JPH02190700A - 液体圧送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は加圧して液体を送出する液体圧送装置に関する
。

（発明の技術的背景とその問題点〕 半導体の製造装置において、レジストの現像液等の薬液
がウェハやマスクの化学処理に多数使用されている。

これら薬液を液送する方法として、容器に薬液を入れ該
容器内部を加圧して圧送する方法がある。

また、マスク等の化学処理を継続して行うため、容器内
の薬液の有無を監視しなければならない。

従来の第一の監視方法は、薬液を含む加圧容器の重量を
測定し薬液がなくなると軽くなるので、その！量変化に
より薬液の有無あるいは残量を検出する方法である。

この重量法は薬液の重量と加圧容器の重量との比が小さ
く　（例えば、薬液の重ｉ１）０ｋｇの時加圧容器の重
量は４ｋｇ）、また、交換する加圧容器間の重量偏差お
よび加圧容器に配管するパイプの重量偏差が大きく　（
例えば、５００ｇ）　、さらに、配管するパイプの引張
力が加わるため薬液重量を正確に検出することは困難で
あるという欠陥がある。

従来の第二の監視方法は、加圧容器内に液面検出器（例
えばフロート式液面スイッチ）を付加して薬液の有無あ
るいは残量を検出する方法である。。

半導体分野ではゴミの混入を防ぎクリーン度を上げるた
め、薬液メーカのクリーンルームで薬液を加圧容器に入
れ密閉した状態で半導体メーカに届けられる。この加圧
容器を開封して液面検出器を取り付ける従来の液面検出
法は、ゴミが混入する機会を作り、その後の半導体製造
の品質を低下させるという欠陥がある。

さらに、第三の監視方法は、本出願人が先に出願した特
願昭６３−４３２１０号の圧力検出法がある。

しかし、この圧力検出法は低い圧力で液送する時、差圧
が小さくなるので検出の信頼度が低下するという欠陥が
ある。

〔発明の目的〕

本発明は上記欠陥を除去した新規な発明であって、その
目的は加圧容器内の液体の有無を精度高く検出する液体
圧送装置を提供すること、さらに、薬液のクリーン度を
損なうことなく残量を検出する液体圧送装置を提供する
ことである。

本発明の他の目的は、液の残量を予告することのできる
液体圧送装置を提供することである。

〔発明の概要〕

本発明の液体圧送装置は、液体を貯蔵する主タンクと液
面センサを備え前記主タンクと直列的に接続された補助
タンクとからなることを特徴とするものである。

このような液体圧送装置によれば精度が高く、クリーン
度の高い液体の液体圧送装置と液体の残量を予告するこ
とのできる液体圧送装置の実現が期待される。

〔発明の実施例〕

以下、本発明を図面により詳細に説明する。

第１図は本発明になる液体圧送装置の第１の実施例の構
成図である。

薬液がイソプロピルアルコール（略してＩＰＡ）である
場合を例にとり説明する。

ガス接続口ｌに２　ｋｇ／ａＪ　　の窒素ガスを入力し
、管継手１３を通してステンレススチール製主タンク２
の上部に付加されたガス加圧口３からＩＰＡが満たされ
た主タンク２を加圧すると主タンク２の中のＩＰＡ４は
液送管５及び管継手１４を通して補助タンク６に供給さ
れる。

補助タンク６は密閉されているので補助タンク６の空間
部は圧縮されてガス接続口ｌに入力された窒素ガスの圧
力２　ｋｇ／−になるまでＩＰＡは供給される。補助タ
ンク６の液面は上昇し、液面センサ８は補助タンク６に
ＩＰＡが満たされたことを信号線９で出力する。

補助タンク６に貯えられたＩＰＡは液送管７を通して送
出し使用される。

主タンク２に充分液がある時は、液送管７から送出した
液量と同じ液量が常に主タンクから補給されるので補助
タンク６の液面は一定に保たれるが、やがて主タンクの
液面が液送管の下端ＩＯに達すると補助タンクの液面が
下降する。液面センサ８で予め設定した値に達した時、
残液が少なくなったことを示す予告信号を信号線９で出
力する。

予告信号を出力した後、液面が液送管７の下端１）に下
降するまで、液送を続けることができるので主タンクの
液がなくなった後も液切れで処理が中断されることがな
い。

使用済の主タンク２を管継手１３．１４で取外し新たに
ＩＰＡの充満した主タンク２に交換すれば液送を継続で
きる。

また、液送管５の最下端１０を主タンク２の底面に近く
しておけば主・タンク２のＩＰＡを無駄なく最後まで使
用することができる。

第２［ｉ！！Ｉは本発明になる液体圧送装置の第２の実
施例の構成図である。

第１の実施例では、補助タンク６は当初から密閉されて
いるので圧送圧力が低い時補助タンク６の空間部の圧縮
率が低いので補助タンク６の液面が低く予告信号を出力
してから使用することのできる液量が少ないという欠陥
がある。

第２の実施例では、補助タンク６にリークバルブ１２を
付加する。液面が液面センサ８で予め設定した液面まで
上昇するまでの間、リークバルブ１２を開として補助タ
ンク６内の気体を外部へ放出し、液面が設定レベルに到
達した時、リークバルブ１２を閉として補助タンク６を
加圧する。

この第２の実施例は、加圧する窒素ガスの圧力が低い時
−層有効である。また、使用するガスの圧力に依存しな
い量の液体を予備として確保することができる。

上記説明では、リークバルブ１２を閉とするタイミング
を液面センサ８で液面を検出した時とした場合について
述べたが、本発明はこれに限定されるものではなく、加
圧を開始してから一定時間の間だけリークバルブを開と
する時間制御方式によっても本発明を実現できることは
明らかである。

（発明の効果〕 以上詳述した如く本発明の液体圧送装置によれば、主タ
ンクの液残量を主タンク内部に何ら検出器を入れること
なく正確に検出することができるだけでなく、無駄のな
い薬液使用とクリーン度を招なうことのない液体圧送装
置を実現できる。また、液の残量予告信号により処理が
中断されることがない液体圧送装置を実現できるなど、
顕著な効果を奏するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明になる液体圧送装置の第１の実施例の構
成図、第２図は本発明になる液体圧送装置の第２の実施
例の構成図である。 １・・・ガス接続口、２・・・主タンク、３・・・ガス
加圧口、４・・・ＩＰＡ、５，７・・・液送管、６・・
・補助タンク、８・・・液面センサ、９・・・信号線、
１０．１）・・・液送管の下端、１２・・・リークバル
ブ特許出願人　　　シグマ技術工業株式会社代表者　神
　１）　　薫

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）液体を圧送する液送装置において、液体を貯蔵す
   る主タンクと液面センサを備え前記主タンクと直列的に
   接続された補助タンクとからなることを特徴とした液体
   圧送装置。
2. （２）液面センサがフロート式液面センサであることを
   特徴とした前記特許請求の範囲第（１）項記載の液体圧
   送装置。
3. （３）液面センサで設定した液面以下になった時予告信
   号を送出することを特徴とした前記特許請求の範囲第（
   １）項記載の液体圧送装置。
4. （４）補助タンクにリークバルブを付加したことを特徴
   とする前記特許請求の範囲第（１）項記載の液体圧送装
   置。
5. （５）補助タンクの液面が上昇し液面センサで設定した
   液面に液が到達した時、リークバルブを閉にすることを
   特徴とした前記特許請求の範囲第（４）項記載の液体圧
   送装置。