JPS6084137A - 密閉型通い缶からの薬液供給看視装置 - Google Patents
密閉型通い缶からの薬液供給看視装置Info
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- JPS6084137A JPS6084137A JP19251583A JP19251583A JPS6084137A JP S6084137 A JPS6084137 A JP S6084137A JP 19251583 A JP19251583 A JP 19251583A JP 19251583 A JP19251583 A JP 19251583A JP S6084137 A JPS6084137 A JP S6084137A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J4/00—Feed or outlet devices; Feed or outlet control devices
- B01J4/008—Feed or outlet control devices
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、半導体等電子態別・や精密８！器部品等の薬
液処理工程に用いられる各種薬液の供給を看視する看視
装置に関し、詳細には前記各種薬液の充填された密閉型
通い缶から、薬液処理工程に薬液を供給するに際し、前
記通い缶と接続して前記薬液の里を検知しつつ、安定に
供給せしめるようにした看視装置に関するものである。
液処理工程に用いられる各種薬液の供給を看視する看視
装置に関し、詳細には前記各種薬液の充填された密閉型
通い缶から、薬液処理工程に薬液を供給するに際し、前
記通い缶と接続して前記薬液の里を検知しつつ、安定に
供給せしめるようにした看視装置に関するものである。
集積回路、トランジスターなどの微細加工技術の進歩は
めざましいものであり、その製造に使用される各種薬液
の品質管理に対する要求は、とみに厳しくなってきてい
る。特に製品歩とまりに直接影響する微細粒子異物の混
入は禁忌であり、そのため原液は通常精密濾過され、清
浄な環境（クリーンルーム内）下で清浄な容器に充填さ
れて製品となる。一般には、その容器としてガラス製の
約１１〜８１のびんが用いられている。ところが各種薬
液のガラスびんへの充填はクリーンルーム内ではあるが
、開放下で行なわれるため、外気におけるほどではない
にしてもゴミ、異物等の混入の可能性は避けがたい。し
かも、流通段階において、ガラスびんであるが故に破損
事故を生じる欠点があり、また容器そのものは使い捨て
であるため、その処置が問題である。さらに使用者側に
おいて、ガラスびん容器を開ゼし、集積回路筈の製造ラ
インの装置の容器へ移しかえる手間を必要とし、その際
せっかく精密濾過して清浄にした内容物にゴミや異物を
混入させたり、甚だしい場合はこばしたり、あふれさせ
たりするという問題も生ずる。そこで木兄旧名は、使用
の度に内容惜を移しかえるための開封をすることなく前
記薬液処理工程の配管に接続して簡便に使用でき、かつ
上記欠点の解消された液面加圧方式による密閉型の収納
容器を開発し、別途特許出願した（特願昭５７−１３０
８７６号）。
めざましいものであり、その製造に使用される各種薬液
の品質管理に対する要求は、とみに厳しくなってきてい
る。特に製品歩とまりに直接影響する微細粒子異物の混
入は禁忌であり、そのため原液は通常精密濾過され、清
浄な環境（クリーンルーム内）下で清浄な容器に充填さ
れて製品となる。一般には、その容器としてガラス製の
約１１〜８１のびんが用いられている。ところが各種薬
液のガラスびんへの充填はクリーンルーム内ではあるが
、開放下で行なわれるため、外気におけるほどではない
にしてもゴミ、異物等の混入の可能性は避けがたい。し
かも、流通段階において、ガラスびんであるが故に破損
事故を生じる欠点があり、また容器そのものは使い捨て
であるため、その処置が問題である。さらに使用者側に
おいて、ガラスびん容器を開ゼし、集積回路筈の製造ラ
インの装置の容器へ移しかえる手間を必要とし、その際
せっかく精密濾過して清浄にした内容物にゴミや異物を
混入させたり、甚だしい場合はこばしたり、あふれさせ
たりするという問題も生ずる。そこで木兄旧名は、使用
の度に内容惜を移しかえるための開封をすることなく前
記薬液処理工程の配管に接続して簡便に使用でき、かつ
上記欠点の解消された液面加圧方式による密閉型の収納
容器を開発し、別途特許出願した（特願昭５７−１３０
８７６号）。
この場合、前記通い缶は新たに該用途に用いらたるよう
になった為に、従来のガラスびんに比較して多量に収容
し得るが、該通い缶の材質によっては液量の監視ができ
ず、かつ多量であるが故にその減少を常時監視し、交換
することが困可［であり、若し薬液が無くなったのを知
らず、薬液処理装置を稼動させれば、未処理の不良品を
製造するおそれがある。
になった為に、従来のガラスびんに比較して多量に収容
し得るが、該通い缶の材質によっては液量の監視ができ
ず、かつ多量であるが故にその減少を常時監視し、交換
することが困可［であり、若し薬液が無くなったのを知
らず、薬液処理装置を稼動させれば、未処理の不良品を
製造するおそれがある。
本発明は前記の欠点を解決し、前記薬液を外気に触れる
ことなく、清浄状態を継持したまま、前記薬液量を検知
しつつ供給し、適量の残液になった時点で警報を発し、
かつ空となった前記通い缶を交換する間も、薬液処理装
置を停止させることなく、連続して該薬液を供給可能と
すると共に、その合理化された装置部材の配置によりコ
ンパクトにまとめられ、極めて操作性の（憂れた薬液供
給看視装置を提供するものである。
ことなく、清浄状態を継持したまま、前記薬液量を検知
しつつ供給し、適量の残液になった時点で警報を発し、
かつ空となった前記通い缶を交換する間も、薬液処理装
置を停止させることなく、連続して該薬液を供給可能と
すると共に、その合理化された装置部材の配置によりコ
ンパクトにまとめられ、極めて操作性の（憂れた薬液供
給看視装置を提供するものである。
本発明装置は、液面加圧方式により薬液を送液する密閉
型通い缶と薬液処理工程の間に取イ」けられるもので、
通い缶から送液された薬液は密閉型の本発明の看視槽に
入り、看視槽内の液面上の気体圧と平衡を保持して、次
の薬液処理工程に送られる。
型通い缶と薬液処理工程の間に取イ」けられるもので、
通い缶から送液された薬液は密閉型の本発明の看視槽に
入り、看視槽内の液面上の気体圧と平衡を保持して、次
の薬液処理工程に送られる。
次に本装置の機能を説明すると、通い缶の薬液が供給さ
れ尽し空になって後、看視槽の液面が降下し所定位置と
なったとき、通い缶を交換すヴき時点に達したことを警
報すると共に、通い缶が交換できるように通い缶と唇視
槽間の管路及び通い缶への加圧気体の送気管路を断ち、
看視槽への槽内液面の加圧用気体を導入して、通い缶交
換中も薬液処理工程への給液を可能とし、かつ交換した
通い缶からの薬液が新たに看視槽へ移送されている間も
薬液の供給を可能としたもので、通い缶の液面加圧用気
体供給証と組合せることにより、行視槽に善報用容器及
び缶交換時のクツシミンタンクとしての機能を保有せし
めグこものである。
れ尽し空になって後、看視槽の液面が降下し所定位置と
なったとき、通い缶を交換すヴき時点に達したことを警
報すると共に、通い缶が交換できるように通い缶と唇視
槽間の管路及び通い缶への加圧気体の送気管路を断ち、
看視槽への槽内液面の加圧用気体を導入して、通い缶交
換中も薬液処理工程への給液を可能とし、かつ交換した
通い缶からの薬液が新たに看視槽へ移送されている間も
薬液の供給を可能としたもので、通い缶の液面加圧用気
体供給証と組合せることにより、行視槽に善報用容器及
び缶交換時のクツシミンタンクとしての機能を保有せし
めグこものである。
次に」二記機能を図面に基ずいて具体的に説明する。第
１図は薬液２０の収納されている通い缶であるキャニス
タ−１０の斜視図で、第２図は同縦断面図を示し、キャ
ニスタ−１０は液収納通い缶本体１３とフランジ１４と
からなり、該フランジ１４には液輸送用雄カプラー１１
及び気体流通用雄カプラー１２が具備され、該カプラー
１１．１２は第３図または第４図に示す方法によりキャ
ップ３０で保護されている。
１図は薬液２０の収納されている通い缶であるキャニス
タ−１０の斜視図で、第２図は同縦断面図を示し、キャ
ニスタ−１０は液収納通い缶本体１３とフランジ１４と
からなり、該フランジ１４には液輸送用雄カプラー１１
及び気体流通用雄カプラー１２が具備され、該カプラー
１１．１２は第３図または第４図に示す方法によりキャ
ップ３０で保護されている。
第５図は、前記キャニスタ−を半導体製造装置１に接続
して使用している従来技術を説明するものである。すな
わち、清浄窒素を窒素ラインの雌カプラー１７．気体流
通用雄カプラー１２よりキャニスタ−１０に供給し、そ
の圧力で薬液２０を液ラインの雌カプラー１６．液輸送
用雄カプラー１１より前記装置１に供給し使用するもの
である。
して使用している従来技術を説明するものである。すな
わち、清浄窒素を窒素ラインの雌カプラー１７．気体流
通用雄カプラー１２よりキャニスタ−１０に供給し、そ
の圧力で薬液２０を液ラインの雌カプラー１６．液輸送
用雄カプラー１１より前記装置１に供給し使用するもの
である。
元来、半導体製造装置に、例えは積算流ｆｆ１′紺等の
液使用駄況を検知し得る機能があれば、この状態でも使
用し得るのであるが、しかし使用中の通い缶内の液を使
い尽し、新通い缶に切換える移置が極めて複雑となる。
液使用駄況を検知し得る機能があれば、この状態でも使
用し得るのであるが、しかし使用中の通い缶内の液を使
い尽し、新通い缶に切換える移置が極めて複雑となる。
第６図は本発明に係る薬液供給看視装置１００の模式的
説明図で、本装置は薬液２０の所定尉を収納する看視槽
５０．液面を検出する液面ｉｔ＋’ ８０ 、薬液の供
給力となる加圧気体（窒素）受入管の接続ロア０．槽内
気体排気管の接続口９０．窒素ガス及び薬液の回路の開
閉を行なう電磁弁６４，６２，６３゜６４、該装置１０
０と通い容器であるキャニスタ−１０との接続用雌カプ
ラー１７ 、１６ 、半導体製造装置１への工程薬液給
液管の接続ロア３．窒素ガス。
説明図で、本装置は薬液２０の所定尉を収納する看視槽
５０．液面を検出する液面ｉｔ＋’ ８０ 、薬液の供
給力となる加圧気体（窒素）受入管の接続ロア０．槽内
気体排気管の接続口９０．窒素ガス及び薬液の回路の開
閉を行なう電磁弁６４，６２，６３゜６４、該装置１０
０と通い容器であるキャニスタ−１０との接続用雌カプ
ラー１７ 、１６ 、半導体製造装置１への工程薬液給
液管の接続ロア３．窒素ガス。
薬液の流通回路である配管及び前記電磁弁６１゜６２
、６３ 、６４ 、前記液面ｔｌ’８０（７）作′ｕＪ
電力の供給回路、操作盤（図示せず）の操作スイッチ及
び表示用電力の供給回路より構成されている。
、６３ 、６４ 、前記液面ｔｌ’８０（７）作′ｕＪ
電力の供給回路、操作盤（図示せず）の操作スイッチ及
び表示用電力の供給回路より構成されている。
本装置の使用原理は、窒素圧力によりキャニスタ−１０
中の液を該装置の看視槽５０に送り、前記液面計８０に
て液面を検知しつつ所定液量を保ち、該看視槽５ｏより
前記装置１に該薬液を送液するものであり、該薬液の使
用に伴い液ｆｉｋが減少し前記キャニスタ−１０が空と
なり、前記看視槽５０の液面が所定液面以下になると、
前記液面計８０にてそれを検知し警報を発するものであ
り、使用者はその警報により前記キャニスタ−１０の液
量が空となっていることを知り、薬液の充填されたキャ
ニスタ−１０と交換するのである。同時に本装置の特徴
として、キャニスタ−を交換している最中におしλても
、看視槽中の残液分により前７記半導体製造装置１を稼
動し得るものである。第６〜第９図につき詳細にその使
用状態を説明する。図中太線でボされる配置は回路が形
成されていることを示す。
中の液を該装置の看視槽５０に送り、前記液面計８０に
て液面を検知しつつ所定液量を保ち、該看視槽５ｏより
前記装置１に該薬液を送液するものであり、該薬液の使
用に伴い液ｆｉｋが減少し前記キャニスタ−１０が空と
なり、前記看視槽５０の液面が所定液面以下になると、
前記液面計８０にてそれを検知し警報を発するものであ
り、使用者はその警報により前記キャニスタ−１０の液
量が空となっていることを知り、薬液の充填されたキャ
ニスタ−１０と交換するのである。同時に本装置の特徴
として、キャニスタ−を交換している最中におしλても
、看視槽中の残液分により前７記半導体製造装置１を稼
動し得るものである。第６〜第９図につき詳細にその使
用状態を説明する。図中太線でボされる配置は回路が形
成されていることを示す。
キャニスタ−１０の雄カプラー１２．Ｈと前記装置１０
０の雌カプラー’１７ 、１６を接続する。０，５〜１
、０ ｋｇ／ｃｍ” Ｇに調整された浄化窒素を接続ロ
ア０に供給する。所定の電力を供給する。（第６図）操
作盤中のスタートスイッチ（図示せず〕をＩ’ｌｌし、
操作を開始する。第７図に示す如く看視槽５０中の液量
が所定量以下であることを液面側８０が感知し、電磁弁
６１が開きキャニスタ−１０を加圧する。同時に電磁弁
６４が開いて、該薬液の回路をつくり、槽内気体排気管
の電磁弁６３が開いて窒素逃がし口をつくり、自動的に
窒素圧にて薬液が看視槽５０に送液される。（この状態
を充填中と称す。） 第８図に示すように看視槽５０の液面が所定位置に達す
ると液面計８０が検知し、電磁弁６３が閉じて槽内気体
排気管の接続口９０が閉じ、液面は看視槽５０中で窒素
押込み圧と平衡になるまで上昇して、液の流入が停止す
る。該キャニスタ−中に液が存在する限り、この状態が
定常状態となり前記半導体製造装置１での薬液の使用を
開始する。
０の雌カプラー’１７ 、１６を接続する。０，５〜１
、０ ｋｇ／ｃｍ” Ｇに調整された浄化窒素を接続ロ
ア０に供給する。所定の電力を供給する。（第６図）操
作盤中のスタートスイッチ（図示せず〕をＩ’ｌｌし、
操作を開始する。第７図に示す如く看視槽５０中の液量
が所定量以下であることを液面側８０が感知し、電磁弁
６１が開きキャニスタ−１０を加圧する。同時に電磁弁
６４が開いて、該薬液の回路をつくり、槽内気体排気管
の電磁弁６３が開いて窒素逃がし口をつくり、自動的に
窒素圧にて薬液が看視槽５０に送液される。（この状態
を充填中と称す。） 第８図に示すように看視槽５０の液面が所定位置に達す
ると液面計８０が検知し、電磁弁６３が閉じて槽内気体
排気管の接続口９０が閉じ、液面は看視槽５０中で窒素
押込み圧と平衡になるまで上昇して、液の流入が停止す
る。該キャニスタ−中に液が存在する限り、この状態が
定常状態となり前記半導体製造装置１での薬液の使用を
開始する。
（使用中と称す）。
使用に伴い、キャニスタ−１０の液は看視槽５０へ流入
を続け、やがてキャニスタ−１０は空となり、看視槽５
０の液面は低下しはじめ、所定のレベル以下になると液
面側８０が作動して警報を発し、操作盤上に表示する。
を続け、やがてキャニスタ−１０は空となり、看視槽５
０の液面は低下しはじめ、所定のレベル以下になると液
面側８０が作動して警報を発し、操作盤上に表示する。
（からと称す）。
同時に第９図に示すように電磁弁６Ｌ６４が閉じてギヤ
ニスター１０との回路を切り離し、電磁弁６２が開いて
看視槽５０に窒素圧がかかり、残液を使用可能状態とす
る。薬液給液管の下端は看視槽の槽底に開口しているの
で、残液のある限り、この状態でも使用できる。
ニスター１０との回路を切り離し、電磁弁６２が開いて
看視槽５０に窒素圧がかかり、残液を使用可能状態とす
る。薬液給液管の下端は看視槽の槽底に開口しているの
で、残液のある限り、この状態でも使用できる。
洛報に従い、残液が未だ存在する間に、作業者は充填さ
れているキャニスタ−と交換する。
れているキャニスタ−と交換する。
ついで、操作盤中のリセットボタン（図示せず）を押す
と、前述の「充填中」の状態となり、キャニスタ−１０
からの送液が開始される。この場合、看視槽５０の電磁
弁６３が開き気体（窒素）排気管の接続口９０が開とな
り、看視槽５０の圧力が低下するが、気体排気管の接続
口９０の流出量をオリフィス等を用いて、キャニスタ−
からの押しこみ量より少なくなるようにし、看視槽５０
の圧力が大気圧や配管抵抗、ヘッド差に対し、陽ＢＨ＋
こなるよう調整しているため、この状態でも継続して、
前記半導体製造装置１での使用を可能ならしめるもので
ある。
と、前述の「充填中」の状態となり、キャニスタ−１０
からの送液が開始される。この場合、看視槽５０の電磁
弁６３が開き気体（窒素）排気管の接続口９０が開とな
り、看視槽５０の圧力が低下するが、気体排気管の接続
口９０の流出量をオリフィス等を用いて、キャニスタ−
からの押しこみ量より少なくなるようにし、看視槽５０
の圧力が大気圧や配管抵抗、ヘッド差に対し、陽ＢＨ＋
こなるよう調整しているため、この状態でも継続して、
前記半導体製造装置１での使用を可能ならしめるもので
ある。
上述の如く、本発明は看視槽５０中の圧力を上手Ｇこ制
御することにより、車に液量の２キ報を発するのみなら
ず、キャニスタ−１ｏの交換時においても連続して使用
可能ならしめるという利点を勺。
御することにより、車に液量の２キ報を発するのみなら
ず、キャニスタ−１ｏの交換時においても連続して使用
可能ならしめるという利点を勺。
する薬液の供給を行なう供給看視装置を提示するもので
ある。
ある。
本装置の原理に基ずけば、例えば液面計８０としては、
静電容量型液面計やフロート式液面計。
静電容量型液面計やフロート式液面計。
あるいは光電管式液面計等用途に応じ使い別は得る。ま
た操作電力の代りに空気圧作動方式を採用することも可
能であり、そのいずれを採ろうとも何ら本発明を制約す
るものではない。
た操作電力の代りに空気圧作動方式を採用することも可
能であり、そのいずれを採ろうとも何ら本発明を制約す
るものではない。
また本発明の原理によれば、看視槽５０中の上昇液面は
、看視槽内の圧力により平衡に達し、液面計は検知信号
を出すものであるから、所定レベルを検知する液面計１
基で充分の機能を果すものであるが、低レベル及び高レ
ベルの２点を検知するよう、１基または２基を使用する
ことも可能である。
、看視槽内の圧力により平衡に達し、液面計は検知信号
を出すものであるから、所定レベルを検知する液面計１
基で充分の機能を果すものであるが、低レベル及び高レ
ベルの２点を検知するよう、１基または２基を使用する
ことも可能である。
その他、種々の別法が考えられ得るが、要は、通い缶で
あるキャニスタ−を薬液供給看視装置を介して半導体製
造装置に接続して使用し、薬液の存在の有無、キャニス
タ−の交換のタイミングを警報し、キャニスタ−の交換
の間も半導体製造装置に連続的に薬液を供給することを
可能とするものであり、液レベルの検知方法は何ら本発
明を制限するものではない。
あるキャニスタ−を薬液供給看視装置を介して半導体製
造装置に接続して使用し、薬液の存在の有無、キャニス
タ−の交換のタイミングを警報し、キャニスタ−の交換
の間も半導体製造装置に連続的に薬液を供給することを
可能とするものであり、液レベルの検知方法は何ら本発
明を制限するものではない。
尚、本発明の用途に用いられる材質としては、腐蝕によ
るサビ等の異物を発年せず、かつ薬剤に侵されて該薬剤
中゛に溶出又は分散して汚染するようなものであっては
ならず、その選択は、目的とする薬剤により常法に従っ
て試験を行なって、使用可能であることを確認されねば
ならない。一般的に例示スレハ、ＳＵＳ ３０４ 、
ＳＵＳ ３１６ 、 テア ０ ン。
るサビ等の異物を発年せず、かつ薬剤に侵されて該薬剤
中゛に溶出又は分散して汚染するようなものであっては
ならず、その選択は、目的とする薬剤により常法に従っ
て試験を行なって、使用可能であることを確認されねば
ならない。一般的に例示スレハ、ＳＵＳ ３０４ 、
ＳＵＳ ３１６ 、 テア ０ ン。
ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル。
あるいはＳ［ＪＳ ３０４ 、５ＬＩＳ、３１６にテフ
ロンライニングしたもの、繊維補強されたポリプロピレ
ンのプラスチックといったものが挙げられるが、 １）
ｉＩ述の如く、該薬剤の性状に応じて使い分ければよく
、材質が何ら本発明を規制するものではないことは自明
である。
ロンライニングしたもの、繊維補強されたポリプロピレ
ンのプラスチックといったものが挙げられるが、 １）
ｉＩ述の如く、該薬剤の性状に応じて使い分ければよく
、材質が何ら本発明を規制するものではないことは自明
である。
以上、本発明装置の機構について、模式的に説明したが
、このような薬液供給通い出は、薬液処理工程と通従し
て配設されるものであり、通常の配管取付方法により、
狭い場所にコンパクトに行なうことは極めて困難であり
、その制御バルブの配置、配管の接続を如何にすべきが
、操作９点検等、使用の面から重要な要件となる。
、このような薬液供給通い出は、薬液処理工程と通従し
て配設されるものであり、通常の配管取付方法により、
狭い場所にコンパクトに行なうことは極めて困難であり
、その制御バルブの配置、配管の接続を如何にすべきが
、操作９点検等、使用の面から重要な要件となる。
本発明装置は、上記問題を解決した場所を取らず、かつ
操作１点検等を極めて容易とするものである。即ち、第
１０図看視槽概略構造図、第１１図看視槽上部詳細図、
第１２図台座平面図に示すように、台座５００は、はば
逆円錐台の形状を有し、看視槽５０の頚部のネジ部２０
０と台座の取付ネジ部４００が螺合し、取はずし可能と
したもので、台座とキャニスタ−は気密に結合されてい
る。台座の座板５０１上に、それぞれ電磁弁６１，６２
，６３゜６４および液面ｔＩ８０のヘッドが取付けられ
ている。
操作１点検等を極めて容易とするものである。即ち、第
１０図看視槽概略構造図、第１１図看視槽上部詳細図、
第１２図台座平面図に示すように、台座５００は、はば
逆円錐台の形状を有し、看視槽５０の頚部のネジ部２０
０と台座の取付ネジ部４００が螺合し、取はずし可能と
したもので、台座とキャニスタ−は気密に結合されてい
る。台座の座板５０１上に、それぞれ電磁弁６１，６２
，６３゜６４および液面ｔＩ８０のヘッドが取付けられ
ている。
なお、台座上にはカバー５０４が被せられ、電磁弁や液
面計を保護している。カプラー１６を設けた通い缶薬液
受入管の接続口は、台座の座板５０１と下部仕切板５０
２間の円錐状の台座側壁５０３外に開口し、側壁をｆＪ
いて電磁弁６４に援続し、電磁弁６４から出て下部仕切
板を貫き行視槽５ｏへの開口部１０２を形成する。工程
薬液給液管は看視槽５０の底部の開口部１０３から仕切
板を貫き、前記側壁を通して接続ロア３として開口する
。加圧気体受入管は側壁部の適宜の位置から台座の座板
と下部仕切板間の空間に入り配管３００は２路に分岐し
、一方は電磁弁６１に入り、電磁弁６１から出て側壁外
に開口し、カプラー１７が取付けられている。
面計を保護している。カプラー１６を設けた通い缶薬液
受入管の接続口は、台座の座板５０１と下部仕切板５０
２間の円錐状の台座側壁５０３外に開口し、側壁をｆＪ
いて電磁弁６４に援続し、電磁弁６４から出て下部仕切
板を貫き行視槽５ｏへの開口部１０２を形成する。工程
薬液給液管は看視槽５０の底部の開口部１０３から仕切
板を貫き、前記側壁を通して接続ロア３として開口する
。加圧気体受入管は側壁部の適宜の位置から台座の座板
と下部仕切板間の空間に入り配管３００は２路に分岐し
、一方は電磁弁６１に入り、電磁弁６１から出て側壁外
に開口し、カプラー１７が取付けられている。
他方は電磁弁６２に入り、電磁弁６２を出て下部仕切板
を貫き看視槽５ｏ内への看視槽５ｏ内の開口部１０１と
なり、ｉた槽内気体は開口部１０４から底部仕切板を貫
き、電磁弁６３により電磁弁６３から側壁５０３を通っ
て接続口９ｏに終っている。また液面計の検知部１０５
は下部仕切板５０２を貫いて看視槽内に挿入されている
７゜ 本雷視装置は上記のような構造を有するため、それぞれ
の管の接続は、すべ上台座の側壁で行なオっれるので、
場所を取らす、操作も極めて好都合である。かつ、窒素
供給原との接続は１個所で足り、キャニスタ−への窒素
の供給及びバルブ操伯は、本看視槽で行なわれるので操
イ１−が非常に容易である。また液面引、電磁バルブは
台座上にまとめて設置されているので、点検、整備が好
都合で操作盤（図示せず）とを結ぶ回路も、まとめて整
然と行なうことができる利点があり、本装置の使用効果
を一層高めるものである。
を貫き看視槽５ｏ内への看視槽５ｏ内の開口部１０１と
なり、ｉた槽内気体は開口部１０４から底部仕切板を貫
き、電磁弁６３により電磁弁６３から側壁５０３を通っ
て接続口９ｏに終っている。また液面計の検知部１０５
は下部仕切板５０２を貫いて看視槽内に挿入されている
７゜ 本雷視装置は上記のような構造を有するため、それぞれ
の管の接続は、すべ上台座の側壁で行なオっれるので、
場所を取らす、操作も極めて好都合である。かつ、窒素
供給原との接続は１個所で足り、キャニスタ−への窒素
の供給及びバルブ操伯は、本看視槽で行なわれるので操
イ１−が非常に容易である。また液面引、電磁バルブは
台座上にまとめて設置されているので、点検、整備が好
都合で操作盤（図示せず）とを結ぶ回路も、まとめて整
然と行なうことができる利点があり、本装置の使用効果
を一層高めるものである。
第１図は密閉型通い缶の斜視図で、第２図は同化の縦断
面図、第３図および第４図は通い缶フランジ部詳細図、
第５図は通い缶の製造装置への従来の接続方法を示す説
明図、第６図は本発明に係る薬液供給看視装置とを連結
した装置系統図で、第７図〜第９図は本発明装置の使用
原理を示す模式的説明図で、第１０図は本発明装置の看
視櫓概略構ａ図で、第１１図は台座部の詳細正面図で、
第１２図は同平面図である。 １・・・・半導体製造装置。 ５・・・・通い缶運搬用カート。 １０・・・・キャニスタ−９ １１・・・・液輸送用雄カプラー。 １２ ・・・気体流通用雄カプラー。 １３・・・・敲収納通い缶本体。 １４・・・フランジ。 １６・・・・液ラインの雌カプラー。 １７・・・・窒素ラインの雌カプラー。 ２０・・・・薬液、３０・・・・キャップ。 ５０・・・・看視！、 ６１〜６４・・・・電磁弁。 ７０・・・加圧気体受入管の接続口。 ８０・・・・液面ｉｔ。 ９０・・・・槽内気体排気管の接続口。 ７００・・・・薬液供給看視装置。 ２００・・・・看視槽頚部ネジ部。 ４００・・・・台座取イ」ネジ部。 ５００・・・・台座、５０１・・・圧板。 ５０２・・・・下部仕切板、５０３・・・・台座側壁。 ５０４・・・・ブＪバー。 特許出願人 日本ゼオン株式会社 同 富士通株式会社 代理人 弁理士 松永圭司
面図、第３図および第４図は通い缶フランジ部詳細図、
第５図は通い缶の製造装置への従来の接続方法を示す説
明図、第６図は本発明に係る薬液供給看視装置とを連結
した装置系統図で、第７図〜第９図は本発明装置の使用
原理を示す模式的説明図で、第１０図は本発明装置の看
視櫓概略構ａ図で、第１１図は台座部の詳細正面図で、
第１２図は同平面図である。 １・・・・半導体製造装置。 ５・・・・通い缶運搬用カート。 １０・・・・キャニスタ−９ １１・・・・液輸送用雄カプラー。 １２ ・・・気体流通用雄カプラー。 １３・・・・敲収納通い缶本体。 １４・・・フランジ。 １６・・・・液ラインの雌カプラー。 １７・・・・窒素ラインの雌カプラー。 ２０・・・・薬液、３０・・・・キャップ。 ５０・・・・看視！、 ６１〜６４・・・・電磁弁。 ７０・・・加圧気体受入管の接続口。 ８０・・・・液面ｉｔ。 ９０・・・・槽内気体排気管の接続口。 ７００・・・・薬液供給看視装置。 ２００・・・・看視槽頚部ネジ部。 ４００・・・・台座取イ」ネジ部。 ５００・・・・台座、５０１・・・圧板。 ５０２・・・・下部仕切板、５０３・・・・台座側壁。 ５０４・・・・ブＪバー。 特許出願人 日本ゼオン株式会社 同 富士通株式会社 代理人 弁理士 松永圭司
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、通い山薬液受入管、工程薬液給液管、加圧気体受入
管１通い缶送気管、看視槽送気管、槽内気体排気管およ
び液面計を設けた密閉型看視槽と、該看視槽内液面が前
記液面計の所定位置に降下したとき移報と共に前記通い
缶薬液受入管および通い缶送気管のバルブを開から閉に
、看視槽内液面のバルブを閉から開に作動せしめ、前記
各バルブの開閉を逆にし、かつ槽内気体排気管のバルブ
を閉から開に操作し交換後の通い缶からｘ＃を召゛視櫓
に流入せしめ、設面が前記液面計の所定位置に」二昇し
たとき槽内気体排気管の前記バルブを閉に作動させるバ
ルブ制御綴構とからなり、前記看視槽内液面上に筒形台
座を取付け、台座面と槽天井面間の側壁に前記通い山薬
液受入管、工程薬液給液管、加圧気体受入管１通い伝送
気管、槽内気体俳気管のそれぞれの管端部を開口せしめ
、前記台座上に通い缶受入管バルブ、通い重送気管バル
ブ。 看視槽内液面バルブ、槽内気体排気管バルブおよび前記
液面すヘッドを取付けたことを特徴とする密閉型通い缶
からの薬液供給看視装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19251583A JPS6084137A (ja) | 1983-10-17 | 1983-10-17 | 密閉型通い缶からの薬液供給看視装置 |
| US06/660,412 US4676404A (en) | 1983-10-17 | 1984-10-12 | Method and apparatus for feeding drug liquid from hermetic returnable can |
| KR1019840006391A KR930000225B1 (ko) | 1983-10-17 | 1984-10-16 | 밀폐형 반환식 통으로부터의 약액 공급방법 및 장치 |
| DE8484402079T DE3465970D1 (en) | 1983-10-17 | 1984-10-16 | Method and apparatus for feeding drug liquid from hermetic returnable can |
| EP19840402079 EP0138718B1 (en) | 1983-10-17 | 1984-10-16 | Method and apparatus for feeding drug liquid from hermetic returnable can |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19251583A JPS6084137A (ja) | 1983-10-17 | 1983-10-17 | 密閉型通い缶からの薬液供給看視装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6084137A true JPS6084137A (ja) | 1985-05-13 |
| JPH0153573B2 JPH0153573B2 (ja) | 1989-11-14 |
Family
ID=16292565
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19251583A Granted JPS6084137A (ja) | 1983-10-17 | 1983-10-17 | 密閉型通い缶からの薬液供給看視装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6084137A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62183123A (ja) * | 1986-02-06 | 1987-08-11 | Nippon Zeon Co Ltd | 半導体製造用薬液の供給方法 |
| JP2006307944A (ja) * | 2005-04-27 | 2006-11-09 | Ckd Corp | タンク構造 |
| JP2009135521A (ja) * | 1997-07-11 | 2009-06-18 | Advanced Technology Materials Inc | バルク化学物質供給システム |
| US9347616B2 (en) | 2011-05-28 | 2016-05-24 | Entegris, Inc. | Refillable ampoule with purge capability |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58101732A (ja) * | 1981-12-14 | 1983-06-17 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 薬液供給装置 |
-
1983
- 1983-10-17 JP JP19251583A patent/JPS6084137A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58101732A (ja) * | 1981-12-14 | 1983-06-17 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 薬液供給装置 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62183123A (ja) * | 1986-02-06 | 1987-08-11 | Nippon Zeon Co Ltd | 半導体製造用薬液の供給方法 |
| JP2009135521A (ja) * | 1997-07-11 | 2009-06-18 | Advanced Technology Materials Inc | バルク化学物質供給システム |
| JP2006307944A (ja) * | 2005-04-27 | 2006-11-09 | Ckd Corp | タンク構造 |
| US9347616B2 (en) | 2011-05-28 | 2016-05-24 | Entegris, Inc. | Refillable ampoule with purge capability |
| US10551004B2 (en) | 2011-05-28 | 2020-02-04 | Entegris, Inc. | Refillable ampoule with purge capability |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0153573B2 (ja) | 1989-11-14 |
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