｄＢ以下に抑制すること
ができる。

【００３０】他方、本発明にかかる弾性表面波フィルタ
では、直列腕共振子は、ＩＤＴの両側に反射器を備えて
いる。直列腕共振子では、共振周波数付近の特性が通過
帯域として用いられているが、共振周波数付近ではイン
ピーダンスは非常に低くなる。従って、直列腕共振子に
おいて共振周波数がストップバンドの下限周波数よりも
低くなったとしても、インピーダンス自体が非常に低い
ため大きなスプリアスは発生しない。また、直列腕共振
子の反共振周波数は、フィルタの通過帯域よりも高域に
位置するため、反射器を設けたことによる反共振周波数
における上記スプリアスはフィルタの帯域特性にほとん
ど影響を与えない。

【００３１】従って、フィルタの広帯域化を図り、スト
ップバンドに比べて帯域幅が広い場合であっても、直列
腕共振子においては、上記ストップバンドの上限及び下
限周波数におけるスプリアスがあまり問題とならない。
よって、反射器を有する１ポート型ＳＡＷ共振子を直列
腕共振子として用いることにより、反射器を有しない１
ポート型ＳＡＷ共振子を用いた場合に比べてＱ値を高く
することができるため、共振抵抗が小さくなり、弾性表
面波フィルタの挿入損失を低減し得る。

【００３２】また、本発明においては、より好ましく
は、上記圧電基板として、電気機械結合係数が大きな６
４°ＹカットＬｉＮｂＯ₃ 基板または４１°ＹカットＬ
ｉＮｂＯ₃ 基板が用いられ、それによって圧電材料の電
気機械結合係数が高くなるため、より一層広帯域化を図
ることができる。

【００３３】

【発明の実施の形態】図１は、本発明にかかる弾性表面
波フィルタの一構造例を説明するための模式的平面図で
ある。

【００３４】弾性表面波フィルタ１は、矩形の圧電基板
２を用いて構成されている。圧電基板２を構成する圧電
材料については、特に限定されるものではないが、Ｌｉ
ＮｂＯ₃ 、ＬｉＴａＯ₃ または水晶などの圧電単結晶ま
たはチタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスのような圧電
セラミックスを用いることができる。好ましくは、圧電
基板２としては、電気機械結合係数が高いため、ＬｉＮ
ｂＯ₃ 基板、より好ましくは、６４°ＹカットＬｉＮｂ
Ｏ₃ 基板または４１°ＹカットＬｉＮｂＯ₃ 基板が用い
られる。

【００３５】圧電基板２上には、アルミニウムなどの導
電性材料を用いて、種々の電極が形成されている。すな
わち、直列腕共振子３，４と、並列腕共振子５，６，７
が形成されている。直列腕共振子３，４及び並列腕共振
子５〜７は、何れも、１ポート型ＳＡＷ共振子である
が、直列腕共振子３，４は反射器付きのＳＡＷ共振子と
して構成されており、並列腕共振子５〜７は反射器を有
しない１ポート型ＳＡＷ共振子として構成されている。

【００３６】直列腕共振子３，４は、入力端子８と出力
端子９との間に構成される直列腕に直列に接続されてい
る。直列腕共振子３は、中央にＩＤＴ３ａを有し、ＩＤ
Ｔ３ａの表面波伝搬方向両側には反射器３ｂ，３ｃが配
置されている。直列腕共振子４についても、同様に構成
されており、ＩＤＴ４ａと、両側に配置された反射器４
ｂ，４ｃとを有する。

【００３７】ＩＤＴ３ａ，４ａは、図６に示した１ポー
ト型ＳＡＷ共振子４０のＩＤＴ４１と同様に構成されて
いる。すなわち、１本以上の電極指を有する一対のくし
歯電極を、互いの電極指が間挿し合うように配置されて
いる。

【００３８】また、反射器３ｂ，３ｃ，４ｂ，４ｃは、
表面波伝搬方向に直交する方向に延ばされた複数本の導
体を両端で接続したグレーティング型反射器である。並
列腕共振子５〜７は、上記直列腕と基準電位との間に接
続されており、かつ直列腕共振子３，４と並列腕共振子
５〜７とは、入力端子８と出力端子９との間で交互に配
置されている。従って、直列腕共振子３，４と並列腕共
振子５〜７とによりラダー型フィルタ回路が構成されて
いる。

【００３９】ラダー型フィルタ１においても、上記直列
腕共振子３，４の共振周波数と、並列腕共振子５〜７の
反共振周波数とをほぼ一致させることにより通過帯域が
構成されている。

【００４０】弾性表面波フィルタ１の特徴は、上記直列
腕共振子３，４が反射器付きの１ポート型ＳＡＷ共振子
で構成されているのに対し、並列腕共振子５〜７が反射
器を有しない多対の１ポート型ＳＡＷ共振子により構成
されていることにある。

【００４１】多対の１ポート型ＳＡＷ共振子の電極構造
を、並列腕共振子５を代表して図２に拡大して示す。並
列腕共振子５は、複数本の電極指５ａ₁ を有するくし歯
電極５ａと、複数本の電極指５ｂ₁ を有するくし歯電極
５ｂとを、互いの電極指５ａ ₁ ，５ｂ₁ が間挿し合うよ
うに配置した構造を有する。なお、図２に示すように、
電極指５ａ₁ のピッチにより弾性表面波の波長λが決定
される。

【００４２】並列腕共振子５〜７においては、電極指の
対数が、直列腕共振子３，４のＩＤＴ３ａ，４ａの電極
指の対数よりも大きくされており、好ましくは、並列腕
共振子５〜７の電極指の対数は１３０対以上の多対とさ
れており、それによって弾性表面波の漏洩を電極指の対
数の増大により抑制することが可能とされている。

【００４３】弾性表面波フィルタ１では、上記のように
直列腕共振子３，４は反射器３ｂ，３ｃ，４ｂ，４ｃを
有するが、広帯域化を図った場合に反射器３ｂ，３ｃ，
４ｂ，４ｃのストップバンドの上限周波数及び下限周波
数におけるスプリアスが発生したとしても、このスプリ
アスによる弾性表面波フィルタ１のフィルタ特性への影
響は少ない。すなわち、直列腕共振子３，４の共振周波
数を利用して通過帯域を構成しており、かつ共振周波数
におけるインピーダンスが非常に低いため、ストップバ
ンドの下限周波数における共振特性上に現れるスプリア
スの影響はほとんどない。他方、直列腕共振子３，４の
反共振周波数は通過帯域外にあるため、ストップバンド
の上限周波数において現れるスプリアスによる通過帯域
内への影響も生じない。

【００４４】他方、並列腕共振子５，６，７について
は、反射器を有しないため、広帯域化を図ったとしても
反射器のストップバンド及び下限周波数に起因するスプ
リアスの問題は生じない。加えて、上記のように並列腕
共振子５〜７がその電極指の対数が多いため、弾性表面
波の漏洩もほとんど生じない。よって、弾性表面波フィ
ルタ１では、挿入損失やリップルを低減しつつ広帯域化
を図り得ることができる。

【００４５】なお、弾性表面波フィルタ１は、２個の直
列腕共振子３，４と、３個の並列腕共振子５〜７を入出
力間において交互に配置してラダー型フィルタ回路を構
成していたが、本発明においては、ラダー型フィルタ回
路を構成し得る限り、直列腕共振子及び並列腕共振子の
数については図示の例に限定されないことを指摘してお
く。

【００４６】

【実施例】本発明の実施例として、図１に示した弾性表
面波フィルタ１において、圧電基板を６４°ＹカットＬ
ｉＮｂＯ₃ 基板（電気機械結合係数は３５％）からなる
ものを用意し、下記の表１に示す電極指の対数、電極指
交叉幅、反射器の電極指の本数となるように直列腕共振
子３，４及び並列腕共振子５〜７を形成した。なお、直
列腕共振子３，４及び並列腕共振子５〜７のＩＤＴにお
ける電極指ピッチは４．８０及び４．５３とした。

【００４７】

【表１】

【００４８】上記のようにして作製した実施例の弾性表
面波フィルタにおいて、並列腕共振子のインピーダンス
特性を測定したところ、図３に示す結果が得られた。図
３から明らかなように、共振周波数及び反共振周波数の
何れにおいても共振特性上にスプリアスがほとんどみら
れないことがわかる。これは、並列腕共振子５〜７にお
いては、反射器を設けていないため、反射器のストップ
バンドに起因するスプリアスが現れないためである。

【００４９】上記のようにして得られた実施例の弾性表
面波フィルタの減衰量周波数特性を図４に示す。なお、
図４において、実線Ｆは実線Ｅで示す特性の要部を右側
の拡大したスケールに従って拡大した特性を示す。図４
から明らかなように、通過帯域幅が９２５〜９５８ＭＨ
ｚであり、挿入損失が３．５ｄＢであるフィルタ特性の
得られていることがわかる。

【００５０】比較のために、実施例の弾性表面波フィル
タ１と同じ段数の図９に示す弾性表面波フィルタを比較
例として作製した。なお、図９に示す弾性表面波フィル
タ５１は、並列腕共振子５２が付加されたことを除いて
は、図５に示した弾性表面波フィルタ３１と同様にして
構成されている。従って、弾性表面波フィルタ３１と同
一部分については、同一の参照番号を付することにより
その説明を省略する。並列腕共振子５２は、並列腕共振
子３５，３６と同様に、中央にＩＤＴ５２ａを、両側に
反射器５２ｂ，５２ｃを形成した構造を有する。

【００５１】上記比較例として用意した弾性表面波付５
１では、直列腕共振子３３，３４及び並列腕共振子３
５，３６，５２の電極指の対数、電極指交叉幅及び反射
器の本数については、下記の表２に示す通りとした。

【００５２】また、圧電基板２２については、ＬｉＮｂ
Ｏ₃ ６４°Ｙ−Ｘ基板よりなるものを用いた。

【００５３】

【表２】

【００５４】上記のようにして作製された比較例の弾性
表面波フィルタ５１の並列腕共振子５２のインピーダン
ス特性及び反射器の反射率特性は、前述した図７に示し
た通りであり、従って、反共振周波数近傍においてスト
ップバンドの上限周波数に対応して大きなスプリアスＡ
が現れていた。また、この比較例の弾性表面波フィルタ
の減衰量周波数特性は前述した図８に示した通りであ
り、上記反射器のスプリアスに起因する帯域内リップル
Ｂが発生しており、かつ通過帯域における挿入損失は７
ｄＢと実施例の弾性表面波フィルタに比べて大きいこと
がわかる。

【００５５】

【発明の効果】本発明によれば、複数の１ポート型ＳＡ
Ｗ共振子を直列腕共振子及び並列腕共振子として用いた
ラダー型フィルタ回路を構成してなる弾性表面波フィル
タにおいて、直列腕共振子が反射器付きの１ポート型Ｓ
ＡＷ共振子で構成されており、並列腕共振子が反射器を
有しない１ポート型ＳＡＷ共振子で構成されており、か
つ並列腕共振子のＩＤＴの電極指の対数が相対的に多く
されている。

【００５６】従って、広帯域化を図ったとしても、並列
腕共振子においては、反射器のストップバンドの上限周
波数に起因する大きなスプリアスが共振特性上に現れる
ことがないため、通過帯域内リップルを低減することが
できる。加えて、並列腕共振子の電極指の対数が相対的
に多くされているため、反射器を設けなかったが、弾性
表面波エネルギーの漏洩が抑制されるため、挿入損失の
増大も招かない。

【００５７】他方、直列腕共振子においてはＩＤＴの両
側に反射器が設けられているので、通過帯域内において
Ｑ値が高くなり、従って、弾性表面波フィルタ全体の挿
入損失を低減することができる。また、直列腕共振子に
ついては、共振周波数を利用して弾性表面波フィルタの
通過帯域を形成しているものであり、共振周波数におけ
るインピーダンスが非常に低いため、反射器のストップ
バンドの下限周波数に起因するスプリアスは問題となら
ない。

【００５８】よって、本発明によれば、帯域内挿入損失
及びリップルが小さく、かつ広帯域のフィルタを提供す
ることができるため、例えば、移動体通信機器のバント
パスフィルタなどに最適な帯域フィルタを提供すること
が可能となる。

【００５９】また、本発明において、並列腕共振子のＩ
ＤＴの電極指の対数を１３０以上とした場合には、並列
腕共振子における弾性表面波エネルギーの漏洩を電極指
の対数の増大により効果的に抑制することができるの
で、挿入損失のより一層の低減を図ることが可能とな
る。

【００６０】６４°ＹカットＬｉＮｂＯ₃ 基板及び４１
°ＹカットＬｉＮｂＯ₃ 基板は、電機機械結合係数が３
５％及び４５％と高く、従って、これらの圧電基板を用
いた場合、弾性表面波フィルタのより一層の広帯域化を
図ることができる。

【００６１】なお、これらの圧電基板は、電気機械結合
係数の大きさに比べて、音響アドミタンス比が小さいた
め、反射器のスプリアスが通過帯域内に入ることにな
り、帯域内リップルの原因となる。そこで、従来の弾性
表面波フィルタにこれらの圧電基板を用いたとしても、
反射器を有する並列腕共振子において帯域内リップルを
生じさせないためには、上記音響アドミタンス比を６４
°ＹカットＬｉＮｂＯ₃基板では１．１５以上、４１°
ＹカットＬｉＮｂＯ₃ 基板では１．２５以上にしなけれ
ばならない。しかしながら、通常の製法では、６４°Ｙ
カットＬｉＮｂＯ ₃ 基板及び４１°ＹカットＬｉＮｂＯ
₃ 基板を用いた場合、音響アドミタンス比は、それぞ
れ、１．０７及び１．１３程度しかならない。従って、
電気機械結合係数が大きいため広帯域化に有利である６
４°ＹカットＬｉＮｂＯ₃ 基板や４１°ＹカットＬｉＮ
ｂＯ₃ 基板では、反射器を設けた場合通過帯域内にスプ
リアスが入り易いが、本発明に従って並列腕共振子を構
成することにより、このようなスプリアスに起因するフ
ィルタ特性の劣化を防止することができるため、本発明
によれば、このような電気機械結合係数の大きな圧電基
板を用いてより広帯域の弾性表面波フィルタを容易に提
供することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる弾性表面波フィルタの一構造例
を示す模式的平面図。

【図２】本発明において並列腕共振子として用いるのに
有利な多対型１ポート型ＳＡＷ共振子を説明するための
平面図。

【図３】図２に示した弾性表面波フィルタ中の並列腕共
振子のインピーダンス特性を示す図。

【図４】本発明の一実施例にかかる弾性表面波フィルタ
の減衰量周波数特性を示す図。

【図５】従来の弾性表面波フィルタの一例を説明するた
めの模式的平面図。

【図６】従来の弾性表面波フィルタで用いられている反
射器付きの１ポート型ＳＡＷ共振子を示す平面図。

【図７】従来の弾性表面波フィルタにおける反射器付き
１ポート型ＳＡＷ共振子のインピーダンス特性及び反射
器の反射率特性を示す図。

【図８】従来の弾性表面波フィルタの減衰量周波数特性
を示す図。

【図９】比較のための作製した従来の弾性表面波フィル
タを説明するための平面図。

【符号の説明】

１…弾性表面波フィルタ ２…圧電基板 ３，４…直列腕共振子 ５〜７…並列腕共振子 ３ａ，４ａ…ＩＤＴ ３ｂ，ｃ，４ｂ，４ｃ…反射器 ５ａ，５ｂ…くし歯電極 ５ａ₁ ，５ｂ₁ …電極指

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 入出力間を直列腕とし、該直列腕と基準
   電位との間に少なくとも一つの並列腕を有するラダー型
   フィルタを構成するように、圧電基板上に直列腕共振子
   及び並列腕共振子を形成してなり、前記直列腕共振子の
   共振周波数と、並列腕共振子の反共振周波数とをほぼ一
   致させてなる弾性表面波フィルタにおいて、 前記直列腕共振子は、インターデジタルトランスデュー
   サと、インターデジタルトランスデューサの両側に配置
   された反射器とを有する反射器付きＳＡＷ共振子で構成
   されており、 前記並列腕共振子が、直列腕共振子のインターデジタル
   トランスデューサの電極指の対数よりも電極指の対数が
   大きなインターデジタルトランスデューサを有し、該イ
   ンターデジタルトランスデューサの両側に反射器を有さ
   ないように構成されている反射器なしＳＡＷ共振子によ
   り構成されていることを特徴とする、弾性表面波フィル
   タ。
2. 【請求項２】 前記並列腕共振子のインターデジタルト
   ランスデューサの電極指の対数が１３０以上であること
   を特徴とする、請求項１に記載の弾性表面波フィルタ。
3. 【請求項３】 前記圧電基板が、６４°ＹカットＬｉＮ
   ｂＯ₃ 基板である、請求項１または２に記載の弾性表面
   波フィルタ。
4. 【請求項４】 前記圧電基板が、４１°ＹカットＬｉＮ
   ｂＯ₃ 基板であることを特徴とする請求項１または２に
   記載の弾性表面波フィルタ。