JPH02177462A - Metal head with positioning projection - Google Patents

Metal head with positioning projection

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Publication number
JPH02177462A
JPH02177462A JP32932388A JP32932388A JPH02177462A JP H02177462 A JPH02177462 A JP H02177462A JP 32932388 A JP32932388 A JP 32932388A JP 32932388 A JP32932388 A JP 32932388A JP H02177462 A JPH02177462 A JP H02177462A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
metal
cap
positioning
covered
header
Prior art date
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Pending
Application number
JP32932388A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yukio Saito
斉藤 幸夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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Publication of JPH02177462A publication Critical patent/JPH02177462A/en
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Abstract

PURPOSE:To obtain a metal head with positioning projection at a low price which is easly to manufacture without requiring coining by disposing a plurality of positioning projections for a cap so as to project on the side in which the cap is covered by a half-punch technique. CONSTITUTION:A metal head 14 forming a semiconductor package with a cap 12 covered is disposed by a half-punch technique so that a plurality of positioning projections 18 for the cap 12 project on the side in which the cap 12 is covered. For example, four column-like positioning projections 18 are disposed on one flat-plate metal base 16 by the half-punch technique, glass 8 is sealed in a hole disposed on the metal base 16, an electrical signal input- output terminal 10 is extracted via the glass 8, and the metal head 14 is formed. After an IC chip 24 is joined and bonded, the cap 12 is positioned so that four projections 18 fit in the inner peripheral surface 20 of the cap 12. The metal head 14 is covered with the metal cap 12, then projection welding is performed.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、マイクロ波IC等のベース本体に用いる金属
ヘッダの構造に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to the structure of a metal header used in a base body of a microwave IC or the like.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来、この種の金属ヘッダは、第5図(a)。 Conventionally, this type of metal header is shown in FIG. 5(a).

(b)にそれぞれ示す丸形、角形共、その周縁部は薄い
フランジ部2を構成し、断面が2段構造の位置出し用段
差4となっているものが一般的であった。金属ヘッダ6
に設けられた穴にはガラス8が封着され、ガラス中を通
して電気信号入出力端子lOが引き出され、ハーメチッ
クの電気信号入出力端子部が形成されている。
In both the round shape and the square shape shown in FIG. 3(b), the peripheral edge constitutes a thin flange portion 2, and the cross section generally has a positioning step 4 with a two-step structure. metal header 6
A glass 8 is sealed in the hole provided in the hole, and an electrical signal input/output terminal 10 is drawn out through the glass, thereby forming a hermetic electrical signal input/output terminal portion.

このような金属ヘッダ6には、半導体チップまたは基板
等(図示せず)が搭載され、ボンディングされた後、位
置出し用段差4を利用してメタルキャップ12を位置出
しして、金属へラダ6へ被せ溶接する。
A semiconductor chip or a substrate (not shown) is mounted on such a metal header 6, and after bonding, the metal cap 12 is positioned using the positioning step 4, and the metal cap 12 is placed on the metal header 6. Cover weld.

第6図は、金属ヘッダ6にメタルキャップ12を被せた
状態での断面図であり、位置出し用段差4がメタルキャ
ップ12の内周面の内側に位置している。なお図中、l
は段差4の距離を示している。
FIG. 6 is a sectional view of the metal header 6 covered with the metal cap 12, and the positioning step 4 is located inside the inner peripheral surface of the metal cap 12. In the figure, l
indicates the distance of step 4.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

従来の金属ヘッダの金属ベースは小物部品ではあるが、
コイニング加工が必須であり、100 )ン以上のプレ
ス機のパワーが必要となり、かつコイニングの金型の材
質も高硬度で、靭性の高い高価な特殊超硬材を用いなけ
ればならない。更には金属材料の塑性流動を円滑に行わ
しめるために、金属材料の焼鈍を必要とする。従って、
このような金属ヘッダはどの板金メーカーでも容易に製
造できず、その製造には大容量のプレス設備と熱処理設
備とを保有するメーカーに限定されており、金属ヘッダ
自体が高(かつコイニングの占めるコスト比率が高かっ
た。
Although the metal base of conventional metal headers is a small part,
Coining is essential, requiring the power of a press of 100 mm or more, and the material of the coining mold must be made of an expensive special carbide material with high hardness and toughness. Furthermore, in order to smoothly perform plastic flow of the metal material, annealing of the metal material is required. Therefore,
Such metal headers cannot be easily manufactured by any sheet metal manufacturer, and their manufacture is limited to manufacturers with large-capacity press equipment and heat treatment equipment.The metal header itself is expensive (and the cost of coining is The ratio was high.

また、金属材料の望性加工率が大きく、残存内部応力が
大きいため、金属ヘッダの後工程にあるハーメチック工
程時の脱炭熱処理、酸化熱処理、ガラス封着、歪取り等
、加熱時のヘッダ金属本体の熱変形を起こす原因にもな
っていた。更に小ロツト生産の場合、高価な型の割付は
額が大きく、コスト高の要因であった。
In addition, since the desired processing rate of metal materials is high and the residual internal stress is large, the header metal during heating, such as decarburization heat treatment, oxidation heat treatment, glass sealing, strain relief, etc. during the hermetic process in the subsequent process of the metal header. It also caused thermal deformation of the main body. Furthermore, in the case of small-lot production, the allocation of expensive molds was expensive and was a factor in high costs.

本発明の目的は、上述の問題点を解決し、製造が容易で
安価な位置出し用突起付き金属ヘッダを提供することに
ある。
An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems and provide a metal header with positioning projections that is easy to manufacture and inexpensive.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

本発明は、キャップが被せられて半導体パッケージを構
成する金属ヘッダであって、 キャップに対する位置出し用の複数個の突起が、キャッ
プが被せられる側に突出するようにハーフパンチ工法に
より設けられていることを特徴としている。
The present invention relates to a metal header that is covered with a cap to constitute a semiconductor package, and in which a plurality of protrusions for positioning with respect to the cap are provided by a half-punch method so as to protrude toward the side on which the cap is covered. It is characterized by

【実施例〕【Example〕

次に、本発明の詳細な説明する。 Next, the present invention will be explained in detail.

第1図は一実施例である丸形の金属ヘッダを説明するた
めの図であり、第1図(a)は金属ヘッダとメタルキャ
ップとの斜視図、第1図(b)は金属ヘッダをメタルキ
ャップに被せた状態での断面図である。なお、第1図に
おいて第5図の従来の金属ヘッダと同一の構成要素には
同一の番号を付して示す。
FIG. 1 is a diagram for explaining a round metal header as an example, FIG. 1(a) is a perspective view of a metal header and a metal cap, and FIG. 1(b) is a perspective view of a metal header. It is a sectional view in a state where it is covered with a metal cap. In FIG. 1, the same components as those of the conventional metal header shown in FIG. 5 are designated by the same numbers.

本実施例の丸形金属ヘッダ14は、1枚の平板の金属ベ
ース16にハーフパンチによる4個の円柱状の位置出し
用突起18を設けることに構成される。
The round metal header 14 of this embodiment is constructed by providing four cylindrical positioning protrusions 18 by half punching on a single flat metal base 16.

この位置出し用突起18は、メタルキャップ12が被さ
るインナー側に突出しており、メタルキャップ12を被
せた状態での平面図である第2図に示すように、1つの
円周上に90度の等角度間隔で設けられている。これら
4個の位置出し用突起18は、第1図(b)および第2
図かられかるように、メタルキャップ12の内周面20
の内側に、かつ内周面20にほぼ沿うように配置されて
いる。
This positioning protrusion 18 protrudes toward the inner side covered by the metal cap 12, and as shown in FIG. They are placed at equal angular intervals. These four positioning protrusions 18 are shown in FIG.
As shown in the figure, the inner peripheral surface 20 of the metal cap 12
It is arranged inside the inner peripheral surface 20 and substantially along the inner circumferential surface 20.

このような円柱状の位置出し用突起18は、1枚の平板
の金属ベース16を丸形断面のハーフパンチによりプレ
スすることにより形成される。従って、金属ベース16
のアウター側にはハーフパンチの凹部22が形成される
。このとき、位置出し用突起18の高さは、従来の金属
ヘッダにおける位置出し用段差の距離lと同じになるよ
うにし、これら突起18が従来の位置出し用段差と同様
に機能するようにしている。
Such a cylindrical positioning projection 18 is formed by pressing a single flat metal base 16 with a half punch having a round cross section. Therefore, the metal base 16
A half-punch recess 22 is formed on the outer side of. At this time, the height of the positioning protrusions 18 is made to be the same as the distance l of the positioning steps in the conventional metal header, so that these protrusions 18 function in the same manner as the conventional positioning steps. There is.

このような金属ベース16に設けられた穴にはガラス8
が封着され、ガラス中を通して電気信号入出力端子10
が引き出され、金属ヘッダ14が構成される。金属ヘッ
ダ14には、ICチップ24が接合され、ボンディング
される。ICチップの接合に際し、凹部22は接合装置
との位置決め用穴として利用できる。
A glass 8 is inserted into the hole provided in such a metal base 16.
are sealed and passed through the glass to connect electrical signal input/output terminals 10.
is pulled out to form the metal header 14. An IC chip 24 is joined and bonded to the metal header 14. When bonding IC chips, the recess 22 can be used as a hole for positioning the bonding device.

金属ヘンダ14にメタルキャップ12を被せるときには
、まず、金属へンダ14に設けられている4個の突起1
8がメタルキャップ12の内周面20内に入るように、
メタルキャップ12を位置出しする。そして、メタルキ
ャップ12を金属ヘッダ14に被せて、例えばプロジェ
クション溶接する。
When covering the metal cap 12 on the metal solder 14, first, the four protrusions 1 provided on the metal solder 14 are
8 into the inner circumferential surface 20 of the metal cap 12,
Position the metal cap 12. Then, the metal cap 12 is placed on the metal header 14 and, for example, projection welded.

このように本実施例の金属ヘッダには、従来の位置出し
用段差と同様の機能を有する位置出し用突起が設けられ
ているので、メタルキャップの位置出しを容易にならし
め、その溶接時の作業性の向上を高めている。
In this way, the metal header of this embodiment is provided with a positioning protrusion that has the same function as a conventional positioning step, so that the positioning of the metal cap is made easy and the positioning protrusion is made easier during welding. Improves work efficiency.

第3図および第4図は、他の実施例である角形金属ヘッ
ダを説明するための図であり、第3図は金属ヘッダ26
とメタルキャップ12との斜視図、第4図はメタルキャ
ップ12を被せた状態での平面図である。
3 and 4 are diagrams for explaining a rectangular metal header as another embodiment, and FIG. 3 shows a metal header 26
and a perspective view of the metal cap 12, and FIG. 4 is a plan view of the metal cap 12 covered with the metal cap 12.

本実施例の金属ヘッダ26は、ハーフパンチによる6個
の円柱状の位置出し用突起18が、3個ずつの2列に配
置され、かつ、各列においては位置出し用突起18は、
等間隔で配置されるように設けられている。そして、こ
れら6個の位置出し用突起18は、第4図に示すように
、メタルキャップ12の内周面28の内側に、かつ内周
面28にほぼ沿うように配置し、これら突起が従来の位
置出し用段差と同様に機能するようにしている。
In the metal header 26 of this embodiment, six half-punched cylindrical positioning projections 18 are arranged in two rows of three, and in each row, the positioning projections 18 are
They are arranged at equal intervals. As shown in FIG. 4, these six positioning protrusions 18 are arranged inside the inner circumferential surface 28 of the metal cap 12 and substantially along the inner circumferential surface 28. It functions in the same way as the positioning step.

このような金属ヘッダによれば、第1図の実施例の場合
と同様に、位置出し用突起の利用によりメタルキャップ
12の位置出しが容易になり、溶接時の作業性が向上す
る。
According to such a metal header, as in the case of the embodiment shown in FIG. 1, the use of the positioning protrusion facilitates positioning of the metal cap 12, thereby improving workability during welding.

なお、以上の実施例で説明した金属ヘッダは、コイニン
グ加工がないため、小容量のプレスで加工でき、このハ
ーフパンチ工法も一般プレス技術であることより、容易
に製造ができる。
Note that the metal header described in the above embodiments does not require coining processing, so it can be processed using a small-capacity press, and since this half-punch method is also a general press technology, it can be manufactured easily.

(発明の効果〕 以上説明したように本発明の金属ヘッダは、焼鈍工程も
不要になり、かつ、特殊な超硬の型も不要になるため、
初期の投資金額が少なくランニングコストも大幅に低減
できるメリットがある。また、一般プレス板金メーカー
ならどこでも容易に製造できるため、量産、少量生産、
試作のどの範嗜においても有利な構造である。
(Effects of the Invention) As explained above, the metal header of the present invention eliminates the need for an annealing process and also eliminates the need for a special carbide mold.
It has the advantage of requiring less initial investment and significantly reducing running costs. In addition, since it can be easily manufactured by any general press sheet metal manufacturer, mass production, small quantity production,
This structure is advantageous for any type of prototype production.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図および第 図、 第3図および第 第5図および第 図である。 12・・・・・ 14・・・・・ 16・・・・・ 18・・・・・ 20、28・・・ 22・・・・・ 24・・・・・ 26・・・・・ 2図は本発明の一実施例を示す 4図は他の実施例を示す図、 6図は従来の金属ヘッダを示す メタルキャップ 丸形金属ヘッダ 金属ベース 位置出し用突起 メタルキャップの内周面 凹部 ICチップ 角形金属ヘッダ Figure 1 and figure, Figure 3 and Figures 5 and 5 It is a diagram. 12... 14... 16... 18... 20, 28... 22... 24... 26... Figure 2 shows an embodiment of the present invention. Figure 4 shows another embodiment; Figure 6 shows a conventional metal header metal cap round metal header metal base Positioning protrusion Inner surface of metal cap recess IC chip square metal header

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)キャップが被せられて半導体パッケージを構成す
る金属ヘッダであって、 キャップに対する位置出し用の複数個の突起が、キャッ
プが被せられる側に突出するようにハーフパンチ工法に
より設けられていることを特徴とする位置出し用突起付
き金属ヘッダ。
(1) A metal header that is covered with a cap to form a semiconductor package, in which a plurality of protrusions for positioning with respect to the cap are provided using a half-punch method so as to protrude toward the side on which the cap is covered. A metal header with positioning protrusions.
JP32932388A 1988-12-28 1988-12-28 Metal head with positioning projection Pending JPH02177462A (en)

Priority Applications (1)

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JP32932388A JPH02177462A (en) 1988-12-28 1988-12-28 Metal head with positioning projection

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JP (1) JPH02177462A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03280446A (en) * 1990-03-28 1991-12-11 Nec Corp Measuring device for stand-off of semiconductor device
JPH0438126U (en) * 1990-07-27 1992-03-31

Cited By (2)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03280446A (en) * 1990-03-28 1991-12-11 Nec Corp Measuring device for stand-off of semiconductor device
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