JPH02199280A - 真空ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は容器内を減圧して処理する半導体製造装置や食
料品の真空乾燥機などに用いられ、特に処理圧力を一定
に保つ排気系に使用される真空ポンプに関する。

〔従来の技術〕

従来、この種の真空ボンダは排気する機能だけしか持っ
ておらず、圧力を一定にして処理する装置においては、
装置本体内に容器と、真空ポンプの中間に圧力制御弁と
を備え、容器内の圧力を測定した結果から電気的に前記
圧力制御弁の開度を調節する方法を取っていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の真空ポンプは単に排気する機能だけのた
め、循環オイルの劣化や機構部品の損傷などによる排気
性能の低下に対して無防備であり、処理圧力を一定にす
べき装置においては■装置側で一定圧力を制御する機構
を持つ、■定期的に真空ポンプの排気性能を管理し、異
常時は交換する、 というどちらかの方法を取る必要があり、装置側での制
御機構を持たない■の場合は、真空ポンプの性能を常に
一定の最高値に維持するか、または吸気口側配管に手動
弁を組込み、排気性能に応じてその弁を操作する方法し
かなく、圧力安定性の低下及び管理工数が多くなるとい
う欠点がある。

本発明の目的は前記課題を解決した真空ボンダを提供す
ることにある。

〔発明の従来技術に対する相違点〕

上述した従来の真空ポンプに対し、本発明はポンプ本体
に圧力制御ユニットを組込み、吸気側圧力をあらかじめ
設定した圧力で安定させるという相違点を有する。

〔課題を解決するための手段〕

前記目的を達成するため、本発明は容器内を低圧に減圧
する真空ボンダにおいて、ポンプ本体に吸気側の圧力を
設定・制御するための圧力コントローラと、吸気側の圧
力を測定するための圧力センサ及び圧力を変化させるた
めの制御弁を持つ圧力制御ユニットとを有するものであ
る。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

（実施例１） 第１図は本発明の実施例１を示す構成図である。

１は圧力制御ユニットで油回転真空ポンプのポンプ本体
３の上部に搭載されている。２はボンブゲースである。

５は排気口である。吸気口４の圧力は圧力センサ６によ
り測定され、圧力コントローラ７であらかじめ設定され
た値と比較され、差がある場合は不活性ガス流量制御弁
８を調節し、Ｎ２供給口９からの吸気側へのガス流量を
増減して吸気口４の圧力を一定にする。

（実施例２） 第２図は本発明の実施例２を示す構成図である。

本実施例では圧力コントローラ７で設定した値に対して
圧力センサ６からの値が同じになるように圧力制御弁１
０の開度を調節する。この実施例では、圧力制御弁１０
を使用してメカニカルブースター真空ポンプ１１の吸気
側圧力を調節するが、不活性ガスを導入する方法と同じ
ように排気側圧力を一定に維持できるという利点がある
。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は真空ポンプに圧力制御ユニ
ットを組込むことにより、処理装置本体での圧力制御や
ポンプ性能維持のための管理が不要となる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例１を示す構成図、第２図は本発
明の実施例２を示す構成図である。 １・・・圧力制御ユニット　２・・・ボンダケース３・
・・ポンプ本体（油回転真空ポンプ）４・・・吸気口　
　　　　　５・・・排気口６・・・圧力センサ　　　　
７・・・圧力コントローラ８・・・不活性ガス流量制御
弁 ９・・・Ｎ１供給口　　　　１０・・・圧力制御弁１１
・・・メカニカルブースター真空ポング第１図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）容器内を低圧に減圧する真空ポンプにおいて、ポ
   ンプ本体に吸気側の圧力を設定・制御するための圧力コ
   ントローラと、吸気側の圧力を測定するための圧力セン
   サ及び圧力を変化させるための制御弁を持つ圧力制御ユ
   ニットとを有することを特徴とする真空ポンプ。