JPH02199375A - 複合式非接触シール装置 - Google Patents
複合式非接触シール装置Info
- Publication number
- JPH02199375A JPH02199375A JP1856489A JP1856489A JPH02199375A JP H02199375 A JPH02199375 A JP H02199375A JP 1856489 A JP1856489 A JP 1856489A JP 1856489 A JP1856489 A JP 1856489A JP H02199375 A JPH02199375 A JP H02199375A
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- JP
- Japan
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- sealing
- seal
- sealing ring
- rotary
- stationary
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- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
[産業上の利用分野]
本発明は非接触シール装置に係り、特にオリフィス形非
接触シールとグループ形非接触シールとを組み合わせた
複合式非接触シール装置に関する。 [従来の技術] 従来より1機内の低圧(例えば真空)状態を保持してお
く必要のある被軸封機器において、その軸封部に適用さ
れるシール装置として、第4図に示す複合式非接触シー
ル装置が知られている。 この種のシール装置は、被軸封機器の回転部材1(図示
例では回転軸IAと同時回転する回転スリーブIB)と
同時回転する回転密封環2Aを設けた回転側シール要素
2と、被軸封機器のケーシング3側のフランジ3Aに1
周方向等間隔で配置した複数の回り止めピン3Bを介し
て回転不能に保持され、かつスプリング3Cにより回転
密封環2A側に常時付勢される静止密封環4Aを設けた
固定側シール要素4を有し、静止密封環4Aのシール面
4aに周溝4bを形成するとともに、この周溝4bに開
口するオリフィス5aを介設した絞り通路5が形成され
ている。 また、絞り通路5の入口には管路6を介してシール流体
供給源7が接続され、このシール流体供給源7から管路
6および絞り通路5を通してシール流体(例えばN2ガ
ス等の不活性ガス)を供給圧として静止密封環4Aと回
転密封環2Aのシール面4a、2aの間に導入するよう
になっている。そして、この導入された流体がシール面
4a、2aに作用してシール面4aをシール面2aから
離す方向に付勢し、シール面4aをシール面2aに当接
させる方向に付勢しているスプリング3Cのばね力との
バランス点の圧力、つまりポケット圧によってシール面
4a、2a間に例えば5〜20gm程度の狭いシール隙
間を形成する。 一方、回転密封環2Aのシール面2aには、例えば第5
図に示すように、回転方向(矢印a)に前進角を有して
周方向に交差し、かつその終端が高圧(例えば大気圧)
機外側Yに開口している複数のグループ8が形成されて
いる。したがって、回転密封環2Aが回転すると、その
回転方向に前進角を有する複数のグループ8に機外側Y
の流体(例えば空気)が進入して、シール面2a 、
4aの間に動圧を発生させることになる。 即ち、前記シール隙間は、主としてシール流体供給源7
.管路および絞り通路5を通って、シール面4a、2a
の間にシール流体を供給圧として導入させることによっ
て、スプリング3Cのばね力とのバランス点で生じるポ
ケット圧によって形成され、回転密封環2Aの回転時に
おいて複数のグループ8から流体が進入することによっ
て生じる動圧を補助的に作用させるようにして、低圧機
内側Xと高圧機外側Yを非接触状態でシールするように
構成されている。 [発明が解決しようとする課題] ところが、前記従来の複合式非接触シール装置では、管
路6においてシール流体の移動が不能な異常事態を生じ
て、供給圧が0に近ずくと、ポケット圧が低下し、該ポ
ケット圧とスプリング3Cのばね力とのバランス点が損
なわれて所定のシール隙間を形成し得なくなる。この場
合でも、グループ8の作用によって生じる動圧がシール
面2a、4aに負荷されてはいるけれども、この動圧は
前述の供給圧と比較して著しく小さく補助的なものであ
るから、静止密封環4Aがスプリング3Cのばね力によ
って回転密封環2A側に移動して、シール面4a、2a
同士が接触してシール破壊を生じるごとになる。 また、複数のグループ8は、それぞれの終端を高圧機外
側Yに開口して形成しであるので、機外側流体とともに
オイルミスト等の異物がシール面2a、4a間に巻き込
まれるおそれを有し、異物がシール面2a、4a間に巻
き込まれると、この異物が低圧機内側Xに浸入する不都
合を生じることになる。 本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、管路
においてシール流体の移動が不能な異常事態を生じて、
供給圧が低下したとしても、所定時間シール隙間を保持
しておくことの可能なポケット圧を確保して、シール面
同士の接触を回避して、シール破壊を防止するとともに
、オイルミスト等の異物が高圧機外側からシール面の間
に巻き込まれず、したがって異物が低圧機内側に浸入す
る不都合を確保に防止できる複合式非接触シール装置の
提供を目的としている。
接触シールとグループ形非接触シールとを組み合わせた
複合式非接触シール装置に関する。 [従来の技術] 従来より1機内の低圧(例えば真空)状態を保持してお
く必要のある被軸封機器において、その軸封部に適用さ
れるシール装置として、第4図に示す複合式非接触シー
ル装置が知られている。 この種のシール装置は、被軸封機器の回転部材1(図示
例では回転軸IAと同時回転する回転スリーブIB)と
同時回転する回転密封環2Aを設けた回転側シール要素
2と、被軸封機器のケーシング3側のフランジ3Aに1
周方向等間隔で配置した複数の回り止めピン3Bを介し
て回転不能に保持され、かつスプリング3Cにより回転
密封環2A側に常時付勢される静止密封環4Aを設けた
固定側シール要素4を有し、静止密封環4Aのシール面
4aに周溝4bを形成するとともに、この周溝4bに開
口するオリフィス5aを介設した絞り通路5が形成され
ている。 また、絞り通路5の入口には管路6を介してシール流体
供給源7が接続され、このシール流体供給源7から管路
6および絞り通路5を通してシール流体(例えばN2ガ
ス等の不活性ガス)を供給圧として静止密封環4Aと回
転密封環2Aのシール面4a、2aの間に導入するよう
になっている。そして、この導入された流体がシール面
4a、2aに作用してシール面4aをシール面2aから
離す方向に付勢し、シール面4aをシール面2aに当接
させる方向に付勢しているスプリング3Cのばね力との
バランス点の圧力、つまりポケット圧によってシール面
4a、2a間に例えば5〜20gm程度の狭いシール隙
間を形成する。 一方、回転密封環2Aのシール面2aには、例えば第5
図に示すように、回転方向(矢印a)に前進角を有して
周方向に交差し、かつその終端が高圧(例えば大気圧)
機外側Yに開口している複数のグループ8が形成されて
いる。したがって、回転密封環2Aが回転すると、その
回転方向に前進角を有する複数のグループ8に機外側Y
の流体(例えば空気)が進入して、シール面2a 、
4aの間に動圧を発生させることになる。 即ち、前記シール隙間は、主としてシール流体供給源7
.管路および絞り通路5を通って、シール面4a、2a
の間にシール流体を供給圧として導入させることによっ
て、スプリング3Cのばね力とのバランス点で生じるポ
ケット圧によって形成され、回転密封環2Aの回転時に
おいて複数のグループ8から流体が進入することによっ
て生じる動圧を補助的に作用させるようにして、低圧機
内側Xと高圧機外側Yを非接触状態でシールするように
構成されている。 [発明が解決しようとする課題] ところが、前記従来の複合式非接触シール装置では、管
路6においてシール流体の移動が不能な異常事態を生じ
て、供給圧が0に近ずくと、ポケット圧が低下し、該ポ
ケット圧とスプリング3Cのばね力とのバランス点が損
なわれて所定のシール隙間を形成し得なくなる。この場
合でも、グループ8の作用によって生じる動圧がシール
面2a、4aに負荷されてはいるけれども、この動圧は
前述の供給圧と比較して著しく小さく補助的なものであ
るから、静止密封環4Aがスプリング3Cのばね力によ
って回転密封環2A側に移動して、シール面4a、2a
同士が接触してシール破壊を生じるごとになる。 また、複数のグループ8は、それぞれの終端を高圧機外
側Yに開口して形成しであるので、機外側流体とともに
オイルミスト等の異物がシール面2a、4a間に巻き込
まれるおそれを有し、異物がシール面2a、4a間に巻
き込まれると、この異物が低圧機内側Xに浸入する不都
合を生じることになる。 本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、管路
においてシール流体の移動が不能な異常事態を生じて、
供給圧が低下したとしても、所定時間シール隙間を保持
しておくことの可能なポケット圧を確保して、シール面
同士の接触を回避して、シール破壊を防止するとともに
、オイルミスト等の異物が高圧機外側からシール面の間
に巻き込まれず、したがって異物が低圧機内側に浸入す
る不都合を確保に防止できる複合式非接触シール装置の
提供を目的としている。
前記目的を達成するために、本発明は、静止密封環に形
成され該静止密封環のシール面に開口する通路とシール
流体供給源とを接続する管路に。 前記通路をシール流体供給源と補助シール流体供給源に
切り換えて接続させる。切換え機構を介設し、かつ複数
のグループそれぞれの始端および終端をシール面内に設
定して形成したものである。 [作用] 本発明によれば、管路においてシール流体の移動が不能
になる異常事態を生じて、シール流体供給源からの供給
圧が低下すると、この状態が検出され切換え機構を切換
える。これにより、補助シ−ル流体供給源から管路およ
び通路を通つ−C補助シール流体が静止密封環と回転密
封環のシール面の間に送り込まれる。 シール面の間に送り込まれた補助シール流体は、始端お
よび終端をそれぞれ回転密封環のシール面内に設定して
形成した複数のグループに捕捉されることになる。その
ため、スプリングのばね力に抗して所定のシール間隙を
形成するのに必要なポケット圧が発生して、シール面同
士の接触を回避する。 また、前述のように始端および終端をそれぞれ回転密封
環のシール面内に設定して形成した複数のグループでは
、高圧機外側流体およびオイルミスト等の異物をシール
面間に巻き込むことがない、そのため、異物の低圧機内
側への浸入を防止できる。 [実施例] 以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明
する。 第1図は本発明に係る複合式非接触シール装置の半裁断
面図、第2図は回転密封環の半裁正面図である。なお本
発明の特徴は、通路をシール流体供給源と、補助シール
流体供給源に切り換えて接続させる切換え機構を管路に
介設したことと、複数のグループそれぞれの始端および
終端を回転密封環のシール面内に設定して形成した構成
に係り、これらを除く他の部材およびその構成は従来例
と異ならないので、第1図および第2図において、第4
図および第5図に相当する部分には、それぞれ同一符号
を付して、その詳細な説明は省略する。 第1図および第2図において、管路6に切換機構9が介
設されている。この切換機構9は、例えば切換電磁弁に
よってなり、そのメインボート9aがシール流体供給源
7に接続され、補助ボート9bが例えばN2ガス等の不
活性ガスを充填した補助用のバッファタンクによってな
る補助シール流体供給源10に接続されている。 また、複数のグループ8それぞれの始端8aおよび終端
8bを回転密封環2Aのシール面2a内に設定して形成
しである。なおこれらグループ8の深さは1〜5pmの
範囲とし、シール面2aに範囲に設定している。 前記構成において、通常、切換機構9はそのメインボー
ト9aと共通ボート9Cとを連通させるように保持され
ている。したがって、シール流体供給源7から管路6お
よび絞り通路5を通してシール流体(例えばN2ガス等
の不活性ガス)が供給圧として静止密封環4Aと回転密
封環2Aのシール面4a、2aの間に導入され、この導
入された流体がシール面4a、2aに作用してシール面
4aをシール面2aから離す方向に付勢し、シール面4
aをシール面2aに当接させる方向に付勢しているスプ
リング3Cのばね力とのバランス点の圧力、つまりポケ
ット圧によってシール面4a、2a間に例えば5〜20
pm程度の狭いシール隙間を形成し、低圧機内側Xと高
圧機外側Yを非接触状態でシールする。 管路6においてシール流体供給源7からのシール流体の
移動が不能になる異常事態を生じて、シール流体供給源
7からの供給圧が低下すると、この状態が図示されてい
ない検出手段によって検出され、該検出手段からの信号
によって切換え機構9を切換え、その補助ボー)9bと
共通ボート9Cとを連通させる。したがって、補助シー
ル流体供給[(10から管路6および通路5を通って、
例えばN2ガス等の不活性ガスによってなる補助シール
流体が供給圧として静止密封環4Aと回転密封環2Aの
シール面4a、2aの間に送り込まれる。 シール面4a、2aの間に送り込まれた補助シール流体
は、始端8aおよび終端8bをそれぞれ回転密封環2A
のシール面2a内に設定して形成した複数のグループ8
に捕捉される。そのため、5〜207zmのシール隙間
を形成するのに必要なポケット圧が発生して、スプリン
グ3Cとのバランス点まで、該スプリング3Cのばね力
に抗して静止密封環4Aを後退させ、シール面4a、2
a同士の接触を回避し、シール破壊を防止する。 複数のグループ8は、それぞれその始端8aおよび終端
8bを回転密封環2Aのシール面2a内に設定して形成
しているので、従来のグループ8のように、回転密封環
2Aの回転時に高圧機外側Yの流体およびオイルミスト
等の異物をシール面2a、4a間に巻き込むことがない
、そのため、異物の低圧機内側Xへの浸入を防止できる
。 なお、補助シール流体供給源lOとして前述のバッファ
タンクに代えて大気を活用するようにしてもよい、また
、第3図に示すように、プルーブ8をちどり形に形成し
てもよい。 [発明の効果] 以上のように、本発明によれば、静止密封環に形成され
該静止密封環のシール面に開口する通路とシール流体供
給源とを接続する管路に、前記通路をシール流体供給源
と補助シール流体供給源に切り換えて接続させる、切換
え機構を介設し、かつ複数のグループそれぞれの始端お
よび終端をシール面内に設定しているから、管路におい
てシール流体の移動が不能になる異常事態を生じても。 切換え機構の切り換えによって、補助シール流体をシー
ル面間に送り込むことができ、しかも回転密封環のシー
ル面内に始端および終端を設定して形成した複数のグル
ープで、送り込まれた補助シール流体を捕捉して、所定
のシール隙間を形成するのに必要なポケット圧を発生さ
せることができるので、シール面同士の接触を回避し、
シール破壊を確実に防止することができる。 また、始端および終端をそれぞれ回転密封環のシール面
内に設定して形成した複数のグループでは、高圧機外側
流体およびオイルミスト等の異物をシール面間に巻き込
むことがない、そのため。 異物の低圧機内側への浸入を防止できる。
成され該静止密封環のシール面に開口する通路とシール
流体供給源とを接続する管路に。 前記通路をシール流体供給源と補助シール流体供給源に
切り換えて接続させる。切換え機構を介設し、かつ複数
のグループそれぞれの始端および終端をシール面内に設
定して形成したものである。 [作用] 本発明によれば、管路においてシール流体の移動が不能
になる異常事態を生じて、シール流体供給源からの供給
圧が低下すると、この状態が検出され切換え機構を切換
える。これにより、補助シ−ル流体供給源から管路およ
び通路を通つ−C補助シール流体が静止密封環と回転密
封環のシール面の間に送り込まれる。 シール面の間に送り込まれた補助シール流体は、始端お
よび終端をそれぞれ回転密封環のシール面内に設定して
形成した複数のグループに捕捉されることになる。その
ため、スプリングのばね力に抗して所定のシール間隙を
形成するのに必要なポケット圧が発生して、シール面同
士の接触を回避する。 また、前述のように始端および終端をそれぞれ回転密封
環のシール面内に設定して形成した複数のグループでは
、高圧機外側流体およびオイルミスト等の異物をシール
面間に巻き込むことがない、そのため、異物の低圧機内
側への浸入を防止できる。 [実施例] 以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明
する。 第1図は本発明に係る複合式非接触シール装置の半裁断
面図、第2図は回転密封環の半裁正面図である。なお本
発明の特徴は、通路をシール流体供給源と、補助シール
流体供給源に切り換えて接続させる切換え機構を管路に
介設したことと、複数のグループそれぞれの始端および
終端を回転密封環のシール面内に設定して形成した構成
に係り、これらを除く他の部材およびその構成は従来例
と異ならないので、第1図および第2図において、第4
図および第5図に相当する部分には、それぞれ同一符号
を付して、その詳細な説明は省略する。 第1図および第2図において、管路6に切換機構9が介
設されている。この切換機構9は、例えば切換電磁弁に
よってなり、そのメインボート9aがシール流体供給源
7に接続され、補助ボート9bが例えばN2ガス等の不
活性ガスを充填した補助用のバッファタンクによってな
る補助シール流体供給源10に接続されている。 また、複数のグループ8それぞれの始端8aおよび終端
8bを回転密封環2Aのシール面2a内に設定して形成
しである。なおこれらグループ8の深さは1〜5pmの
範囲とし、シール面2aに範囲に設定している。 前記構成において、通常、切換機構9はそのメインボー
ト9aと共通ボート9Cとを連通させるように保持され
ている。したがって、シール流体供給源7から管路6お
よび絞り通路5を通してシール流体(例えばN2ガス等
の不活性ガス)が供給圧として静止密封環4Aと回転密
封環2Aのシール面4a、2aの間に導入され、この導
入された流体がシール面4a、2aに作用してシール面
4aをシール面2aから離す方向に付勢し、シール面4
aをシール面2aに当接させる方向に付勢しているスプ
リング3Cのばね力とのバランス点の圧力、つまりポケ
ット圧によってシール面4a、2a間に例えば5〜20
pm程度の狭いシール隙間を形成し、低圧機内側Xと高
圧機外側Yを非接触状態でシールする。 管路6においてシール流体供給源7からのシール流体の
移動が不能になる異常事態を生じて、シール流体供給源
7からの供給圧が低下すると、この状態が図示されてい
ない検出手段によって検出され、該検出手段からの信号
によって切換え機構9を切換え、その補助ボー)9bと
共通ボート9Cとを連通させる。したがって、補助シー
ル流体供給[(10から管路6および通路5を通って、
例えばN2ガス等の不活性ガスによってなる補助シール
流体が供給圧として静止密封環4Aと回転密封環2Aの
シール面4a、2aの間に送り込まれる。 シール面4a、2aの間に送り込まれた補助シール流体
は、始端8aおよび終端8bをそれぞれ回転密封環2A
のシール面2a内に設定して形成した複数のグループ8
に捕捉される。そのため、5〜207zmのシール隙間
を形成するのに必要なポケット圧が発生して、スプリン
グ3Cとのバランス点まで、該スプリング3Cのばね力
に抗して静止密封環4Aを後退させ、シール面4a、2
a同士の接触を回避し、シール破壊を防止する。 複数のグループ8は、それぞれその始端8aおよび終端
8bを回転密封環2Aのシール面2a内に設定して形成
しているので、従来のグループ8のように、回転密封環
2Aの回転時に高圧機外側Yの流体およびオイルミスト
等の異物をシール面2a、4a間に巻き込むことがない
、そのため、異物の低圧機内側Xへの浸入を防止できる
。 なお、補助シール流体供給源lOとして前述のバッファ
タンクに代えて大気を活用するようにしてもよい、また
、第3図に示すように、プルーブ8をちどり形に形成し
てもよい。 [発明の効果] 以上のように、本発明によれば、静止密封環に形成され
該静止密封環のシール面に開口する通路とシール流体供
給源とを接続する管路に、前記通路をシール流体供給源
と補助シール流体供給源に切り換えて接続させる、切換
え機構を介設し、かつ複数のグループそれぞれの始端お
よび終端をシール面内に設定しているから、管路におい
てシール流体の移動が不能になる異常事態を生じても。 切換え機構の切り換えによって、補助シール流体をシー
ル面間に送り込むことができ、しかも回転密封環のシー
ル面内に始端および終端を設定して形成した複数のグル
ープで、送り込まれた補助シール流体を捕捉して、所定
のシール隙間を形成するのに必要なポケット圧を発生さ
せることができるので、シール面同士の接触を回避し、
シール破壊を確実に防止することができる。 また、始端および終端をそれぞれ回転密封環のシール面
内に設定して形成した複数のグループでは、高圧機外側
流体およびオイルミスト等の異物をシール面間に巻き込
むことがない、そのため。 異物の低圧機内側への浸入を防止できる。
第1図ないし第3図は本発明の実施例を示し、第1図は
その全体機構を示す半裁断面図、第2図は回転密封環の
半裁正面図、第3図はグループの他の例を示す半裁正面
図、また第4図および第5図は従来例を示し、第4図は
その全体構成を示す半裁正面図、第5図は回転密封環の
半裁正面図である。 1・・・回転部材 2・・・回転側シール要素 2A・・・回転密封環 2a・・・シール面 3・・・ケーシング 3C・・・スプリング 4・・・固定側シール要素 4A・・・静止密封環 4a・・・シール面 5・・・通路 6・・・管路 7・・・シール流体供給源 8・・・グループ 8a・・・始端 8b・・・終端 9・・・切換え機構 10・・・補助シール流体供給源 第4図 第 5 図
その全体機構を示す半裁断面図、第2図は回転密封環の
半裁正面図、第3図はグループの他の例を示す半裁正面
図、また第4図および第5図は従来例を示し、第4図は
その全体構成を示す半裁正面図、第5図は回転密封環の
半裁正面図である。 1・・・回転部材 2・・・回転側シール要素 2A・・・回転密封環 2a・・・シール面 3・・・ケーシング 3C・・・スプリング 4・・・固定側シール要素 4A・・・静止密封環 4a・・・シール面 5・・・通路 6・・・管路 7・・・シール流体供給源 8・・・グループ 8a・・・始端 8b・・・終端 9・・・切換え機構 10・・・補助シール流体供給源 第4図 第 5 図
Claims (1)
- (1)被軸封機器の回転部材と同時回転する回転密封環
を設けた回転側シール要素と、被軸封機器のケーシング
側に回転不能に保持され、かつスプリングにより回転密
封環側に常時付勢される静止密封環を設けた固定側シー
ル要素を有し、静止密封環に該静止密封環のシール面に
開口する通路が形成され、この通路に管路を介してシー
ル流体を静止密封環と回転密封環それぞれのシール面の
間に導入するシール流体供給源が接続されるとともに、
回転密封環のシール面に複数のグループが周方向に交差
して形成された複合式非接触シール装置において、前記
管路に前記通路をシール流体供給源と補助シール流体供
給源に切り換えて接続させる切換機構が介設され、かつ
前記複数のグループそれぞれの始端および終端がシール
面に設定して形成されていることを特徴とする複合式非
接触シール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1856489A JPH02199375A (ja) | 1989-01-27 | 1989-01-27 | 複合式非接触シール装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1856489A JPH02199375A (ja) | 1989-01-27 | 1989-01-27 | 複合式非接触シール装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02199375A true JPH02199375A (ja) | 1990-08-07 |
| JPH0444145B2 JPH0444145B2 (ja) | 1992-07-20 |
Family
ID=11975111
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1856489A Granted JPH02199375A (ja) | 1989-01-27 | 1989-01-27 | 複合式非接触シール装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02199375A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7044470B2 (en) | 2000-07-12 | 2006-05-16 | Perkinelmer, Inc. | Rotary face seal assembly |
| JP2010164090A (ja) * | 2009-01-13 | 2010-07-29 | Jtekt Corp | 回転軸のシール装置およびシール方法 |
| JP2021092259A (ja) * | 2019-12-09 | 2021-06-17 | イーグル工業株式会社 | メカニカルシール |
-
1989
- 1989-01-27 JP JP1856489A patent/JPH02199375A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7044470B2 (en) | 2000-07-12 | 2006-05-16 | Perkinelmer, Inc. | Rotary face seal assembly |
| JP2007263374A (ja) * | 2000-07-12 | 2007-10-11 | Perkinelmer Fluid Sciences | 回転面漏止め装置 |
| JP2010164090A (ja) * | 2009-01-13 | 2010-07-29 | Jtekt Corp | 回転軸のシール装置およびシール方法 |
| JP2021092259A (ja) * | 2019-12-09 | 2021-06-17 | イーグル工業株式会社 | メカニカルシール |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0444145B2 (ja) | 1992-07-20 |
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