JPS63158802A - 感湿組成物 - Google Patents
感湿組成物Info
- Publication number
- JPS63158802A JPS63158802A JP61305392A JP30539286A JPS63158802A JP S63158802 A JPS63158802 A JP S63158802A JP 61305392 A JP61305392 A JP 61305392A JP 30539286 A JP30539286 A JP 30539286A JP S63158802 A JPS63158802 A JP S63158802A
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- Japan
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- oxide
- component
- humidity
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- Granted
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は相対湿度を電気抵抗値の変化として検出する感
湿素子組成物に関する。
湿素子組成物に関する。
従来、感湿素子組成物としては、■塩化リチウムなどの
電解質塩を用いたもの、■ポリアミド、ポリエチレンな
どの有機高分子膜を利用したもの、■Se、 Geなと
の金属半導体を用いたもの、■酸化チタン系、酸化アル
ミニウム系、酸化錫系などの金属酸化物焼結体を利用し
たものが知られている。この中で金属酸化物焼結体を用
いたものは、有機高分子膜などの他の感湿素子組成物よ
りも化学的、物理的に安定である長所を有し、感湿素子
組成物として有力といわれている。
電解質塩を用いたもの、■ポリアミド、ポリエチレンな
どの有機高分子膜を利用したもの、■Se、 Geなと
の金属半導体を用いたもの、■酸化チタン系、酸化アル
ミニウム系、酸化錫系などの金属酸化物焼結体を利用し
たものが知られている。この中で金属酸化物焼結体を用
いたものは、有機高分子膜などの他の感湿素子組成物よ
りも化学的、物理的に安定である長所を有し、感湿素子
組成物として有力といわれている。
しかしながら、金属酸化物焼結体は一般に、■固有抵抗
値が高く実用的な抵抗値範囲になく、特に低湿度領域に
おいて急激に感湿組成物の抵抗が高くなり、低湿度域の
測定が困難である、■湿分の吸脱着時での感湿特性にヒ
ステリシスがある、■冷熱衝撃に弱く感湿特性が劣化す
る、■金属酸化物焼結体の表面に水酸化物汚れが付着し
感湿特性が劣化するため、その対策として定期的に加熱
クリーニングする必要がある、等の欠点を有している。
値が高く実用的な抵抗値範囲になく、特に低湿度領域に
おいて急激に感湿組成物の抵抗が高くなり、低湿度域の
測定が困難である、■湿分の吸脱着時での感湿特性にヒ
ステリシスがある、■冷熱衝撃に弱く感湿特性が劣化す
る、■金属酸化物焼結体の表面に水酸化物汚れが付着し
感湿特性が劣化するため、その対策として定期的に加熱
クリーニングする必要がある、等の欠点を有している。
このため信顧性が高く、しかも低湿度域の正確な計測が
可能な感湿素子の開発が望まれている。
可能な感湿素子の開発が望まれている。
本発明は、■固有抵抗値が低く実用的な抵抗値範囲にあ
り、特に低湿度域での抵抗値が低く40%以下の湿度の
測定が可能で、■湿分の吸脱着時での感湿特性に殆どヒ
ステリシスがなく、■冷熱衝撃に強く、■特別な加熱ク
リーニングが不必要な信顧性の高い感湿素子を提供しよ
うとするものである。
り、特に低湿度域での抵抗値が低く40%以下の湿度の
測定が可能で、■湿分の吸脱着時での感湿特性に殆どヒ
ステリシスがなく、■冷熱衝撃に強く、■特別な加熱ク
リーニングが不必要な信顧性の高い感湿素子を提供しよ
うとするものである。
すなわち本発明の感湿素子組成物は、
(a)酸化チタン
(b)酸化銅または亜酸化銅、及び
(c)一般式(1)で表されるカルコゲンオキソ酸塩か
らなる感湿組成物 A、B、O,(I) (式中、^はアルカリ金属、Bはイオウ、セレンもしく
はテルル原子、0は酸素原子、Xは2、yは1〜5、z
は2〜7の数を表す)である。
らなる感湿組成物 A、B、O,(I) (式中、^はアルカリ金属、Bはイオウ、セレンもしく
はテルル原子、0は酸素原子、Xは2、yは1〜5、z
は2〜7の数を表す)である。
本発明において、(a)酸化チタンは金属塩、金属酸化
物、アルコキシドなどを熱分解して生成したものでよく
、酸化チタンの構造はルチル、アナターゼなど特に限定
するものではない。
物、アルコキシドなどを熱分解して生成したものでよく
、酸化チタンの構造はルチル、アナターゼなど特に限定
するものではない。
(b)酸化銅または亜酸化銅は金属塩、金属酸化物、ア
ルコキシドなどを熱分解した生成物でもよい。
ルコキシドなどを熱分解した生成物でもよい。
本発明においてカルコゲンオキソ酸塩は下記一般式(1
)で表されるものである。
)で表されるものである。
A、B、0. (1)
(式中、Aはアルカリ金属、Bはイオウ、セレンもしく
はテルル原子、0は酸素原子、Xは2、yは1〜5、z
は2〜7の数を表す) イオウのオキソ酸塩として、具体的にはスルホキシル酸
塩、亜硫酸塩、重亜硫酸塩(メタ重亜硫酸塩)、亜ニチ
オン酸塩、二値酸塩(ピロ硫酸塩)、チオ硫酸塩、チオ
ン酸塩が例示される。セレンのオキソ酸塩としては、具
体的には亜セレン酸塩、セレン酸塩が例示され、テルル
のオキソ酸塩としては具体的には亜テルル酸塩、テルル
酸塩が例示される。
はテルル原子、0は酸素原子、Xは2、yは1〜5、z
は2〜7の数を表す) イオウのオキソ酸塩として、具体的にはスルホキシル酸
塩、亜硫酸塩、重亜硫酸塩(メタ重亜硫酸塩)、亜ニチ
オン酸塩、二値酸塩(ピロ硫酸塩)、チオ硫酸塩、チオ
ン酸塩が例示される。セレンのオキソ酸塩としては、具
体的には亜セレン酸塩、セレン酸塩が例示され、テルル
のオキソ酸塩としては具体的には亜テルル酸塩、テルル
酸塩が例示される。
感湿素子組成物における(a)酸化チタン(b)酸化銅
または亜酸化銅及び(c)カルコゲンオキソ酸塩の割合
は、(a)成分、(b)成分及び(c)成分の和を基準
として通常、(a)成分が50〜98モル%、(b)成
分が 1〜40モル%、(c)成分が1〜10モル%で
ある。
または亜酸化銅及び(c)カルコゲンオキソ酸塩の割合
は、(a)成分、(b)成分及び(c)成分の和を基準
として通常、(a)成分が50〜98モル%、(b)成
分が 1〜40モル%、(c)成分が1〜10モル%で
ある。
上記の組成範囲で各成分を混合後、適正な焼結条件によ
り得られる焼結体の感湿特性は下記の式(II)の規則
性に極めて良(合致し、簡単な対数変換回路によって正
確な湿度表示が行える。特に低湿度領域(RH・40%
以下)での計測精度が著しく向上した。
り得られる焼結体の感湿特性は下記の式(II)の規則
性に極めて良(合致し、簡単な対数変換回路によって正
確な湿度表示が行える。特に低湿度領域(RH・40%
以下)での計測精度が著しく向上した。
H=logK + a
(II))l:相対湿度 K:インピーダンスa
:定数 本発明の感湿素子組成物は通常の磁器製造技術により次
のように製造することができる。
(II))l:相対湿度 K:インピーダンスa
:定数 本発明の感湿素子組成物は通常の磁器製造技術により次
のように製造することができる。
まず、各成分をそれぞれ所定量秤量した後、これらを乾
式またはメチルアルコールなどの混合溶媒を用いた湿式
法によってボールミル、振動ミルなどで十分混合する。
式またはメチルアルコールなどの混合溶媒を用いた湿式
法によってボールミル、振動ミルなどで十分混合する。
その後、得られた混合物を乾燥し、必要に応じて適当な
温度で仮焼後、粉砕して原料粉体が調整される。これら
の原料粉体はそのまま乾式で成形してもよいし、例えば
ポリビニルアルコール、ポリエチレングリコールなどの
結合剤と共に混練して混練物を調製し、乾燥後、成形し
てもよい。この成形体は常法により分子状酸素の存在下
に(通常、空気中で)焼結して焼結体とする。焼結体は
、通常、気孔率10〜55%、気孔径1μ以下の多孔構
造が好ましい。
温度で仮焼後、粉砕して原料粉体が調整される。これら
の原料粉体はそのまま乾式で成形してもよいし、例えば
ポリビニルアルコール、ポリエチレングリコールなどの
結合剤と共に混練して混練物を調製し、乾燥後、成形し
てもよい。この成形体は常法により分子状酸素の存在下
に(通常、空気中で)焼結して焼結体とする。焼結体は
、通常、気孔率10〜55%、気孔径1μ以下の多孔構
造が好ましい。
本発明の感湿素子組成物は、通常、原料粉末の粒径0.
1〜3u、成形圧50〜1000Kg/cm”、成形体
の焼結温度500〜1200°C1焼結時間0.5〜3
時間の条件を設定することにより得られる。
1〜3u、成形圧50〜1000Kg/cm”、成形体
の焼結温度500〜1200°C1焼結時間0.5〜3
時間の条件を設定することにより得られる。
このようにして得られた焼結体は、必要に応じて研磨し
た後、例えば金ペースト、白金ペースト、酸化ルテニウ
ムペーストなどの常用されるペーストを使用して電極を
形成し、感湿素子を製造することができる。また厚膜法
を用いて量産性を上げ、低価格化することが可能である
。
た後、例えば金ペースト、白金ペースト、酸化ルテニウ
ムペーストなどの常用されるペーストを使用して電極を
形成し、感湿素子を製造することができる。また厚膜法
を用いて量産性を上げ、低価格化することが可能である
。
以下に実施例をあげて説明する。
実施例1
酸化チタン、酸化銅及び亜テルル酸ナトリウム(Nat
TeOi)をモル比で82%、15%、3%となるよう
に秤量し、ボットミルで16時時間式で混合した。得ら
れた混合物を140”Cで4時間乾燥し、造粒して原料
粉体を調製した。この原料粉体を500Kg/ca+”
の条件で加圧成形し、直径7蒙−Φ、厚さ約0.7m+
mの円盤状圧密体を作った。この圧密体を900℃、3
時間焼成した後、焼結体の片面に酸化ルテニウムペース
トを櫛状にスクリーン印刷して、約850℃で焼付を行
った。
TeOi)をモル比で82%、15%、3%となるよう
に秤量し、ボットミルで16時時間式で混合した。得ら
れた混合物を140”Cで4時間乾燥し、造粒して原料
粉体を調製した。この原料粉体を500Kg/ca+”
の条件で加圧成形し、直径7蒙−Φ、厚さ約0.7m+
mの円盤状圧密体を作った。この圧密体を900℃、3
時間焼成した後、焼結体の片面に酸化ルテニウムペース
トを櫛状にスクリーン印刷して、約850℃で焼付を行
った。
このようにして製造した感湿素子について恒温槽で、雰
囲気温度25℃に保ち、相対湿度を5〜100χまで変
化させ、そのときの抵抗値変化を調べた。
囲気温度25℃に保ち、相対湿度を5〜100χまで変
化させ、そのときの抵抗値変化を調べた。
その結果を第1表に示す。
なお比較のため、酸化チタン、亜テルル酸ナトリウムが
モル比96.5.3.5%である焼結体の感湿特性を第
1表に併記する。
モル比96.5.3.5%である焼結体の感湿特性を第
1表に併記する。
第1表
実施例2
実施例1における亜酸化銅を酸化銅に代えて実施例1と
同様の操作で焼結体を製作し、その感湿特性を調べた。
同様の操作で焼結体を製作し、その感湿特性を調べた。
その結果を第2表に示す。
第2表
実施例3
酸化チタン、亜酸化銅、亜セレン酸カリウム(KzSe
Os)をモル%で82%、15%、3%となるように秤
量し、実施例1と同様の混合、成形、焼結操作によって
得られた焼結体を雰囲気温度25°C1相対湿度98χ
の雰囲気で24時間放置した後、同上雰囲気温度で相対
湿度20〜80Xの範囲で感湿特性のヒステリシスを調
べた。その結果を第2図に示す。
Os)をモル%で82%、15%、3%となるように秤
量し、実施例1と同様の混合、成形、焼結操作によって
得られた焼結体を雰囲気温度25°C1相対湿度98χ
の雰囲気で24時間放置した後、同上雰囲気温度で相対
湿度20〜80Xの範囲で感湿特性のヒステリシスを調
べた。その結果を第2図に示す。
第2図から明らかなように、この組成の焼結体の感湿特
性におけるヒステリシスは±2xRH以内であり、相対
湿度98χ、24時間放置という負荷にもかかわらず、
極めて小さいヒステリシスであることがわかる。
性におけるヒステリシスは±2xRH以内であり、相対
湿度98χ、24時間放置という負荷にもかかわらず、
極めて小さいヒステリシスであることがわかる。
本発明によれば、従来の感湿素子組成物と比較して、固
有抵抗が低く実用的な抵抗値範囲にあり、特に低湿度域
での抵抗値が低く、40χRH以下の湿度の測定が可能
であり、湿分の吸脱着時での感湿特性に殆どヒステリシ
スがなく、特別な加熱クリーニングが不要な信頼性の高
い感湿素子組成物を提供することができる。
有抵抗が低く実用的な抵抗値範囲にあり、特に低湿度域
での抵抗値が低く、40χRH以下の湿度の測定が可能
であり、湿分の吸脱着時での感湿特性に殆どヒステリシ
スがなく、特別な加熱クリーニングが不要な信頼性の高
い感湿素子組成物を提供することができる。
第1図は本発明の感湿組成物を用いた感湿素子の一つの
形態を示す正面図である。第2図は感湿特性の高温放置
後のヒステリシスを示すグラフである。 図中、1は電極、2は感湿組成物を示す。
形態を示す正面図である。第2図は感湿特性の高温放置
後のヒステリシスを示すグラフである。 図中、1は電極、2は感湿組成物を示す。
Claims (2)
- (1)(a)酸化チタン (b)酸化銅または亜酸化銅、及び (c)一般式( I )で表されるカルコゲンオキソ酸塩
からなる感湿組成物 A_xB_yO_z( I ) (式中、Aはアルカリ金属、Bはイオウ、セレンもしく
はテルル原子、Oは酸素原子、xは2、yは1〜5、z
は2〜7の数を表す) - (2)(a)成分、(b)成分及び(c)成分の和を基
準として (a)成分が50〜98モル%、 (b)成分が1〜40モル%、 (c)成分が1〜10モル% である特許請求の範囲第1項記載の組成物
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61305392A JPH0824082B2 (ja) | 1986-12-23 | 1986-12-23 | 感湿組成物 |
| US07/037,997 US4751022A (en) | 1986-04-24 | 1987-04-14 | Humidity-sensing component composition |
| KR1019870003699A KR910001859B1 (ko) | 1986-04-24 | 1987-04-17 | 감습소자 조성물 |
| EP87105802A EP0242834B1 (en) | 1986-04-24 | 1987-04-21 | Humidity-sensing component composition |
| MYPI87000514A MY102849A (en) | 1986-04-24 | 1987-04-21 | Humidity-sensing component composition |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61305392A JPH0824082B2 (ja) | 1986-12-23 | 1986-12-23 | 感湿組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63158802A true JPS63158802A (ja) | 1988-07-01 |
| JPH0824082B2 JPH0824082B2 (ja) | 1996-03-06 |
Family
ID=17944569
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61305392A Expired - Lifetime JPH0824082B2 (ja) | 1986-04-24 | 1986-12-23 | 感湿組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0824082B2 (ja) |
-
1986
- 1986-12-23 JP JP61305392A patent/JPH0824082B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0824082B2 (ja) | 1996-03-06 |
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