JPH0219725Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0219725Y2 JPH0219725Y2 JP1983039724U JP3972483U JPH0219725Y2 JP H0219725 Y2 JPH0219725 Y2 JP H0219725Y2 JP 1983039724 U JP1983039724 U JP 1983039724U JP 3972483 U JP3972483 U JP 3972483U JP H0219725 Y2 JPH0219725 Y2 JP H0219725Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tin oxide
- gas
- gas sensing
- sensing element
- sintered
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
この考案は、酸化スズ焼結体ガス検知素子にお
いて、酸化スズを主成分とする結合剤を用いて酸
化スズ半導体粒子を強固に焼結せしめて機械的強
度を改善し、かつガス感度の湿度依存性を抑制し
たガス検知素子に関するものである。
いて、酸化スズを主成分とする結合剤を用いて酸
化スズ半導体粒子を強固に焼結せしめて機械的強
度を改善し、かつガス感度の湿度依存性を抑制し
たガス検知素子に関するものである。
従来、SnO2，ZnO等金属酸化物焼結体のガス
検知素子においては、感ガス活性を維持するため
に、強固な焼結温度とされている1000℃以上の高
温度での焼結を行うことができないので、800℃
以下での低温焼結を行わなければならなかつた。
このため通常のセラミツクスに比べて著しく焼結
強度が弱く、一般使用時の衝撃や振動に耐えるだ
けの機械的強度が得られなかつた。したがつて、
ガス検知素子の機械的強度を上げるため種々の提
案がなされており、また、現在市販のガス検知素
子には有機ケイ素化合物によるシリカが結合剤と
して使用されており、その他研究開発段階のもの
にもシリカゾル等が用いられている。
検知素子においては、感ガス活性を維持するため
に、強固な焼結温度とされている1000℃以上の高
温度での焼結を行うことができないので、800℃
以下での低温焼結を行わなければならなかつた。
このため通常のセラミツクスに比べて著しく焼結
強度が弱く、一般使用時の衝撃や振動に耐えるだ
けの機械的強度が得られなかつた。したがつて、
ガス検知素子の機械的強度を上げるため種々の提
案がなされており、また、現在市販のガス検知素
子には有機ケイ素化合物によるシリカが結合剤と
して使用されており、その他研究開発段階のもの
にもシリカゾル等が用いられている。
しかしながら、これらの結合剤を用いて焼結し
たものにはSiO2やAl2O3が残存し、このシリカや
アルミナが非常に吸湿性であるために、ガス検知
素子としてのガス感度の湿度依存性が大きく、ま
た、高湿雰囲気中での経時変化を生ずる等の欠点
があつた。
たものにはSiO2やAl2O3が残存し、このシリカや
アルミナが非常に吸湿性であるために、ガス検知
素子としてのガス感度の湿度依存性が大きく、ま
た、高湿雰囲気中での経時変化を生ずる等の欠点
があつた。
この考案は、上記の欠点を解消するためになさ
れたもので、シリカやアルミナ系の結合剤を使用
することなく、酸化スズ粉末を使用して焼結を行
い、ガス検知素子の湿度依存性を抑制したもので
ある。以下この考案について説明する。
れたもので、シリカやアルミナ系の結合剤を使用
することなく、酸化スズ粉末を使用して焼結を行
い、ガス検知素子の湿度依存性を抑制したもので
ある。以下この考案について説明する。
まず。この考案はガス検知素子に使用する酸化
スズの超微粒子が低温での焼結性にすぐれている
ことに着目し、従来用いられている200Å以上の
粒径のものに、さらに超微粒子化したもの（平均
粒径50Å）を混合して焼結することにより実用に
耐えうる機械的強度が得られたものである。
スズの超微粒子が低温での焼結性にすぐれている
ことに着目し、従来用いられている200Å以上の
粒径のものに、さらに超微粒子化したもの（平均
粒径50Å）を混合して焼結することにより実用に
耐えうる機械的強度が得られたものである。
以下この考案の一実施例について説明する。
SnCl4水溶液から沈殿法によつて得られる水和
物の一次粒子径は20Å以下であり、これを200〜
300℃で脱水・気相酸化し、粉砕して平均粒径50
Åの超微粉を得る。この超微粉を粉体総重量の約
30％混合した後、水で練り、ペースト状とする。
次に白金膜ヒータと電極の付されたアルミナ基板
上にこのペーストを塗布、乾燥し、800℃／5hr焼
結することによりガス検知素子が得られる。
物の一次粒子径は20Å以下であり、これを200〜
300℃で脱水・気相酸化し、粉砕して平均粒径50
Åの超微粉を得る。この超微粉を粉体総重量の約
30％混合した後、水で練り、ペースト状とする。
次に白金膜ヒータと電極の付されたアルミナ基板
上にこのペーストを塗布、乾燥し、800℃／5hr焼
結することによりガス検知素子が得られる。
第１図はこの考案によるガス検知素子のメタン
ガス感度の湿度依存性を示す特性図であり、第２
図は同じく従来のガス検知素子の特性図である。
これらの図において、特性曲線Ａはこの考案のガ
ス検知素子、特性曲線Ｂは従来のガス検知素子で
それぞれメタンガス500ppmに対するセンサ出力
の絶対湿度（mmHg）に対する依存性を示したも
のである。
ガス感度の湿度依存性を示す特性図であり、第２
図は同じく従来のガス検知素子の特性図である。
これらの図において、特性曲線Ａはこの考案のガ
ス検知素子、特性曲線Ｂは従来のガス検知素子で
それぞれメタンガス500ppmに対するセンサ出力
の絶対湿度（mmHg）に対する依存性を示したも
のである。
第１図からこの考案のガス検知素子は絶対湿度
20mmHg以下においてもセンサ出力（mV）がほ
とんど変化しないことがわかる。
20mmHg以下においてもセンサ出力（mV）がほ
とんど変化しないことがわかる。
以上説明したように、この考案は、酸化スズ焼
結体を用いたガス検知素子において、酸化ス超微
粒子を酸化スズ微粒子を主成分とする結合剤を用
いて固結し焼結したので、低温で焼結を行つても
機械的強度の強いガス検知素子が得られ、かつ湿
度依存性が小さく、高湿雰囲気中での経時変化が
少ない利点がある。
結体を用いたガス検知素子において、酸化ス超微
粒子を酸化スズ微粒子を主成分とする結合剤を用
いて固結し焼結したので、低温で焼結を行つても
機械的強度の強いガス検知素子が得られ、かつ湿
度依存性が小さく、高湿雰囲気中での経時変化が
少ない利点がある。
第１図および第２図はこの考案によるガス検知
素子と従来のガス検知素子とのメタンガス中にお
ける湿度依存性をそれぞれ示す特性図である。 図中、Ａはこの考案のガス検知素子の特性曲
線、Ｂは従来のガス検知素子の特性曲線である。
素子と従来のガス検知素子とのメタンガス中にお
ける湿度依存性をそれぞれ示す特性図である。 図中、Ａはこの考案のガス検知素子の特性曲
線、Ｂは従来のガス検知素子の特性曲線である。
Claims (1)
- 酸化スズ焼結体を用いたガス検知素子におい
て、酸化スズ微粒子を酸化スズ超微粒子を主成分
とする結合剤を用いて固結し焼結したことを特徴
とするガス検知素子。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3972483U JPS59146759U (ja) | 1983-03-22 | 1983-03-22 | ガス検知素子 |
| KR1019830006122A KR870001325B1 (ko) | 1982-12-28 | 1983-12-22 | 가스검지소자 |
| EP19840300573 EP0115953B1 (en) | 1983-02-03 | 1984-01-30 | Gas sensor |
| DE8484300573T DE3476270D1 (en) | 1983-02-03 | 1984-01-30 | Gas sensor |
| US06/579,926 US4509034A (en) | 1983-03-22 | 1984-02-14 | Gas sensor |
| CA000448323A CA1196990A (en) | 1983-03-22 | 1984-02-27 | Gas sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3972483U JPS59146759U (ja) | 1983-03-22 | 1983-03-22 | ガス検知素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59146759U JPS59146759U (ja) | 1984-10-01 |
| JPH0219725Y2 true JPH0219725Y2 (ja) | 1990-05-30 |
Family
ID=30170359
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3972483U Granted JPS59146759U (ja) | 1982-12-28 | 1983-03-22 | ガス検知素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59146759U (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5029358A (ja) * | 1973-07-07 | 1975-03-25 | ||
| JPS5722549A (en) * | 1980-07-16 | 1982-02-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Gas sensor and manufacture thereof |
-
1983
- 1983-03-22 JP JP3972483U patent/JPS59146759U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59146759U (ja) | 1984-10-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3644795A (en) | Gas detecting element and method of making it | |
| JP3097287B2 (ja) | ガスセンサ及びその製造方法 | |
| JPH0219725Y2 (ja) | ||
| JPH0579940B2 (ja) | ||
| US4509034A (en) | Gas sensor | |
| JPH0540102A (ja) | ガスセンサ | |
| JPS6152422B2 (ja) | ||
| JPS627497B2 (ja) | ||
| JPH04335149A (ja) | ガスセンサ | |
| JP3202274B2 (ja) | サーミスタ用組成物 | |
| JPS63271150A (ja) | 接触燃焼式一酸化炭素ガスセンサ− | |
| JPS63171352A (ja) | ガスセンサの湿度依存性改良方法 | |
| JPS63158802A (ja) | 感湿組成物 | |
| JPH0684945B2 (ja) | 可燃性ガスセンサ | |
| JPS60263402A (ja) | 感湿材料 | |
| JPS5987348A (ja) | 可燃性ガス検知素子 | |
| JPH05196591A (ja) | 湿度センサ | |
| JPS62243206A (ja) | 誘電体磁器組成物 | |
| JPS58206102A (ja) | 感湿素子の製造方法 | |
| JPS61147138A (ja) | 感湿材料 | |
| JPS628501A (ja) | 湿度センサ及びその製造方法 | |
| JPS58141502A (ja) | 感湿素子 | |
| JPS6161521B2 (ja) | ||
| JPS61164202A (ja) | 感湿抵抗体の製造方法 | |
| JPH05264494A (ja) | 感湿素子 |