JPH0218480B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、例えば半導体産業などにおいて利用
されている超純水製造システム配管系のような各
種の流水システムにおける本管から分岐した枝管
の内部に有害なバクテリア菌が増殖することを防
ぐため、該枝管内に水の滞留を生じさせないよう
にしたことを目的とする流水システムの配管系及
びその滞留防止法に関するものである。

最近では半導体産業、食品工業、医薬品工業な
どの広範囲の分野において、製品の精度を高める
などの用途に使用する微粒子、有機物、生菌、等
の少ない超純水を得るための超純水製造システム
が利用されるようになつている。また特に最近で
は、製品の精度、収率を高度化するためにはこの
超純水の純度をいかにして高めるかという方向に
努力がはらわれるようになつている。

超純水製造システムはそれ自体高価な設備費用
を必要とするので、この製造システムが稼動され
るに際してはできるだけ効率よく純度の高い超純
水が得られるようにすることが重要である。とこ
ろでこの超純水製造システムにおける盲点ともい
える問題点は、配管の継手、弁などの部分からの
配管系内に対してバクテリアが侵入することや、
超純水に微量含有するバクテリアが増殖すること
である。

一般的に超純水製造システムにおいては、第１
図に示すように製造システムＡから送出された超
純水が利用系本管１に送られ、その状態で本管１
から分岐した多数の枝管２より流出して利用さ
れ、過剰の水は本管１によつて再び製造システム
Ａに戻るような系路になつている。製造システム
Ａが稼動状態にあつて利用系本管１に通常連続し
て超純水が流動し、また多数の枝管２からも連続
的に水が流出しているときには配管系内に対する
バクテリアの侵入及び増殖はあまり問題とはなら
ない。

しかしながら、前記のような超純水製造システ
ムの配管系においては、多数の枝管２のうち一部
でも弁機構３が閉じられて利用されない状態が継
続した枝管２があると、その使用されない枝管２
内においては水が滞留状態となつて弁機構３など
の部分からバクテリアが侵入し、滞留した水が媒
体となつて繁殖するため枝管２の部分が最もバク
テリアの増殖原因となりやすいという問題点を有
している。

本発明は、超純水製造システムのような流水シ
ステムの配管系における前記のような問題点を解
消するために、本管から分岐した枝管に例えば管
内の流水流動の停止に伴なつて作動するヒーター
と温度調節器とからなる加熱手段を設け、枝管内
の流水流動が停止した場合にこの加熱手段が管路
内の水をバクテリアの死滅に適する温度もしくは
それよりも高い温度に加熱して、枝管内にバクテ
リアが侵入した場合にはこれを死滅させると共
に、本質的には枝管内に水を滞留させないように
して枝管内へのバクテリアの侵入を未然に防止す
るようにした流水システムの配管系及びその滞留
防止法を提供しようとするものである。

本発明を図面に示す実施例について説明すれ
ば、第１図は超純水製造システムＡの配管系路を
示しており、第２図は枝管の構成を示している。
第１図に示す超純水利用系本管１には夫々自動弁
もしくは手動弁などの弁機構３を備えた多数の枝
管２が分岐されており、本管１内を流動する超純
水は夫々の枝管２より各種の用途に供給利用され
る。夫々の枝管２は本管１に対して上向きに分岐
するように接続されていると共に、本管１と弁機
構３との間の部分には加熱装置５を内蔵した加熱
ブロツク４が設けられている。この加熱装置５は
ヒーター６と該ヒーターと連動する温度調節器７
とからなつている。また該加熱装置５は、枝管２
内における超純水の流動を開閉する前記弁機構３
と連動するように構成されており、この弁機構３
が開いて枝管２内に超純水が流れている時には加
熱装置５は作動せず、弁機構３が遮断されること
に伴つて発生する信号と同期して作動されるよう
になつている。即ち、前記弁機構３が遮断されて
超純水の流れが止ると、該加熱装置５におけるヒ
ーター６が作動して加熱ブロツク４の設けられた
部分における枝管内の温度が上昇し始める。加熱
装置５における温度調節器７は、枝管内の超純水
が通常バクテリアの滅菌に適した温度である約
120℃程度もしくはそれよりも高い温度に加熱さ
れるよう設定されており、この設定温度以上に温
度が上昇するとヒーター６の電源が切れるように
なつている。時間の経過に伴つて加熱ブロツク４
の温度が一定値以下の温度に低下すると、温度調
節器７が作動して再びヒーター６に電源が入り、
枝管内の超純水が前記の滅菌温度に加熱維持され
る。

なお上記実施例においては、加熱装置５を加熱
ブロツク４内に設けるというように説明したが、
加熱ブロツク４とは前記枝管２における加熱装置
５の設置される箇所を指称するものであり、必ら
ずしも枠状の設備である必要はない。従つて図示
はしないが、例えば前記枝管２の外周にバンドヒ
ーターと温度調節器とが直接取り付けられるよう
な構成であつてもよい。また前記加熱装置５には
ヒーター６の安全機構として異常温度に対する保
護装置を設けておくことが必要であることはいう
までもない。

本発明においては、上記のように超純水製造シ
ステムのような流水システムの配管系における枝
管に、該枝管内を通過する水の流れが遮断するこ
とに伴つて作動する加熱装置を設けたので、弁機
構３を閉じることによつて枝管内の水の流れが止
り、そのため弁機構３或は継手部分などから枝管
内にバクテリアが侵入したとしも、加熱装置３の
部分における停溜水部分はバクテリアの死滅に適
した約120℃程度もしくはそれ以上の温度に加熱
されるので、バクテリアを加熱装置３の範囲部分
で確実に死滅させ、該部分以外の例えば本管など
の範囲に対するバクテリアの侵入と増殖とを防止
することができる。

また枝管２は管内の水が流れを停止している限
り前記加熱装置５によつて連続的に加熱状態が持
続されるため、管内の水は対流を生じて自動的に
流動しはじめると共に、所定時間の経過後には加
熱蒸気となる。この場合枝管２は本管１よりも上
方に設置されているので、枝管２内の蒸気化され
た部分以外の水は蒸気圧によつて下方の本管内に
押し出され、該枝管２内は乾燥した蒸気のある空
間状態となる。勿論このような状態では枝管２内
における水の滞留部分を完全に無くすことができ
るわけであり、従つて該枝管２内にバクテリアが
侵入してきても直ちに死滅し、また侵入を不可能
の状態とすることができる。

なお前記枝管２内の蒸気化による空間の範囲は
加熱ブロツク４における加熱装置５の容量の大き
さによつて異り、加熱装置５の容量が大きければ
前記空間の範囲は長くなる。従つて枝管２の口径
や長さなどの条件に応じて加熱装置５の容量を変
えるかもしくは加熱装置５自体を複数個設置する
ことにより、枝管２における超純水の滞留する部
分を少なくなるように設定できる。また、本管１
内の圧力が高くなつたような場合には、枝管２内
の圧力も高める必要があるが、その際には加熱装
置５の温度が高くなるように設定すれば、枝管内
の圧力を本管の圧力に対応して滞留部分が防止で
きる程度に高めることができる。なお該加熱装置
５のヒーター６の容量は比較的小さいため、超純
水を連続流水しているときであれば加熱装置５が
動作していても流れる超純水の温度が多少上る程
度で特に問題とはならない。

前記実施例は超純水製造システムの配管系につ
いて述べたが、本発明は必らずしも超純水製造シ
ステムの配管系にのみ限定されることはなく、バ
クテリアなどの雑菌が侵入しては困るような別の
流水システム配管系にも利用可能である。

以上に述べたように、本発明においては、配管
系枝管内の流水が停止した際における水の滞留を
防止できるようにしたので、該枝管を通じての配
管系へのバクテリアの侵入及び増殖を確実に防止
でき、常に純度の高い純水が得られるという効果
を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は流水システムとして例示する超純水製
造システムの配管系を示すフローチヤート、第２
図は本発明に係る配管系枝管の構成を示す部分側
面図である。図において、 １：利用系本管、２：枝管、３：弁機構、４：
加熱ブロツク、５：加熱装置、６：ヒーター、
７：温度調節器。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 配管系の本管から分岐する枝管を本管に対し
   て上向きに設定し、該枝管における弁機構と本管
   との間に、前記弁機構の閉止による該枝管内の水
   の流動停止に伴なつて枝管をバクテリアの死滅に
   適した温度かそれよりも高い温度に加熱するヒー
   ターと温度調節器とからなる加熱装置が設置され
   ていることを特徴とする流水システムの配管系。 ２ 配管系の本管から上向きに分岐させた枝管に
   おける弁機構と前記本管との間に、ヒーターと温
   度調節器とからなる加熱装置を設置し、枝管にお
   ける弁機構の閉止と連動して前記加熱装置を作動
   させることにより、枝管をバクテリアの死滅に適
   した温度かそれよりも高い温度に加熱することに
   より枝管を蒸気で満して水をなくすことを特徴と
   する超純水製造システム配管系の滞留防止法。