JPH02199286A - スクリュ式ポンプ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、例えば半導体の製造、食品の真空乾燥等に好
適なスクリュ式圧縮機、スクリュ式真空ポンプを含むス
クリュ式ポンプ装置に関する乙のである。

（従来の技術） 従来、例えば半導体の製造、食品の真空乾燥の分野では
、高レベルのクリーンな雰囲気を保つためにオイルフリ
ー式のスクリュ式真空ポンプが使用されている。

このスクリュ式真空ポンプは、ケーシングのロータ室内
に互いに噛み合う雌雄一対のスクリュロータを回転可能
に収納して、ロータ室内には潤滑油を供給せずに運転す
るようにして、潤滑油が装置停止時でも真空引きする箇
所に一切流れ込むことがないようになっている。即ち、
ロータ室内への潤滑油の供給がないので、雌雄一対のス
クリュロータ同志を、両者間の微小な隙間により非接触
状態を保ちつつ、互いに噛み合わさせて、上記ロータ室
とはシール手段によりしゃ断された室外にて両ロータ軸
に取り付けた噛み合い状態にある同期歯車により互いに
逆方向に同期回転させるように形成しである。

そして、油ポンプ、油クーラ、油フィルタを経由して、
上記スクリュロータの軸心部を通る潤滑油流路を設けて
スクリュロータの冷却を行っている。

（発明が解決しようとする課題） 上記従来の装置では、ロータの冷却は、ロータ軸径によ
り内径の上限が制限される貫通孔に潤滑油を循環させる
ことによりロータの冷却を行っている。換言すれば、冷
却用のこの貫通孔はロータ軸の長手方向に直線的に穿設
するため、ロータの歯部分にまで拡げた形状にすること
ができない。

この結果、ロータの歯部分の冷却が不十分となり、ロー
タの熱膨張による吸込部分と吐出部分のロータとケーシ
ング間の隙間の差がポンプの性能に悪い影響を与えると
いう問題がある。

本発明は、上記従来の問題点を課題としてなされたもの
で、ロータとケーシングとの間の隙間を吸込部分と吐出
部分とで一定に保ってポンプ性能の向上を可能としたス
クリュ式ポンプ装置を提供しようとするものである。

（課題を解決するための手段） 上記課題を解決するために、本発明は、ケーシングのロ
ータ室内に雌雄一対のスクリュロータ同志を、両者間の
微小な隙間により非接触状態を保ちつつ、互いに噛み合
わせて回転可能に収納し、上記ロータ室とはシール手段
によりしゃ断された室外にて、両ロータ軸に取付けた噛
み合い状態にある同期歯車により互いに逆方向に同期回
転させるようにしたスクリュ式ポンプ装置において、上
記ロータ軸の軸心部に冷却水流路を形成し、スクリュロ
ータの端面を溶接取付は構造として、スクリュロータ歯
内にも上記流路に開口した冷却水空間を形成した。

（作用） 上記のように構成することにより、ロータの歯、特に雄
ロータの歯の部分が十分に冷却され、ロータの熱膨張は
抑制される。

（実施例） 第１図、第２図は、本発明に係るスクリュ式真空ポンプ
を示し、ケーシング１のロータ室２内に雌雄一対のスク
リュロータ３．４同志を、両者間の微小な隙間により非
接触状態を保ちつつ、互いに噛み合わせて軸受５．６に
より回転可能に支持して収納し、上記ロータ室２とはシ
ール手段７によりしゃ断された室外にて、両ロータ軸８
．９に取付けた噛み合い状態にある同期歯車１０．１１
により互いに逆方向に同期回転するように形成しである
。また、ケーシングｌは水冷用ジャケット１２を有して
いる。そして、回転駆動手段、例えば本実施例では高周
波モータ１３により雄ロータ４を回転駆動し、同期歯車
１０．１１を介して雄ロータ４に同期させて雌ロータ３
を回転させるようになっている。

一方、雄ロータ４のロータ軸８の軸心部には冷却水流路
Ｉ４が形成しである。また、雄ロータ４は端面１５を溶
接取付は構造にして、端面１５を取付ける前に上記冷却
水流路１４に開口し、かつ雄ロータ４の歯の部分にまで
及ぶ冷却水空間１６を形成した後、端面１５を溶接によ
り取付けるようにしである。そして、第１図中左側の冷
却水ノズル１７より雄ロータ４の冷却のための水を注入
し、冷却水空間１６を経て、ロータおよびガスを冷却し
た後、昇温した冷却水を軸受部分の水抜き孔１８より遠
心力により水冷用ジャケット１２内に排出するように形
成しである。

なお、雄ロータの仕上げ切削は端面１５を取付けた後に
行えばよい。

また、上記実施例では、スクリュ式真空ポンプについて
説明したが、本発明はスクリュ式圧縮機も含むものであ
る。

（発明の効果） 以上の説明より明らかなように、本発明によれば、ケー
シングのロータ室内に雌雄一対のスクリュロータ同志を
、両者間の微小な隙間により非接触状態を保ちつつ、互
いに噛み合わせて回転可能に収納し、上記ロータ室とは
シール手段によりしゃ断された室外にて、両ロータ軸に
取付けた噛み合い状態にある同期歯車により互いに逆方
向に同期回転させるようにしたスクリュ式ポンプ装置に
おいて、上記ロータ軸の軸心部に冷却水流路を形成し、
スクリュロータの端面を溶接取付は構造として、スクリ
ュロータ歯内にも上記流路に開口した冷却水空間を形成
しである。

このため、ロータの歯の部分が十分冷却され、ロータの
熱膨張を抑えて、吸込部分と吐出部分とでケーシングと
ロータとの隙間を一定に保ち、ポンプの性能を向上させ
ることができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るスクリュ式真空ポンプの一部破断
正面図、第２図は第１図中の雄ロータの断面図である。 ■・・・ケーシング、２・・・ロータ室、３．４・・・
スクリュロータ、８・・・ロータ軸、１０．１１・・・
同期歯車、１４・・・冷却水流路、１５・・・端面、１
６・・・冷却水空間。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）ケーシングのロータ室内に雌雄一対のスクリュロ
   ータ同志を、両者間の微小な隙間により非接触状態を保
   ちつつ、互いに噛み合わせて回転可能に収納し、上記ロ
   ータ室とはシール手段によりしゃ断された室外にて、両
   ロータ軸に取付けた噛み合い状態にある同期歯車により
   互いに逆方向に同期回転させるようにしたスクリュ式ポ
   ンプ装置において、上記ロータ軸の軸心部に冷却水流路
   を形成し、スクリュロータの端面を溶接取付け構造とし
   て、スクリュロータ歯内にも上記流路に開口した冷却水
   空間を形成したことを特徴とするスクリュ式ポンプ装置
   。