JPH02183934A - カラー受像管の製造方法 - Google Patents
カラー受像管の製造方法Info
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- JPH02183934A JPH02183934A JP263689A JP263689A JPH02183934A JP H02183934 A JPH02183934 A JP H02183934A JP 263689 A JP263689 A JP 263689A JP 263689 A JP263689 A JP 263689A JP H02183934 A JPH02183934 A JP H02183934A
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- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的1
(産業上の利用分野)
この発明は、カラー受像管の製造方法に係り、特に蛍光
体スクリーン形成工程における露光方法を改良したカラ
ー受像管の製造方法に関する。
体スクリーン形成工程における露光方法を改良したカラ
ー受像管の製造方法に関する。
(従来の技術)
一般に、シi’ドウマスク型カラー受像管は、第9図に
示すように、はぼ矩形状のパネル(1)とこのパネル(
1)に一体に接合された漏斗状の7ノ・ンネル(2)と
からなる外囲器を有し、そのファンネル(2)のネック
(3)内に配設された電子銃(4)から放出される3電
子ビームをファンネル(2)の外側に装首された偏向ヨ
ーク(5)により水平および垂直方向に偏向し、シャド
ウマスク(6)を介してパネル(1)内面に形成された
青、緑、赤に発光する3色蛍光体層からなる蛍光体スク
リーン(7)を走査することにより、この蛍光体スクリ
ーン(7)上にカラー画像を表示する構造に構成されて
いる。
示すように、はぼ矩形状のパネル(1)とこのパネル(
1)に一体に接合された漏斗状の7ノ・ンネル(2)と
からなる外囲器を有し、そのファンネル(2)のネック
(3)内に配設された電子銃(4)から放出される3電
子ビームをファンネル(2)の外側に装首された偏向ヨ
ーク(5)により水平および垂直方向に偏向し、シャド
ウマスク(6)を介してパネル(1)内面に形成された
青、緑、赤に発光する3色蛍光体層からなる蛍光体スク
リーン(7)を走査することにより、この蛍光体スクリ
ーン(7)上にカラー画像を表示する構造に構成されて
いる。
なお、第9図に示した(8)は電子ビームに対する地磁
気の影響を防止するためのインナーシールドである。
気の影響を防止するためのインナーシールドである。
かかるカラー受像管において、蛍光体スクリーン(7)
上に色ずれのない正しいカラー画像を表示するためには
、蛍光体スクリーン(7)を構成する3色蛍光体層とシ
ャドウマスク(6)とは整合関係になければならない。
上に色ずれのない正しいカラー画像を表示するためには
、蛍光体スクリーン(7)を構成する3色蛍光体層とシ
ャドウマスク(6)とは整合関係になければならない。
そのため、従来よりカラー受像管の蛍光体スクリーン(
7)は、上記カラー受像管内に組込まれるシャドウマス
ク(6)そのものを使用して写真印刷法により形成され
ている。
7)は、上記カラー受像管内に組込まれるシャドウマス
ク(6)そのものを使用して写真印刷法により形成され
ている。
このシャドウマスク(6)を使用した写真印刷法による
蛍光体スクリーン(7)の製造を容易に16ため、通常
シャドウマスク(6)は、多数の電子ビーム通過孔の形
成されたマスク本体(9)の周辺部を保持するマスクフ
レーム(10)に弾性支持体(11)を取付け、この弾
性支持体(11)をパネル(1)内側面に固着されたス
タッドピン(12)に着脱自在に係止するマスク支持手
段(13)により支持されている。
蛍光体スクリーン(7)の製造を容易に16ため、通常
シャドウマスク(6)は、多数の電子ビーム通過孔の形
成されたマスク本体(9)の周辺部を保持するマスクフ
レーム(10)に弾性支持体(11)を取付け、この弾
性支持体(11)をパネル(1)内側面に固着されたス
タッドピン(12)に着脱自在に係止するマスク支持手
段(13)により支持されている。
上記写真印刷法による蛍光体スクリーンの製造は、まず
、マスクフレームに弾性支持体を溶接して、着脱自在に
シレドウマスクが支持されたパネル・マスク組合わせ体
をつくり、そのパネル・マスク組合わせ体についておこ
なわれる。たとえば3色蛍光体層がドツトからなり、そ
のドラl−間に光吸収層が設けられたブラックマトリッ
クス型蛍光体スクリーンについては、第10図に示すよ
うに、そのパネル内面にポリビニルアルコール(以下P
v^と略記)を主成分として感光剤の小クロム酸アンモ
ニウム(以下へ〇Cと略記)を添加した感光膜を塗15
形成する。ついで、その感光膜の形成されたパネルにシ
ャドウマスクを装着し、露光装置により上記感光膜にシ
rド1クマスクの電子ビーム通過孔に対応するパターン
を焼付ける。
、マスクフレームに弾性支持体を溶接して、着脱自在に
シレドウマスクが支持されたパネル・マスク組合わせ体
をつくり、そのパネル・マスク組合わせ体についておこ
なわれる。たとえば3色蛍光体層がドツトからなり、そ
のドラl−間に光吸収層が設けられたブラックマトリッ
クス型蛍光体スクリーンについては、第10図に示すよ
うに、そのパネル内面にポリビニルアルコール(以下P
v^と略記)を主成分として感光剤の小クロム酸アンモ
ニウム(以下へ〇Cと略記)を添加した感光膜を塗15
形成する。ついで、その感光膜の形成されたパネルにシ
ャドウマスクを装着し、露光装置により上記感光膜にシ
rド1クマスクの電子ビーム通過孔に対応するパターン
を焼付ける。
このパターン焼付けに使用される従来の露光装置は、第
11図に示すように、パネル(1)を位置決め支持する
支持台(15)、露光光源(16)、この露光光源(1
6)からの光を電子銃から放出される電子ビームの軌道
に近似させる補正レンズなどの光学系(17)を備え、
その支持台(15)上に感光膜(18)が形成されかつ
シレドウマスク(6)の装着されたパネル(1)を水平
に位置決め支持しておこなわれる。
11図に示すように、パネル(1)を位置決め支持する
支持台(15)、露光光源(16)、この露光光源(1
6)からの光を電子銃から放出される電子ビームの軌道
に近似させる補正レンズなどの光学系(17)を備え、
その支持台(15)上に感光膜(18)が形成されかつ
シレドウマスク(6)の装着されたパネル(1)を水平
に位置決め支持しておこなわれる。
つぎに、上記シャドウマスクの電子ビーム通過孔に対応
するパターンが焼付けられたパネル内面の感光膜を現像
して未感光部を除去し、電子ビーム通過孔に対応するパ
ターンからなるレジスト膜を形成する。さらに、そのレ
ジスト膜の形成されたパネル内面に光吸収塗料層を塗布
形成し、その後、レジスト膜上の光吸収塗料をレジスト
膜とともに剥離して、3色蛍光体層形成位置を空隙部と
するマトリックス状の光吸収層を形成する。
するパターンが焼付けられたパネル内面の感光膜を現像
して未感光部を除去し、電子ビーム通過孔に対応するパ
ターンからなるレジスト膜を形成する。さらに、そのレ
ジスト膜の形成されたパネル内面に光吸収塗料層を塗布
形成し、その後、レジスト膜上の光吸収塗料をレジスト
膜とともに剥離して、3色蛍光体層形成位置を空隙部と
するマトリックス状の光吸収層を形成する。
つぎに、上記光吸収層の形成されたパネル内面に、たと
えば青蛍光体とPVAを主成分とし、^DCを添加した
感光性、蛍光体スラリ層を塗イ「形成する。ついでこの
蛍光体スラリ層の形成されたパネルにシャドウマスクを
装着し、上記露光装置と同様の露光装置により青蛍光体
層形成位置にシャドウマスクの電子ビーム通過孔に対応
するパターンを焼付ける。その後、このこのパターンの
焼イー1けられた蛍光体スラリ層を現像して青蛍光体ド
ツトを形成する。
えば青蛍光体とPVAを主成分とし、^DCを添加した
感光性、蛍光体スラリ層を塗イ「形成する。ついでこの
蛍光体スラリ層の形成されたパネルにシャドウマスクを
装着し、上記露光装置と同様の露光装置により青蛍光体
層形成位置にシャドウマスクの電子ビーム通過孔に対応
するパターンを焼付ける。その後、このこのパターンの
焼イー1けられた蛍光体スラリ層を現像して青蛍光体ド
ツトを形成する。
以下、この青蛍光体ドツトの形成と同様の方法を線蛍光
体および赤蛍光体について繰返して3色蛍光体ドツト(
3色蛍光体層)を形成する。
体および赤蛍光体について繰返して3色蛍光体ドツト(
3色蛍光体層)を形成する。
第12図に上記シャドウマスクを着脱自在に支持するマ
スク支持構造の従来例を示す。この例では、マスク支持
手段(13)の弾性支持体(11)は、先端部に係合孔
の形成された細長い板ばねからなり、はぼ矩形状マスク
フレーム(10)の各側辺中央部に、カラー受像管動作
時のシャドウマスク(6)の熱膨張変位を補償するバイ
メタル素子(20)を溶接し、このバイメタル素子(2
0)上に上記弾性支持体(11)を溶接して、その先端
部の係合孔をスタッドビン(12)に係止することによ
りシャドウマスク(6)をパネル(1)内側に着脱自在
に支持づる構造となっている。
スク支持構造の従来例を示す。この例では、マスク支持
手段(13)の弾性支持体(11)は、先端部に係合孔
の形成された細長い板ばねからなり、はぼ矩形状マスク
フレーム(10)の各側辺中央部に、カラー受像管動作
時のシャドウマスク(6)の熱膨張変位を補償するバイ
メタル素子(20)を溶接し、このバイメタル素子(2
0)上に上記弾性支持体(11)を溶接して、その先端
部の係合孔をスタッドビン(12)に係止することによ
りシャドウマスク(6)をパネル(1)内側に着脱自在
に支持づる構造となっている。
しかし、このマスク支持構造では、シャトウマスク(6
)は、マスクフレーム(10)の中央部で支持されるた
め、蛍光体スクリーン形成時などカラー受像管の製造工
程にd3いてシャドウマスク(6)に加わる負荷や、カ
ラー受像管の動作時におけるシャドウマスク(6)の温
度上昇などにより、弾性支持体(11)が溶接されでい
るマスクフレーム(9)の中央部を中心にして捩れやす
く、待に]−す一部が大ぎく変位して、3色蛍光体層と
シャドウマスク(6)の電子ビーム通過孔との整合関係
がずれ、3色蛍光体層に対づ−る電子ビームのランディ
ングかずれ、画面に色ずれを牛じゃ覆い。このマスク支
持構造の問題点を解決するためには、マスクフレームの
板厚を厚くしてその機械的強度を人さくすればよいが、
単純にマスクル−ムの板厚を厚くすると、その重量増加
のためにマスク支持手段に加わる負荷が大きくなり、外
部衝撃によりマスク支持手段の破10や変形などがおこ
しやすくなる。
)は、マスクフレーム(10)の中央部で支持されるた
め、蛍光体スクリーン形成時などカラー受像管の製造工
程にd3いてシャドウマスク(6)に加わる負荷や、カ
ラー受像管の動作時におけるシャドウマスク(6)の温
度上昇などにより、弾性支持体(11)が溶接されでい
るマスクフレーム(9)の中央部を中心にして捩れやす
く、待に]−す一部が大ぎく変位して、3色蛍光体層と
シャドウマスク(6)の電子ビーム通過孔との整合関係
がずれ、3色蛍光体層に対づ−る電子ビームのランディ
ングかずれ、画面に色ずれを牛じゃ覆い。このマスク支
持構造の問題点を解決するためには、マスクフレームの
板厚を厚くしてその機械的強度を人さくすればよいが、
単純にマスクル−ムの板厚を厚くすると、その重量増加
のためにマスク支持手段に加わる負荷が大きくなり、外
部衝撃によりマスク支持手段の破10や変形などがおこ
しやすくなる。
上記マスク支持構造の問題点を解決するために、従来J
:り第13図に示すように、はぼ矩形状マスクフレーム
(10)の各]−す一部にほぼ口字状の弾性支持体(1
1)を溶接し、その遊端部に形成された係合孔を同じく
パネル(1)の内側面コーナ一部に溶谷されたスタッド
ピン(12)に係1づ−るにうにしたものかある。
:り第13図に示すように、はぼ矩形状マスクフレーム
(10)の各]−す一部にほぼ口字状の弾性支持体(1
1)を溶接し、その遊端部に形成された係合孔を同じく
パネル(1)の内側面コーナ一部に溶谷されたスタッド
ピン(12)に係1づ−るにうにしたものかある。
このコーナー支持構造によれば、マスクフレームの板厚
を厚くすることなくシャドウマスク(6)の捩れを防止
できる。たとえば28インチ110度偏向カラー受像管
の場合、第12図のマスク支持i造ではマスクフレーム
の板厚を約1.6mにする必要があるが、第13図のマ
スク支持構造では、これを約0.81楯とすることがで
きる。
を厚くすることなくシャドウマスク(6)の捩れを防止
できる。たとえば28インチ110度偏向カラー受像管
の場合、第12図のマスク支持i造ではマスクフレーム
の板厚を約1.6mにする必要があるが、第13図のマ
スク支持構造では、これを約0.81楯とすることがで
きる。
しかし、上記のようにシャドウマスクを支持しても、な
おつぎのような問題がある。
おつぎのような問題がある。
すなわら、通常カラー受像管は、管軸を水平にして受像
機に組込まれ、画面を垂直にしで使用される。そのため
、マスク本体、マスクフレームおよびこれらを支持する
マスク支持手段は、それらの山川およびシャドウマスク
に取付(プられているインナーシールドのImにより撓
む。この撓みは、はぼ矩形状パネルの短軸方向にストラ
イブ状の3色蛍光体層か形成さているカラー受像管や、
3色蛍光体層がドツトからなるカラー受像管でし、般民
生用の小形または中形のカラー受像管ではほとんど問題
とならないが、30インチ以−トの大形あるいは超人形
のカラー受像管では、ぞの撓みが大きく問題となる。た
とえば36インチの超大形カラ受像管では、3色蛍光体
ドッ1へに対して電子ビムのランディングが下す向に約
30〜50tlnずれる。
機に組込まれ、画面を垂直にしで使用される。そのため
、マスク本体、マスクフレームおよびこれらを支持する
マスク支持手段は、それらの山川およびシャドウマスク
に取付(プられているインナーシールドのImにより撓
む。この撓みは、はぼ矩形状パネルの短軸方向にストラ
イブ状の3色蛍光体層か形成さているカラー受像管や、
3色蛍光体層がドツトからなるカラー受像管でし、般民
生用の小形または中形のカラー受像管ではほとんど問題
とならないが、30インチ以−トの大形あるいは超人形
のカラー受像管では、ぞの撓みが大きく問題となる。た
とえば36インチの超大形カラ受像管では、3色蛍光体
ドッ1へに対して電子ビムのランディングが下す向に約
30〜50tlnずれる。
この1尭みに基づくランディングずれは、たとえばブラ
ックマ1〜リックス型蛍光体スクリーンについては、第
12図に示すように、光吸収層(22)の空隙部の直径
すなわち3色蛍光体ドツト(23B)(23G)、 (
23R)の直(¥をΦd、電子ビームのスポラ1〜径(
24)をΦBとすると、A=1/2 (ΦB−Φd)
で表されるランディング余裕度が20〜50μmである
ため、無視できない値となり、特に画面周辺部に色ずれ
を発生するようになる。
ックマ1〜リックス型蛍光体スクリーンについては、第
12図に示すように、光吸収層(22)の空隙部の直径
すなわち3色蛍光体ドツト(23B)(23G)、 (
23R)の直(¥をΦd、電子ビームのスポラ1〜径(
24)をΦBとすると、A=1/2 (ΦB−Φd)
で表されるランディング余裕度が20〜50μmである
ため、無視できない値となり、特に画面周辺部に色ずれ
を発生するようになる。
(発明が解決しようとする課題)
上記のように、従来、シャドウマスク型カラー受像管の
蛍光体スクリーンは、パネルを水平に位置決め支持づる
露光装置を使用して形成されている。一方、通常カラー
受像管は7、管軸を水平にして受像機に組込まれ、画面
を垂直にして使用されるため、その使用状態では、マス
ク本体、マスクフレームおよびマスク支持手段がそれら
の自車およびマスクフレームに取付けられたインナーシ
ールドの干出により撓み、特に、3色蛍光体層がドラ1
〜からなる大形あるいは超大形のカラー受像管では、そ
の頃みのために、画面周辺部で色ずれを発生するという
問題がある。
蛍光体スクリーンは、パネルを水平に位置決め支持づる
露光装置を使用して形成されている。一方、通常カラー
受像管は7、管軸を水平にして受像機に組込まれ、画面
を垂直にして使用されるため、その使用状態では、マス
ク本体、マスクフレームおよびマスク支持手段がそれら
の自車およびマスクフレームに取付けられたインナーシ
ールドの干出により撓み、特に、3色蛍光体層がドラ1
〜からなる大形あるいは超大形のカラー受像管では、そ
の頃みのために、画面周辺部で色ずれを発生するという
問題がある。
この発明は、上記問題点を解決づるためになされたもの
であり、マスク本体、マスクフレームおよびマスク支持
手段がそれらの自重およびマスクフレームに取イ」(プ
られたインナーシールドのff1ffiにより撓んでも
、画面に色ずれを発生しないようにしたカラー受@管の
製造方法を提供することを1」的とりる。
であり、マスク本体、マスクフレームおよびマスク支持
手段がそれらの自重およびマスクフレームに取イ」(プ
られたインナーシールドのff1ffiにより撓んでも
、画面に色ずれを発生しないようにしたカラー受@管の
製造方法を提供することを1」的とりる。
[発明の構成]
(課題を解決するための手段)
カラー受像管の製造方法において、パネル内面に感光剤
および蛍光体スクリーン構成部材を主成分とする被露光
層を被着形成し、この被露光層にシャドウマスクを対設
し、このシャドウマスクを介して露光するとき、上記シ
ャドウマスクを管軸を水平にしたカラー受像管の動作時
に下側になる方向に相対的に所定量変位させて露光する
ようにした。
および蛍光体スクリーン構成部材を主成分とする被露光
層を被着形成し、この被露光層にシャドウマスクを対設
し、このシャドウマスクを介して露光するとき、上記シ
ャドウマスクを管軸を水平にしたカラー受像管の動作時
に下側になる方向に相対的に所定量変位させて露光する
ようにした。
より具体的には、そのパネル側面に対するシャドウマス
クの相対的変位は、パネルおよびシャドウマスクの傾斜
支持手段、機械的変位手段、磁気的変位手段、または上
記各手段のいずれか2つ以上の組合わせによりおこなわ
れる。
クの相対的変位は、パネルおよびシャドウマスクの傾斜
支持手段、機械的変位手段、磁気的変位手段、または上
記各手段のいずれか2つ以上の組合わせによりおこなわ
れる。
(作 用)
上記のようにパネル内面に被着形成した被露光層をシャ
ドウマスクを介して露光するとき、シャドウマスクを管
軸を水平にしたカラー受像管の動作時に下側になる方向
に相対的に所定量変位させて露光すると、パネルとシャ
ドウマスクとの相対的位置をカラー受at管の動作時に
おけるそれらの位置に保って蛍光体スクリーンを形成す
ることができるので、カラー受像管の動作時におけるマ
スク本体、マスクフレームおよびマスク支持手段の撓み
によるランディングずれを補正して、色ずれを防止でき
る。
ドウマスクを介して露光するとき、シャドウマスクを管
軸を水平にしたカラー受像管の動作時に下側になる方向
に相対的に所定量変位させて露光すると、パネルとシャ
ドウマスクとの相対的位置をカラー受at管の動作時に
おけるそれらの位置に保って蛍光体スクリーンを形成す
ることができるので、カラー受像管の動作時におけるマ
スク本体、マスクフレームおよびマスク支持手段の撓み
によるランディングずれを補正して、色ずれを防止でき
る。
(実施例)
以下、図面を参照してこの発明を実施例に基づいて説明
する。
する。
カラー受像管の製造は、第3図に示すにうに、多数の電
子ビーム通過孔の形成された平板状のフラットマスクを
球面状に成形しくマスク本体成形)、その成形されたマ
スク本体の周辺部にマスクフレームを溶接してシャドウ
マスクを組立てる。そして、このシャドウマスクのマス
クフレームに弾性支持体を溶接して、パネル内面とマス
ク本体とが所定間隔になるようにあらかじめパネル・マ
スク組合わせ体を作る。
子ビーム通過孔の形成された平板状のフラットマスクを
球面状に成形しくマスク本体成形)、その成形されたマ
スク本体の周辺部にマスクフレームを溶接してシャドウ
マスクを組立てる。そして、このシャドウマスクのマス
クフレームに弾性支持体を溶接して、パネル内面とマス
ク本体とが所定間隔になるようにあらかじめパネル・マ
スク組合わせ体を作る。
つぎに、このパネル・マスク組合体について、そのパネ
ル内面に蛍光体スクリーンを形成する。
ル内面に蛍光体スクリーンを形成する。
そしてこの蛍光体スクリーンの形成されたパネルにシャ
ドウマスクを装着して、そのパネルと内部導電膜の形成
されかつパネルとの月着面にフリットガラスの塗布され
たファンネル()i・ンネル加工)とを接合する。つぎ
に、その接合されたファンネルのネック内に、あらかじ
め組立てられた電子銃を封止して排気する。その後、そ
の排気された管をエージングし、耐圧試験や特性試験な
どをおこなってカラー受像管を完成する。
ドウマスクを装着して、そのパネルと内部導電膜の形成
されかつパネルとの月着面にフリットガラスの塗布され
たファンネル()i・ンネル加工)とを接合する。つぎ
に、その接合されたファンネルのネック内に、あらかじ
め組立てられた電子銃を封止して排気する。その後、そ
の排気された管をエージングし、耐圧試験や特性試験な
どをおこなってカラー受像管を完成する。
第4図に上記カラー受像管製造工程にお()る蛍光体ス
クリーンの形成方法を示す。この蛍光体スクリーンの形
成方法は、3色蛍光体層がドツトで構成され、その間隙
部に光吸収層が設けられたブラックマトリックス形蛍光
体スクリーンの例である。
クリーンの形成方法を示す。この蛍光体スクリーンの形
成方法は、3色蛍光体層がドツトで構成され、その間隙
部に光吸収層が設けられたブラックマトリックス形蛍光
体スクリーンの例である。
このブラックマトリックス形蛍光体スクリーンの形成は
、前工程で組合わされたパネル・マスク組合わせ体から
シャドウマスクを取外して、パネル内面を洗浄し、第4
図(a)に示すように、そのパネル(1)内面にPVA
を主成分とし八〇Cの添加された感光膜(18)を塗布
形成する。ついで同(b)に示すように、そのパネル(
1)にシャドウマスク(6)を装着して後述する露光装
置により3色蛍光体ドツト形成位置にシャドウマスク(
6)の電子ビーム通過孔(30)に対応するパターンを
焼付ける。
、前工程で組合わされたパネル・マスク組合わせ体から
シャドウマスクを取外して、パネル内面を洗浄し、第4
図(a)に示すように、そのパネル(1)内面にPVA
を主成分とし八〇Cの添加された感光膜(18)を塗布
形成する。ついで同(b)に示すように、そのパネル(
1)にシャドウマスク(6)を装着して後述する露光装
置により3色蛍光体ドツト形成位置にシャドウマスク(
6)の電子ビーム通過孔(30)に対応するパターンを
焼付ける。
ついでそのパネル(1)からシャドウマスク(6)を取
外し、同(C)に示すように、坦像して未感光部分を除
去し、3色蛍光体ドツト形成位置にドツト状の感光膜を
もつレジスト膜(31)を形成する。その後、同(d)
に示1ように、このレジスト膜(31)の形成されたパ
ネル(1)内面に、カーボンを主成分とする黒色光吸収
塗料膜(32)を塗イ[形成し、ついで過酸化水素水(
+−1202>によりレジスト膜(31)を剥離して、
同(e)に示すように、レジスト膜(31)とと・しに
その上に塗イ5された黒色光吸収塗料膜(32)を除去
して、3色蛍光体ドッ1へ形成位置を空隙部(33)と
するマトリックス状の光吸収層(34)を形成する。
外し、同(C)に示すように、坦像して未感光部分を除
去し、3色蛍光体ドツト形成位置にドツト状の感光膜を
もつレジスト膜(31)を形成する。その後、同(d)
に示1ように、このレジスト膜(31)の形成されたパ
ネル(1)内面に、カーボンを主成分とする黒色光吸収
塗料膜(32)を塗イ[形成し、ついで過酸化水素水(
+−1202>によりレジスト膜(31)を剥離して、
同(e)に示すように、レジスト膜(31)とと・しに
その上に塗イ5された黒色光吸収塗料膜(32)を除去
して、3色蛍光体ドッ1へ形成位置を空隙部(33)と
するマトリックス状の光吸収層(34)を形成する。
つぎに、同は)に示すように、上記光吸収層(34)の
形成されたパネル(1)内面に、たとえば青蛍光体とP
VAを主成分とし、ADCを添加した感光性蛍光体スラ
リ層(35)を塗イロ形成り−る。ついで同(g)に示
すように、この蛍光体スラリEC34)の形成されたパ
ネル(1)にシャドウマスク(6)を装着して後述する
露光装置により、青蛍光体ドツト形成位置にシャドウマ
スク(6)の電子ビーム通過孔(30)に対応するパタ
ーンを焼付ける。つぎにそのパネル(1)からシャドウ
マスク(6)を取外し、同(h)に示すように、現像し
て未感光部分を除去し、前記光吸収層(34)の空隙部
(33)に青蛍光体ドツト(23B)を形成する。
形成されたパネル(1)内面に、たとえば青蛍光体とP
VAを主成分とし、ADCを添加した感光性蛍光体スラ
リ層(35)を塗イロ形成り−る。ついで同(g)に示
すように、この蛍光体スラリEC34)の形成されたパ
ネル(1)にシャドウマスク(6)を装着して後述する
露光装置により、青蛍光体ドツト形成位置にシャドウマ
スク(6)の電子ビーム通過孔(30)に対応するパタ
ーンを焼付ける。つぎにそのパネル(1)からシャドウ
マスク(6)を取外し、同(h)に示すように、現像し
て未感光部分を除去し、前記光吸収層(34)の空隙部
(33)に青蛍光体ドツト(23B)を形成する。
以下上記青蛍光体ドラ1〜(23B)の形成と同様の方
法を線蛍光体および赤蛍光体について繰返して、同[i
)に示すように、光吸収層(34)の空隙部(33)に
線蛍光体ドツト(23G)および赤蛍光体ドツト(23
R)を形成する。
法を線蛍光体および赤蛍光体について繰返して、同[i
)に示すように、光吸収層(34)の空隙部(33)に
線蛍光体ドツト(23G)および赤蛍光体ドツト(23
R)を形成する。
第1図および第2図に上記蛍光体スクリーン形成におけ
る光吸収層を形成するための感光膜および3色蛍光体ド
ツトの焼付けに使用される露光装置を示す。この露光装
置は、パネル(1)を水平に支持する支持台(36)を
有し、そのパネル支持部には、パネル(1)を位置決め
づる位置決め治具(37)が設けられている。また、こ
の支持台(36)の下部には、パネル支持部に位置決め
支持されたパネル(1)内面に形成された感光膜(18
)または蛍光体スラリ層をシャドウマスク(6)を介し
て焼付けるための露光光源(38)およびこの露光光源
(38)からの光を電子銃から放出される電子ビームの
軌道に近似させる補正レンズなどの光学系(39)が配
置されている。
る光吸収層を形成するための感光膜および3色蛍光体ド
ツトの焼付けに使用される露光装置を示す。この露光装
置は、パネル(1)を水平に支持する支持台(36)を
有し、そのパネル支持部には、パネル(1)を位置決め
づる位置決め治具(37)が設けられている。また、こ
の支持台(36)の下部には、パネル支持部に位置決め
支持されたパネル(1)内面に形成された感光膜(18
)または蛍光体スラリ層をシャドウマスク(6)を介し
て焼付けるための露光光源(38)およびこの露光光源
(38)からの光を電子銃から放出される電子ビームの
軌道に近似させる補正レンズなどの光学系(39)が配
置されている。
ざらに、この例の露光装置には、上記パネル支持部に位
置決め支持されたパネル(1)に対して、このパネル(
1)に装着されたシャドウマスク(6)を変位させる変
位手段(40)が没()られている。この変位手段(4
0)は、上記シャドウマスク(6)を機械的に変位させ
る構成となっており、上記パネル(1)に装着されたシ
ャドウマスク(6)のマスクフレーム(10)に係止づ
る1字形の係止片(41)、この係止片(41)を動か
す送りねじ(42)およびこの送りねじ(42)を回転
駆動するパルスモータ(43)を描え、管軸を水平にし
てカラー受像管を動作させるとき下側になるパネル側辺
(d4a)方向(第2図の−Y力方向に変位させるよう
に、その下側になるパネル側辺(44a)側および対向
側辺(44b)側にそれぞれ複数個(図示例では3個)
設置されている。この変位手段(40)により動かされ
るシャドウマスク(6)の変位量は1000μm以下、
通常5μm程度であり、パルスモータ(43)としては
2μmのステップで制御できるものが使用される。
置決め支持されたパネル(1)に対して、このパネル(
1)に装着されたシャドウマスク(6)を変位させる変
位手段(40)が没()られている。この変位手段(4
0)は、上記シャドウマスク(6)を機械的に変位させ
る構成となっており、上記パネル(1)に装着されたシ
ャドウマスク(6)のマスクフレーム(10)に係止づ
る1字形の係止片(41)、この係止片(41)を動か
す送りねじ(42)およびこの送りねじ(42)を回転
駆動するパルスモータ(43)を描え、管軸を水平にし
てカラー受像管を動作させるとき下側になるパネル側辺
(d4a)方向(第2図の−Y力方向に変位させるよう
に、その下側になるパネル側辺(44a)側および対向
側辺(44b)側にそれぞれ複数個(図示例では3個)
設置されている。この変位手段(40)により動かされ
るシャドウマスク(6)の変位量は1000μm以下、
通常5μm程度であり、パルスモータ(43)としては
2μmのステップで制御できるものが使用される。
この露光装置の使用は、パネルを水平に支持しU従来方
法により蛍光体スクリーンを形成したカラー受像管を管
軸を水平(画面は垂直)にして動作させたときおこるラ
ンディングずれからシャドウマスクの相対的変位間をあ
らかじめ測定し′Cおき、まず支持台(36)に感光膜
(18)または蛍光体スラリ層の塗イI形成されたパネ
ル(1)位置決め支持したのら、変位手段(40)によ
りそのパネル(1)に装着されているシャドウマスク(
6)を矢印で示すように上記変位量だけ第2図に示す−
Y力方向強制的に移動させて露光することによりおこな
われる。この場合、焼付は終了後変位手段(40)によ
る強制的変位を解除すれば、シャドウマスク(6)は元
の位置に復帰する。
法により蛍光体スクリーンを形成したカラー受像管を管
軸を水平(画面は垂直)にして動作させたときおこるラ
ンディングずれからシャドウマスクの相対的変位間をあ
らかじめ測定し′Cおき、まず支持台(36)に感光膜
(18)または蛍光体スラリ層の塗イI形成されたパネ
ル(1)位置決め支持したのら、変位手段(40)によ
りそのパネル(1)に装着されているシャドウマスク(
6)を矢印で示すように上記変位量だけ第2図に示す−
Y力方向強制的に移動させて露光することによりおこな
われる。この場合、焼付は終了後変位手段(40)によ
る強制的変位を解除すれば、シャドウマスク(6)は元
の位置に復帰する。
ところで、上記のように露光装置に変位手段(40)を
設けて、パネル(1)内面に形成された感光膜(18)
および蛍光体スラリ層をシャドウマスク(6)を介して
焼付(ブるとき、そのシャドウマスク(6)を、管軸を
水平にしてカラー受像管を動作させるとき下側になるパ
ネル側辺(44a)方向に強制的所定量変位させて露光
することにより蛍光体スクリーンを形成すると、その復
、前述の各工程を経て製造されるカラー受像管は、管軸
を垂直(パネルは水平)にしたときは、蛍光体スクリー
ンの3色蛍光体ドツトとシャドウマスクとの整合関係は
ずれているが、これを管軸を水平にして受像機に組込ん
で動作さぼると、蛍光体スクリーンの3色蛍光体ドツト
とシャドウマスクとの位置関係は、上記感光膜(18)
および蛍光体スラリ層を焼付は時と同じ状態となり、正
しい整合関係となって色ずれを発生しないカラー受像管
となる。たとえば36インチ超人形カラー受像管の場合
、シャドウマスクを約30μm −Y方向に強制的に移
動させて露光した結果、色純度調整容易にして、かつ全
面にわたり色ずれのない画面とすることができた。
設けて、パネル(1)内面に形成された感光膜(18)
および蛍光体スラリ層をシャドウマスク(6)を介して
焼付(ブるとき、そのシャドウマスク(6)を、管軸を
水平にしてカラー受像管を動作させるとき下側になるパ
ネル側辺(44a)方向に強制的所定量変位させて露光
することにより蛍光体スクリーンを形成すると、その復
、前述の各工程を経て製造されるカラー受像管は、管軸
を垂直(パネルは水平)にしたときは、蛍光体スクリー
ンの3色蛍光体ドツトとシャドウマスクとの整合関係は
ずれているが、これを管軸を水平にして受像機に組込ん
で動作さぼると、蛍光体スクリーンの3色蛍光体ドツト
とシャドウマスクとの位置関係は、上記感光膜(18)
および蛍光体スラリ層を焼付は時と同じ状態となり、正
しい整合関係となって色ずれを発生しないカラー受像管
となる。たとえば36インチ超人形カラー受像管の場合
、シャドウマスクを約30μm −Y方向に強制的に移
動させて露光した結果、色純度調整容易にして、かつ全
面にわたり色ずれのない画面とすることができた。
また、上記露光装置を使用して蛍光体スクリーンを形成
すると、つぎの効果が得られる。すなわち、一般にカラ
ー受像管は、その製造工程におけるパネルとファンネル
との接合時や排気時に高温加熱され、その加熱のために
パネルとシャドウマスクとの相対位置がわずかではある
が変化する。
すると、つぎの効果が得られる。すなわち、一般にカラ
ー受像管は、その製造工程におけるパネルとファンネル
との接合時や排気時に高温加熱され、その加熱のために
パネルとシャドウマスクとの相対位置がわずかではある
が変化する。
しかも、この加熱に基づくパネルとシャドウマスクとの
相対位置変化は一定の製造法の下では特定のランディン
グ特性を示し、−船釣には、第8図に矢印(46)で示
すように、画面周辺部の回転パターンなどとして現れる
。そのランディングずれ量は10〜40μm程度である
。しかし、この回転パターンも、上記露光装置を使用し
て、パネル(1)の−側辺および対向側辺サイドにそれ
ぞれ設置される複数個の変位手段(40)の各変位量を
上記回転パターンのずれ最に合せて微調整して露光すれ
ば、有効に軽減できる。
相対位置変化は一定の製造法の下では特定のランディン
グ特性を示し、−船釣には、第8図に矢印(46)で示
すように、画面周辺部の回転パターンなどとして現れる
。そのランディングずれ量は10〜40μm程度である
。しかし、この回転パターンも、上記露光装置を使用し
て、パネル(1)の−側辺および対向側辺サイドにそれ
ぞれ設置される複数個の変位手段(40)の各変位量を
上記回転パターンのずれ最に合せて微調整して露光すれ
ば、有効に軽減できる。
したがって、従来の蛍光体スクリーン形成方法により蛍
光体スクリーンを形成した場合、管軸を水平にして動作
させたカラー受像管の画面に、シャドウマスクやインナ
ーシールドなどのff1ffiによるシャドウマスクの
相対変位、ざらには上記カラー受像管製造工程における
加熱に基づくシャドウマスクの相対変位などにより、画
面の下側方向に約30〜60μmのランディングずれが
発生する。このようなカラー受像管を従来のようにネッ
ク外側に装着された補正磁石により補正すると、電子銃
のフォーカスレンズ軸に対して電子ビームの軌道がずれ
ることにより新たにフォーカスぼけを生ずる(ビームス
ポットのまわりににじみが発生)。
光体スクリーンを形成した場合、管軸を水平にして動作
させたカラー受像管の画面に、シャドウマスクやインナ
ーシールドなどのff1ffiによるシャドウマスクの
相対変位、ざらには上記カラー受像管製造工程における
加熱に基づくシャドウマスクの相対変位などにより、画
面の下側方向に約30〜60μmのランディングずれが
発生する。このようなカラー受像管を従来のようにネッ
ク外側に装着された補正磁石により補正すると、電子銃
のフォーカスレンズ軸に対して電子ビームの軌道がずれ
ることにより新たにフォーカスぼけを生ずる(ビームス
ポットのまわりににじみが発生)。
そのため、実際の調整は、上記ランディングずれとこの
フォーカスぼけどの妥協的な調整とせざるをえなかった
が、この実施例の方法により露光すると、シャドウマス
クなどの=1iffiおよびカラー受像管製造工程にお
ける加熱に基づくシャドウマスクの相対変位などを補正
して、それらに基づくランディングずれを大幅に軽減で
き、色純度調整容易にしてかつ画面全面にわたり色ずれ
をなくすことができる。たとえば通常のカラー受像管に
くらべてシャドウマスクの電子ビーム通過孔の配列ピッ
チが0.48.mと小さい36インチ高解像度超犬形カ
ラー受像管の場合、ランディングずれをそのランディン
グ余裕度Aよりも小さい20μm以下にすることができ
、画面全面にわたり色ずれのない品位良好なカラー受像
管とすることができた。
フォーカスぼけどの妥協的な調整とせざるをえなかった
が、この実施例の方法により露光すると、シャドウマス
クなどの=1iffiおよびカラー受像管製造工程にお
ける加熱に基づくシャドウマスクの相対変位などを補正
して、それらに基づくランディングずれを大幅に軽減で
き、色純度調整容易にしてかつ画面全面にわたり色ずれ
をなくすことができる。たとえば通常のカラー受像管に
くらべてシャドウマスクの電子ビーム通過孔の配列ピッ
チが0.48.mと小さい36インチ高解像度超犬形カ
ラー受像管の場合、ランディングずれをそのランディン
グ余裕度Aよりも小さい20μm以下にすることができ
、画面全面にわたり色ずれのない品位良好なカラー受像
管とすることができた。
なお、上記実施例では、蛍光体スクリーン形成時、パネ
ルに対するシャドウマスクの相対的変位を機械的な変位
手段でおこなうようにしたが、通常シャドウマスクのマ
スクフレームは軟鋼で形成されるため、第5図および第
6図に示すように、電磁石(48)を変位手段(40)
とし、この電磁石(48)をパネル(1)の−側辺側(
44a)または対向側辺側(44b)にマスクフレーム
(10)に対向して複数個配置し、これに直流または交
流電流を流し、磁気的に変位させるようにしてもよい。
ルに対するシャドウマスクの相対的変位を機械的な変位
手段でおこなうようにしたが、通常シャドウマスクのマ
スクフレームは軟鋼で形成されるため、第5図および第
6図に示すように、電磁石(48)を変位手段(40)
とし、この電磁石(48)をパネル(1)の−側辺側(
44a)または対向側辺側(44b)にマスクフレーム
(10)に対向して複数個配置し、これに直流または交
流電流を流し、磁気的に変位させるようにしてもよい。
この場合、シャドウマスクの変位量は、電磁石(48)
に流す電流により調整される。
に流す電流により調整される。
このような変位手段(40)は、機械的な変位手段にく
らべ、直接シャドウマスク(6)と接触することがない
ので、シャドウマスク]6)を傷付りるおそれがなく、
かつパネル支持台(36)へのパネル(1)の移載、位
置決め支持を容易におこなうことができる。
らべ、直接シャドウマスク(6)と接触することがない
ので、シャドウマスク]6)を傷付りるおそれがなく、
かつパネル支持台(36)へのパネル(1)の移載、位
置決め支持を容易におこなうことができる。
また、このような磁気的な変位手段として、上記電磁石
のかわりに永久磁石も使用可能である。
のかわりに永久磁石も使用可能である。
しかしこの場合は、永久磁石を移動可能に設置し、マス
クフレームとの距離によりシャドウマスクの変位量を調
整するようにすることが必要である。
クフレームとの距離によりシャドウマスクの変位量を調
整するようにすることが必要である。
さらに、他の変位手段として第7図に示すように、パネ
ル支持部を傾斜させ、このパネル支持部にパネル(1)
を位置決め支持したとき、シャドウマスク(6)の自重
によりパネル(1)に対してシャドウマスク(6)が変
位するようにしてもよい。この場合、このような傾斜支
持手段では、傾斜角Ifが小さいと、カラー受像管の管
軸を水平にしたときのシャドウマスクの変位量と若干異
なるので、図面中に電1a5(48)で示したように前
記した機械的な変位手段や磁気的な変位手段などを併用
して、変位量を一致させるようにしてもよい。
ル支持部を傾斜させ、このパネル支持部にパネル(1)
を位置決め支持したとき、シャドウマスク(6)の自重
によりパネル(1)に対してシャドウマスク(6)が変
位するようにしてもよい。この場合、このような傾斜支
持手段では、傾斜角Ifが小さいと、カラー受像管の管
軸を水平にしたときのシャドウマスクの変位量と若干異
なるので、図面中に電1a5(48)で示したように前
記した機械的な変位手段や磁気的な変位手段などを併用
して、変位量を一致させるようにしてもよい。
さらに、このような変位手段としては、上記傾斜支持手
段と機械的または磁気的な変位手段との組合わせのほか
に、上記各変位手段を任意に組合わせて構成することが
できる。
段と機械的または磁気的な変位手段との組合わせのほか
に、上記各変位手段を任意に組合わせて構成することが
できる。
なあ、この発明は、ブラックマトリックス形カラー受像
管ばかりでなく、蛍光体スクリーンが光吸収層のない3
色蛍光体ドツトからなるカラー受像管にも適用できる。
管ばかりでなく、蛍光体スクリーンが光吸収層のない3
色蛍光体ドツトからなるカラー受像管にも適用できる。
[発明の効果]
パネル内面被着形成された被露光層を対設したシャドウ
マスクを介して露光するとき、パネルJ3よびシャドウ
マスクの傾斜支持手段、機械的変位手段、磁気的変位手
段、または上記各手段のいずれか2つ以上の組合わせに
より、シャドウマスクを管軸を水平にしたカラー受像管
動作時に下側になる方向に相対的に所定量変位させて露
光すると、パネルとシャドウマスクとの相対的位置を管
軸を水平にして使用されるカラー受@管の動作時におけ
るそれらの関係位置に保って蛍光体スクリーンを形成す
ることができるので、カラー受像管の動作時におけるマ
スク本体、マスクフレームおよびマスク支持手段の撓み
によるランディングずれを補正して、色ずれのないカラ
ー受像管とすることができ、特に大形、超人形カラー受
像管や高解像度カラー受像管に適用して顕著な効果が得
られる。
マスクを介して露光するとき、パネルJ3よびシャドウ
マスクの傾斜支持手段、機械的変位手段、磁気的変位手
段、または上記各手段のいずれか2つ以上の組合わせに
より、シャドウマスクを管軸を水平にしたカラー受像管
動作時に下側になる方向に相対的に所定量変位させて露
光すると、パネルとシャドウマスクとの相対的位置を管
軸を水平にして使用されるカラー受@管の動作時におけ
るそれらの関係位置に保って蛍光体スクリーンを形成す
ることができるので、カラー受像管の動作時におけるマ
スク本体、マスクフレームおよびマスク支持手段の撓み
によるランディングずれを補正して、色ずれのないカラ
ー受像管とすることができ、特に大形、超人形カラー受
像管や高解像度カラー受像管に適用して顕著な効果が得
られる。
第1図乃至第8図はこの発明の詳細な説明図で、第1図
および第2図はそれぞれその一実施例であるカラー受像
管の製造り法にあける蛍光体スクリーンの形成に使用さ
れる露光装置の構成を示す正面図およびその要部を示す
平面図、第3図はカラー受像管の製造工程の説明図、第
4図はそのブラックマトリックス形蛍光体スクリーンの
形成方法を示す工程図、第5図および第6図はそれぞれ
他の実施例の蛍光体スクリーンの形成に使用される露光
装置の構成を示す正面図およびその要部を示す平面図、
第7図は異なる他の実施例の蛍光体スクリーンの形成に
使用される露光装置の構成を示す正面図、第8図はカラ
ー受像管製造工程における加熱によりシシトウマスクが
変位して生ずるランディングずれのパターンを示す図、
第9図はカラー受像管の構成を示1図、第10図はブラ
ックマトリックス形蛍光体スクリーンの形成工程の説明
図、第11図は従来の蛍光体スクリーンの形成に使用さ
れる露光装置の構成を承り正面図、第12図はパネルに
対するシャドウマスクの支持構造を示す背面図、第13
図(a)および(b)はそれぞれ異なるシシトウマスク
の支持@造を示す背面図およびぞのト8線断面図、第1
4図はブラックマトリックス形蛍光体スクリーンにおけ
る3色蛍光体ドッ1〜の直径とビームスポット径との関
係を示す図である。 1・・・パネル 6・・・シシトウマスク18
・・・感光膜 23B、 23G、 23R・・・3色蛍光体ドツト3
4・・・光吸収層 38・・・露光光源39・・
・光学系 40・・・変位手段41・・・係止
片 42・・・送りねじ43・・・パルスモー
ク 48・・・電磁石 第 囚 第 図 第 図 第 図 藁 図 第 図 第 図 第 図 第 図 第 図 稟 図
および第2図はそれぞれその一実施例であるカラー受像
管の製造り法にあける蛍光体スクリーンの形成に使用さ
れる露光装置の構成を示す正面図およびその要部を示す
平面図、第3図はカラー受像管の製造工程の説明図、第
4図はそのブラックマトリックス形蛍光体スクリーンの
形成方法を示す工程図、第5図および第6図はそれぞれ
他の実施例の蛍光体スクリーンの形成に使用される露光
装置の構成を示す正面図およびその要部を示す平面図、
第7図は異なる他の実施例の蛍光体スクリーンの形成に
使用される露光装置の構成を示す正面図、第8図はカラ
ー受像管製造工程における加熱によりシシトウマスクが
変位して生ずるランディングずれのパターンを示す図、
第9図はカラー受像管の構成を示1図、第10図はブラ
ックマトリックス形蛍光体スクリーンの形成工程の説明
図、第11図は従来の蛍光体スクリーンの形成に使用さ
れる露光装置の構成を承り正面図、第12図はパネルに
対するシャドウマスクの支持構造を示す背面図、第13
図(a)および(b)はそれぞれ異なるシシトウマスク
の支持@造を示す背面図およびぞのト8線断面図、第1
4図はブラックマトリックス形蛍光体スクリーンにおけ
る3色蛍光体ドッ1〜の直径とビームスポット径との関
係を示す図である。 1・・・パネル 6・・・シシトウマスク18
・・・感光膜 23B、 23G、 23R・・・3色蛍光体ドツト3
4・・・光吸収層 38・・・露光光源39・・
・光学系 40・・・変位手段41・・・係止
片 42・・・送りねじ43・・・パルスモー
ク 48・・・電磁石 第 囚 第 図 第 図 第 図 藁 図 第 図 第 図 第 図 第 図 第 図 稟 図
Claims (2)
- (1)パネル内面に感光剤および蛍光体スクリーン構成
部材を主成分とする被露光層を被着形成し、この被露光
層にシャドウマスクを対設し、このシャドウマスクを介
して上記被露光層を露光することにより上記パネル内面
に蛍光体スクリーンを形成するカラー受像管の製造方法
において、 上記被露光層を上記シャドウマスクを介して露光すると
き、上記パネルに対して上記シャドウマスクを管軸を水
平にしたカラー受像管の動作時に下側となる方向に所定
量相対的に変位させて露光することを特徴とするカラー
受像管の製造方法。 - (2)管軸を水平にしたカラー受像管の動作時に下側と
なる方向へのシャドウマスクの相対的変位をパネルおよ
びシャドウマスクの傾斜支持手段、機械的変位手段、磁
気的変位手段、または上記各手段のいずれか2つ以上の
組合わせによりおこなうことを特徴とする請求項1記載
のカラー受像管の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP263689A JPH02183934A (ja) | 1989-01-09 | 1989-01-09 | カラー受像管の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP263689A JPH02183934A (ja) | 1989-01-09 | 1989-01-09 | カラー受像管の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02183934A true JPH02183934A (ja) | 1990-07-18 |
Family
ID=11534872
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP263689A Pending JPH02183934A (ja) | 1989-01-09 | 1989-01-09 | カラー受像管の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02183934A (ja) |
-
1989
- 1989-01-09 JP JP263689A patent/JPH02183934A/ja active Pending
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