JPH02189949A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は搬送装置に関する。

（従来の技術） 半導体ウェハ等の被処理体に対しての処理、例えばレジ
ス１〜塗布、および現像等の処理は複数の半導体ウェハ
が収納されているウェハカセットから一枚ずつ取出して
搬送ベルトに移し替えている、さらに、搬送ベルトを移
動させて処理部、例えばカップ内に設けられているスピ
ンチャックの近傍まで搬送し、上記半導体ウェハ（以下
、ウェハと略記する）を所定位置に位置決めして、スピ
ンチャックに移し替えている。

このような装置に使用されている搬送装置は実開昭６１
−５５３３９号公報等、多数に記載されている。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上記搬送装置では搬送ベルトに載置され
たウェハを所定位置まで搬送し、この搬送されたウェハ
を上記所定位置に設けられた位置決めピンに衝止してい
る。そしてこの衝正によって、上記ウェハを所定の位置
に位置決めする構成なので、上記ウェハを上記位置決め
ピンに衝止させる際にウェハ自身を衝撃によって破損さ
せピンから発塵てしまうまた、ウェハ表面と搬送部との
こすれにより発塵する欠点があった。

また、搬送させるウェハスピードを初めから減速させて
、この減速したスピードで上記ウェハを位置決めピンに
衝止させると、搬送する搬送時間が従来より倍加する。

従って、この搬送装置を使用するとスループソ１〜が、
従来より低ドしてしまう問題もある。

本発明の目的とするところは、上記した問題点に鑑みな
されたもので、板状体の搬送スピー１−を減速するよう
にして、」−配板状体の発塵を防止し、スルプソ１〜と
歩留を向」ニさせた搬送装置を提供することにある、。

〔発明の構成〕

（課題を侮′決するための手段） 本発明は、板状体を搬装ペル１−に載置して、上記搬送
ベルトを駆動させ、」二記板状体を所定位置に搬送する
装置で、」−配板状体を所定位置に設けられた位置決め
スｈツバに衝止するに際し、上記板状体のスビー１〜を
減速させて衝止する減速手段と構成したことを特徴とし
ている。

（作用効果） 本発明によれば、位置決めスＩ−ツバに衝止するに際し
、」二記板状体のスピー１〜を減速させて衝止する減速
手段を構成したので、上記板状体を上記位置決めス１〜
ソバに強く衝止させない程度に、減速させて衝止するこ
とが可能となり、従って、１−配板状体をの発塵させる
ことなく搬送することか可能である。

（実施例） 以下、本発明の搬送装置を、レジスト塗布処理に適用し
た一実施例につき、図面を参照して説明する。

上記レジスト塗布処理は、ウェハを塗布部まで搬送し、
この搬送されたウェハにレシス１〜塗布液を、塗布して
成膜する装置である。

上記レジスト塗布処理の特徴的事項は、ウェハを位置決
めピンに衝止させ、この衝止されたウェハを回転可能な
スピンチャックに移し替えるに際し、」二足ウェハの搬
送スピードを減速させて、−」−記位置決めピンに衝止
させて、ウェハ表裏の発塵を防止した構成にある。

先ず、レジスＩ〜塗布装置装置の全体の構成を説明する
。

」こ記しジス１〜塗布装置はウェハの表面にレジス１へ
塗布する機能を有した塗布部と、この塗布部に上記ウェ
ハを搬送する搬送機構とから構成されている。

」二足塗布部は、第１図に示すように、被塗体、例えば
ウェハを保持、例えば吸着保持可能な支持体、例えばス
ピンチャックＯ）が設けられている。

このスピンチャック（１）には回転駆動、例えばモータ
ー（２）が連設されており、このモーター（２）の駆動
により、スビンチＡ・ツク（１）を介して」−記つエバ
（３）を回転可能どされている。

このスピンチャック０）により保持されたウェハ■を囲
焼する如く有底円筒形のカップ（４）が」−下動可能に
設けられている。

このカップ０）はウェハ（３）表面にレジス１へを塗布
する際に、上記スピンチャック（］）及び、ウェハ（３
）を囲むように」二足カップは）を所定高さまで」１昇
するように設けられている。

また、」−記カツブ（４）はスピンチャック（１）にウ
ェハ（３）を搬送する際に、」１記搬送機構（ハ）が、
上記カップ（４）と汗渉しないように、」二足カップ（
４）を所定位置Ｃのまで降下するように設けられている
。

」１記搬送機構０は、塗布部■のスピンチャック（１）
のセンター（１ａ）ヘウエハ（３）の中心（３ａ）が略
中夫に合致されるように位置決めスＩ−ツバ、例えば位
置決めピン（８）が搬送ヘル１−■）の移動方向に設け
られ、ウェハ■と衝突して停止する位置に設けられてい
る。

ここで、この位置決めピン（８）がウェハ■を位置決め
するに際し、常に突出した状態に設けても良く、また衝
止する時だけ突出する構造にしても良い、この場合は−
に記つェハ■を、精度よく、ブリアライメンＩ−するグ
リアライメン１〜機構（１０）との汗渉が防げる。

上記位置決めピン（８）がウェハ■と衝止するに際し、
上記ウェハ（３）が搬送路から外側に飛び出さないよう
に、上記スピンチャック（１）のセンター（１ａ）の対
称方向に夫々設けられている。即ち、上記位置決めピン
（８）は、搬送ベルｌ−（９）を形成した基台（１１）
に設けられている。

この基台（１１）は、上記スピンチャックＯ）のセンタ
ー（１ａ）の対称方向に沿って、平行に第１基台（１，
１ａ）と第２基台（ｌｌｂ）とに分けて設けられている
。

上記第１基台（ｌｌａ）の一端には、第１基台（ｌｌａ
）と、第２基台（ｌｌｂ）との平行を保ちながら、この
間隔を広げ、または狭めるように駆動部、例えばシリン
ダー（１２）が設けられている。

上記第１基台（ｌｌａ）及び第２基台（］　ｌｌｂに設
けられたプーリ（１３）にベル１へ例えば○リングのベ
ル＋−を張架した搬送ベルｌ−（９）がウェハ■をスピ
ンチャック（１）の上空部まで搬送する如く駆動可能に
形成されている。

上記夫々のプーリ（１３）の中央には、角穴、例えば四
角穴が穿設され、この夫々の正四角穴に対応した四角棒
（１４）が上記第１基台（ｌｌａ）及び上記第２基台（
ｌｌｂ）に設けられた夫々のプーリ（１３）に装着され
ており、第１基台（ｌｌａ）と、第２基台（ｌｌｂ）を
、夫々、反対方向に広げるに際し、上記四角棒（１４）
の外周面を、上記プーリ（１３）の四角穴が摺動して、
広げるように構成されている。

−１−北門角棒（１４）の−・端には、直流（ＤＣ）モ
ーター（１５）の回転数を減速させる減速部９例えば、
異った歯数を有したプーリ（１６）と、この歯数と対応
したタイミングベルト（１７）からなる減速部（１８）
。

が連設されており、上記モーター（１５）を駆動させて
、第１基台（ｌｌａ）側の搬送ベルト０及び第２基台（
ｌｌｂ）側の搬送ベルト０を、一定方向、例えばウェハ
（３）がスピンチャック（ト）のセンタ一方向に移動す
る方向に移動するように設けられている。この移動によ
って、上記ウェハ（３）が位置決めピン（８）で衝止し
たのち、プリアライメント機構（１０）でウェハ■の このような装置で、ウェハ■を所定の位置て衝止させて
、停止させるに際し、ゆるやかに衝止することが必要で
ある。

上記ウェハ■を発塵させないために上記ウェハ（３）の
搬送スピードを減速させる減速手段（１９）を設けてい
る。

上記減速手段（１９）について第２図を用いて説明する
。

上記減速手段（１９）は、ウェハ■が所定位置に到達し
たことを検出する検出手段例えばセンサ（２０）と搬送
ベルト〇を駆動させる直流（ＤＣ）モーター　（１５）
と、この直流（ＤＣ）モーター（１５）を上記センサー
（２０）の信号によって、減速するように印加電圧を減
圧させる回路（２１）とから構成されている。

上記センサ（２０）は、第３図に示すように、スピンチ
ャック（υのセンタから、Ｍ距離２例えば直径１００ｍ
＋ｎ　ウェハ（３ａ）においては、８０皿離れた距離に
、また直径１５０ｎｗｎウェハ（３ｂ）においては７０
ｍｍ離れた距離になるように設けられている。

」１記センサ（２０）は発光素子（２０ａ）と受光素子
（２０ｂ）　とから成り、これらの空隙にウェハ（３）
が通過されると、ウェハ■が上記センサー（２０）のビ
ームを遮断して、ウェハ■の位置を検出するように設け
られている。

上記直流（ＤＣ）モーター、例えば、定格電圧１２Ｖ、
回転数３３０ＯｒＰＭのモーターを搬送ベルト（９）移
動の駆動源として用いている。

上記直流（ＤＣ）モーターは、第４図に示すように、例
えば印加電圧１２Ｖ、　Ｉ〜ルク７ｇ・印で、回転数が
３３００回転、回転型圧１０Ｖ、ｌ−ルク７ｉｉ・ａｎ
で、２３５０回転、回転型圧８ｖ、１−ルク７ｇ・印で
、１５００回転印加電圧６Ｖ、ｌ−ルク７グ・印で６０
０回転に印加電圧を変化させることにより、回転数を可
変するように設けられている。

ここで上記仕様で説明したが、これに限定されるもので
はなく、他の直流（ＤＣ）モーターの仕様であっても良
い。

上記回路は、第２図に戻って説明すると、ウェハ■が所
定位置を通過した際に、ウェハの通過位置をセンサー（
２０）によって、検出し、この検出信号に基づいて、上
記直流（ＤＣ）モーター（１５）の印加電圧を自動的に
可変するように設けられている。

上記印加電圧の可変は、予めボリューム（２２）で抵抗
値を、変化させて電流値を制御するように構成されてい
る。

次に、上記レジスト塗布装置において、上記ウェハをス
ピンチャックの上空まで搬送して、スピンチャソクに移
し替える動作について説明する。

先ず、塗布部ωのカップ（４）を所定位置（６）に降下
させる。このカップ０）を降下した後、搬送ベルト０）
の○リンク表面に１図示しないハンドリングアームによ
ってウェハ（３）をゆっくりと載置する。

このウェハ■を載置した後、予め定められた搬送スピー
１へて、」二足搬送ヘルＩ〜（９）を直流（ＤＣ）モー
ター（１５）で移動させる。

この移動により、上記載置されたウェハ（３）は、搬送
路に設けられたセンサー（２０）の空隙を通過する。こ
のセンサー（２０）はウェハ■の通過を回路（２１）側
に信号として伝達する。

この回路（２１）側では、予め減速スピードがボリュー
１ｓ（ｚｚ）によって定められているので、この定めら
れた印加電圧を直流（ＤＣ）モーター（１５）に自動的
に印加する。

この印加された直流（ＤＣ）モーター（１５）は、例え
ばボリューム（２２）によって６■に設定されていると
、回転数が３３００回転が６００回転になる。

よって、搬送スピードが略５分の１の移動スピー１りに
減速する。

上記減速されたウェハ■は、ゆっくりと位置決めピン（
８）に衝止する。

従って、−１−記位置決めピン（８）に衝止するウェハ
（３）の衝撃力は５分の」−より小さくなる。

上記位置決めピン（８）で停止されたウェハに３）はグ
リアライメン１〜機構（１０）の挟持で、ウェハ（３）
の中心（３ａ）をスピンチャック（１）のセンタ（１ａ
）にプリアライメン１へする。このプリアライメン１〜
されたウェハ０は、−１−記搬送機構（ハ）に設けられ
たＥ降機構（２３）によって、降ドし、＋側に待期して
いたスピンチャック（１）の頂面に吸着固定する。

そして、上記搬送ベルＩ−■）が設けられている第１−
基台（Ｌｌ、ａ）　、及び、第２基台（、］、１ｂ）　
をシリンダー（１２）の駆動で所定位置まで広げる。

」二記、第１基台（Ｉｌａ）及び第２基台（１，］ｂ）
が広げられた後、−１−記カツブ０）を所定高さまで上
昇させる。

この」〕昇後２上記ウェハ（３）表面にレジス１−液を
塗布する。

上記実施例では、レジスト塗布装置について説明したが
、これに限定するものではなく、コータ、洗浄、現像等
の板状、例えばウェハ、ＬＣＤ基板等を衝止して停止さ
せるものに使用可能である。

本実施例の効果は、ウェハを搬送するスピードが位置決
めピンに衝止するに際し、減速してゆっくりと衝止する
ように改良したので、ウェハの表裏を発塵させるとなく
衝止して停止させることができ、スルーブソ１〜が高く
、歩留りの高い搬送装置を得ることが可能となる。

さらに、ＤＣモータは寿命が短かいため、」二足減速ス
ピードをボリュー１１て調整できるので、長期間使用に
上りモータの回転数が遅くなっても、ボリュームを調整
することにより、モータのスピド調整がてぎマシンのＭ
　ＴＢ　Ｅを長くすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の装置をレジス１へ塗布に適用した一
実施例を説明するための、レジスＩ−塗布装置説明図、 第２図は第１図の搬送機構を説明するための搬送装置説
明図、 第３図は、第１図のセンザ一部を説明するための搬送路
説明図、 第４図は、第１図の搬送装置に用いた直流モーターを説
明するための特性説明図である。 １、スピンチャック　　２．モータ ３、ウェハ　　　　　　３ａ、ウェハの中心４、カップ
　　　　　　５．搬送機構 ６、所定位置　　　　　７．塗布部 ８、位置決めピン　　　１８．減速部 ２０、センサ　　　　　２１１回　路 ２２、ボリュー１１

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 板状体を搬送ベルトに載置して、上記搬送ベルトを駆動
   させ上記板状体を所定位置に搬送する装置で、上記板状
   体を所定位置に設けられた位置決めストッパに衝止する
   に際し、上記板状体のスピードを減速させて衝止する減
   速手段を構成したことを特徴とする搬送装置。