JPH02180735A - 光ファイバのハーメチックコーティング装置 - Google Patents
光ファイバのハーメチックコーティング装置Info
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- JPH02180735A JPH02180735A JP64000558A JP55889A JPH02180735A JP H02180735 A JPH02180735 A JP H02180735A JP 64000558 A JP64000558 A JP 64000558A JP 55889 A JP55889 A JP 55889A JP H02180735 A JPH02180735 A JP H02180735A
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- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims description 35
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims description 33
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 title claims description 14
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 34
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 27
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 claims description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 2
- 239000013212 metal-organic material Substances 0.000 claims description 2
- 238000005234 chemical deposition Methods 0.000 claims 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 238000009987 spinning Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- -1 hydroxyl ions Chemical class 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000002230 thermal chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C25/00—Surface treatment of fibres or filaments made from glass, minerals or slags
- C03C25/10—Coating
- C03C25/12—General methods of coating; Devices therefor
- C03C25/22—Deposition from the vapour phase
- C03C25/223—Deposition from the vapour phase by chemical vapour deposition or pyrolysis
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- Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
- Surface Treatment Of Glass Fibres Or Filaments (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用公費〉
本発明は、光ファイバに、異種核化学的付着(HNTD
)、化学的蒸気付着(CVDi減圧熱CVDも含む)な
どによね金属、無機物ノへ−メチック被覆を施す光ファ
イバのハーメチックコーティング装置に関する。
)、化学的蒸気付着(CVDi減圧熱CVDも含む)な
どによね金属、無機物ノへ−メチック被覆を施す光ファ
イバのハーメチックコーティング装置に関する。
〈従来の技術〉
光ファイバは水蒸気および多くの有害環境に対して非常
に敏感であるが、有機材料被覆は1水蒸気あるいは水酸
基イオンの拡散を阻止できない。それ故、光ファイバは
その強度を保持するためには金属や無機物からなるハー
メチック被覆を施す必要がある。
に敏感であるが、有機材料被覆は1水蒸気あるいは水酸
基イオンの拡散を阻止できない。それ故、光ファイバは
その強度を保持するためには金属や無機物からなるハー
メチック被覆を施す必要がある。
かかるハーメチック被覆をファイバに施すためには例え
ば特公昭61−32270号公報に開示されているよう
に、線引炉とl1tjll被覆装置との間にHNTDあ
るいはCVD反応炉を設置して連続的にコーティングす
る必要がある。すなわち、第4図に示すように、線引炉
1直下にヒータ2とこの七−夕2により加熱される反応
管3とからなる反応炉4が設けられており、線引炉1で
綿引きされたファイバ5は反応v:3を通って、樹脂被
覆を行う樹脂被覆装置6に送られ、図示しない樹脂硬化
装置を経て樹脂被覆されるようになっている。ここで、
反応管3にはガス供給口3aとガス排気口3bとが形成
され、ガス供給口3aからは原料ガスと希釈ガスとがそ
れぞれバルブ7a、?b及び流量計8a、8bとを介し
て導入される一方、ガス排気口3bからは排ガスがバル
ブ7C及び流量計80を介して排気されるようになって
おり、バルブ7 m、7 b。
ば特公昭61−32270号公報に開示されているよう
に、線引炉とl1tjll被覆装置との間にHNTDあ
るいはCVD反応炉を設置して連続的にコーティングす
る必要がある。すなわち、第4図に示すように、線引炉
1直下にヒータ2とこの七−夕2により加熱される反応
管3とからなる反応炉4が設けられており、線引炉1で
綿引きされたファイバ5は反応v:3を通って、樹脂被
覆を行う樹脂被覆装置6に送られ、図示しない樹脂硬化
装置を経て樹脂被覆されるようになっている。ここで、
反応管3にはガス供給口3aとガス排気口3bとが形成
され、ガス供給口3aからは原料ガスと希釈ガスとがそ
れぞれバルブ7a、?b及び流量計8a、8bとを介し
て導入される一方、ガス排気口3bからは排ガスがバル
ブ7C及び流量計80を介して排気されるようになって
おり、バルブ7 m、7 b。
7cにより反応管3内のガス雰囲気を適正状態に保つよ
うになっている。
うになっている。
また、USP4735856には、複数(7)CVD炉
を直列に配置するか、又は上述したような反応管を長く
してガス供給口を複数設けるかしてハーメチック被覆を
複数層形成する装置が開示されている。
を直列に配置するか、又は上述したような反応管を長く
してガス供給口を複数設けるかしてハーメチック被覆を
複数層形成する装置が開示されている。
〈発明が解決しようとする課題〉
前述した従来のハーメチック被覆装置では、一つの被覆
層を形成する反応管内のガス雰囲気は線引方向に亘って
ほぼ均一に調節されているが、被覆の重要なパラメータ
である基盤温度、すなわちファイバ温度は線引炉の紡糸
点から指数関数的に低下するので、反応管の入口付近と
出口付近との被覆条件が大きく異なってしまうという問
題がある。すなわち、入口付近では緻密な被覆が形成さ
れても出口付近ではファイバ温度が低いため同様の膜は
形成されず、また、最適なガス雰囲気範囲が非常に狭い
ので、反応管内の全体のファイバ温度に合せたガス雰囲
気を設定することはできない。さらに、上流側で原料ガ
スが熱分解した微粒子の一部がファイバに直ぐに付着せ
ず、下流に流動する過程で成長して大粒径となってファ
イバに付着し、膜質を低下させるという問題もある。
層を形成する反応管内のガス雰囲気は線引方向に亘って
ほぼ均一に調節されているが、被覆の重要なパラメータ
である基盤温度、すなわちファイバ温度は線引炉の紡糸
点から指数関数的に低下するので、反応管の入口付近と
出口付近との被覆条件が大きく異なってしまうという問
題がある。すなわち、入口付近では緻密な被覆が形成さ
れても出口付近ではファイバ温度が低いため同様の膜は
形成されず、また、最適なガス雰囲気範囲が非常に狭い
ので、反応管内の全体のファイバ温度に合せたガス雰囲
気を設定することはできない。さらに、上流側で原料ガ
スが熱分解した微粒子の一部がファイバに直ぐに付着せ
ず、下流に流動する過程で成長して大粒径となってファ
イバに付着し、膜質を低下させるという問題もある。
一方、ハーメチック被覆を二層形成しようとする場合、
二層目の反応管内ではファイバ温度が低すぎて良好な二
次被覆を行うことができないという問題もある。
二層目の反応管内ではファイバ温度が低すぎて良好な二
次被覆を行うことができないという問題もある。
本発明はこのような事情に鑑み、膜質の良好なハーメチ
ック被覆を施すことができる光ファイバのハーメチック
コーティング装置を提供することを目的とする。
ック被覆を施すことができる光ファイバのハーメチック
コーティング装置を提供することを目的とする。
く課題を解決するための手段〉
前記目的を達成する本発明にかかる光ファイバのハーメ
チックコーティング装置は、線引炉で紡糸されたファイ
バが通過する反応管を有する異種核化学的付着又は化学
的蒸気付着反応炉により金属若しくは無機物からなるハ
ーメチック被覆を形成する光ファイバのハーメチックコ
ーティング装置において、上記反応管の一の被覆を形成
する部分がファイバの移動方向に沿って複数の部屋に区
画され、各部屋のガス雰囲気条件がそれぞれ独立して制
御できることを特徴とする。
チックコーティング装置は、線引炉で紡糸されたファイ
バが通過する反応管を有する異種核化学的付着又は化学
的蒸気付着反応炉により金属若しくは無機物からなるハ
ーメチック被覆を形成する光ファイバのハーメチックコ
ーティング装置において、上記反応管の一の被覆を形成
する部分がファイバの移動方向に沿って複数の部屋に区
画され、各部屋のガス雰囲気条件がそれぞれ独立して制
御できることを特徴とする。
く作 用〉
紡糸されたファイバが反応管の一のハーメチック被覆を
施す複数の部屋を通過する際、各部のガス雰囲気の温度
、ガス濃度及びガス流量は各部屋を通過するファイバ温
度に合せて最適に調節され、膜質の良好な厚い膜が形成
される。
施す複数の部屋を通過する際、各部のガス雰囲気の温度
、ガス濃度及びガス流量は各部屋を通過するファイバ温
度に合せて最適に調節され、膜質の良好な厚い膜が形成
される。
線引炉を出たファイバの温度は近似的に次式で表される
。
。
hz
T、=T0+ (T、 To) e ”dVFTl:フ
ァイバ温度、To:外気温度。
ァイバ温度、To:外気温度。
T6:紡糸直後のファイバ温度。
h:熱伝達率、ρ:ファイバ密度、C:ファイバ比熱。
d:ファイバ径、z:紡糸点からの距離。
■F:s速
したがって、ファイバ温度Tlは、紡糸点からの距離Z
の増加に伴い指数関数的に低下する。
の増加に伴い指数関数的に低下する。
ここで、簡単のため、外気温度を約20℃とし、実際の
炉内のガス温度及びCVDによるガス反応の発熱・吸熱
の影響を無視し、例えばcl = 125 μm、 V
F= 150m/+inの場合、炉入口で1600℃の
ファイバは10艶下方では1380℃、30cm下方で
は1030℃、50cm下方では770℃と急激に冷却
されてしまうことになる。
炉内のガス温度及びCVDによるガス反応の発熱・吸熱
の影響を無視し、例えばcl = 125 μm、 V
F= 150m/+inの場合、炉入口で1600℃の
ファイバは10艶下方では1380℃、30cm下方で
は1030℃、50cm下方では770℃と急激に冷却
されてしまうことになる。
このようなファイバの冷却の様子を第3図に示す。図中
、TIがファイバ温度であり、T2がそのファイバ温度
に対して最適なガス雰囲気の温度である。又、TQの上
下の八ツチングを施した部分は最適な状態で生膜できる
温度範囲であり、その範囲より高い温度ではダストが発
生し、低すぎると反応せずに膜が形成されない。なお、
ここではガス濃度及びガス流量は一定としである。
、TIがファイバ温度であり、T2がそのファイバ温度
に対して最適なガス雰囲気の温度である。又、TQの上
下の八ツチングを施した部分は最適な状態で生膜できる
温度範囲であり、その範囲より高い温度ではダストが発
生し、低すぎると反応せずに膜が形成されない。なお、
ここではガス濃度及びガス流量は一定としである。
よって、複数の部屋のガス雰囲気の温度を、最適範囲に
入るように調節し、又、ガス濃度・流量を調節しながら
それに合せた最IIi温度範囲に入るように調節するこ
とにより、複数の部屋に亘って膜質の良好な膜が形成さ
れる。
入るように調節し、又、ガス濃度・流量を調節しながら
それに合せた最IIi温度範囲に入るように調節するこ
とにより、複数の部屋に亘って膜質の良好な膜が形成さ
れる。
く実 施 例〉
以下、本発明を実施例により詳細に説明する。
第1図には本発明の好適な一実施例にかかる光ファイバ
のハーメチックコーティング装置の概略を示す。なお、
従来と同様な部分には同様な符号を付し重複した説明は
省略する。
のハーメチックコーティング装置の概略を示す。なお、
従来と同様な部分には同様な符号を付し重複した説明は
省略する。
同図に示すように、線引炉1の直下に設けられた反応炉
4の反応管3はシャッタ9によりファイバの移動方向に
沿って3つの部屋3A〜30に分割されており、各部屋
3A〜3C内のガス温度を独立して制御できるようにそ
れぞれ独立したヒータ2A〜2Cが設けられている。ま
た、各部屋3A〜3Cはそれぞれガス供給口3a及びガ
ス排気口3bとが独立して設けられており、各ガス供給
口3a及びガス排気口3bには原料ガスの濃度・流量が
各部屋3A〜3C毎に調節できるようにそれぞれ独立し
てバルブ78〜7C及び流量計8a〜8Cが設けられて
いる。乙のようにして、各部屋3A〜3Cのガス雰囲気
条件、すなわちガス温度、ガス流量・濃度は独立して設
定できるようになっている。
4の反応管3はシャッタ9によりファイバの移動方向に
沿って3つの部屋3A〜30に分割されており、各部屋
3A〜3C内のガス温度を独立して制御できるようにそ
れぞれ独立したヒータ2A〜2Cが設けられている。ま
た、各部屋3A〜3Cはそれぞれガス供給口3a及びガ
ス排気口3bとが独立して設けられており、各ガス供給
口3a及びガス排気口3bには原料ガスの濃度・流量が
各部屋3A〜3C毎に調節できるようにそれぞれ独立し
てバルブ78〜7C及び流量計8a〜8Cが設けられて
いる。乙のようにして、各部屋3A〜3Cのガス雰囲気
条件、すなわちガス温度、ガス流量・濃度は独立して設
定できるようになっている。
なお、シャッタのファイバ通過孔の径は4門φ程度と充
分小さくし、各部屋3A〜3C内に供給、排気するガス
の量のバランスをとると共に各部屋3A〜30間のガス
の混入及び大気の混入を防止している。また、各部屋3
A〜3C内のガス温度はそれぞれ挿入されている熱電対
により測定している。
分小さくし、各部屋3A〜3C内に供給、排気するガス
の量のバランスをとると共に各部屋3A〜30間のガス
の混入及び大気の混入を防止している。また、各部屋3
A〜3C内のガス温度はそれぞれ挿入されている熱電対
により測定している。
反応管3の全長を32 am 、各部屋3A〜3Cの長
さをそれぞれ9 an、 IQ、5 am、 12
.5 amとしてあり、各部J13A〜3C内でのファ
イバ温度の範囲が200℃程度になるように設定しであ
る。すなわち、上述したように反応管の入口でのファイ
バ温度が1600℃、出口で100.0℃とすると、第
1の部屋3A内では1600〜1400℃、第2の部屋
3B内では1400〜1200℃、第3の部屋3C内で
は1200〜1000℃となる。
さをそれぞれ9 an、 IQ、5 am、 12
.5 amとしてあり、各部J13A〜3C内でのファ
イバ温度の範囲が200℃程度になるように設定しであ
る。すなわち、上述したように反応管の入口でのファイ
バ温度が1600℃、出口で100.0℃とすると、第
1の部屋3A内では1600〜1400℃、第2の部屋
3B内では1400〜1200℃、第3の部屋3C内で
は1200〜1000℃となる。
かかるハーメチックコーティング装置を用いて、各部屋
3A〜3C内のガス濃度及びガス流量を独立して調節す
ると共に、各部屋3A〜3Cのガス温度をと−タ2A〜
2Cによりそれぞれ最″a温度範囲に設定することによ
り、良好な膜質のハーメチック被膜を全部屋3A〜30
に亙って形成することができた。
3A〜3C内のガス濃度及びガス流量を独立して調節す
ると共に、各部屋3A〜3Cのガス温度をと−タ2A〜
2Cによりそれぞれ最″a温度範囲に設定することによ
り、良好な膜質のハーメチック被膜を全部屋3A〜30
に亙って形成することができた。
第2図には他の実施例にかかる八−メチツクコーティン
グ装置を示す。同図に示すように、本実施例では反応管
30をファイバ温度が100℃単位となるように6分割
するシャッタ9を設けて部屋aOA〜30Fを形成した
ものであり、各部屋30A〜30Fにはそれぞれガス供
給口30a及びガス排気口30bを設けた点も上記実施
例と同様である。なお、各部屋30A 〜30Fの長さ
は4.0cm、4.5am、 5.0 am、 5.5
am、 6.0 am、 6.5 cmである。
グ装置を示す。同図に示すように、本実施例では反応管
30をファイバ温度が100℃単位となるように6分割
するシャッタ9を設けて部屋aOA〜30Fを形成した
ものであり、各部屋30A〜30Fにはそれぞれガス供
給口30a及びガス排気口30bを設けた点も上記実施
例と同様である。なお、各部屋30A 〜30Fの長さ
は4.0cm、4.5am、 5.0 am、 5.5
am、 6.0 am、 6.5 cmである。
ま1、各ガス供給口30a及びガス排気口30bにはそ
れぞれ独立したバルブ7a〜7C及び流量計8a〜8C
を接続して各部屋30A〜30Fのガス濃度・流量を独
立して調節できろようになっている点も上述した実施例
と同様である。
れぞれ独立したバルブ7a〜7C及び流量計8a〜8C
を接続して各部屋30A〜30Fのガス濃度・流量を独
立して調節できろようになっている点も上述した実施例
と同様である。
なお、この反応管30は断熱材20で囲まれることによ
り反応炉40を形成しており、各部屋30A〜30F内
のガス雰囲気温度の調節は炉外に設けられたヒータ10
により制御できるようになっている。すなわち、各部屋
に供給されるガス温度をヒータ10で各別に調節するこ
とにより、各部屋30A〜30F内のガス雰囲気温度を
適正に保つようになっている。
り反応炉40を形成しており、各部屋30A〜30F内
のガス雰囲気温度の調節は炉外に設けられたヒータ10
により制御できるようになっている。すなわち、各部屋
に供給されるガス温度をヒータ10で各別に調節するこ
とにより、各部屋30A〜30F内のガス雰囲気温度を
適正に保つようになっている。
〈発明の効果〉
以上説明したように、本発明にかかる光ファイバのハー
メチックコーティング装置によれば、一の被覆層を形成
するファイバ移動方向に亙って適正なガス5J凹気条件
を設定できるので、膜質の良好な厚い被膜を形成すると
とができ、また、この場合、膜質がほぼ均一となるので
膜の良否は膜質×膜厚で表わすことができる。
メチックコーティング装置によれば、一の被覆層を形成
するファイバ移動方向に亙って適正なガス5J凹気条件
を設定できるので、膜質の良好な厚い被膜を形成すると
とができ、また、この場合、膜質がほぼ均一となるので
膜の良否は膜質×膜厚で表わすことができる。
第1図は本発明の一実施例にかかる光ファイバのハーメ
チックコーティング装置を概念的に示す説明図、第2図
は他の実施例にかかる装置を概念的に示す説明図、第3
図はファイバ冷却とガス雰囲気最′a温度を示すグラフ
、第4図は従来技術にかかるハーメチックコーティング
装置を示す説明図である。 図 面 中、 1は線引炉、 2はヒータ、 3.30は反応管、 3A〜3G、30A〜30Fは部屋、 4.40は反応炉、 5はファイバ、 6は樹脂被覆装置、 7a〜7cはバルブ、 88〜8cは流量計、 9はシャッタ、 10はヒータ、 20は断熱材である。
チックコーティング装置を概念的に示す説明図、第2図
は他の実施例にかかる装置を概念的に示す説明図、第3
図はファイバ冷却とガス雰囲気最′a温度を示すグラフ
、第4図は従来技術にかかるハーメチックコーティング
装置を示す説明図である。 図 面 中、 1は線引炉、 2はヒータ、 3.30は反応管、 3A〜3G、30A〜30Fは部屋、 4.40は反応炉、 5はファイバ、 6は樹脂被覆装置、 7a〜7cはバルブ、 88〜8cは流量計、 9はシャッタ、 10はヒータ、 20は断熱材である。
Claims (2)
- (1)線引炉で紡糸されたファイバが通過する反応管を
有する異種核化学的付着又は化学的蒸気付着反応炉によ
り金属若しくは無機物からなるハーメチック被覆を形成
する光ファイバのハーメチックコーティング装置におい
て、上記反応管の一の被覆を形成する部分がファイバの
移動方向に沿って複数の部屋に区画され、各部屋のガス
雰囲気条件がそれぞれ独立して制御できることを特徴と
する光ファイバのハーメチックコーティング装置。 - (2)炉内に設けた複数個のヒータあるいは炉外の複数
個の熱源により各部屋のガス雰囲気の温度を調節すると
共に、各部屋毎に供給されるガスの混合比・流量を複数
のバルブを介して設定することにより、各部屋のガス雰
囲気条件を制御する請求項1記載の光ファイバのハーメ
チックコーティング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP64000558A JPH02180735A (ja) | 1989-01-06 | 1989-01-06 | 光ファイバのハーメチックコーティング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP64000558A JPH02180735A (ja) | 1989-01-06 | 1989-01-06 | 光ファイバのハーメチックコーティング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02180735A true JPH02180735A (ja) | 1990-07-13 |
Family
ID=11477054
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP64000558A Pending JPH02180735A (ja) | 1989-01-06 | 1989-01-06 | 光ファイバのハーメチックコーティング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02180735A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5348564A (en) * | 1991-02-14 | 1994-09-20 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method for manufacturing a hermetically coated optical fiber |
| JP2019518139A (ja) * | 2016-06-02 | 2019-06-27 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 連続化学気相堆積(cvd)マルチゾーン処理キット |
-
1989
- 1989-01-06 JP JP64000558A patent/JPH02180735A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2019518139A (ja) * | 2016-06-02 | 2019-06-27 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 連続化学気相堆積(cvd)マルチゾーン処理キット |
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