JPH02189804A - マイクロ波励起型無電極発光装置 - Google Patents
マイクロ波励起型無電極発光装置Info
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- JPH02189804A JPH02189804A JP1006053A JP605389A JPH02189804A JP H02189804 A JPH02189804 A JP H02189804A JP 1006053 A JP1006053 A JP 1006053A JP 605389 A JP605389 A JP 605389A JP H02189804 A JPH02189804 A JP H02189804A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、水銀等の発光材料が封入された無電極発光管
をマイクロ波で励起させて発光させるマイクロ波励起型
無電極発光装置に関する。
をマイクロ波で励起させて発光させるマイクロ波励起型
無電極発光装置に関する。
〔従来の技術］
例えば、特開昭５０−５４１．７２号に開示されている
ように、従来より水銀等の発光材料が封入された発光管
を、マイクロ波で励起させて発光させるマイクロ波励起
型無電極発光装置が知られている。この発光装置は通常
紫外線光源として使用され、紫外線硬化型樹脂の硬化や
半導体装置の製造の際のフォトリソブライやレジストの
耐熱性向上のための処理等への応用が試みられている。
ように、従来より水銀等の発光材料が封入された発光管
を、マイクロ波で励起させて発光させるマイクロ波励起
型無電極発光装置が知られている。この発光装置は通常
紫外線光源として使用され、紫外線硬化型樹脂の硬化や
半導体装置の製造の際のフォトリソブライやレジストの
耐熱性向上のための処理等への応用が試みられている。
マイクロ波励起型無電極発光装置が有する利点としては
、発光管の内部に電極を配置する必要がないため、発光
管の径を細くでき、従って有電極の発光装置に比べより
線状光源に近くなり、樋状の放物面鏡などの光学系と組
み合わせた際の精度が高くなることが上げられる。また
、発光管の径が細いということは、管壁自体の熱輻射が
少なくなることでもあり、光照射の対象物の耐熱性が低
い場合には好適である。
、発光管の内部に電極を配置する必要がないため、発光
管の径を細くでき、従って有電極の発光装置に比べより
線状光源に近くなり、樋状の放物面鏡などの光学系と組
み合わせた際の精度が高くなることが上げられる。また
、発光管の径が細いということは、管壁自体の熱輻射が
少なくなることでもあり、光照射の対象物の耐熱性が低
い場合には好適である。
第３図及び第４図は、このような従来のマイクロ波励起
型無電極発光装置の概略説明図であり、このうち、第３
図は長平方向の断面図、第４図は長平方向に直角な方向
での断面図である。１は無電極発光管、２はマイクロ波
空洞、３はマイクロ波空洞壁、４は結合手段としてのス
ロット、５は導波管、６はマイクロ波発生手段としての
マグネトロン、８はマイクロ波シール用のメソシュを示
す。
型無電極発光装置の概略説明図であり、このうち、第３
図は長平方向の断面図、第４図は長平方向に直角な方向
での断面図である。１は無電極発光管、２はマイクロ波
空洞、３はマイクロ波空洞壁、４は結合手段としてのス
ロット、５は導波管、６はマイクロ波発生手段としての
マグネトロン、８はマイクロ波シール用のメソシュを示
す。
第３図及び第４図において、スロット４を介して導入さ
れるマイクロ波の結合により無電極発光管１は昇温し、
内部に封入された水根等の発光Ｈ４１′４が気化してプ
ラズマ状態となって励起され発光する。無電極発光管１
の管壁は通常石英ガラス等の高融点ガラスが使用される
が、マイクロ波の結合により例えば約９００〜１０００
°Ｃ以上に達すると失透してしまう。そこで、第３図及
び第４図に示すように、従来よりマイクロ波空洞壁３の
長手面７に冷却用の孔３１を設けて、装置全体を冷却す
る送風ブロア１０の風が無電極発光管１にも届くによう
にして冷却している。
れるマイクロ波の結合により無電極発光管１は昇温し、
内部に封入された水根等の発光Ｈ４１′４が気化してプ
ラズマ状態となって励起され発光する。無電極発光管１
の管壁は通常石英ガラス等の高融点ガラスが使用される
が、マイクロ波の結合により例えば約９００〜１０００
°Ｃ以上に達すると失透してしまう。そこで、第３図及
び第４図に示すように、従来よりマイクロ波空洞壁３の
長手面７に冷却用の孔３１を設けて、装置全体を冷却す
る送風ブロア１０の風が無電極発光管１にも届くによう
にして冷却している。
尚、特公昭５５−３５８２５号に開示されているように
、マイクロ波空洞壁３の長手面全は、例えば断面放物線
状であって、光学反射面に形成されている。従って、マ
イクロ波空洞壁３は無電極発光管１からの光の集光鏡と
しても機能する。
、マイクロ波空洞壁３の長手面全は、例えば断面放物線
状であって、光学反射面に形成されている。従って、マ
イクロ波空洞壁３は無電極発光管１からの光の集光鏡と
しても機能する。
〔発明が解決しようとする技術的課題］前述のようにマ
イクロ波励起型無電極発光装置の利点としては、無電極
発光管ｌの径を細くできるところにあるのであるが、あ
まり細くすると上記の冷却の点では問題が生ずる。即し
、無電極発光管１の径を細くするということは、無電極
発光管１の表面積が小さくなるので、管壁の熱負荷が大
きくなる。
イクロ波励起型無電極発光装置の利点としては、無電極
発光管ｌの径を細くできるところにあるのであるが、あ
まり細くすると上記の冷却の点では問題が生ずる。即し
、無電極発光管１の径を細くするということは、無電極
発光管１の表面積が小さくなるので、管壁の熱負荷が大
きくなる。
その−・方で、通常無電極発光管１は、集光鏡として機
能するマイクロ波空洞壁３の長手面♀の焦点の位置に配
置されるので、無電極発光管１の径が細くなると、第４
図に示す冷却用の通風孔９と無電極発光管１との距離ｄ
が長くなり、どうしても冷却風の風速が低下−已ざるを
得ない。この場合、例えば無電極発光管１が外径８ミリ
、内径６ミリと細くなり、冷却風の風速が低下゛すると
、前述の失透防止のために必要な所定の冷却ができなく
なる他、冷却風の進入方向に対して裏側の無電極発光管
１の底部１１の管壁表面を沿って流れる風の量が残るた
め、冷却バランスも悪くなる。
能するマイクロ波空洞壁３の長手面♀の焦点の位置に配
置されるので、無電極発光管１の径が細くなると、第４
図に示す冷却用の通風孔９と無電極発光管１との距離ｄ
が長くなり、どうしても冷却風の風速が低下−已ざるを
得ない。この場合、例えば無電極発光管１が外径８ミリ
、内径６ミリと細くなり、冷却風の風速が低下゛すると
、前述の失透防止のために必要な所定の冷却ができなく
なる他、冷却風の進入方向に対して裏側の無電極発光管
１の底部１１の管壁表面を沿って流れる風の量が残るた
め、冷却バランスも悪くなる。
本発明はかかる課題を考慮してなされたもので、無電極
発光管の径を細くしても無電極発光管の必要な所定の冷
却が可能であり、かつ冷却バランスの良いマイクロ波励
起型無電極発光装置の（に供を目的とする。
発光管の径を細くしても無電極発光管の必要な所定の冷
却が可能であり、かつ冷却バランスの良いマイクロ波励
起型無電極発光装置の（に供を目的とする。
かかる目的を達成するため、本発明のマイクロ波励起型
無電極発光装置は、内部に発光材料が封入された棒状の
無電極発光管と、該無電極発光管が配置されるマイクロ
波空洞を構成するマイクロ波空洞壁と、マイクロ波空洞
にマイクｒＩ波を結合させるマイクロ波結合手段と、マ
イクロ波の導波管と、マイクロ波発生手段とを有し、前
記棒状の無電極発光管を囲んで配置される透光性の通風
パイプと、該通風パイプ内に風を送る送風手段を具備し
たことを特徴とする。
無電極発光装置は、内部に発光材料が封入された棒状の
無電極発光管と、該無電極発光管が配置されるマイクロ
波空洞を構成するマイクロ波空洞壁と、マイクロ波空洞
にマイクｒＩ波を結合させるマイクロ波結合手段と、マ
イクロ波の導波管と、マイクロ波発生手段とを有し、前
記棒状の無電極発光管を囲んで配置される透光性の通風
パイプと、該通風パイプ内に風を送る送風手段を具備し
たことを特徴とする。
上記構成にかかる本発明のマイクロ波励起型無電極発光
装置は、通風パイプ内を無電極発光管の長手方向に流れ
る風によって無電極発光管の所定の冷却がされ、冷却バ
ランスも良い。
装置は、通風パイプ内を無電極発光管の長手方向に流れ
る風によって無電極発光管の所定の冷却がされ、冷却バ
ランスも良い。
（実施例〕
以下、本発明の詳細な説明する。
第１図及び第２図は、本発明の実施例のマイクロ波励起
型無電極発光装置の概略説明図であり、そのうち、第１
図は長手方向の断面図、第２図はは長手方向に直角な方
向での断面図である。１２は通風パイプ、１３は送風手
段としてのブロア、７７はコールドミラーからなる樋状
のミラーを示す。その他、第３図又は第４図と同一符号
は同−又は相当部分を示す。
型無電極発光装置の概略説明図であり、そのうち、第１
図は長手方向の断面図、第２図はは長手方向に直角な方
向での断面図である。１２は通風パイプ、１３は送風手
段としてのブロア、７７はコールドミラーからなる樋状
のミラーを示す。その他、第３図又は第４図と同一符号
は同−又は相当部分を示す。
第１図及び第２図において、通風パイプ１２は、紫外線
透過率の良い石英ガラスからなり、内径が１５〜３０ミ
リ程度の円筒状のものである。この円筒状の通風パイプ
１２は中心に無電極発光管１を囲んで配置される。
透過率の良い石英ガラスからなり、内径が１５〜３０ミ
リ程度の円筒状のものである。この円筒状の通風パイプ
１２は中心に無電極発光管１を囲んで配置される。
送風手段としてのブＩコア１３は、通風パイプ１２の一
方の側部開口］２１に対向して設けられる。ブロア１３
により送られた風は通風パイプＩ２内を長平方向に流れ
、無電極発光管１の管壁を均一にバランス良く冷却した
後、通風パイプ１２のもう一方の側部開口１２２から装
置外に抽出される。通風パイプ１２内を流れる風の風速
は２０〜３０ｍ／ｓ程度で良い。尚、送風手段としての
ブロア１３は通風パイプ１２に風を送るものであるが、
通風パイプＩ２の側部開口１２２の方に排風ファンを設
けることも技術的に等価である。
方の側部開口］２１に対向して設けられる。ブロア１３
により送られた風は通風パイプＩ２内を長平方向に流れ
、無電極発光管１の管壁を均一にバランス良く冷却した
後、通風パイプ１２のもう一方の側部開口１２２から装
置外に抽出される。通風パイプ１２内を流れる風の風速
は２０〜３０ｍ／ｓ程度で良い。尚、送風手段としての
ブロア１３は通風パイプ１２に風を送るものであるが、
通風パイプＩ２の側部開口１２２の方に排風ファンを設
けることも技術的に等価である。
樋状のミラー７７は、本実施例では、赤外線及び可視光
の−・部を透過し紫外線及着信の可視光を反射するコー
ドミラーに構成されている。このコール１ミラー７７も
無電極発光Ｗ１からの発光や管壁自体の輻射熱により昇
温するため、冷却が必要になる。
の−・部を透過し紫外線及着信の可視光を反射するコー
ドミラーに構成されている。このコール１ミラー７７も
無電極発光Ｗ１からの発光や管壁自体の輻射熱により昇
温するため、冷却が必要になる。
このため、本実施例では、送風ブロア１０からの風が、
マイクロ波空洞壁３の孔３１からコールドミラー７７の
裏面７７２やコールドミラー７７に設けられた孔７７１
からコールドミラー７７の表面７７３及び通風パイプ１
２の外表面１２３に沿って流れ、コールドミラー７７及
び通風パイプ１２の冷却がされる。尚、この場合も送風
ブロア１０の代わりに排風ブロアを用いても良い。
マイクロ波空洞壁３の孔３１からコールドミラー７７の
裏面７７２やコールドミラー７７に設けられた孔７７１
からコールドミラー７７の表面７７３及び通風パイプ１
２の外表面１２３に沿って流れ、コールドミラー７７及
び通風パイプ１２の冷却がされる。尚、この場合も送風
ブロア１０の代わりに排風ブロアを用いても良い。
本実施例の通風パイプ１２は内径の均一なものであるが
、風圧を制御して冷却バランスをより良くするため、風
の流入側と流出側とて内径が変わるようテーパーや段差
等をつけても良い。
、風圧を制御して冷却バランスをより良くするため、風
の流入側と流出側とて内径が変わるようテーパーや段差
等をつけても良い。
以上説明した通り、本発明のマイクロ波励起型無電極発
光装置は、棒状の無電極発光管を囲んで配置される透光
性の通風パイプと、該通風パイプ内に風を送る送風手段
を具備したことを特徴とするので、通風パイプ内を無電
極発光管の長手方向に流れる風によって無電極発光管の
管壁が均一・にバランス良く冷却される。従って、無電
極発光管の径を細くしても送風手段の送風の風速や風量
を適宜設計することにより、必要な所定の冷却ができ、
無電極発光管の失透等の問題が生しない。
光装置は、棒状の無電極発光管を囲んで配置される透光
性の通風パイプと、該通風パイプ内に風を送る送風手段
を具備したことを特徴とするので、通風パイプ内を無電
極発光管の長手方向に流れる風によって無電極発光管の
管壁が均一・にバランス良く冷却される。従って、無電
極発光管の径を細くしても送風手段の送風の風速や風量
を適宜設計することにより、必要な所定の冷却ができ、
無電極発光管の失透等の問題が生しない。
第１図及び第２図は、本発明の実施例のマイクロ波励起
型無電極発光装置の概略説明図であり、そのうち、第１
図は長手方向の断面図、第２図は長手方向に直角な方向
での断面図、第３図及び第４図は、従来のマイクロ波励
起型無電極発光装置の概略説明図であり、そのうち、第
３図は長手方向の断面図、第４図は長手方向に直角な方
向での断面図である。 図中 １−−−−−−− 無電極発光管 ２−−−−−マイクロ波空洞 ３ −−−−− −マイクロ波空洞壁 ４−−−−−−−−結合手段としてのスロソｉ−５−−
−−導波管 ６−−−−〜−−−−＝−マイクロ波発生手段としての
マグネトロン 通風パイプ 送風手段 手続補正書 （方式） ％式％ 事件の表示 平成１年特許願第６０５３号 ２゜ 発明の名称 マイクロ波励起型無電極発光装置 ３゜ 補正をする者 事件との関係
型無電極発光装置の概略説明図であり、そのうち、第１
図は長手方向の断面図、第２図は長手方向に直角な方向
での断面図、第３図及び第４図は、従来のマイクロ波励
起型無電極発光装置の概略説明図であり、そのうち、第
３図は長手方向の断面図、第４図は長手方向に直角な方
向での断面図である。 図中 １−−−−−−− 無電極発光管 ２−−−−−マイクロ波空洞 ３ −−−−− −マイクロ波空洞壁 ４−−−−−−−−結合手段としてのスロソｉ−５−−
−−導波管 ６−−−−〜−−−−＝−マイクロ波発生手段としての
マグネトロン 通風パイプ 送風手段 手続補正書 （方式） ％式％ 事件の表示 平成１年特許願第６０５３号 ２゜ 発明の名称 マイクロ波励起型無電極発光装置 ３゜ 補正をする者 事件との関係
Claims (1)
- 内部に発光材料が封入された棒状の無電極発光管と、該
無電極発光管が配置されるマイクロ波空洞を構成するマ
イクロ波空洞壁と、マイクロ波空洞にマイクロ波を結合
させるマイクロ波結合手段と、マイクロ波の導波管と、
マイクロ波発生手段とを有し、前記棒状の無電極発光管
を囲んで配置される透光性の通風パイプと、該通風パイ
プ内に風を送る送風手段を具備したことを特徴とするマ
イクロ波励起型無電極発光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP605389A JP2623504B2 (ja) | 1989-01-17 | 1989-01-17 | マイクロ波励起型無電極発光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP605389A JP2623504B2 (ja) | 1989-01-17 | 1989-01-17 | マイクロ波励起型無電極発光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02189804A true JPH02189804A (ja) | 1990-07-25 |
| JP2623504B2 JP2623504B2 (ja) | 1997-06-25 |
Family
ID=11627875
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP605389A Expired - Lifetime JP2623504B2 (ja) | 1989-01-17 | 1989-01-17 | マイクロ波励起型無電極発光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2623504B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5525340A (en) * | 1993-02-02 | 1996-06-11 | Shiraimatsu Shinyaku Kabushiki Kaisha | Food composition containing antimicrobial plant distillate |
-
1989
- 1989-01-17 JP JP605389A patent/JP2623504B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5525340A (en) * | 1993-02-02 | 1996-06-11 | Shiraimatsu Shinyaku Kabushiki Kaisha | Food composition containing antimicrobial plant distillate |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2623504B2 (ja) | 1997-06-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080411 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090411 Year of fee payment: 12 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
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