JPH02187634A - フーリエ変換赤外分光分析装置 - Google Patents

フーリエ変換赤外分光分析装置

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JPH02187634A
JPH02187634A JP1007144A JP714489A JPH02187634A JP H02187634 A JPH02187634 A JP H02187634A JP 1007144 A JP1007144 A JP 1007144A JP 714489 A JP714489 A JP 714489A JP H02187634 A JPH02187634 A JP H02187634A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vacuum
sample chamber
sample
valve
opening
Prior art date
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Pending
Application number
JP1007144A
Other languages
English (en)
Inventor
Fujio Maeda
前田 富二夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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Publication of JPH02187634A publication Critical patent/JPH02187634A/ja
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  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は赤外分光分析に関し、特にフーリエ変換赤外分
光分析装置に関する。
〔従来の技術〕
従来、この種のフーリエ変換赤外分光分析装置は赤外線
光路に乾燥空気又はパージガスを循環させて測定を行な
っていた。
〔発明が解決しようとする課題〕
上述した従来のフーリエ変換赤外分光分析装置は赤外線
光路に乾燥空気又は窒素等のパージガスを循環させてい
るため、試料交換時に室内雰囲気中の水分、炭酸カス等
の不純物が浸入し、容易に除去できず、微量分析を行な
う場合、光路内の水分および炭酸ガス等のピークか表わ
れて測定が圏難になるという欠点がある。
本発明の目的は前記課題を解決したフーリエ変換赤外分
光分析装置を提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
前記目的を達成するため、本発明に係るフーリエ変換赤
外分光分析装置においては、フーリエ変換赤外分光分析
装置本体内の赤外線光路を真空に保持する機構を有する
ものである。
〔実施例〕
以下、本発明の一実施例を図により説明する。
第1図は本発明の一実施例を示す構成図である。
図において、分光器部2及び検出器部4の間に試料室3
を配置し、その相互間を試料室遮断バルブ6を介して連
通されである。さらに分光器部2及び検出器部4に真空
ポンプ1を直接接続するとともに、試料室3に真空ポン
プ1をリーク・バルブ7aを介して接続し、赤外線光路
を真空状態に保持する構成にしである。5は真空計、7
bは試斜字3を大気開放するリーク・バルブである。
試料8を交換する際には、試料室遮断バルブ6を閉じて
試料室3を分光器部2及び検出器部4から切り離した状
態でリーク・バルブ7bを開けて大気開放し、交換され
、その交換後はリーク・バルブ7aを開いて試料室3を
一定の真空度になるまで真空ポンプlにて脱気し、一定
真空度に達したことを真空計で確認された後、試料室遮
断バルブ6を開けて、分光器部2、試料室3、検出器部
4を相互に連通させ、試料8の測定を行う。
本発明によれば、分光器部2、試料室3、検出器部4に
わたる赤外線光路は真空ポンプ1により真空状態に保持
されることとなり、不純物等の混入を極力抑えることが
可能となる。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明は赤外線光路を真空に保持す
ることにより、水分の吸収及び炭酸ガスの吸収を極力少
なくすることができ、さらに真空中に保持された物質の
赤外分光分析ができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す構成図である。 1・・・真空ポンプ    2・・・分光器部3・・・
試料室      4・・・検出器部5・・・真空計 
     6・・・試料室遮断バルブ7a、7b・・・
リーク・バルブ 8・・・試料

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)フーリエ変換赤外分光分析装置本体内の赤外線光
    路を真空に保持する機構を有することを特徴とするフー
    リエ変換赤外分光分析装置。
JP1007144A 1989-01-13 1989-01-13 フーリエ変換赤外分光分析装置 Pending JPH02187634A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100354958B1 (ko) * 1999-10-05 2002-10-19 학교법인 계명기독학원 분할등분형 시료적재부 및 선택형 빔쵸퍼부를 갖는 적외선 분광장치

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100354958B1 (ko) * 1999-10-05 2002-10-19 학교법인 계명기독학원 분할등분형 시료적재부 및 선택형 빔쵸퍼부를 갖는 적외선 분광장치

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