JPH02201116A - 回転角度検出装置 - Google Patents

回転角度検出装置

Info

Publication number
JPH02201116A
JPH02201116A JP2008289A JP2008289A JPH02201116A JP H02201116 A JPH02201116 A JP H02201116A JP 2008289 A JP2008289 A JP 2008289A JP 2008289 A JP2008289 A JP 2008289A JP H02201116 A JPH02201116 A JP H02201116A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rotation angle
magnetic
magnetic sensor
rotating disk
sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2008289A
Other languages
English (en)
Inventor
Masayuki Nashiki
政行 梨木
Masumi Suzuki
真澄 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Okuma Corp
Original Assignee
Okuma Machinery Works Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Okuma Machinery Works Ltd filed Critical Okuma Machinery Works Ltd
Priority to JP2008289A priority Critical patent/JPH02201116A/ja
Publication of JPH02201116A publication Critical patent/JPH02201116A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は位置検出センサを利用した回転角度検出装置に
関する。
(従来の技術) 第3図(^)は従来の位置検出センサを利用した回転角
度検出装置の一例を示す正面図であり、同図(B)はそ
の平面図である。この回転角度検出装置は、外周に沿っ
て周期的切欠きを有する歯車状であって透磁材よりなる
回転円板2が回転軸1に嵌入されており、回転軸1と回
転円板2とが一体となって回転するようになっている。
さらに、磁気バイアス回路6を備えた位冒検出センサで
ある磁気センサ3が回転円板2の外周面から所定の空隙
をあけて磁気センサ支持体5上のセンサ取付部7に取付
けられている。
第4図(^)及び(B)は従来の位置検出センサを利用
した回転角度検出装置の別の一例を第3図(^)及び(
B)にそれぞれ対応させて示す正面図及び平面図であり
、同一構成箇所は同符号を付して説明を省略する。この
回転角度検出装置は、磁性体が回転円板12の外周に沿
って一定周期ごとに極性の異なる向きに配置されており
、lln性体による磁束が位置検出センサである磁気セ
ンサI3にょって検出されるようになっている。
これらの回転角度検出装置はいずれも磁気センサ3又は
13が回転円板2又は12の回転角度に応じた一定周期
ごとの磁束の変化に感応して出力信号を出力し、この出
力信号に基で)いて回転Mlの回転角度を求めている。
(発明が解決しようとする課題) 上述した回転角度検出装置における検出回転角度を高精
度に維持するためには、回転角度の変化にかかわらず回
転円板2又は12と磁気センサ3又は13との空隙互助
を常に一定にする必要がある。
ところが、回転円板2又は12を回転IPlk+に嵌入
する際に回転円板2又は12の回転中心と回転軸】の回
転中心とが偏心してしまうことがあり、このような場合
、回転軸1の回転中心から回転円板2又は12の外周ま
での距離は回転角度により異なってしまう、そして、磁
気センサ3又は13はセンサ取付台7に固定されている
ので、回転円板2又は■2と電気センサ3又は13との
空隙距離も回転角度により変化してしまう。そのため、
磁気センサ3又は13からの出力信号は第5図に示すよ
うな完全な周期的信号とはならず、第6図に示すように
回転角度により振幅が異なり、歪が生じる等の問題があ
った。また、回転円板2又は12を回転@1に偏心なく
嵌入てきたとしても5回転円板2又は12とiJ磁気セ
ンサ又は13との空隙距離を所定値に微調整することが
困難であるという問題もあった。
本発明は上述のような事情から成されたものであり、本
発明の目的は、回転円板と位置検出センサとの空ト仝距
離を基準値に常に保つことができる回転角度検出装置を
I1供することにある。
(課題を解決するための手段) 本発明は回転円板と、当該回転円板の近傍に配置され、
前記回転円板の回転角度を検出する位置検出手段とから
なる回転角度検出装置に関するものであり、本発明の上
記目的は、前記回転円板と前記位置検出手段との空隙距
離を検出する検出手段と、この検出手段からの検出信号
に基づいて前記空隙距離を変化させる方向に前記ti7
.置検装手段を微動作させる微動手段及びその駆動制御
回路とを具備することによって達成される。
(作用) 本発明の位置検出センサを利用した回転角度検出装置は
、空隙距離の検出値と空隙距離の基準値とを比較し、そ
れらの差の信号により徴勅アクチュエ〜りをフィードバ
ックt、IJ御して駆動させ。
空隙距離を基準値に調節して回転角度を検出するもので
ある。
(実施例) 第1図(八)及び(81は本発明の位置検出センサを利
用した回転角度検出装置の一例を第4図(八)及び(B
)にそれぞれ対応させて示す正面図及び平面図であり、
同一構成箇所は同符号を付して説明を省略する。この回
転角度検出装置は、2つの磁気センナ(以下、第1の磁
気センサ23a、第2の磁気センサ23bという)がセ
ンサ取付部7に並べて取付けられており、このセンサ取
付部7が微動アクチュエータである電歪素子4を介して
磁気センサ支持体5に固定されている。また、磁性体が
第1の磁気センサ23aと対向している回転円板22の
外周(以下、第1の円周上という)に沿って一定周期ご
とに極性の異なる向きに配置されていると共に、相異な
る極性の6n性体がそれぞれ第2の磁気センサ23bと
対向している回転円板22の2つの外周(以下、第2の
円周上及び第3の円周上という)に沿って極性及び6n
界が同一となるように配置されている。
このような構成において、第1の円周上に配置された磁
性体によるll7j東に第1のIin気センサ23aが
感応して出力信号を出力し、この出力信号に基づいて回
転軸重の回転角度を求める。同時に、第2及び第3の円
周上に配置された磁性体によるIin束に第2の磁気セ
ンサ23bが感応する。第2及び第3の円周上に配置さ
れた磁性体はそれぞれ同一の極性及び密度を有している
ので、第2の磁気センサ23b、6<感応する磁束の数
は回転円板22の回転角度には依存せず、第2の磁気セ
ンサ23bと回転円板22との空隙距離のみに依存する
。従って、第2の磁気センサ23bからの出力信号によ
り上記空隙距離を検出することができる。そして、第2
の6n気センサ23bからの出力信号に基づいて電歪素
子4を駆動して上記空陣距餌を基準値に調節することが
できる。
第2図は上述した電歪素7−4を駆動制御する駆動制御
回路の一例を示すブロック図であり、第2の磁気センサ
23bからの出力信% 5^と、空陣距l2I11の基
準値における第2の磁気センサ23bの出力電圧に相当
する信号を発生する基jp、(3号発生装置31からの
出力信号SRとの差DIFFが減算器32で算出される
ようになっている。そして、算出された差0IFFが電
歪素子4を駆動するのに必要な電圧に増幅機33で増幅
され、電歪素子4に印加されるようになっている。従っ
て、電歪素r4の伸縮により第1及び第2のbn気セン
サ23と回転円板22との空隙距1111は常に基準値
に設定される。この電歪素子4の伸縮は61気センサ2
3a、23bを取付けるときの空隙距離の微調整用とし
ても利用することが可能である。
なお、上述した実施例においては、−様な磁界を発生す
る回転円板と磁束を検出する磁気センサとを用いて空l
!!距動を検出したが、特に限定されるものではなく、
光を利用して空隙距illを検出するように構成しても
よい。
(発明の効果) 以−に▽のように本発明の位1jt検出センサを利用し
た回転角度検出装置によれば、位15検出センサ及び回
転円板の取付時の空隙+JE; m+の調整が容易にな
ると共に、位置検出センサからの出力信号の信頼性が向
上して高精度の回転角度検出を行うことかできる。
【図面の簡単な説明】
第1図(幻及び(B)は本発明の(D、 M検出センサ
を利用した回転角度検出装置の一例を示す正面図及び平
面図、第2図はその主要部を駆動制御する駆動制御回路
の一例を示すブロック図、第3図(八)及び(B)は従
来の位置検出センサを利用した回転角度検出装置の一例
を示す正面図及び平面図、第4図(A)及び(B)は従
来の位置検出センサを利用した回転角度検出装置の別の
一例を示す正面図及び平面図5第5図及び第6図はそれ
ぞれ位首検出センサからの出力信号の一例を示す波形図
である。 1・・・回転釉、2.▽12.▽22・・・回転円板、
3,13゜2:la 、 23b・・・&J1気センサ
2▽4・・・電歪素子、5・・・磁気センサ支持体、6
・・・磁気バイアス回路、7・・・磁気センサ取付部、
31・・・基準ず8呼発生装置、32・・・減算器、3
3・・・増幅器。 出願人代理人   安 形 雄 三 回鳶角、を 某 コ 囚 ↑ 回社角度 羊 6 図 慕 ■

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.回転円板と、当該回転円板の近傍に配置され、前記
    回転円板の回転角度を検出する位置検出手段とからなる
    回転角度検出装置において、前記回転円板と前記位置検
    出手段との空隙距離を検出する検出手段と、この検出手
    段からの検出信号に基づいて前記空隙距離を変化させる
    方向に前記位置検出手段を微動作させる微動手段及びそ
    の駆動制御回路とを備えたことを特徴とする回転角度検
    出装置。
JP2008289A 1989-01-30 1989-01-30 回転角度検出装置 Pending JPH02201116A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008289A JPH02201116A (ja) 1989-01-30 1989-01-30 回転角度検出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008289A JPH02201116A (ja) 1989-01-30 1989-01-30 回転角度検出装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH02201116A true JPH02201116A (ja) 1990-08-09

Family

ID=12017178

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008289A Pending JPH02201116A (ja) 1989-01-30 1989-01-30 回転角度検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH02201116A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013200235A (ja) * 2012-03-26 2013-10-03 Mitsubishi Electric Corp リードヘッド制御機構、及び光学式エンコーダ

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62204619A (ja) * 1986-03-05 1987-09-09 Nippon Gakki Seizo Kk 磁気エンコ−ダ−の出力信号安定化方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62204619A (ja) * 1986-03-05 1987-09-09 Nippon Gakki Seizo Kk 磁気エンコ−ダ−の出力信号安定化方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013200235A (ja) * 2012-03-26 2013-10-03 Mitsubishi Electric Corp リードヘッド制御機構、及び光学式エンコーダ
EP2645068A3 (en) * 2012-03-26 2017-01-18 Mitsubishi Electric Corporation Readhead control mechanism and optical encoder

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8090248B2 (en) Anti-vibration actuator and lens unit/camera equipped therewith
US20060127074A1 (en) Actuator, and lens unit and camera with the same
US9170430B2 (en) Anti-vibration actuator, lens unit and camera furnished therewith, and manufacturing method for same
US7539404B2 (en) Camera with vibration-proofing device that includes movable and fixed member with pin-shaped support member between them with curved surfaces
EP0701314A2 (en) Vibration isolating apparatus and vibration isolating table
JP2006106177A (ja) アクチュエータ及びそれを備えたレンズユニット及びカメラ
JP3332620B2 (ja) 位置検出装置
US20070127904A1 (en) Parallel moving device, actuator, lens unit, and camera
JPH02201116A (ja) 回転角度検出装置
JPH0576227B2 (ja)
JPH04212013A (ja) 角速度検出装置
JP3818399B2 (ja) 超小型加速度センサ
JP2706973B2 (ja) カメラの像ブレ補正装置
JP4128864B2 (ja) サーボ型加速度計
JPH02287263A (ja) 回転検出装置
JP2584006Y2 (ja) 角加速度センサ
JPH11295020A (ja) 回転角検出器
JPH06109481A (ja) コード板取付位置調整装置
US4355541A (en) Magnetic gyroscope
JPH04248403A (ja) ホール素子を用いた角度検出装置
JPS61275602A (ja) 軸体変位検出装置
JPH06216220A (ja) 位置決め装置
JP3182238B2 (ja) 速度センサおよびこれを適用した半導体露光装置
JPH07261228A (ja) 振れ補正カメラの検査装置、振れ補正カメラ、及び振れ補正カメラの検査方法
JP3413932B2 (ja) 検査装置、振れ補正カメラ、及び検査方法