JPH02192564A - 冷却設備の制御方式 - Google Patents
冷却設備の制御方式Info
- Publication number
- JPH02192564A JPH02192564A JP1011129A JP1112989A JPH02192564A JP H02192564 A JPH02192564 A JP H02192564A JP 1011129 A JP1011129 A JP 1011129A JP 1112989 A JP1112989 A JP 1112989A JP H02192564 A JPH02192564 A JP H02192564A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling
- controller
- water temperature
- module
- control module
- Prior art date
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- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D23/00—Control of temperature
- G05D23/19—Control of temperature characterised by the use of electric means
- G05D23/1906—Control of temperature characterised by the use of electric means using an analogue comparing device
- G05D23/1912—Control of temperature characterised by the use of electric means using an analogue comparing device whose output amplitude can take more than two discrete values
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B49/00—Arrangement or mounting of control or safety devices
- F25B49/02—Arrangement or mounting of control or safety devices for compression type machines, plants or systems
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25D—REFRIGERATORS; COLD ROOMS; ICE-BOXES; COOLING OR FREEZING APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F25D17/00—Arrangements for circulating cooling fluids; Arrangements for circulating gas, e.g. air, within refrigerated spaces
- F25D17/02—Arrangements for circulating cooling fluids; Arrangements for circulating gas, e.g. air, within refrigerated spaces for circulating liquids, e.g. brine
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B2400/00—Component parts or details not otherwise provided for in this subclass
- F25B2400/06—Several compression cycles arranged in parallel
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B2500/00—Problems to be solved
- F25B2500/06—Damage
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- Automation & Control Theory (AREA)
- Devices That Are Associated With Refrigeration Equipment (AREA)
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
- Control Of Temperature (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、被冷却体を水冷するための冷却設備の制御方
式に係り、特に、故障発生時のバックアップ運転機能を
向上させた制御方式に関する。
式に係り、特に、故障発生時のバックアップ運転機能を
向上させた制御方式に関する。
［従来の技術］
被冷却体（例えばコンピュータ）を水冷するための冷却
設備として、例えば電波新聞昭和６３年４月１９日号に
記載のように、圧縮機、冷却器。
設備として、例えば電波新聞昭和６３年４月１９日号に
記載のように、圧縮機、冷却器。
コントローラを組み込んだ冷却モジュール３台と。
冷水ポンプ２台および冷却モジュールを管理するコント
ローラを装備した冷水搬送モジュール１台と、からなる
冷却設備が知られている。このうち冷却モジュールおよ
び冷水ポンプの各１台は予備機とされ、動作中のポンプ
が故障した場合は予備ポンプへの運転切換で、また動作
中の冷却モジュールが故障した場合は予備機への切換で
バックアップ運転が行なわれて運転が継続されるように
なっている。
ローラを装備した冷水搬送モジュール１台と、からなる
冷却設備が知られている。このうち冷却モジュールおよ
び冷水ポンプの各１台は予備機とされ、動作中のポンプ
が故障した場合は予備ポンプへの運転切換で、また動作
中の冷却モジュールが故障した場合は予備機への切換で
バックアップ運転が行なわれて運転が継続されるように
なっている。
［発明が解決しようとする課！］
上記従来技術は制御モジュール（冷水搬送モジュール）
に冷水ポンプの故障以外の故障が発生した場合について
対応策が考慮されていないため、制御モジュールの故障
が冷却設備、ひいては被冷却体を含むシステムの動作に
不具合を招くという問題がある。
に冷水ポンプの故障以外の故障が発生した場合について
対応策が考慮されていないため、制御モジュールの故障
が冷却設備、ひいては被冷却体を含むシステムの動作に
不具合を招くという問題がある。
本発明の目的は、制御モジュールと複数台の冷却モジュ
ールからなる前記タイプの冷却設備において制御モジュ
ールの故障に際して有効なバックアップ運転の可能な制
御方式を提供するにある。
ールからなる前記タイプの冷却設備において制御モジュ
ールの故障に際して有効なバックアップ運転の可能な制
御方式を提供するにある。
［課題を解決するための手段］
本発明は特許請求の範囲の請求項１，２又は３記載の冷
却設備の制御方式を提供する。
却設備の制御方式を提供する。
［作 用］
本発明の制御方式においては、制御モジュールの水温セ
ンサの異常又は制御モジュールのコントローラや伝送ラ
インの故障による伝送！！４常が発生した場合には、冷
却モジュールの水温センサや冷却モジュールのコントロ
ーラが制御モジュールの水温センサや制御モジュールの
コントローラの肩代りとなって、冷却設備の運転を続行
し得る。
ンサの異常又は制御モジュールのコントローラや伝送ラ
インの故障による伝送！！４常が発生した場合には、冷
却モジュールの水温センサや冷却モジュールのコントロ
ーラが制御モジュールの水温センサや制御モジュールの
コントローラの肩代りとなって、冷却設備の運転を続行
し得る。
［実 施 例コ
第１図においてＲよ、Ｒ２は、各々、冷媒圧縮機１、ｉ
ｇ縮器２、膨張弁３、蒸発器４よりなる冷凍サイクルと
、コントローラ５および水温センサ１２とを備えた同一
構成の２台の冷却モジュールである。図中の太線は冷却
用の水の流路を示し、矢印は水の流れる方向を示す、Ｃ
は、流路切替部６．７．２台の同一構成の冷水ポンプ８
，９、コントローラ１０、水温センサ１１を備えた制御
モジュールである。Ａは被冷却体である。
ｇ縮器２、膨張弁３、蒸発器４よりなる冷凍サイクルと
、コントローラ５および水温センサ１２とを備えた同一
構成の２台の冷却モジュールである。図中の太線は冷却
用の水の流路を示し、矢印は水の流れる方向を示す、Ｃ
は、流路切替部６．７．２台の同一構成の冷水ポンプ８
，９、コントローラ１０、水温センサ１１を備えた制御
モジュールである。Ａは被冷却体である。
２台の冷却モジュールＲ１，Ｒ２のうちの１台は通常運
転される主機で、他の１台は予備機であり、また２台の
ポンプ８，９のうちの１台は通常運転される主機で、他
の１台は予備機であり、夫々。
転される主機で、他の１台は予備機であり、また２台の
ポンプ８，９のうちの１台は通常運転される主機で、他
の１台は予備機であり、夫々。
主機が故障したときバックアップ用として動作する。但
しこれらは、夫々、或る時間間隔で（即ち、例えば日が
替るごとに）交互に主機または予備機となる様にローテ
ーションが行われる様になっている。これら主機と予備
機とのバンクアップ切替やローテーションの制御につい
ては、本発明の要旨でないので、詳述しない。
しこれらは、夫々、或る時間間隔で（即ち、例えば日が
替るごとに）交互に主機または予備機となる様にローテ
ーションが行われる様になっている。これら主機と予備
機とのバンクアップ切替やローテーションの制御につい
ては、本発明の要旨でないので、詳述しない。
冷却モジュールＲ１又はＲ２の蒸発器４で熱交換により
冷やされて流路切替部６を通った水と被冷却体Ａで暖め
られた水とは合流してポンプ８又は９で撹拌されて冷水
として吐出され、その一部は被冷却体Ａに流れてこれを
冷却した後上記合流点に戻り、他の一部は流路切替部７
を経て冷却モジュールＲ１又はＲ２の蒸発器４で冷やさ
れて流路切替部６を通って再び被冷却体へからの戻り水
と合流する。このような水の循環により被冷却体Ａを冷
却する。
冷やされて流路切替部６を通った水と被冷却体Ａで暖め
られた水とは合流してポンプ８又は９で撹拌されて冷水
として吐出され、その一部は被冷却体Ａに流れてこれを
冷却した後上記合流点に戻り、他の一部は流路切替部７
を経て冷却モジュールＲ１又はＲ２の蒸発器４で冷やさ
れて流路切替部６を通って再び被冷却体へからの戻り水
と合流する。このような水の循環により被冷却体Ａを冷
却する。
冷却モジュールＲ工、Ｒ２の圧縮機８は可変周波数イン
バータ駆動式のものであり、そのインバータ周波数をコ
ントローラ５で制御することにより圧縮機８の回転数、
ひいては各冷却モジュールＲ□、Ｒ２の冷却能力を調節
することができる。冷却モジュールＲ□、Ｒ２のコント
ローラ５と制御モジュールのコントローラ１０との間で
は伝送路１４を介してシリアル伝送により種々のデータ
が送受信されるようになっている。
バータ駆動式のものであり、そのインバータ周波数をコ
ントローラ５で制御することにより圧縮機８の回転数、
ひいては各冷却モジュールＲ□、Ｒ２の冷却能力を調節
することができる。冷却モジュールＲ□、Ｒ２のコント
ローラ５と制御モジュールのコントローラ１０との間で
は伝送路１４を介してシリアル伝送により種々のデータ
が送受信されるようになっている。
通常運転時には、制御モジュールＣでは、被冷却体Ａに
送出される冷水の温度をセンサ１１で検知し、コントロ
ーラ１０は、この検知水温をコントローラ１０に設定さ
れた設定水温と比較し、その偏差を打消し又は許容範囲
内にするのに必要な冷却モジュールの冷却能力を得るた
めの所要インバータ周波数を算出し、これを冷却モジュ
ールのコントローラ５に伝送する。コントローラ５は、
この周波数指令に基づいて圧縮機８の駆動インバータ周
波数を制御する。
送出される冷水の温度をセンサ１１で検知し、コントロ
ーラ１０は、この検知水温をコントローラ１０に設定さ
れた設定水温と比較し、その偏差を打消し又は許容範囲
内にするのに必要な冷却モジュールの冷却能力を得るた
めの所要インバータ周波数を算出し、これを冷却モジュ
ールのコントローラ５に伝送する。コントローラ５は、
この周波数指令に基づいて圧縮機８の駆動インバータ周
波数を制御する。
冷却モジュールでは、常時、それに流れる水の温度を水
温センサ１２で検知しており、この検知水温をコントロ
ーラ５から制御モジュールＣのコン１〜ローラ１０に送
信している。第１図から判るように、水温センサ１１と
水温センサ１２とは、いずれもポンプ（８又は９）の吐
出水の水温を検知するものであるから、その検知水温は
同じである。制御モジュールは各機器に異常がないか否
かを常時チエツクしており、異常の１つである制御モジ
ュールＣのセンサ１１の異ｆ（センサ１１の断線または
短絡など）を検知した場合には、制御モジュールのコン
トローラ１０は、冷却モジュールから送信されている前
記センサ１２の検知水温を設定水温と比較して、前記と
同様の所要インバータ周波数を算出し、これを前記と同
様に冷却モジュールのコントローラ５に送信して圧縮機
８の駆動インバータ周波数を制御する。第２図は以上の
ような運転制御を表わした概略フロー図である。
温センサ１２で検知しており、この検知水温をコントロ
ーラ５から制御モジュールＣのコン１〜ローラ１０に送
信している。第１図から判るように、水温センサ１１と
水温センサ１２とは、いずれもポンプ（８又は９）の吐
出水の水温を検知するものであるから、その検知水温は
同じである。制御モジュールは各機器に異常がないか否
かを常時チエツクしており、異常の１つである制御モジ
ュールＣのセンサ１１の異ｆ（センサ１１の断線または
短絡など）を検知した場合には、制御モジュールのコン
トローラ１０は、冷却モジュールから送信されている前
記センサ１２の検知水温を設定水温と比較して、前記と
同様の所要インバータ周波数を算出し、これを前記と同
様に冷却モジュールのコントローラ５に送信して圧縮機
８の駆動インバータ周波数を制御する。第２図は以上の
ような運転制御を表わした概略フロー図である。
或いはまた、第３図に示す如く、制御モジュールのコン
トローラ１０が制御モジュールの水温センサ１１の異常
を検知すると、その旨をコントローラ１０から冷却モジ
ュールのコントローラ５に送信し、これを受信したコン
トローラ５が冷却モジュール内蔵の水温センサ１２の検
知水温と制御モジュールのコントローラ１０から送信さ
れている設定水温との差に応じた所要インバータ周波数
を算出して、これにより該コントローラ５が圧縮機８の
駆動インバータ周波数を制御することも可能である。
トローラ１０が制御モジュールの水温センサ１１の異常
を検知すると、その旨をコントローラ１０から冷却モジ
ュールのコントローラ５に送信し、これを受信したコン
トローラ５が冷却モジュール内蔵の水温センサ１２の検
知水温と制御モジュールのコントローラ１０から送信さ
れている設定水温との差に応じた所要インバータ周波数
を算出して、これにより該コントローラ５が圧縮機８の
駆動インバータ周波数を制御することも可能である。
また、第３図に示すように、制御モジュールのコントロ
ーラ１０に故障が発生した場合や伝送ライン１４に故障
が発生した場合には、冷却モジュールのコントローラ５
はこれをパリティチエツク等により検出し、独立運転に
切換える。独立運転になると、冷却モジュールのコント
ローラ５は。
ーラ１０に故障が発生した場合や伝送ライン１４に故障
が発生した場合には、冷却モジュールのコントローラ５
はこれをパリティチエツク等により検出し、独立運転に
切換える。独立運転になると、冷却モジュールのコント
ローラ５は。
冷却モジュールの水温検知センサ１２で検出した水温と
制御モジュールから送信されていた設定水温（これは冷
却モジュールのコントローラ５に記憶されている）との
比較により所要インバータ周波数を算出して圧縮機８の
駆動インバータ周波数を制御して水温を設定水温に保つ
よう制御を行なう。このとき、冷却モジュールのコント
ローラ５から接点信号１３により異常警報を出力するこ
とにより、保守員等に知らせることができる。
制御モジュールから送信されていた設定水温（これは冷
却モジュールのコントローラ５に記憶されている）との
比較により所要インバータ周波数を算出して圧縮機８の
駆動インバータ周波数を制御して水温を設定水温に保つ
よう制御を行なう。このとき、冷却モジュールのコント
ローラ５から接点信号１３により異常警報を出力するこ
とにより、保守員等に知らせることができる。
なお、ポンプ８，９の運転は、第４図に示すように、制
御モジュールＣのコントローラ１０においてマイクロコ
ンピュータにより制御されるリレー２１．２２の接点２
１ａ、２２ｂを介して付勢される電磁接触器２３．２４
の接点２３ ａ、２４ ａの開閉によって行われるが、
この接点２１ａはノーマリオープン接点とし、接点２２
ｂはノーマリクローズド接点としである。従って、もし
制御モジュールのコントローラが故障した場合でも電磁
接触器２３．２４の一方は必ず付勢され、ポンプ８゜９
の一方は必ず運転され、冷水の循環は保たれる。
御モジュールＣのコントローラ１０においてマイクロコ
ンピュータにより制御されるリレー２１．２２の接点２
１ａ、２２ｂを介して付勢される電磁接触器２３．２４
の接点２３ ａ、２４ ａの開閉によって行われるが、
この接点２１ａはノーマリオープン接点とし、接点２２
ｂはノーマリクローズド接点としである。従って、もし
制御モジュールのコントローラが故障した場合でも電磁
接触器２３．２４の一方は必ず付勢され、ポンプ８゜９
の一方は必ず運転され、冷水の循環は保たれる。
なお、冷却モジュールの冷却能力調節手段としては、前
記のような圧縮機のインバータ周波数制御に限るもので
はなく、他の適当な冷却能力調節手段を用いてもよい。
記のような圧縮機のインバータ周波数制御に限るもので
はなく、他の適当な冷却能力調節手段を用いてもよい。
［発明の効果］
本発明によれば、制御モジュールの水温センサやコント
ローラの故障または冷却モジュールとの間の伝送に異常
が生じても、冷水温度の制御を確保する様にバックアッ
プが行われる。また、制御モジュールのコントローラ故
障の際にもポンプによる冷水循環の確保が可能になる。
ローラの故障または冷却モジュールとの間の伝送に異常
が生じても、冷水温度の制御を確保する様にバックアッ
プが行われる。また、制御モジュールのコントローラ故
障の際にもポンプによる冷水循環の確保が可能になる。
その結果、被冷却体への所要の冷水供給は中断されるこ
となく続行されるという効果がある。
となく続行されるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例に係る冷却設備の植成図、第
２図、第３図はその動作の概略フローチャート、第４図
は制御モジュールのポンプ運転回路の図である。 Ａ・・・被冷却体 Ｃ・・・制御モジュールＲ工
、Ｒ２・・・冷却モジュール ト・・圧縮４ｆｉ ２・・・凝縮器４・・・
蒸発器 ５・・・冷却モジュールのコントローラ８．９・・・冷
水ポンプ １０・・・制御モジュールのコントローラ１１．１２・
・・水温センサ １３・・・異常ｙ報出力接点 第２図 第３図 ＄１１卸モジュール ン令却モジュール
２図、第３図はその動作の概略フローチャート、第４図
は制御モジュールのポンプ運転回路の図である。 Ａ・・・被冷却体 Ｃ・・・制御モジュールＲ工
、Ｒ２・・・冷却モジュール ト・・圧縮４ｆｉ ２・・・凝縮器４・・・
蒸発器 ５・・・冷却モジュールのコントローラ８．９・・・冷
水ポンプ １０・・・制御モジュールのコントローラ１１．１２・
・・水温センサ １３・・・異常ｙ報出力接点 第２図 第３図 ＄１１卸モジュール ン令却モジュール
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 水を熱交換によって冷却する冷凍サイクル、冷凍サ
イクルの冷却能力調節手段および該冷却能力調節手段を
制御するコントローラを各々備えたバックアップ関係に
ある同一構成の複数台の冷却モジュールと、冷却モジュ
ールからの水を被冷却体に循環させるバックアップ関係
にある複数台のポンプ、該水の水温を検出する水温セン
サおよび該水温センサの検出値に基づいて冷却能力制御
指令を演算するコントローラを備えた制御モジュールと
、冷却モジュールのコントローラと制御モジュールのコ
ントローラとの間で情報伝送する伝送ラインと、を有し
、冷却モジュールのコントローラは制御モジュールのコ
ントローラから前記伝送ラインを介して伝送された前記
冷却能力制御指令に基づいて前記冷却能力調節手段を制
御するように構成した冷却設備において、前記各冷却モ
ジュールは制御モジュールの前記水温センサの検出する
水温と同じ水温を検出する水温センサを有し、制御モジ
ュールの水温センサに異常が生じたときには、制御モジ
ュールのコントローラは前記伝送ラインを介して伝送さ
れる冷却モジュールの水温センサの検出値に基づいて前
記の冷却能力制御指令を演算するようにしたことを特徴
とする冷却設備の制御方式。 ２ 水を熱交換によって冷却する冷凍サイクル、冷凍サ
イクルの冷却能力調節手段および該冷却能力調節手段を
制御するコントローラを各々備えたバックアップ関係に
ある同一構成の複数台の冷却モジュールと、冷却モジュ
ールからの水を被冷却体に循環させるバックアップ関係
にある複数台のポンプ、該水の水温を検出する水温セン
サおよび該水温センサの検出値に基づいて冷却能力制御
指令を演算するコントローラを備えた制御モジュールと
、冷却モジュールのコントローラと制御モジュールのコ
ントローラとの間で情報伝送する伝送ラインと、を有し
、冷却モジュールのコントローラは制御モジュールのコ
ントローラから前記伝送ラインを介して伝送された前記
冷却能力制御指令に基づいて前記冷却能力調節手段を制
御するように構成した冷却設備において、前記各冷却モ
ジュールは制御モジュールの前記水温センサの検出する
水温と同じ水温を検出する水温センサを有し、制御モジ
ュールの水温センサに異常が生じたときには、その旨を
制御モジュールのコントローラは前記伝送ラインを介し
て冷却モジュールのコントローラに送信し、これを受信
した冷却モジュールのコントローラは、該冷却モジュー
ルの水温センサの検出値に基づいて冷却能力制御指令を
演算し、この冷却能力制御指令に基づいて前記冷却能力
調節手段を制御することを特徴とする冷却設備の制御方
式。 ３ 水を熱交換によって冷却する冷凍サイクル、冷凍サ
イクルの冷却能力調節手段および該冷却能力調節手段を
制御するコントローラを各々備えたバックアップ関係に
ある同一構成の複数台の冷却モジュールと、冷却モジュ
ールからの水を被冷却体に循環させるバックアップ関係
にある複数台のポンプ、該水の水温を検出する水温セン
サおよび該水温センサの検出値に基づいて冷却能力制御
指令を演算するコントローラを備えた制御モジュールと
、冷却モジュールのコントローラと制御モジュールのコ
ントローラとの間で情報伝送する伝送ラインと、を有し
、冷却モジュールのコントローラは制御モジュールのコ
ントローラから前記伝送ラインを介して伝送された前記
冷却能力制御指令に基づいて前記冷却能力調節手段を制
御するように構成した冷却設備において、前記各冷却モ
ジュールは制御モジュールの前記水温センサの検出する
水温と同じ水温を検出する水温センサを有し、制御モジ
ュールと冷却モジュールとの間の情報伝達に異常が生じ
たことを冷却モジュールのコントローラが検知したとき
には、冷却モジュールのコントローラは、該冷却モジュ
ールの水温センサの検出値に基づいて冷却能力制御指令
を演算し、この冷却能力制御指令に基づいて前記冷却能
力調節手段を制御することを特徴とする冷却設備の制御
方式。 ４ 制御モジュール内にはポンプ制御手段の出力により
前記複数台のポンプの運転を夫々司る複数の補助継電器
を有し、そのうち一部の補助継電器はノーマリオープン
接点を、他の補助継電器はノーマリクローズド接点を有
し、以て、上記ポンプ制御手段の故障にかかわらず必ず
或るポンプを運転可能とした請求項１、２又は３記載の
冷却設備の制御方式。 ５ 前記の冷凍サイクルの冷却能力調節手段は冷媒圧縮
機を駆動する可変周波数インバータである請求項１、２
、３又は４記載の冷却設備の制御方式。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1011129A JP2701911B2 (ja) | 1989-01-20 | 1989-01-20 | 冷却設備の制御方式 |
| US07/463,559 US5201187A (en) | 1989-01-20 | 1990-01-11 | System for controlling cooling equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1011129A JP2701911B2 (ja) | 1989-01-20 | 1989-01-20 | 冷却設備の制御方式 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02192564A true JPH02192564A (ja) | 1990-07-30 |
| JP2701911B2 JP2701911B2 (ja) | 1998-01-21 |
Family
ID=11769409
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1011129A Expired - Fee Related JP2701911B2 (ja) | 1989-01-20 | 1989-01-20 | 冷却設備の制御方式 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5201187A (ja) |
| JP (1) | JP2701911B2 (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2693693B2 (ja) * | 1992-11-06 | 1997-12-24 | 株式会社日立製作所 | 電子装置用冷却装置およびその制御方法 |
| US5724825A (en) * | 1996-09-11 | 1998-03-10 | Mosel Vitelic Inc. | Automatic temperature controlling system |
| US6102113A (en) * | 1997-09-16 | 2000-08-15 | B/E Aerospace | Temperature control of individual tools in a cluster tool system |
| US7069984B2 (en) * | 2001-02-08 | 2006-07-04 | Oriol Inc. | Multi-channel temperature control system for semiconductor processing facilities |
| US7225864B2 (en) * | 2001-02-08 | 2007-06-05 | Oriol Inc. | Multi-channel temperature control system for semiconductor processing facilities |
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