JPS6087887A - 流水システムの配管系及びその滅菌法 - Google Patents

流水システムの配管系及びその滅菌法

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JPS6087887A
JPS6087887A JP19409783A JP19409783A JPS6087887A JP S6087887 A JPS6087887 A JP S6087887A JP 19409783 A JP19409783 A JP 19409783A JP 19409783 A JP19409783 A JP 19409783A JP S6087887 A JPS6087887 A JP S6087887A
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JP
Japan
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regulator
temp
water
sterilizer
heater
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Pending
Application number
JP19409783A
Other languages
English (en)
Inventor
Fusao Kojima
幸島 房雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shinwa Controls Co Ltd
Original Assignee
Shinwa Controls Co Ltd
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Publication date
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  • Heat Treatment Of Water, Waste Water Or Sewage (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、例えば半導体産業などにおいて利用されてい
る超純水製造システムのような各種の流水システムにお
ける配管内に、有害なバクテリア菌が侵入及び増殖する
ことを防!l二できるようにした流水システムの配管系
及びその滅菌法に関するものである。
最近では半導体産業、食品工業、医薬品工業などの広範
囲の分野において、製品の精度を高めるなどの用途に使
用する微粒子、有機物、生菌、等の少ない超純水を得る
ための超純水製造システムが利用されるようになってい
る。また特に最近では、製品の精度、収率を高度化すめ
るためにはこの超純水の純度をいかにして高めるかとい
う方向に努力かはられれるようになっている。
超純水製造システムはそれ自体高価な設備費用を必要と
するので、この製造システムが稼動されるに際してはで
きるだけ効率よく純度の高い超純水が得られるようにす
ることか重要である。ところでこの超純水製造システム
における旨点ともいえる問題点は、配管の継手、弁など
の部分からの配管系内に対してバクテリアが侵入するこ
とや、超純水に機敏含有するバクテリアが増殖すること
である。勿論超純水製造システムにおいては、第1図に
示すように製造システムAが稼動状態にあって利用系管
路lに通常連続して超純水が流動しているときにはバク
テリアの侵入及び増殖はあまり問題とはならない。
しかしながら、製造システムAの稼動が一時的に中断し
て利用系管路内の水の流動が長時間にわたって停止した
場合とか、或は利用系管路に日頃あまり利用されない分
岐路などがあって管路内の一部に水の停滞部分がある場
合とか、または配管系の故障などにより予備の配管を接
続した場合などのときには、配管の継手部分や弁部分な
どから管路内にバクテリアが侵入して、これが水の流動
しない管路内における前記の侵入した菌の繁殖に好まし
い部分において増殖され、再び管路内に流水が流動した
際にこれを汚染するという問題がある。
本発明は、例えば超純水製造システムのような流水シス
テムにおける前記のような問題点を解消するために、例
えば利用系管路などの配管系管路における適宜の部分に
流水流動の停止に伴なって作動する温度調節器とヒータ
ーとからなる加熱滅菌手段を設け、管路内の流水旋動が
停止した場合にこの加熱滅菌手段が管路内の水をバクテ
リアの死滅に適する温度条件下に加熱して、流水流動の
停止時において管路内に侵入する。<クチリアの増殖を
確実に防止できるようにした流水システム配管系及びそ
の滅菌法を目的としたものである。
本発明を図面に示す実施例について説明すれば、第1図
は超純水製造システムAの配管系路を示しており、ft
52図は第1図の糸路における超純水利用系+4・路l
の一部の管路1aを示している。
該管路1aにおける適宜の部分には滅菌装置3を内蔵し
た滅菌ブロック2が複数箇所設けられている。この滅菌
装置3は温度調節器4と、この調節器4と連動するヒー
ター5とからなっている。また該滅菌装置3は、管路1
a内における超純水の流動を開閉する自動弁、手動弁な
どの弁機構6と連動するように構成されており、この弁
機構6が開いて管路1a内に超純水が流れている時には
滅菌装置3は作動せず、超純水製造システム全体の稼動
が停止した時、或は前記弁機構6が遮断された時に、超
純水の遮断に伴って発生する信号と同期して作動される
ようになっている。即ち、前記ブ「機構6が遮断されて
超純水の流れが止ると、該滅菌装置3におけるヒーター
5か作動して滅菌ブロック2の設けられた部分における
管路1aの温度が上PIL始める。滅菌装置3における
温度調節器4は、管路1a内の超純水か通常バクテリア
の滅菌に適した温度である約120°C程度に加熱され
るように設定されており、この設定温度以上に温度がJ
、: yJするとヒーター5の電源がりJれるようにな
っている。時間の経過に伴って滅菌ブロック2の温度が
一定値以下の温度に低下すると、温度調節器4が作動し
て再びヒーター5に電源が入り、管路1a内の超純水が
前記の滅菌温度に加熱維持される。
一般的に従来の超純水製造システムの配管系では硬質塩
化ビニールなどの合成樹脂管か用いられる例が多いこと
を考慮した場合、前記のような加熱型滅菌装置3を合成
樹脂の配管系に取り伺けることには問題がある。そのた
め本発明を合成樹脂管による配管系に実施する場合にお
いては、管路1aにおける滅菌ブロック2の両側部分に
、所定の長さ分だけでもステンレスなどの金属管或はそ
の他の耐熱性材料からなる耐熱管路1bを使用する必要
がある。しかしながら、部分的にも滅菌装置3の部分に
おける管路内の水を約120°C程度にまで上j;1さ
せた場合1.前記耐熱管路ibの長さを考慮せずに該管
路1bを直接合成樹脂管路1aと接続すると、合成樹脂
管路1aが高熱の湯水による悪影響を受ることになる。
このような問題を解消するためには、例えば該耐熱管路
1bを充分な長さに設定することによって、管路両端部
分において内部の湯水を合成樹脂管路1aに支障を与え
ない程度の温度に迄降下させるという方法が考えられる
が、滅菌装置3の部分に充分な長さの1耐熱管路1bを
設定することは利用系管路lの全体における耐熱管路1
bの長さが大きくなって実用上において問題がある。
そのため本発明においては、前記耐熱管路1bの外周に
アルミニューム或は銅製の熱伝導性の良好な材料からな
る放熱フィン7を設けて、耐熱管路1bの両端部分にお
いては、内部の湯水の温度降下が急速に行なはれ、従っ
て耐熱管路1bの長さを短かく設定できるようにして、
システム配管系へのMlみ込みが容易に行なえるように
しである。
なお」二足実施例においては、滅菌装置3を滅菌ブロッ
ク2内に設けるというように説明したが、滅菌ブロック
2とは前記利用系管路1における滅菌装置3の設置され
る箇所を指称するものであり、必らずしも枠状の設41
11である必要はない。従って図示はしないが、例えば
前記の耐熱管路tbの外周に7ヘントヒーターと温度調
節器とが直接取り付けられるような構成であってもよい
。また前記滅菌装置3にはヒーター5の安全機構として
異常温度保護装置を設けておくことが必要であることは
いうまでもない。
本発明においては、上記のように超純水製造システムに
おける配管系管路の適宜複数箇所に、該管路内を流動す
る水の流れが遮断することに伴って作動する加熱滅菌装
置を設けたので、夜間或は昼間においても何らかの理由
により製造システムの稼動が停止して管路内を流動する
水の流れが止り、そのため管継手部分或は弁部分から管
路内にバクテリアが侵入して停滞水中において増殖する
ような虞が発生しても、滅菌装置3の部分における停滞
水部分かバクテリアの死滅に適した約120°C程度の
温度に加熱されるので、バクテリアを滅菌装置3の範囲
部分で確実に死滅させ、該部分以外の管路内に対するそ
れ以」−のバクテリアの侵入と増殖とを防止することが
できる。
勿論滅菌装置3は温度調節器4を備えているため、該装
置部分の管路1b内の超純水が所定温度に達したのちは
ヒーター5の作動が停止して、管路内がそれ以」二の高
温になるのを防ぐので配管系は安全に保持される。
前記のように滅菌装置3によってその部分の管路1bが
120°C程度の高温に加熱された場合、該管路内は約
2 kg/crn’程度の圧力となるため、もし管路の
一部に圧力開放弁などの出口を設けた場合には、管路内
は蒸気圧により水が減少して気相状態となり、バクテリ
アを死滅させるのに更に好ましい条件を与えることがで
きる。なお該滅菌装置ζ3のヒーター5の容量は比較的
小さいため、超純水をi!!続流水しているときであれ
ば滅菌装置3が動作していても流れる超純水の温度が多
少上る程度で特に問題とはならない。
また配管系が合成樹脂管である場合には、減菌゛ 装置
30部分における管路1bに放熱フィン7などによる放
熱手段を設けることにより、合成樹脂製管路に対する温
度による障害を防止することができる。
f)v記実施例は超純水製造システムの利用系管路につ
いて述べたが、本発明は利用系管路のみならず前記製造
システムにおける他の管路を含む全ての配管系について
適用できることはいうまでもない。また必らずしも超純
水製造システムの配管系にのみ限定されることもなく、
それ以外の配管系であってバクテリアなどの雑菌が侵入
しては困るような各種流水システム配管系にも利用可能
である。また減+5Qのための温度もl 20 ’cに
限定されることはない。
以上に述べたように、本発明においては、配管系管路内
の流水が停止した際の該管路におけるバクテリアの侵入
及び増殖を防止でき、常に純度の高い純水が得られると
いう効果を為する。
【図面の簡単な説明】
fli’51図は流水システムとして例示する超純水製
造システムの配管系を示すフローチャート、第2図は本
発明に係る配管系の一部の構成を示す部分側面図、第3
図は本発明に係る配管系の他の実施例を示す部分側面図
である。図において、■=利用系管路、工a:管路、l
b:耐熱管路、2二滅菌ブロツク、3:#C菌装置、4
:温度調節器、5:ヒーター、 6:弁機構、7:放熱フィン、

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 ■、配管系管路における適宜の箇所に、該管路内におけ
    る流水の流動が停止した際に管路を部分的にバクテリア
    閑の死滅に適した温度に保持する温度調節器及び該調節
    器と連動するヒーターとからなる滅菌ブロックが設置さ
    れていることを特徴とする流水システムの配管系。 2、配管系管路における適宜の箇所に温度調節器及び該
    調節器と連動するヒーターとからなる滅菌プロ、りを設
    差し、前記管路内における流水の11コ動が停止した際
    に前記滅菌ブロックを作動させることにより、管路を部
    分的にバクテリア菌の死滅に適した温度に保持すること
    を特徴とする流水システム配管系の滅菌法。 3、滅菌ブロックの両側部分における管路に放熱フィン
    等の放熱手段を設けてなる特許請求の範囲第1qA記載
    の流水システムの配管系。
JP19409783A 1983-10-19 1983-10-19 流水システムの配管系及びその滅菌法 Pending JPS6087887A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6342787A (ja) * 1986-08-08 1988-02-23 Japan Organo Co Ltd 超純水給水系路の自動熱殺菌装置
JP2008521593A (ja) * 2004-11-30 2008-06-26 レギオフリーウォーター システムズ ベスローテン フェンノートシャップ 病原体を殺すために配設された給水システム、給水システムにおいて病原体を殺すための操作装置及び方法
EP4411380A4 (en) * 2021-09-30 2025-08-06 Hitachi High Tech Corp AUTOMATIC ANALYZER

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5431785U (ja) * 1977-08-06 1979-03-02
JPS5811082A (ja) * 1981-07-14 1983-01-21 Kaoru Hirano 滅菌水製造装置における弁装置

Patent Citations (2)

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