JPH02194341A - 光スペクトラムアナライザー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、光スペクトル分析を行なう光スペクトラムア
ナライザー、特に詳細には音響光学効果を利用して光ス
ペクトルを分析する光スペクトラムアナライザーに関す
るものである。

（従来の技術） 先スペクトルを分析する光スペクトラムアナライザーと
し７ては、種々のものが公知となっている。

従来より広く実用に供されている光スペクトラムアナラ
イサーの１つとして、例えばツエルニターナ−型と称さ
れるものが知られている。この光スペクトラムアナライ
ザーは、照射された被測定光を回折させる回折格子を回
転させ、それにより回折光をスリット上において移動さ
せ、このスリット越しに回折光を検出したときの回折格
子の回転角に基づいて先スペクトルを分ｔｆＦするもの
である。

このような光スペクトラムアナライザーは、高分解能で
光スペクトルを分析可能となっている。

しか］７このような光スペクトラムアナライザーは、大
型でかつ重いので取扱い性に難かあり、例えば携帯使用
等には不向きてあった。小型軽量に形成されうる光スペ
クトラムアナライザーも種々考えられているが、そのよ
うなものの多くは分解能が低いという問題を有している
。

そこで本出願人は先に、小型軽量に形成可能で、しかも
分解能の高い光スペクトラムアナライザーを提案した（
特願昭（３２−１８０７７９号）。この光スペクトラム
アナライザーは、 表面弾性波が伝播１工能な材料から形成された光導波路
と、 この光導波路内に入射されて該光導波路内を進行する被
１ｆｌｌＪ定光としての導波光の光路に交わる方向に進
行して、該導波光を回折、偏向させる連続的に周波数が
変化する表面弾性波を上記光導波路におい−Ｃ発生させ
る表面弾性波発生手段と、上記表面弾性波によって偏向
されて光導波路外に出射した上記被ｎ１１１定光を検出
する光検出手段と、この光検出手段が被ΔＰＩ定光を検
出したときの表面弾性波の周波数を検出する周波数構１
４１手段とから構成されたことを特徴とするものである
。

光導波路内を導波する導波光は、この光導波路を伝播す
る表面弾性波と交差すると、音響光学相互作用により回
折、偏向する。この偏向角δは、表面弾性波の進行方向
に対する導波光の入射角をθとすると、δ−２θである
。モして導波光の波長をλ、光導波路の実効屈折率をＮ
ｅとし、表面弾性波の波長、周波数、速度をそれぞれＡ
、ｆ、■とすれば、 λ である。ＮＯおよびＶは一定であるから、この式で示さ
れるブラッグ条件を満足して導波光が最も効率良く回折
するときの前記入射角θと表面弾性波周波数ｆが分かれ
ば、導波光すなわぢ被測定光の波長λが分かることにな
る。

また導波光（被測定光）が非常に波長か近接した複数の
スペクトル成分を含む場合、各スペクトル成分を表面弾
性波の回折作用により分離させることができる。したが
って、例えば前記光検出器の前にピンホール板等を配置
して、各スペクトル成分の光がそれぞれ個別に検出され
るようにしておけば、上述のように波長が近接していて
も各スペクトル成分を正確に測定口Ｊ能となる。

（発明が解決しようとする課題） ところで」二連の光スペクトラムアナライザーにおいて
は従来、被測定光を導く光ファイバーを光導波路端面に
直接結合させて被測定光を光導波路内に入力させるよう
にしていたので、その入力効率が低いという難点が有っ
た。つまり、上記光ファイバーのコア径は通常ｌＯμｍ
前後で、−刀光導波路厚は表面弾性波による導波光の回
折効率の点から表面弾性波の波長程度が最適で、表面弾
性波周波数が１．　Ｇ　Ｈｚとすると３μｍとなり、こ
のように光ファイバーのコア径と光導波路厚との差が大
きいために、結合損が大きくなりがちなのである。

上記の入力効率が低いと、微弱な被測定光に対しては光
スペクトル分析が不可能になる、ということも起こり得
る。

光導波路内に外部光を効率良く入力させる方法としては
、光導波路表面に回折格子（Ｇ　ｒａｔｉｎｇＣｏｕｐ
ｌｅｒ）を形成し、この回折格子に外部光を照射してそ
こで回折させる、という方法が従来より知られている。

このような光ビーム入力方法は、勿論上記のような光ス
ペクトラムアナライザーにおいても適用可能である。し
かしこの回折格子にあっては、そこへの最適入射角、つ
まり外部光の入力効率が最大となる入射角が光波長に応
じて変わるという特性があり、この点は光スペクトラム
アナライザーに適用する上で大きな問題となる。

すなわち、波長一定の外部光を光導波路内に入力させる
場合は、その波長に応じて上記入射角を最適角に設定す
ればよいが、光スペクトラムアナライザーにおいて光導
波路内に入射させる光は被測定光であり、その波長は一
定ではないから、当然、ある波長領域の被測定光は効率
良く光導波路内に入力させることができないという問題
が起こりうる。したがって光スペクトラムアナライザー
の測定波長範囲は、この被測定光の入力効率の点から制
限を受けることになり、そのような光スペクトラムアナ
ライザーは利用範囲が限られたものとなってしまう。

そこで本発明は、広い波長範囲に亘る被測定光を効率良
く光導波路内に入力させることができる、光導波路型の
光スペクトラムアナライザーを提供することを目的とす
るものである。

（課題を解決するための手段及び作用）本発明による光
スペクトラムアナライザーは、先に述べたような光導波
路と、表面弾性波発生手段と、光検出手段と、周波数検
出手段とから構成された光スペクトラムアナライザーに
おいて、光導波路外を進行する被測定光を光導波路内に
入力させる光入力手段として、前述した回折格子を設け
、 その上でさらに、光導波路外を上記回折格子に向かって
進行する被測定光の光路を、その回折格子に対する入射
角が変化する方向に振る入射角調整手段を設けたことを
特徴とするものである。

上述のような入射角調整手段が設けられていれば、例え
ば表面弾性波を周波数掃引して、そのとき光検出手段が
検出する光量をモニターしながら、この光量が最大とな
るように被測定光の入射角を少しずつ変えることにより
、該入射角を最適に設定することができる。

（実　施　例） 以下、図面に示す実施例に基づいて本発明の詳細な説明
する。

第１図は本発明の第１実施例による光スペクトラムアナ
ライザーの平面形状を示すものであり、また第２図はこ
の光スペクトラムアナライザーの光導波路１２の側面形
状と、その周辺部分を示している。この光スペクトラム
アナライザーは、基板１１上に形成された光導波路１２
と、この光導波路１２の表面に形成された光ビーム入力
用線状回折格子（Ｌｉｎｅａｒ　　Ｇｒａｔｉｎｇ　　
Ｃｏｕｐｌｅｒ、以下ＬＧＣと称する）１３と、光導波
路１２を進行する導波光Ｌ１の光路に交わる方向に進行
する表面弾性波１５を発生させるチャーブ交叉くし形電
極対（ＣｈｉｒｐｅｄＩ　ｎｔｅｒ　−Ｄ　１ｇ１ｔａ
ｌ　　Ｔ　ｒａｎｓｄｕｃｅｒ　％以下チャープＩＤＴ
と称する）　１７と、上記表面弾性波１５を発生させる
ためにこのチャープＩＤＴ１７に高周波の交番電圧を印
加する高周波アンプ１９と、上記電圧の周波数を連続的
に変化（掃引）させるスィーパ−２０と、コリメーター
レンズ１４とを有している。

また光導波路１２の端面１２ａから出射した光ビームＬ
３の光路には、シリンドリカルレンズ２１と集束レンズ
２２と、ピンホール板３０と、上記光ビームＬ３の強度
を測定するフォトダイオード等の光検出器３１が配置さ
れている。この光検出器３１が出力する光量信号Ｓ１は
Ａ／Ｄ変換器３２においてＡ／Ｄ変換され、それにより
得られたディジタルの光量データＳ２は、演算処理部３
３に入力されるようになっている。

本実施例においては一例として、基板１１にＬｉＮｂＯ
３ウェハを用い、このウェハの表面にＴｉ拡散膜を設け
ることにより光導波路１２を形成している。なお基板１
１としてその他サファイア、Ｓｌ等からなる結晶性基板
が用いられてもよい。また光導波路１２も上記のＴ１拡
散に限らず、基板１１上にその他の材料をスパッタ、蒸
着する等して形成することもできる。ただし、この光導
波路１２は、上記Ｔ１拡散膜等、後述する表面弾性波が
伝播可能な材料から形成されなければならない。また光
導波路は２層以上の積層構造を有していてもよい。

チャープＩＤＴ１．７は、例えば光導波路１２の表面に
ポジ型電子線レジストを塗布し、さらにその上にＡｕ導
電用薄膜を蒸着し、電極パターンを電子線描画し、Ａ　
ｕ薄膜を剥離後現像を行ない、次いでＣｒ薄膜、Ａ１薄
膜を蒸着後、有機溶媒中でリフトオフを行なうことによ
って形成することかできる。なおチャープＩＤＴ１７は
、基板１１や光導波路１２が圧電性を有する月１１から
なる場合には、直接光導波路１２内あるいは基板１１」
−に設置しても表面弾性波１５を発生させることができ
るが、そうでない場合には基板１１あるいは光導波路１
２の一部に例えばＺｎＯ等からなる圧電性薄膜を蒸着、
スパッタ等によって形成し、そこにＩＤＴ１．７を設置
すればよい。

例えば半導体レーザ等の光源２３から発せられてスペク
トル分析にかけられる光ビームＬは、光源２３に接続さ
れた光ファイバー２４、結合器２５を介して、光ファイ
バー２６の端面から発散光として出射する。この光ビー
ムＬはコリメーターレンズ１４によって平行光とされ、
基板１１の斜めにカットされた端面１１ａ（第２図参照
）を通して、光導波路１２のＬ　Ｇ　Ｃ１３の部分に照
射される。それによりこの光ビームＬはＬ　Ｇ　Ｃ１３
て回折して、効率良く光導波路１２内に取り込まれ、該
光導波路１２内を導波する。

なおコリメーターレンズ１４は、光ファイバー２６の端
部とともに筒状の支持体４０に支持されている。

この支持体４０には２本のアーム４１が固定され、これ
らのアーム４１は架台４３に固定された輔４２を中心と
して揺動自在となっている。また上記架台４３には雌ね
じ部４４が固定され、この雌ねじ部４４には精密ねじ４
５が螺合されている。この精密ねじ４５の先端は上記支
持体４０を下側から受けており、したがってこの精密ね
じ４５が回転されて螺進退すると、支持体４０は輔４２
を中心に揺動する。なお第１図においては、支持体４０
か水平な向きに設定された状態を示しである。

」１記の導波光Ｌ１は、前記（１）で示されるブラック
条件か満たされれば、チャープＩＤＴ１７から発ぜられ
た表面弾性波１５との音響光学相互作用により回折（Ｂ
　ｒａｇｇ回折）する。回折した導波光Ｌ２は、光導波
路端面１２ａ（第２図参照）から、光導波路１２の厚さ
方向に発散する状態で出射する。この出射した光ビーム
Ｌ３は、；／リントリカルレンズ２１を通過して平行光
とされ、次いて集束レンズ２２によ゛って小さなスポッ
トに絞られる。

以下、光導波路１２内における」１記導波光の回折、偏
向について、第３および４図を参照して詳細に説明する
。第３図はチャープＩＤＴ１７の部分を拡大し、て詳し
く示すものであり、また第４図は導波光Ｌ１と表面弾性
波１５の波数ベクトルを示してい］　２ る。第３図に示すように導波光Ｌ１　は、表面弾性波１
５の進行方向に対して一定の角度θで入射する。

また、表面弾性波１５に入射する前の導波光Ｌ１および
通過した後の導波光Ｌ２の波数ベクトルをそれぞれＩｋ
、、Ｉｋ２とし、表面弾性波１５の波数ベクトルをｌＫ
１　とすると、前記（１）式で示したブラッグ条件が病
だされるときは第４図に示すように１に１　→−ＩＫ１
＝Ｉｋ２・・・・・・（２）となっており、導波光Ｌ２
の導波光Ｌ１に対する偏向角はδ−２θである。この入
射角θが」二連のように一定であれば、上記（２）式が
成立するときの偏向角δも一定である。したがって、ブ
ラッグ条件を完全に満たして光導波路１２外に出射する
光ビームＬ３は、一定方向に出射する。光検出器３ｊの
前のピンホール板３０は、上記の一定方向に出射した光
ビームＬ３がピンホール３０ａを通過するように配設さ
れている。なおこのピンホール板３０の代りに、スリッ
ト板が用いられてもよい。

導波光Ｌｔ　　（被測定光）の波長をλ、表面弾性波１
５の波長をＡとすると、 １ｋｘｌ＝２π／λ であり、また導波光Ｌ２の波長もλであるから、１　ｌ
ｋｘ　　ｌ　＝　ｌ　ｌｋｚ　　ｌ　＝２π／λである
。したがって前記（２Ｊ式を満足する１１に１−２π／
Δの値は、入射角θが固定である以上、］つの装ｋｘ　
　Ｉに対して１つだけ存在する。そこでこの（２）式が
成立するとき（つまり光ビームＬ３がピンホール３０ａ
を通過して光検出器３１に検出されたとき）の１ＩＫｚ
ｌの値から、すなわち表面弾性波１５の波長への値から
、波長λが求められうる。

この波長λは、前記（１）式から求めることも勿論可能
であるが、入射角θや、導波光Ｌ１に対する光導波路１
２の実効屈折率Ｎｅが不明でも求められうる。すなわち
周波数が既知（λｒｅｒとする）の基準導波光を光導波
路１２内に入射させ、そのとき波長へｒｅｌ’の基準表
面弾性波によってこの基準導波光が回折されたとする。

第４図において基準導ΔＯＰＱのΔＳＰＲであるから、 ＯＰ　　　　　　　　ＰＱ ＯＰ＝２π／λｒｅｆＳ　　ＰＱ＝２π／Δｒｅｒであ
るから、 λ＝λｒｅｒ（Ａ／Ａｒｅｌ’　） ここで表面弾性波１５の速度、周波数をそれぞれＶ、ｆ
１基準表面弾性波の速度、周波数をそれぞれＶｒｅｆ　
ｓ　　ｆ　ｒｅｒとすると、 ｖ−ｆＡ、　ｖｒｅｆ’　＝ｆｒｅｒφＡ、ｒｅｆ’　
、　ｖ＝ｖｒｅｆ’であるから、結局上式より λ＝λｒｅｆ　　（ｆ　ｒｅｌ’　／　ｆ　）　　−−
（３）となる。つまり基準導波光の波長λｒｅｆおよび
基準表面弾性波の周波数ｆ　ｒｅｆ’を予め調べておけ
ば、この（３）式から被測定光の波長λが求められる。

光スペクトル分析を行なうときチャーブＩＤＴ１７に印
加される高周波の交番電圧の周波数は、スィーパ−２０
によりｆ　ｍｆｎからｆ　ｒｎａｘまで掃引される。な
おこの周波数掃引のタイミングは、全体制御５ ］　６ 篩部９５が出力するクロック信号Ｃに基づいて制御され
る。こうして交番電圧の周波数すなわち表面弾性波１５
の周波数が掃引されるとき、上記ｆ　Ｉ＋ｌｉｎ、ｆ　
ｍａｘの値か適切に設定ぎれていれば、前述の（１）式
を満たすある表面弾性波周波数ｆ（ｆｍｉｎ≦ｆ≦ｆＩ
Ｉｌａｘ）において導波光Ｌ１の回折が最も効率良く行
なわれる。この際光導波路１２から出射した光ビームＬ
３は、ピンホール８０ａを通過して光検出器３１によっ
て検出される。

光検出器３１が出力した光量信号Ｓ１は、Ａ／Ｄ変換器
３２に通してディジタル化される。この際のサンプリン
グ周期は、前記全体制御部９５が出力したタロツク信号
ＣＩ：基づいて制御され、表面弾性波１５の周波数掃引
周期と対応が取られている。したがってＡ／Ｄ変換器３
２から出力されるディジタル光量データＳ２のうち、第
何番口のものは表面弾性波１５の周波数が何Ｈｚのとき
のものである、ということが自ずから分かるようになっ
ている。

つまりこの光量データＳ２は、連続的に示せば第６図図
示のように、表面弾性波周波数ｆ　（横軸）と検出光量
との関係を示すものとなりうる。この光量データＳ２は
、演算処理部３３に入力される。

なお上記説明から明らかなように、本例では全体制御部
９５が、光ビームＬ３が検出されたときの表面弾性波周
波数ｆを検出する周波数検出手段を構成している。演算
処理部３３は、表面弾性波周波数対検出光量の関係を示
している光量データＳ２を、予め入力されている前記基
準導波光の波長λｒｅｆと基準表面弾性波の周波数ｆｒ
ｅｔ’ｓおよび前記（３）式に基づいて、導波光波長対
検出光量の関係を示すデータに変換する。

こうして変換処理された光量データＳ３は、例えばＣＲ
Ｔ等からなる表示装置３４に人力される。

この表示装置３４においては一例として、上記光ビーム
Ｌ３の波長対光量の関係がグラフ状に表示される。した
がってこの表示から、光ビームＬ３が検出されたとき、
つまりブラッグ条件が成立したときの波長λを見出せば
、それが求める被測定光りの波長となる。

なお上記表示装置３４は、適当な記録装置等に置き換え
られてもよい。また本実施例においては、被測定光の波
長λを演算処理部３３が演算して求めるようになっ−Ｃ
いるが、このような演算は別途人手によって行なうよ・
うにしてもよい。つまり少なくとも、光検出器３１が所
定レベル以上の光量を検出したときの表面弾性波周波数
ｆが検出されるようになっていれば、被測定光の波長λ
を求めることができる。

上記実施例では、光検出器３１か光ビームＬ３を検出ｌ
、たときの４ろならず、表面弾性波１５を周波数掃引し
ている間はずっとその周波数ｆを求め、またその開光ビ
ームＬ３の検出の有無に係らず光量信号Ｓ１を連続的に
Ａ／Ｄ変換器３２に送って、光ビームＬ３の光量対波長
の関係をグラフ状に表示しているが、先ビームＬ３が検
出されたときの波長λを自動的に検出して、その波長λ
の値のみを表示する、あるいは記録するようにしてもよ
い。

しかし上記実施例のようにすれば、表示装置３４におい
ては、光ビームＬ３が全く検出されない波長領域（つま
りスペクトル成分が存在しない領域）か明確に示される
ので、より好ましい。こうする場合、一般には光量信号
８１等にノイズ成分か含まれるので、上記光ビームＬ３
が検出されない波長領域においても、検出光量表示は０
（ゼロ）とならないことが多い。そうなっても、光量表
示のあるレベルまではノイズ成分であるということが予
め分かっていれば何ら問題はない。またこのようなこと
を回避するため、上記ノイズ成分よりもやや高い所定レ
ベルを光量０（ゼロ）レベルとして表示するようにして
もよい。さらにこの所定レベルを上記よりもさらに高く
設定すれば、スペクトラム（縦モードは１つでも複数で
もよい）の中心波長近辺の波長のみを表示することもｆ
ｉｉ能である。

また」−記の実施例においては、ディジタル処理によっ
て被測定光の検出光量と波長λとの関係を求めるように
しているが、アナログ処理によって上記関係を求めるこ
ともできる。

ここで、本発明の光スペクトラムアナライザーは、被測
定光が互いに波長が極めて近接した複数１　つ のスペクトル成分からなる場合でも、各スペクトル成分
を高分解能で測定可能となっている。以下、この点につ
いて詳述する。例えば被測定光が、互いに近接した波長
λ１、λ２、λ３　（λ１くλ２くλ３）のスペクトル
成分からなるものとする。

そして第５図に示すように、中間の波長λ２の導波光と
表面弾性波１５との間でブラッグ条件が満たされ、ベク
トル１に２の方向に回折光が出射するものとする。この
とき波長λ１およびλ３の導波光も、表面弾性波１５に
対して、完全では無いがほぼブラッグ条イ１を満たす状
態となる。したがってこれらの波長λ１およびλ３の導
波光も表面弾性波１５によって回折され、光導波路１２
から出射する。

しかしこれらの光の回折角は、波長λ２の光の回折角と
は異なり、第５図に示すようにそれぞれベクトルＩｋ４
、ベクトル１１（５の方向となる（なお第５図において
０１、Ｇ３がそれぞれ、波長λ工、λ３の導波光の波数
ベクトルの始点である）。したがって光導波路１２から
出射した光ビームは、各スペクトル成分毎に分離する。

このようにしてビンホール板３０上で各スペクトル成分
が完全に分離されれば、前記交番電圧の周波数が掃引さ
れるとき、ピンホール板３０上を３つのビームスポット
が移動し、各波長の光は順次個別にピンホール３０ａを
通過する。

したがって、光検出器３】か検出する光量と、上記交番
電圧周波数すなわち表面弾性波周波数の関係は、第６図
図示のようなものとなる。つまり、波長λ１、λ２、λ
３の各スペクトル成分は、それぞれ表面弾性波周波数が
ｆｌ、ｆｌ、ｆ３のときに個別に検出される。これらの
表面弾性波周波数ｆｌ、ｆｌ、ｆ３が検出されれば、波
長λ１、λ２、λ３は前述と同様にして求められうる。

ここで本装置においては、光ファイバー２６とコリメー
ターレンズ１４が前述のような支持体４０に支持されて
いるから、精密ねじ４５を回転させることにより、ＬＧ
Ｃ１３に向かう光ビームＬの光路を、軸４２を中心とし
て振ることができる。こうすると、光ビームＬのＬ　Ｇ
　Ｃ１３への入射角φが変化する。

例えば光ビームＬの光路が第２図の実線表示の状態とな
っているとき、精密ねじ４５を回転させて上方に繰り出
すと、この光路は同図の破線表示状態に変化する。先に
述べた通り、ＬＧＣｌ３に対する光ビームＬの最適入射
角は該光ビームＬの波長によって異なるが、上述のよう
に精密ねじ４５を操作して入射角φを少しずつ変化させ
るとともに、各場合において表面弾性波１５を周波数掃
引し、そのとき表示装置３４が示す検出光量を調べるこ
とにより、最適な入射角φ、つまり光ビームＬが最も効
率良く光導波路１２に入力される入射角φを求めること
ができる。

なお上記最適入射角φは、光ビームＬの波長をλ、光導
波路１２の実効屈折率をＮｅ、ＬＧＣｌ３の格子ピッチ
をＡＬとすると、 λ で与えられる。したがって、−例として測定波長範囲が
０，６μｍ〜０．９μｍであるとすると、波長λ−０，
６μｍ、０．９μｍに対する最適入射角φはそれぞれ６
５．４°、５９．７°となる。したがってこの場合、入
射角φの可変範囲は、５．７°確保されていればよいこ
とになる。

次に第７図を参照して本発明の第２実施例について説明
する。なおこの第７図において、既に説明したものと同
じ要素等については同符号を付してあり、それらについ
ての説明は特に必要の無い限り省略する。

この第７図の装置において、光ファイバー２６の端部と
コリメーターレンズ１４は固定されており、コリメータ
ーレンズ１４で平行光化された光ビームＬはミラー５０
で反射してから、ＬＧＣｌ３の部分に入射する。このミ
ラー５０と一体化された回動軸５１は、架台５２に回動
自在に保持されている。そしてこの回動軸５１には円形
の操作片５３が連結されており、この操作片５３を回転
操作することにより、ミラー５０の角度を自由に変える
ことができる。そのようにすれば、この場合も光ビーム
ＬのＬＧＣｌ、３への入射角φを自由に変えることがで
きる。

なお、ＬＧＣｌ３に入射する光ビームＬの振れの軸は、
ＬＧＣｌ、３の中央部の格子とほぼ一致する位置に設定
されるのが好ましい。つまりそのようにすれば、入射角
φが変化しても、ＬＧＣｌ３に対する光ビームＬの入射
位置はほとんど一定となり、Ｌ　Ｇ　Ｃ１３を小さく形
成することができる。

また導波光を、２つ以上の表面弾性波によって２回以上
回折させるようにしても構わない。光スペクトル分析の
分解能は、導波光の偏向角δが大きいほど向上するから
、このように複数回の回折を行なえば、表面弾性波の周
波数をさほど上げずにスペクトル分析の分解能を高める
ことができて好ましい。なお、こうすることにより光ス
ペクトル分析の分解能が高くなる理由については、前記
特願昭８２−１８０７７９号明細書に詳しい記述がなさ
れている。

（発明の効果） 以上詳細に説明した通り、本発明の光スペクトラムアナ
ライザーによれば、高分解能で光スペクトルを分析可能
となる。しかも本発明の光スペクトラムアナライザーは
、光導波路に被測定光を入射させ、表面弾性波によって
被測定光を回折させる構造となっているので、小型軽量
に形成され、その上機械的な作動部分を備えないので、
耐久性、信頼性も高いものとなる。

そして本発明の光スペクトラムアナライザーにおいては
、被測定光を光導波路内に入射させる手段として光導波
路表面に回折格子を形成し、そしてこの回折格子に向か
う被測定光の光路を、回折格子への入射角が変化する向
きに振る入射角調整手段を設けたから、被測定光の波長
に応じて上記入射角を最適に設定することが可能となる
。よって本装置によれば、被ｆｌＰ］定光の光導波路へ
の入力効率の点から測定波長範囲が制限されることなく
、広い波長範囲に亘る光スペクトル分析が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例装置を示す平面図、第２図
は上記第１実施例装置の一部を示す側面図、 第３図は上記第１実施例装置の一部を拡大して示す平面
図、 第４図は」１記第１実施例装置における光ビーム偏向を
説明する説明図、 第５図は本発明装置における光スペクトルの分離を説明
する説明図、 第６図は本発明装置における検出光量と、表面弾性波周
波数の関係を示すグラフ、 第７図は本発明の第２実施例装置を示す側面図である。 １１・・基　　板　　　　１２・・・光導波路１３・・
光ビーム入力用ＬＧＣ １４・・コリメーターレンズ １５・・・表面弾性波　　　１７・チャープＩＤＴ１９
・・・高周波アンプ　　２０・・スィーパ２１・・・シ
リンドリカルレ〉ズ ２２・・・集束レンズ　　　２３・・光　　源２４．２
６・・・光ファイバー　　３０・・ピンホール板３１・
・・光検出器　　　　３２・・・Ａ／Ｄ変換器３３・・
演算処理部　　　３４・・・表示装置４０・・・支持体
　　　　　４１・・・アーム４２．５１・・軸　　　　
　４３．５２・・架台４４・・・雌ねじ部　　　　４５
．精密ねじ５０・・・ミラー　　　　　５３・・・操作
１゛１９５・・・全体制御部 Ｌ・・・ＬＧＣへ向かう光ビーム

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 表面弾性波が伝播可能な材料から形成された光導波路と
   、 この光導波路内に入射されて該光導波路内を進行する被
   測定光としての導波光の光路に交わる方向に進行して、
   該導波光を回折、偏向させる連続的に周波数が変化する
   表面弾性波をこの光導波路において発生させる表面弾性
   波発生手段と、前記表面弾性波によって偏向されて光導
   波路外に出射した前記被測定光を検出する光検出手段と
   、この光検出手段が前記被測定光を検出したときの前記
   表面弾性波の周波数を検出する周波数検出手段と、 前記光導波路の表面に形成され、光導波路外を進行する
   被測定光の照射を受けて該被測定光を光導波路内に入力
   させる回折格子と、 前記光導波路外を前記回折格子に向かって進行する被測
   定光の光路を、該被測定光の回折格子に対する入射角が
   変化する方向に振る入射角調整手段とからなる光スペク
   トラムアナライザー。