JPH0217835U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0217835U JPH0217835U JP9552488U JP9552488U JPH0217835U JP H0217835 U JPH0217835 U JP H0217835U JP 9552488 U JP9552488 U JP 9552488U JP 9552488 U JP9552488 U JP 9552488U JP H0217835 U JPH0217835 U JP H0217835U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- metal mask
- permanent magnet
- mask
- holding plate
- Prior art date
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- Granted
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案における目合せ装置を示し、第
１図ａは平面配置の説明図、第１図ｂは正面配置
の説明図、第１図ｃは右側面配置の説明図、第２
図は本考案の目合せ装置における試料上に金属マ
スクを配置した平面配置の説明図、第３図は本考
案における試料載置台の平面配置の説明図、第４
図は突起電極を形成した半導体基板を示す断面図
、第５図は従来例における目合せ装置を示す断面
図である。 １２……試料、１４……金属マスク、１６……
微動台、１８……第１の永久磁石、２０……第２
の永久磁石、２２……試料載置台、２６……マス
ク保持板、３０……係合部、３２……支持台、３
８……マスク保持板受台、４２……顕微鏡。
１図ａは平面配置の説明図、第１図ｂは正面配置
の説明図、第１図ｃは右側面配置の説明図、第２
図は本考案の目合せ装置における試料上に金属マ
スクを配置した平面配置の説明図、第３図は本考
案における試料載置台の平面配置の説明図、第４
図は突起電極を形成した半導体基板を示す断面図
、第５図は従来例における目合せ装置を示す断面
図である。 １２……試料、１４……金属マスク、１６……
微動台、１８……第１の永久磁石、２０……第２
の永久磁石、２２……試料載置台、２６……マス
ク保持板、３０……係合部、３２……支持台、３
８……マスク保持板受台、４２……顕微鏡。
Claims (1)
- 縦方向横方向および高さ方向に移動可能でかつ
前記縦方向横方向面内で回転可能な微動台と、該
微動台上に配置し第１の永久磁石を備え試料を真
空吸着する試料載置台と、該試料載置台上とガイ
ド板上とを開閉する非磁性材料からなり窓部を有
するマスク保持板と、第２の永久磁石によつて前
記マスク保持板を介して保持される磁性材料から
なる金属マスクと、前記試料と金属マスクとの位
置合せを行なうための顕微鏡とを備えることを特
徴とする金属マスクにおける目合せ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9552488U JPH0747867Y2 (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 | 金属マスクにおける目合せ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9552488U JPH0747867Y2 (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 | 金属マスクにおける目合せ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0217835U true JPH0217835U (ja) | 1990-02-06 |
| JPH0747867Y2 JPH0747867Y2 (ja) | 1995-11-01 |
Family
ID=31320192
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9552488U Expired - Lifetime JPH0747867Y2 (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 | 金属マスクにおける目合せ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0747867Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-07-19 JP JP9552488U patent/JPH0747867Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0747867Y2 (ja) | 1995-11-01 |
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