JPH02194319A - 光学式エンコーダ - Google Patents
光学式エンコーダInfo
- Publication number
- JPH02194319A JPH02194319A JP1452589A JP1452589A JPH02194319A JP H02194319 A JPH02194319 A JP H02194319A JP 1452589 A JP1452589 A JP 1452589A JP 1452589 A JP1452589 A JP 1452589A JP H02194319 A JPH02194319 A JP H02194319A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slit
- slit plate
- light
- fixed
- light receiving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の分野〕
本発明は機械的な回転量や直線移動量を電気信号に変換
する光学式のエンコーダに関するものである。
する光学式のエンコーダに関するものである。
従来光学式のエンコーダは第５図に示すように、ケース
１内に設けられた投光素子２と受光素子３との間に固定
スリット板４と回転軸５に連動して回転し、その円周」
−に多数のスリットが設けられた移動スリット板６を有
している。そしてこのロータリーエンコーダでは回転軸
５を回転させることによって投光素子２より固定スリッ
ト板４及び移動スリット板６を介して第６図に実線Ａで
示すような疑似正弦波信号が得られる。従ってこの信号
を所定闇値で弁別して方形波信号に変換したり、又その
微分信号に基づいて回転軸５の回転速度信号を得るよう
にしている。
１内に設けられた投光素子２と受光素子３との間に固定
スリット板４と回転軸５に連動して回転し、その円周」
−に多数のスリットが設けられた移動スリット板６を有
している。そしてこのロータリーエンコーダでは回転軸
５を回転させることによって投光素子２より固定スリッ
ト板４及び移動スリット板６を介して第６図に実線Ａで
示すような疑似正弦波信号が得られる。従ってこの信号
を所定闇値で弁別して方形波信号に変換したり、又その
微分信号に基づいて回転軸５の回転速度信号を得るよう
にしている。
しかるにこのような従来の光学式エンコーダでは受光素
子より得られる受光信号レー・ルを犬きくするためにス
リット間隔を狭くする必要があり、固定スリット板と移
動スリ７１〜板の間隔を例えばスリットピッチとほぼ同
じ距離に保つことによって一定振幅の疑似正弦波信号を
得るようにしている。この間隔が変動ずれば第６図の曲
線■３又はＣに示すように、受光素子３に得られる疑似
正弦波信号のピーク値が変動する。特に移動スリット板
６がエンコーダ本体とは分離された分離型のエンコーダ
においてはスリット間隔を一定に保つことが困難であり
、移動スリット板と固定スリット板の間隔を狭くすれば
両者が接触し易く、又スリン］・間隔のわずかな変化に
よっても出力信号の振幅が大きく変化する。従ってこの
疑似正弦波信号を微分し速度信号を得る場合、振幅変化
が直接速度信号の誤差として現れてしまうという問題点
があった。
子より得られる受光信号レー・ルを犬きくするためにス
リット間隔を狭くする必要があり、固定スリット板と移
動スリ７１〜板の間隔を例えばスリットピッチとほぼ同
じ距離に保つことによって一定振幅の疑似正弦波信号を
得るようにしている。この間隔が変動ずれば第６図の曲
線■３又はＣに示すように、受光素子３に得られる疑似
正弦波信号のピーク値が変動する。特に移動スリット板
６がエンコーダ本体とは分離された分離型のエンコーダ
においてはスリット間隔を一定に保つことが困難であり
、移動スリット板と固定スリット板の間隔を狭くすれば
両者が接触し易く、又スリン］・間隔のわずかな変化に
よっても出力信号の振幅が大きく変化する。従ってこの
疑似正弦波信号を微分し速度信号を得る場合、振幅変化
が直接速度信号の誤差として現れてしまうという問題点
があった。
本発明はこのような従来の光学式エンコーダの問題点に
鑑みてなされたものであって、固定スリット板と移動ス
リソｌ〜板の間隔を比較的広くとることができ、しかも
その間隔が変動しても疑似正弦波信号の振幅変化を小さ
く押さえることができるようにすることを技術的課題と
する。
鑑みてなされたものであって、固定スリット板と移動ス
リソｌ〜板の間隔を比較的広くとることができ、しかも
その間隔が変動しても疑似正弦波信号の振幅変化を小さ
く押さえることができるようにすることを技術的課題と
する。
本発明は機械的な回転量や直線移動量を電気信号に変換
する光学式エンコーダであって、一定波長λの複数の光
ビームを発光する投光部と、各ミラーに対向して配置さ
れ夫々の光を受光する受光素子と、各受光素子に対応し
で固定され、一定のスリットピッチＰを隅でて複数のス
リ・ノドが形成された複数の固定スリット板と、各固定
スリ・ノド板に対し相対的に移動し、各固定スリｙ ｌ
・板と同一のスリットピッチＰを隔てて複数のスリ・ノ
ドが形成された移動スリット板と、各受光素子より得ら
れる出力の最大値を検出する最大値検出回路と、を具備
し、移動スリット板及び各固定スリ・ノド板の間隔を夫
々ｎＰ２／λの近傍の相異なる距離に設定したことを特
徴とするものである。
する光学式エンコーダであって、一定波長λの複数の光
ビームを発光する投光部と、各ミラーに対向して配置さ
れ夫々の光を受光する受光素子と、各受光素子に対応し
で固定され、一定のスリットピッチＰを隅でて複数のス
リ・ノドが形成された複数の固定スリット板と、各固定
スリ・ノド板に対し相対的に移動し、各固定スリｙ ｌ
・板と同一のスリットピッチＰを隔てて複数のスリ・ノ
ドが形成された移動スリット板と、各受光素子より得ら
れる出力の最大値を検出する最大値検出回路と、を具備
し、移動スリット板及び各固定スリ・ノド板の間隔を夫
々ｎＰ２／λの近傍の相異なる距離に設定したことを特
徴とするものである。
このような特徴を有する本発明によれば、投光部より一
定の波長を有する複数の光ビーＪ、を受光部側に照射し
ており、人々の光ビームに対応して固定スリット板及び
受光素子を設けている。そして移動スリット板と各固定
スリット板との間隔を夫々ｎＰ２／λの近傍の相異なる
距離に設定するようにしている。従って各スリット板を
介して受光素子に得られる疑似正弦波信号の振幅値は、
固定スリット板と移動スリット板を密着させたときとほ
ぼ同一の大きいレヘルとなる。そしてそれらの信号の最
大値が最大値検出回路により選択されてエンコーダの出
力となる。
定の波長を有する複数の光ビーＪ、を受光部側に照射し
ており、人々の光ビームに対応して固定スリット板及び
受光素子を設けている。そして移動スリット板と各固定
スリット板との間隔を夫々ｎＰ２／λの近傍の相異なる
距離に設定するようにしている。従って各スリット板を
介して受光素子に得られる疑似正弦波信号の振幅値は、
固定スリット板と移動スリット板を密着させたときとほ
ぼ同一の大きいレヘルとなる。そしてそれらの信号の最
大値が最大値検出回路により選択されてエンコーダの出
力となる。
そのため本発明によれば、組立時にはスリット板の間隔
を特定の関係を満たず任意の間隔に保つことができる。
を特定の関係を満たず任意の間隔に保つことができる。
従ってスリノｌ−板の間隔を従来の光学式エンコーダの
ように極めて狭く設定する必要がなく、スリット板同士
の接触の可能性をなくすることができるという効果が得
られる。又移動スリン（・板の移動時には、受光素子よ
り２つのスリット板を密着させたとぎとほぼ同一レベル
の出力信号が得られ、その振幅値が大きくなるため信号
処理が容易となる。そして本発明では複数の受光素子か
ら得られる出力の最大値を検出するようにしているため
、スリット板の間隔が所定値かられずかに変動しても出
力信号の振幅に与える影響を極めて小さくすることがで
き、正確な位置信号。
ように極めて狭く設定する必要がなく、スリット板同士
の接触の可能性をなくすることができるという効果が得
られる。又移動スリン（・板の移動時には、受光素子よ
り２つのスリット板を密着させたとぎとほぼ同一レベル
の出力信号が得られ、その振幅値が大きくなるため信号
処理が容易となる。そして本発明では複数の受光素子か
ら得られる出力の最大値を検出するようにしているため
、スリット板の間隔が所定値かられずかに変動しても出
力信号の振幅に与える影響を極めて小さくすることがで
き、正確な位置信号。
速度信号を得ることができる。従ってスリ・ノド板の取
付間隔のばらつきに対する許容度が極めて大きくなり、
固定スリット板の取付けを容易にすることができるだけ
でなく、移動スリット板の回転や移動に伴ってスリンｌ
−間隔が変動する場合にも、出力変化に大きな影響を与
えることがないという効果も得られる。
付間隔のばらつきに対する許容度が極めて大きくなり、
固定スリット板の取付けを容易にすることができるだけ
でなく、移動スリット板の回転や移動に伴ってスリンｌ
−間隔が変動する場合にも、出力変化に大きな影響を与
えることがないという効果も得られる。
第１図は本発明の一実施例による分離型のリニアエンコ
ーダの一例を示す構成図である。本実施例ではリニアエ
ンコーダ本体は開示しないケース内に投光部１１．及び
受光部１２が一定間隔を隔てて固定されている。投受光
部１１．１２の間には移動スリット板１３が左右に自在
に移動するように構成されている。移動スリ、ノド板１
３は一定のスリットピッチＰ毎に多数のスリットが平行
して設りられたものであって、リニアエンコーダ本体と
は一定の間隔を隅でて分離されており、その移ｆｉｌＪ
呈がり１アエンコーダより位置信号として得られる。さ
てエンコーダ本体の投光部１１には、図示のように−・
定の波長λ、例えば波長７８０＋ｖを有する点光源型の
投光素子、例えばレーザダイオード１４が設けられる。
ーダの一例を示す構成図である。本実施例ではリニアエ
ンコーダ本体は開示しないケース内に投光部１１．及び
受光部１２が一定間隔を隔てて固定されている。投受光
部１１．１２の間には移動スリット板１３が左右に自在
に移動するように構成されている。移動スリ、ノド板１
３は一定のスリットピッチＰ毎に多数のスリットが平行
して設りられたものであって、リニアエンコーダ本体と
は一定の間隔を隅でて分離されており、その移ｆｉｌＪ
呈がり１アエンコーダより位置信号として得られる。さ
てエンコーダ本体の投光部１１には、図示のように−・
定の波長λ、例えば波長７８０＋ｖを有する点光源型の
投光素子、例えばレーザダイオード１４が設けられる。
そしてレーザビーＪ、の光軸には図示のように透過率が
５０％のハーフミラ−１５及びミラー１６が所定角度傾
けて取イ」けられている。ミラー１５．１６はレーザダ
イオード１４のし・−ザ光を受光部方向に反射させるも
のであって、夫々レーザビートの光径を平行に拡大する
コリメートレンズ１．７．１８が設けられζいる。
５０％のハーフミラ−１５及びミラー１６が所定角度傾
けて取イ」けられている。ミラー１５．１６はレーザダ
イオード１４のし・−ザ光を受光部方向に反射させるも
のであって、夫々レーザビートの光径を平行に拡大する
コリメートレンズ１．７．１８が設けられζいる。
レーザダイオードＩ４より出射されたレーザビームはハ
ーフミラ−１５を介して−・部が反日イされ、コリメー
トレンズ１７を介して平行光が受光部１２に与えられる
。又ハーフミラ−１５を透過したレーザビームはミラー
１６によって全て反射されてコリメートレンズ１８を介
して受光部１２側に与えられる。受光部１２にはコリメ
ートレンズ１７、】８に対向する位置に固定スリット板
１９゜２０が設けられる。固定スリット板１９．２０ば
微小なスリットが所定のスＩＪソトビソチＰ毎に多数形
成されており、夫々の背後には受光素子、例えばフォト
ダイオード２１．２２が設けられる。
ーフミラ−１５を介して−・部が反日イされ、コリメー
トレンズ１７を介して平行光が受光部１２に与えられる
。又ハーフミラ−１５を透過したレーザビームはミラー
１６によって全て反射されてコリメートレンズ１８を介
して受光部１２側に与えられる。受光部１２にはコリメ
ートレンズ１７、】８に対向する位置に固定スリット板
１９゜２０が設けられる。固定スリット板１９．２０ば
微小なスリットが所定のスＩＪソトビソチＰ毎に多数形
成されており、夫々の背後には受光素子、例えばフォト
ダイオード２１．２２が設けられる。
ここで移動スリット板１３と固定スリット板１９２００
間隅を夫々異なる値Ｌｌ、１．．２に設定する。
間隅を夫々異なる値Ｌｌ、１．．２に設定する。
フォトダイオード２１．２２の出力は最大値検出回路２
３にり、えられる。最大値検出回路２３は２つの受光素
子の出力のうちより大きい信号を出力するものであって
、その出力は通常のリニアエンコーダと同様に信号処理
部２４に与えられて増幅され疑似正弦波信号として出力
される。又その出力を更に方形波に変換することによっ
て位置信号を得るよ・うにしている。
３にり、えられる。最大値検出回路２３は２つの受光素
子の出力のうちより大きい信号を出力するものであって
、その出力は通常のリニアエンコーダと同様に信号処理
部２４に与えられて増幅され疑似正弦波信号として出力
される。又その出力を更に方形波に変換することによっ
て位置信号を得るよ・うにしている。
さて移動スリット板工３と固定スリット板１９２０との
間隔ＬＬ、Ｌ２は、レーザダイオード１４の波長をλ、
スリソ］・ピッチをＰとすると、次式で定められる距離
の近傍の相異なる距離となるように設定する。
間隔ＬＬ、Ｌ２は、レーザダイオード１４の波長をλ、
スリソ］・ピッチをＰとすると、次式で定められる距離
の近傍の相異なる距離となるように設定する。
ここでスリット板間隔りに対してフォトダイオード２１
に得られる疑（以正弦波信号の振幅値は第２図に示すよ
・うな関係を有している。本図より明らかなよ・）に移
動スリット板１３と固定スリット板１．９．２０のスリ
ット間隔■７が零、即ち両打が密着している場合には得
られる出力信号は最大ピーク値を有するものであり、ｍ
［）２／２λ＋ （ｍは奇数）の位置では極めて小さ
（、ｎ、 ｐ ２ ／λの位置では振幅値は最大となり
、それらの間は正弦波状に変化する曲線となる。これは
スリットのパターンからの回折の結果得られるフーリエ
イメージによって起こる現象であり、本発明ではこの現
象を利用している。即ち本発明では点光源の投光素子を
用いてその光をコリメールレンズ１７．１８によって平
行な光ビームとして受光素子側に与えるようにしている
。さてＬｌ、Ｌ２は第２図においてｎＰ２／λの近傍、
即ち図示のように夫々相異なる距離Ｌ １及びＬ２に設
定するものとする。例えば第２図に示したようにＬ１＝
Ｐ２／λ＋５０（μｍ）、Ｌ２＝２Ｐ２／λ−５０（μ
ｍ）とする。例えばスリットピッチＰ−４０μｍ、波長
λを７８０ｎｍとすればスリット間隔Ｌｂ、、Ｌ２は夫
々２１００μｍ、 １．２は４０５０μｍとなる。従
って移動スリット板】３の移動に伴いスリット間隔Ｌ１
．Ｌ２がΔβ変化しても、フォトダイオード２１．２２
の出力のうちより大きいレベルの信号を最大値検出回路
２３から出力することによってその変動を少なくするこ
とができる。即ち移動スリット板１３と固定スリット板
１．９．２０との距離が変化し間隔Ｌｌ、Ｉ。
に得られる疑（以正弦波信号の振幅値は第２図に示すよ
・うな関係を有している。本図より明らかなよ・）に移
動スリット板１３と固定スリット板１．９．２０のスリ
ット間隔■７が零、即ち両打が密着している場合には得
られる出力信号は最大ピーク値を有するものであり、ｍ
［）２／２λ＋ （ｍは奇数）の位置では極めて小さ
（、ｎ、 ｐ ２ ／λの位置では振幅値は最大となり
、それらの間は正弦波状に変化する曲線となる。これは
スリットのパターンからの回折の結果得られるフーリエ
イメージによって起こる現象であり、本発明ではこの現
象を利用している。即ち本発明では点光源の投光素子を
用いてその光をコリメールレンズ１７．１８によって平
行な光ビームとして受光素子側に与えるようにしている
。さてＬｌ、Ｌ２は第２図においてｎＰ２／λの近傍、
即ち図示のように夫々相異なる距離Ｌ １及びＬ２に設
定するものとする。例えば第２図に示したようにＬ１＝
Ｐ２／λ＋５０（μｍ）、Ｌ２＝２Ｐ２／λ−５０（μ
ｍ）とする。例えばスリットピッチＰ−４０μｍ、波長
λを７８０ｎｍとすればスリット間隔Ｌｂ、、Ｌ２は夫
々２１００μｍ、 １．２は４０５０μｍとなる。従
って移動スリット板】３の移動に伴いスリット間隔Ｌ１
．Ｌ２がΔβ変化しても、フォトダイオード２１．２２
の出力のうちより大きいレベルの信号を最大値検出回路
２３から出力することによってその変動を少なくするこ
とができる。即ち移動スリット板１３と固定スリット板
１．９．２０との距離が変化し間隔Ｌｌ、Ｉ。
２が同時に小さくなった場合には、図中のＩ〕の範囲内
でフォトダイオード２１に得られる出力が最大値に近づ
く。又間隔Ｌｌ、Ｌ２が同時に大きくなれば図中のＥの
範囲内でフォトダイオード２２に得られる出力が最大値
に近づく。従って最大値検出回路２３からより大きいレ
ベルの信号を出力することによって移動スリン１−板と
固定スリソト板との距離の許容幅を大きくすることがで
きる。
でフォトダイオード２１に得られる出力が最大値に近づ
く。又間隔Ｌｌ、Ｌ２が同時に大きくなれば図中のＥの
範囲内でフォトダイオード２２に得られる出力が最大値
に近づく。従って最大値検出回路２３からより大きいレ
ベルの信号を出力することによって移動スリン１−板と
固定スリソト板との距離の許容幅を大きくすることがで
きる。
例えば第２図に示したよ・うにり、 Ｂの範囲では±
１００ｎＩｎの変化で出力変化が約２％となっている。
１００ｎＩｎの変化で出力変化が約２％となっている。
−力筒３図は従来の光学式エンコーダにおいて２つのス
リット板の間隔りと受光索子Ｇこ得られる疑似正弦波信
号の振幅値の変化を示す図である。
リット板の間隔りと受光索子Ｇこ得られる疑似正弦波信
号の振幅値の変化を示す図である。
従来の光学式エンコーダでは第３図に示されるように２
つのスリット板の間隔をできるだけ狭く、例えば■、３
に設定することによっζ大きな振幅値を得るようにして
いる。この場合にはスリ７］・ピッチＰを４０μｍ、ス
リット間隔り、 ３を１１００Ｉｒとずれば、スリット
の変位Δβが例えば±５０μｍに対して振幅が３０％と
大幅に変化することとなる。
つのスリット板の間隔をできるだけ狭く、例えば■、３
に設定することによっζ大きな振幅値を得るようにして
いる。この場合にはスリ７］・ピッチＰを４０μｍ、ス
リット間隔り、 ３を１１００Ｉｒとずれば、スリット
の変位Δβが例えば±５０μｍに対して振幅が３０％と
大幅に変化することとなる。
尚本実施例ば単一波長で点光源型の１つのレーザダイオ
ードを用いてミラー１５．１６によりレーザビームを分
離しているが、同一波長の複数のレーザダイオードを用
いるようにしてもよいことばいうまでもない。又光源と
して発光領域が極めて小さい点光源型の発光ダイオード
を投光素子として用いることも可能である。第４図はこ
の点光源型発光ダイオードを投光素子として用い、スリ
７Ｉ・ピッチＰを４０．＋Ｊｍ、波長λを９５７ｎｔｎ
としたときの受光素子に得られる出力電圧の振幅値とス
リット間ギヤノブの関係を示すグラフである。本図に示
すように波長に一定の広がりを有事る発光グイオートを
用いてもほぼ第２図と同一のフーリエイメージを持つ振
幅変化を得ることができる。従って単一波長の発光ダイ
オードを投光素子として用い、スリンＩ・間隔を前述し
たよう乙こ式（１１の近傍の値に設定することによって
スリット板同士を接触させることなく正確な位置信号を
得ることが可能である。
ードを用いてミラー１５．１６によりレーザビームを分
離しているが、同一波長の複数のレーザダイオードを用
いるようにしてもよいことばいうまでもない。又光源と
して発光領域が極めて小さい点光源型の発光ダイオード
を投光素子として用いることも可能である。第４図はこ
の点光源型発光ダイオードを投光素子として用い、スリ
７Ｉ・ピッチＰを４０．＋Ｊｍ、波長λを９５７ｎｔｎ
としたときの受光素子に得られる出力電圧の振幅値とス
リット間ギヤノブの関係を示すグラフである。本図に示
すように波長に一定の広がりを有事る発光グイオートを
用いてもほぼ第２図と同一のフーリエイメージを持つ振
幅変化を得ることができる。従って単一波長の発光ダイ
オードを投光素子として用い、スリンＩ・間隔を前述し
たよう乙こ式（１１の近傍の値に設定することによって
スリット板同士を接触させることなく正確な位置信号を
得ることが可能である。
又本実施例は分離型のリニアエンコーダについて説明し
ているが、本発明は通常のリニアエンコーダやロータリ
ーエンコーダ等光学式の全てのエンコーダに適用するこ
とが可能である。
ているが、本発明は通常のリニアエンコーダやロータリ
ーエンコーダ等光学式の全てのエンコーダに適用するこ
とが可能である。
第１図は本発明の一実施例によるリニアエンコーダの主
要部の構成を示す図、第２図は本実施例のスリット間隔
と受光素子に得られる出力振幅の関係を示すグラフ、第
３図は従来の光学式エンコーダのスリット間隔と受光素
子に得られる出力振幅の関係を示すグラフ、第４図は光
源として発光ダイオードを用いたときのスリ７（・間隔
と出力電圧の変化を示すグラフ、第５図は従来の光学式
［１−タリーエンコーダの一例を示す断面図、第６図は
その出力電圧の変化を示すグラフである。 １０−一ケース １１− 投光部 １２受光部
１３− 移動スリット板 １４レーザダイオード
１５−−−ハーフミラ−Ｉ６−ミラー １７．１８
−コリメートレンス １９．２０・−固定スリット
板 ２１２２−−−フォトダイオード ２３− 最
大値検出回路 ２４ ・・信号処理部 特許出願人 立石電機株式会社 代理人 弁理士 岡本宜喜（他１名）
要部の構成を示す図、第２図は本実施例のスリット間隔
と受光素子に得られる出力振幅の関係を示すグラフ、第
３図は従来の光学式エンコーダのスリット間隔と受光素
子に得られる出力振幅の関係を示すグラフ、第４図は光
源として発光ダイオードを用いたときのスリ７（・間隔
と出力電圧の変化を示すグラフ、第５図は従来の光学式
［１−タリーエンコーダの一例を示す断面図、第６図は
その出力電圧の変化を示すグラフである。 １０−一ケース １１− 投光部 １２受光部
１３− 移動スリット板 １４レーザダイオード
１５−−−ハーフミラ−Ｉ６−ミラー １７．１８
−コリメートレンス １９．２０・−固定スリット
板 ２１２２−−−フォトダイオード ２３− 最
大値検出回路 ２４ ・・信号処理部 特許出願人 立石電機株式会社 代理人 弁理士 岡本宜喜（他１名）
Claims (1)
- （１）一定波長λの複数の光ビームを発光する投光部と
、 前記各ミラーに対向して配置され夫々の光を受光する受
光素子と、 前記各受光素子に対応して固定され、一定のスリットピ
ッチＰを隔てて複数のスリットが形成された複数の固定
スリット板と、 前記各固定スリット板に対し相対的に移動し、前記各固
定スリット板と同一のスリットピッチＰを隔てて複数の
スリットが形成された移動スリット板と、 前記各受光素子より得られる出力の最大値を検出する最
大値検出回路と、を具備し、 前記移動スリット板及び前記各固定スリット板の間隔を
夫々ｎＰ＾２／λの近傍の相異なる距離に設定したこと
を特徴とする光学式エンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1452589A JPH02194319A (ja) | 1989-01-23 | 1989-01-23 | 光学式エンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1452589A JPH02194319A (ja) | 1989-01-23 | 1989-01-23 | 光学式エンコーダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02194319A true JPH02194319A (ja) | 1990-07-31 |
Family
ID=11863536
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1452589A Pending JPH02194319A (ja) | 1989-01-23 | 1989-01-23 | 光学式エンコーダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02194319A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6323613B2 (ja) * | 1982-11-19 | 1988-05-17 | Nippon Hoso Kyokai | |
| JPS63215916A (ja) * | 1987-03-04 | 1988-09-08 | Mitsutoyo Corp | 光学式変位検出器 |
-
1989
- 1989-01-23 JP JP1452589A patent/JPH02194319A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6323613B2 (ja) * | 1982-11-19 | 1988-05-17 | Nippon Hoso Kyokai | |
| JPS63215916A (ja) * | 1987-03-04 | 1988-09-08 | Mitsutoyo Corp | 光学式変位検出器 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR910003830B1 (ko) | 위치검출기의 기준신호 발생장치 | |
| US5448358A (en) | Optical apparatus and displacement-information measuring apparatus using the same | |
| US9175987B2 (en) | Displacement detecting device | |
| US5661296A (en) | Rotary encoder measuring substantially coinciding phases of interference light components | |
| US6803560B1 (en) | Optical encoder | |
| JP3254737B2 (ja) | エンコーダー | |
| JPH05223598A (ja) | 光学式エンコーダ | |
| WO2004059346A2 (en) | Rotary position sensor with offset beam generating element and elliptical detector array | |
| JPH0652170B2 (ja) | 光結像式非接触位置測定装置 | |
| EP0096448B1 (en) | Apparatus for determing angular displacements of an object | |
| EP0489399A2 (en) | Displacement detector | |
| EP0724713B1 (en) | Quadrature diffractive encoder | |
| US5184014A (en) | Opto-electronic scale reading apparatus | |
| JPH02194319A (ja) | 光学式エンコーダ | |
| US5369271A (en) | Rotation detector using dual position interference light | |
| JPS6363919A (ja) | 位置検出装置 | |
| EP0332412A1 (en) | Combination fringe pattern and power monitoring assembly for a ring laser gyroscope | |
| JP2503561B2 (ja) | レ―ザ―干渉式エンコ―ダ | |
| JP2001343256A (ja) | 光学式エンコーダ | |
| JP2000121388A (ja) | 光学式エンコーダ | |
| JP2000266567A (ja) | ロータリエンコーダ | |
| JP2002139353A (ja) | 光学式ロータリエンコーダ | |
| JPH05346330A (ja) | エンコーダ装置 | |
| JP2810524B2 (ja) | 回転検出計 | |
| JPH0760100B2 (ja) | 光学式エンコーダ |