JPH02191385A - レーザ発振装置 - Google Patents
レーザ発振装置Info
- Publication number
- JPH02191385A JPH02191385A JP870089A JP870089A JPH02191385A JP H02191385 A JPH02191385 A JP H02191385A JP 870089 A JP870089 A JP 870089A JP 870089 A JP870089 A JP 870089A JP H02191385 A JPH02191385 A JP H02191385A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- concentration
- gas
- oxygen
- arbitrary component
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- Pending
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- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、ガスをレーザ媒質としたレーザ発振装置に関
する。
する。
（従来の技術）
従来技術について第２図を用いて説明する。
第２図に示したガスレーザ発振装置は、ガスを大気圧以
上で放電管内に封じ込め、レーザ光が放電方向に直交し
て放出されるＴ Ｅ Ａ （Ｔｒａｎｓｖｅｒｓｅｌｙ
Ｅｘｃｌｔｅｄ Ａｔｏｓｏｓｐｈｒｆｅ ｐｒｅｓｓ
ｕｒｅ ）炭酸ガスレーザ発振装置である。この装置は
、ガスを大気圧以上で封じ込めている放電管１を有し、
この放電管１内で放電を行なう放電電極２ａ、２ｂが対
向するように設けられている。また、放電方向に直交す
るように１組のミラー３ａ、３ｂが対向するように設け
られ、さらに、放電電極２ａ、２ｂ間に直流高電圧を印
加する電源４を有している。
上で放電管内に封じ込め、レーザ光が放電方向に直交し
て放出されるＴ Ｅ Ａ （Ｔｒａｎｓｖｅｒｓｅｌｙ
Ｅｘｃｌｔｅｄ Ａｔｏｓｏｓｐｈｒｆｅ ｐｒｅｓｓ
ｕｒｅ ）炭酸ガスレーザ発振装置である。この装置は
、ガスを大気圧以上で封じ込めている放電管１を有し、
この放電管１内で放電を行なう放電電極２ａ、２ｂが対
向するように設けられている。また、放電方向に直交す
るように１組のミラー３ａ、３ｂが対向するように設け
られ、さらに、放電電極２ａ、２ｂ間に直流高電圧を印
加する電源４を有している。
このように構成されたものについては、電源４から放電
電極２ａ、 ２ｂ間に高圧パルスを印加し、グロー放電
を発生させ、それにより放電管１内のガスを励起し、レ
ーザ光を発振させる。
電極２ａ、 ２ｂ間に高圧パルスを印加し、グロー放電
を発生させ、それにより放電管１内のガスを励起し、レ
ーザ光を発振させる。
（発明が解決しようとする課題）
しかし、上記従来のレーザ発振装置においては、放電管
内へのエアーリークやグロー放電によリ、ガス成分の二
酸化炭素が分解され、酸素となる。これにより、レーザ
媒質としてのガスに酸素が混入すると、この酸素の混入
量に応じ、グロー放電がアーク放電へ移行してしまい、
正常なレーザ発振が行なわれない。さらに、このアーク
放電により、放電電極間にかかるピーク電圧が上昇し、
放電電極を破損させてしまうという不具合が生じていた
。
内へのエアーリークやグロー放電によリ、ガス成分の二
酸化炭素が分解され、酸素となる。これにより、レーザ
媒質としてのガスに酸素が混入すると、この酸素の混入
量に応じ、グロー放電がアーク放電へ移行してしまい、
正常なレーザ発振が行なわれない。さらに、このアーク
放電により、放電電極間にかかるピーク電圧が上昇し、
放電電極を破損させてしまうという不具合が生じていた
。
従って、本発明においては、上記問題点を鑑み、放電管
内の酸素濃度を検出し、酸素によるアーク放電への移行
を防止するレーザ発振装置を提供する。
内の酸素濃度を検出し、酸素によるアーク放電への移行
を防止するレーザ発振装置を提供する。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
故に、上記目的を達成するために、本発明は、レーザ媒
体ガスを封入した放電管と、このガスを励起する放電を
行なう放電電極と、この放電励起により放出されるレー
ザ光を増幅する共振器と、放電電極に所定の放電電力を
供給する電源手段と、放電管に封入されたガスの任意成
分の濃度を検出する濃度検出手段と、この濃度検出手段
からの検出信号を基に、電源手段が放電電極へ放電を発
生させる高圧パルスを供給するタイミングを制御する制
御手段とを備えたレーザ発振装置を提供する。
体ガスを封入した放電管と、このガスを励起する放電を
行なう放電電極と、この放電励起により放出されるレー
ザ光を増幅する共振器と、放電電極に所定の放電電力を
供給する電源手段と、放電管に封入されたガスの任意成
分の濃度を検出する濃度検出手段と、この濃度検出手段
からの検出信号を基に、電源手段が放電電極へ放電を発
生させる高圧パルスを供給するタイミングを制御する制
御手段とを備えたレーザ発振装置を提供する。
（作用）
このように構成されたものにおいては、ガスの任意成分
（例えば、酸素）の濃度を検出し、この検出値がアーク
放電に移行する濃度以上であれば、電源手段からの放電
電極への放電発生のための高圧パルスの供給を停止し、
グロー放電からアーク放電への移行を防止し、常時安定
なレーザ発振を可能とする。また、これにより、アーク
放電による放電電極の破損を防止する。
（例えば、酸素）の濃度を検出し、この検出値がアーク
放電に移行する濃度以上であれば、電源手段からの放電
電極への放電発生のための高圧パルスの供給を停止し、
グロー放電からアーク放電への移行を防止し、常時安定
なレーザ発振を可能とする。また、これにより、アーク
放電による放電電極の破損を防止する。
（実施例）
以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明する。なお
、従来技術と同一部分については、同一符号を付しその
説明は省略する。
、従来技術と同一部分については、同一符号を付しその
説明は省略する。
第１図に示すように、本実施例のレーザ発振装置は、放
電管１内にレーザ媒質としてのガス成分の一つである酸
素の濃度を検出する濃度検出器６を設けており、また、
この濃度検出器６からの検出結果を基に、電源４から放
電電極２ａ、 ２ｂへ放電のためのトリガとしての高圧
パルスを供給するタイミングを制御するタイミング制御
回路７を有している。
電管１内にレーザ媒質としてのガス成分の一つである酸
素の濃度を検出する濃度検出器６を設けており、また、
この濃度検出器６からの検出結果を基に、電源４から放
電電極２ａ、 ２ｂへ放電のためのトリガとしての高圧
パルスを供給するタイミングを制御するタイミング制御
回路７を有している。
このように構成されたレーザ発振装置においては、濃度
検出器６からの検出信号をタイミング制御回路７へ常時
入力させ、このタイミング制御回路７内にて、この検出
信号と予め設定されているアーク放電が発生する酸素濃
度に相当する基準信号とを比較し、検出信号が基準信号
より大きい場合には、電源４に対し、高圧パルスの印加
を停止させ、放電の発生を防止する。
検出器６からの検出信号をタイミング制御回路７へ常時
入力させ、このタイミング制御回路７内にて、この検出
信号と予め設定されているアーク放電が発生する酸素濃
度に相当する基準信号とを比較し、検出信号が基準信号
より大きい場合には、電源４に対し、高圧パルスの印加
を停止させ、放電の発生を防止する。
なお、本実施例では酸素濃度検出によるタイミング制御
を行なったが、他の実施例として検出対象成分を酸素で
はなく他の成分例えば二酸化炭素の濃度検出によりタイ
ミング制御を行なってもよい。
を行なったが、他の実施例として検出対象成分を酸素で
はなく他の成分例えば二酸化炭素の濃度検出によりタイ
ミング制御を行なってもよい。
以上述べたように、本発明によれば、ガス中の任意の成
分濃度を検出し、放電発生のタイミング制御を行なって
いるので、放電がグロー放電により行なわれ、アーク放
電への移行を防止できる。
分濃度を検出し、放電発生のタイミング制御を行なって
いるので、放電がグロー放電により行なわれ、アーク放
電への移行を防止できる。
従って、常時安定したレーザ発振が可能となり、また、
アーク放電による放電型゛極の破損も防止できる。
アーク放電による放電型゛極の破損も防止できる。
第１図は、本発明の一実施例を示す概要構成図、第２図
は従来のＴＥＡ炭酸ガスレーザ発振装置を示す概要構成
図である。 ６・・・濃度検出器、 ７・・・タイミング制御回路
代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 第子丸健 ［発明の効果］
は従来のＴＥＡ炭酸ガスレーザ発振装置を示す概要構成
図である。 ６・・・濃度検出器、 ７・・・タイミング制御回路
代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 第子丸健 ［発明の効果］
Claims (1)
- レーザ媒質ガスを封入した放電管と、このレーザ媒質
ガスを励起する放電を行なう放電電極と、この放電励起
により放出されるレーザ光を増幅する共振器と、前記放
電電極に所定の放電電力を供給する電源手段と、前記放
電管に封入されたレーザ媒質ガスの任意成分の濃度を検
出する濃度検出手段と、この濃度検出手段からの検出信
号を基に、前記電源手段が前記放電電極へ放電を発生さ
せる高圧パルスを供給するタイミングを制御する制御手
段とを具備したことを特徴とするレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP870089A JPH02191385A (ja) | 1989-01-19 | 1989-01-19 | レーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP870089A JPH02191385A (ja) | 1989-01-19 | 1989-01-19 | レーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02191385A true JPH02191385A (ja) | 1990-07-27 |
Family
ID=11700209
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP870089A Pending JPH02191385A (ja) | 1989-01-19 | 1989-01-19 | レーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02191385A (ja) |
-
1989
- 1989-01-19 JP JP870089A patent/JPH02191385A/ja active Pending
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