JPH02189805A - マイクロ波励起型無電極発光装置 - Google Patents
マイクロ波励起型無電極発光装置Info
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- JPH02189805A JPH02189805A JP1006054A JP605489A JPH02189805A JP H02189805 A JPH02189805 A JP H02189805A JP 1006054 A JP1006054 A JP 1006054A JP 605489 A JP605489 A JP 605489A JP H02189805 A JPH02189805 A JP H02189805A
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
- H01J65/04—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
- H01J65/042—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field
- H01J65/044—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field the field being produced by a separate microwave unit
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- Arrangement Of Elements, Cooling, Sealing, Or The Like Of Lighting Devices (AREA)
- Non-Portable Lighting Devices Or Systems Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、水銀等の発光材料が封入された無電極発光管
をマイクロ波で励起させて発光させるマイクロ波励起型
無電極発光装置に関する。
をマイクロ波で励起させて発光させるマイクロ波励起型
無電極発光装置に関する。
例えば、特開昭５０−５４１７２号に開示されているよ
うに、従来より水銀等の発光材料が封入された発光管を
、マイクロ波で励起させて発光させるマイクロ波励起型
無電極発光装置が知られている。この発光装置は通常紫
外線光源として使用され、紫外線硬化型樹脂の硬化、半
導体装置の製造の際のフォトリソブライやレジストの耐
熱性向上のための処理等への応用が試みられている。
うに、従来より水銀等の発光材料が封入された発光管を
、マイクロ波で励起させて発光させるマイクロ波励起型
無電極発光装置が知られている。この発光装置は通常紫
外線光源として使用され、紫外線硬化型樹脂の硬化、半
導体装置の製造の際のフォトリソブライやレジストの耐
熱性向上のための処理等への応用が試みられている。
第４図及び第５図は、従来のマイクロ波励起型無電極発
光装置の概略説明図であり、このうち、第３図は長平方
向での断面図、第４図は長平方向に直角な方向での断面
図である。■は無電極発光管、２はマイクロ波空洞、３
はマイクロ波空洞壁、４は結合手段としてのスロット、
５は導波管、６はマイクロ波発生手段としてのマグネト
ロン、８はマイクロ波シール用のメソンユを示す。
光装置の概略説明図であり、このうち、第３図は長平方
向での断面図、第４図は長平方向に直角な方向での断面
図である。■は無電極発光管、２はマイクロ波空洞、３
はマイクロ波空洞壁、４は結合手段としてのスロット、
５は導波管、６はマイクロ波発生手段としてのマグネト
ロン、８はマイクロ波シール用のメソンユを示す。
第４図及び第５図において、スロット４を介して導入さ
れるマイクロ波の結合により無電極発光管１は昇温し、
内部に封入された水銀等の発光材料が気化してプラスマ
状態となって励起され発光する。無電極発光管】の管壁
は通常石英ガラス等の高融点ガラスが使用されるが、マ
イクロ波の結合により例えば約９００〜１０００°Ｃ以
上に達すると失透してしまう。そこで、第２図に示すよ
うに、従来よりマイクロ波空洞壁３に冷却風通過用の孔
３１を設けて、装置全体を冷却する送風ブ１コア１０の
風が無電極発光管１にも届くにようにして冷却している
。
れるマイクロ波の結合により無電極発光管１は昇温し、
内部に封入された水銀等の発光材料が気化してプラスマ
状態となって励起され発光する。無電極発光管】の管壁
は通常石英ガラス等の高融点ガラスが使用されるが、マ
イクロ波の結合により例えば約９００〜１０００°Ｃ以
上に達すると失透してしまう。そこで、第２図に示すよ
うに、従来よりマイクロ波空洞壁３に冷却風通過用の孔
３１を設けて、装置全体を冷却する送風ブ１コア１０の
風が無電極発光管１にも届くにようにして冷却している
。
また、特公昭５５−３５８２５号に開示されているよう
に、マイクロ波空洞壁３の曲部中は例えば断面放物線状
に形成され、その内表面具は光学反射面に形成されてい
る。これにより曲部♀はマイクロ波空洞を構成するとと
もに、無電極発光管１からの光の反射ミラーとして機能
する。
に、マイクロ波空洞壁３の曲部中は例えば断面放物線状
に形成され、その内表面具は光学反射面に形成されてい
る。これにより曲部♀はマイクロ波空洞を構成するとと
もに、無電極発光管１からの光の反射ミラーとして機能
する。
〔発明が解決しようとする技術的課題〕前述の紫外線硬
化型樹脂の硬化等の処理においては、被処理物が紙やプ
ラスチック等のように耐熱性が低いものがある。この場
合、無電極発光管１からの光の内、長波長側の可視光線
や赤外線が、反射ミラーとしての曲部７に反射して被処
理物を照射し、被処理物が変形等の熱的損傷を被るとい
う問題があった。
化型樹脂の硬化等の処理においては、被処理物が紙やプ
ラスチック等のように耐熱性が低いものがある。この場
合、無電極発光管１からの光の内、長波長側の可視光線
や赤外線が、反射ミラーとしての曲部７に反射して被処
理物を照射し、被処理物が変形等の熱的損傷を被るとい
う問題があった。
本発明はかかる課題を考慮してなされたもので、十Ｑこ
紫外線硬化型樹脂の硬化等の処理に使用されるマイクロ
波励起型無電極発光装置において、装置外に出射する長
波長側の可視光線や赤外線が低減されたマイクロ波励起
型無電極発光装置の提供を目的とする。
紫外線硬化型樹脂の硬化等の処理に使用されるマイクロ
波励起型無電極発光装置において、装置外に出射する長
波長側の可視光線や赤外線が低減されたマイクロ波励起
型無電極発光装置の提供を目的とする。
かかる目的を達成するため、本発明のマイクロ波励起型
無電極発光装置は、内部に発光材料が封入された棒状の
無電極発光管と、該無電極発光管が配置されるマイクロ
波空洞を構成するマイクロ波空洞壁と、マイクロ波空洞
にマイクロ波を結合させるマイクロ波結合手段と、マイ
クロ波の導波管と、マイク１１波発生手段とを存し、少
なくとも赤外線を透過率が高く紫外線を反射率の高い樋
状のコートミラーであって、冷却風が通過する孔又はス
リットが設けられたものが前記棒状の無電極発光管を覆
うように配置されたことを特徴とする。
無電極発光装置は、内部に発光材料が封入された棒状の
無電極発光管と、該無電極発光管が配置されるマイクロ
波空洞を構成するマイクロ波空洞壁と、マイクロ波空洞
にマイクロ波を結合させるマイクロ波結合手段と、マイ
クロ波の導波管と、マイク１１波発生手段とを存し、少
なくとも赤外線を透過率が高く紫外線を反射率の高い樋
状のコートミラーであって、冷却風が通過する孔又はス
リットが設けられたものが前記棒状の無電極発光管を覆
うように配置されたことを特徴とする。
上記構成にかかる本発明のマイクロ波励起型無電極発光
装置は、装置外に出射する赤外線の量が低減される。ま
た、無電極発光管の冷却は、コールｌ”ミラーに設けら
れた孔又はスリットを通過する冷却風により行われる。
装置は、装置外に出射する赤外線の量が低減される。ま
た、無電極発光管の冷却は、コールｌ”ミラーに設けら
れた孔又はスリットを通過する冷却風により行われる。
以下、本発明の詳細な説明する。
第１図及び第２図は、本発明の実施例のマイクロ波励起
型無電極発光装置の概略説明図であり、そのうち、第１
図は長手方向の断面図、第２図は長手方向に直角な方向
での断面図である。３３はマイクロ波空洞２を構成する
マイクロ波空洞壁、５５はマイクロ波の導波管、６６は
マイクロ波結合手段としてのアンテナ、７７は樋状のコ
ールドミラーを示す。
型無電極発光装置の概略説明図であり、そのうち、第１
図は長手方向の断面図、第２図は長手方向に直角な方向
での断面図である。３３はマイクロ波空洞２を構成する
マイクロ波空洞壁、５５はマイクロ波の導波管、６６は
マイクロ波結合手段としてのアンテナ、７７は樋状のコ
ールドミラーを示す。
その他、第３図又はと同一符号は同−又は相当部分を示
す。
す。
コールドミラー７７は、例えば厚さ２ミリ程度のパイレ
ックス（商品名）に金属酸化物の蒸着膜が数十層にわた
り形成されたものであり、左右対象な一対のミラー７７
ａ及び７７ｂを接合することにより構成される。但し、
コスト的には高価になるが、耐熱性及び紫外線透過率の
良い石英ガラスに蒸着膜を設けたものを用いても良い。
ックス（商品名）に金属酸化物の蒸着膜が数十層にわた
り形成されたものであり、左右対象な一対のミラー７７
ａ及び７７ｂを接合することにより構成される。但し、
コスト的には高価になるが、耐熱性及び紫外線透過率の
良い石英ガラスに蒸着膜を設けたものを用いても良い。
第３図に、このコールドミラー７７の分光透過特性を示
す。第２図から明らかなようにコールドミラー７７は、
４５０ｎｍ以上の可視光及び赤外線の透過率が約７０％
以」二と大きく、逆に４００ ｎ ｍ以下の紫外線の反
射率が約９０％と大きい。従って、光照射の対象を昇温
させる可視光及び赤外線の出射される量が少なくなる。
す。第２図から明らかなようにコールドミラー７７は、
４５０ｎｍ以上の可視光及び赤外線の透過率が約７０％
以」二と大きく、逆に４００ ｎ ｍ以下の紫外線の反
射率が約９０％と大きい。従って、光照射の対象を昇温
させる可視光及び赤外線の出射される量が少なくなる。
無電極発光管１を冷却するための風は、送風ブロア１０
に送り出された後、マイクロ波空洞壁３３の孔３３１を
経て、コールドミラー７７の孔７７１から無電極発光管
１に至り、無電極発光管１を冷却する。また、コールド
ミラ−７７自体も無電極発光管１からの光により昇温し
、蒸着膜の剥離等の損傷を生ずるおそれがある。そこで
、コールドミラー７７にさらに孔７７２を設げ、ごの孔
７７２からの風によりコーハ用・ミラー７７の表面７７
３を冷却するとともに、マイクロ波空洞３の他の孔３３
２を設け、この孔３３２からの風によりコールドミラー
７７の裏面７７４を冷却するようにする。尚、無電極発
光管１から直接装置外に出射する光には、長波長４ＤＩ
Ｉの可視光及び赤外線が多く含まれることになるが、こ
れに対しては、長波長側の可視光及び赤外線を反射し短
波長側の可視光及び紫外線を透過するコールＩフィルタ
を光路上に配置すれば良い。
に送り出された後、マイクロ波空洞壁３３の孔３３１を
経て、コールドミラー７７の孔７７１から無電極発光管
１に至り、無電極発光管１を冷却する。また、コールド
ミラ−７７自体も無電極発光管１からの光により昇温し
、蒸着膜の剥離等の損傷を生ずるおそれがある。そこで
、コールドミラー７７にさらに孔７７２を設げ、ごの孔
７７２からの風によりコーハ用・ミラー７７の表面７７
３を冷却するとともに、マイクロ波空洞３の他の孔３３
２を設け、この孔３３２からの風によりコールドミラー
７７の裏面７７４を冷却するようにする。尚、無電極発
光管１から直接装置外に出射する光には、長波長４ＤＩ
Ｉの可視光及び赤外線が多く含まれることになるが、こ
れに対しては、長波長側の可視光及び赤外線を反射し短
波長側の可視光及び紫外線を透過するコールＩフィルタ
を光路上に配置すれば良い。
ちなみに、孔３３１．３３２の径は５．５ミリ程度で名
札の間隔は５ミリ、孔７７１，７７２の孔は４ミリで名
札の間隔は５ミリ程度である。また、コールドミラー７
７の孔７７１の代わりに、一対のコールドミラー７７ａ
、７７ｂを所定の間隙を残して配置するようにして、冷
却風通過用のスリットとしても良い。
札の間隔は５ミリ、孔７７１，７７２の孔は４ミリで名
札の間隔は５ミリ程度である。また、コールドミラー７
７の孔７７１の代わりに、一対のコールドミラー７７ａ
、７７ｂを所定の間隙を残して配置するようにして、冷
却風通過用のスリットとしても良い。
以上説明した通り、本発明のマイクロ波励起型無電極発
光装置は、少なくとも赤外線の透過率が高く紫外線の反
射率が高い樋状のコールドミラーであって冷却風が通過
する孔又はスリットが設けられたものが、棒状の無電極
発光管を覆うように配置されるので、装置外に出射する
赤外線の量が低減され、光照射の対象物の而）熱性の低
い場合に好適である。また、無電極発光管の冷却はコー
ルドミラームこ設げられた孔を通過する風により行うこ
とができ、冷却の面での問題は生しない。
光装置は、少なくとも赤外線の透過率が高く紫外線の反
射率が高い樋状のコールドミラーであって冷却風が通過
する孔又はスリットが設けられたものが、棒状の無電極
発光管を覆うように配置されるので、装置外に出射する
赤外線の量が低減され、光照射の対象物の而）熱性の低
い場合に好適である。また、無電極発光管の冷却はコー
ルドミラームこ設げられた孔を通過する風により行うこ
とができ、冷却の面での問題は生しない。
第１図及び第２図は、本発明の実施例のマイクロ波励起
型無電極発光装置の概略説明図であり、そのうち、第１
図は長手方向の断面図、第２図は長手方向に直角な方向
での断面図、第３図はコールドミラ７７の分光透過特性
を示す図、第４図及び第５図は、従来のマイクロ波励起
型無電極発光装置の概略説明図であり、そのうち、第４
図は長手方向の断面図、第５図は長手方向に直角な方向
での断面図である。 図中 １ − −無電極発光管 ２ − − マイクロ波空洞 ３− − マイクロ波空洞壁 結合手段 導波管 マイクロ波発生手段 ］−ルドミラー 孔 送風ブロア 平成 年 Ｃ月／♂１１ 特ａ’ｌ’ Ｉｉ’ ４え官選 ■。 事件の表示 平成１年特許願第６０５４号 発明の名称 マイクロ波励起型無電極発光装置 補正をする考 事件との関係
型無電極発光装置の概略説明図であり、そのうち、第１
図は長手方向の断面図、第２図は長手方向に直角な方向
での断面図、第３図はコールドミラ７７の分光透過特性
を示す図、第４図及び第５図は、従来のマイクロ波励起
型無電極発光装置の概略説明図であり、そのうち、第４
図は長手方向の断面図、第５図は長手方向に直角な方向
での断面図である。 図中 １ − −無電極発光管 ２ − − マイクロ波空洞 ３− − マイクロ波空洞壁 結合手段 導波管 マイクロ波発生手段 ］−ルドミラー 孔 送風ブロア 平成 年 Ｃ月／♂１１ 特ａ’ｌ’ Ｉｉ’ ４え官選 ■。 事件の表示 平成１年特許願第６０５４号 発明の名称 マイクロ波励起型無電極発光装置 補正をする考 事件との関係
Claims (1)
- 内部に発光材料が封入された棒状の無電極発光管と、該
無電極発光管が配置されるマイクロ波空洞を構成するマ
イクロ波空洞壁と、マイクロ波空洞にマイクロ波を結合
させるマイクロ波結合手段と、マイクロ波の導波管と、
マイクロ波発生手段とを有し、少なくとも赤外線の透過
率が高く紫外線の反射率の高い樋状のコードミラーであ
って、冷却風が通過する孔又はスリットが設けられたも
のが、前記棒状の無電極発光管を覆うように配置された
ことを特徴とするマイクロ波励起型無電極発光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1006054A JPH02189805A (ja) | 1989-01-17 | 1989-01-17 | マイクロ波励起型無電極発光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1006054A JPH02189805A (ja) | 1989-01-17 | 1989-01-17 | マイクロ波励起型無電極発光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02189805A true JPH02189805A (ja) | 1990-07-25 |
Family
ID=11627901
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1006054A Pending JPH02189805A (ja) | 1989-01-17 | 1989-01-17 | マイクロ波励起型無電極発光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02189805A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0451756U (ja) * | 1990-09-05 | 1992-04-30 | ||
| JPH0451755U (ja) * | 1990-09-05 | 1992-04-30 | ||
| US6617806B2 (en) | 1999-05-12 | 2003-09-09 | Fusion Lighting, Inc. | High brightness microwave lamp |
| JP2003531463A (ja) * | 2000-04-07 | 2003-10-21 | ノードソン コーポレーション | 向上したランプの冷却を伴っているマイクロ波励起紫外線ランプシステム |
| JP2004518246A (ja) * | 2000-11-22 | 2004-06-17 | フュージョン・ユーヴィー・システムズ・インコーポレイテッド | 紫外ランプ用電源及びサイクリングを使用して高電力／低冷却で動作させる方法 |
| JP2005515083A (ja) * | 2001-12-31 | 2005-05-26 | フュージョン ユーブイ システムズ， インコーポレイテッド | 空気冷却型ランプ及び物品処理システム及び空気冷却型ランプを使用する方法 |
| JP2009224208A (ja) * | 2008-03-17 | 2009-10-01 | Harison Toshiba Lighting Corp | 紫外線照射装置 |
| JP2012506622A (ja) * | 2008-10-21 | 2012-03-15 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 冷却ガス用の孔を有する紫外線リフレクタおよび方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56126250A (en) * | 1980-03-10 | 1981-10-03 | Mitsubishi Electric Corp | Light source device of micro wave discharge |
| JPS59218407A (ja) * | 1983-05-26 | 1984-12-08 | Hakko:Kk | 擬似太陽光照射装置 |
| JPH02117003A (ja) * | 1988-10-26 | 1990-05-01 | New Japan Radio Co Ltd | マイクロ波無電極放電管装置 |
-
1989
- 1989-01-17 JP JP1006054A patent/JPH02189805A/ja active Pending
Patent Citations (3)
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| JPS56126250A (en) * | 1980-03-10 | 1981-10-03 | Mitsubishi Electric Corp | Light source device of micro wave discharge |
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Cited By (9)
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| JP4777582B2 (ja) * | 2000-04-07 | 2011-09-21 | ノードソン コーポレーション | 向上したランプの冷却を伴っているマイクロ波励起紫外線ランプシステム |
| JP2004518246A (ja) * | 2000-11-22 | 2004-06-17 | フュージョン・ユーヴィー・システムズ・インコーポレイテッド | 紫外ランプ用電源及びサイクリングを使用して高電力／低冷却で動作させる方法 |
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