JPH02201225A - 差圧式計測装置 - Google Patents

差圧式計測装置

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JPH02201225A
JPH02201225A JP2194389A JP2194389A JPH02201225A JP H02201225 A JPH02201225 A JP H02201225A JP 2194389 A JP2194389 A JP 2194389A JP 2194389 A JP2194389 A JP 2194389A JP H02201225 A JPH02201225 A JP H02201225A
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Shizuo Oki
大木 静雄
Yukio Shirokawa
城川 幸男
Kiyoshi Kunimoto
国本 清
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は差圧計を用いて被測定液の液面高さや密度を計
測する差圧式計測装置に関する。
〔従来の技術〕
従来より差圧計−を用いた液面計や密度計が知られてお
り、このような差圧計を利用した計測装置としては、例
えば、特開昭61−100618号公報等に提案されて
いる。
その基本原理を第4図に示すと、まず、第1の圧力入力
部1aと第2の圧力入力部1bを有しこれら各圧力入力
部(1a、1b)に入力される圧力の差圧を測定する差
圧計1を備えている。
そして、差圧計1の第1の圧力入力部1aが第1の管3
で被測定液を収容した貯溜2に接続されるとともに、差
圧計1の第2の圧力入力部1bが第2の管4で貯溜2に
接続され、かつ、第2の管4と貯溜2との接続点は第1
の管3と貯溜2との接続点よりも高い位置にある。
さらに、第1及び第2の管4内にシール液が充填され、
この第1の圧力入力部1aに入力される圧力(P++ρ
dH)(P+=貯漕回漕内圧d=被測定液の密度、H=
第1の圧力入力部1aから被測定液面までの高さ)と第
2の圧力入力部1bに入力される圧力(P++ρ5h)
(ρ5=シール液の密度、h=第2の圧力入力部1bか
ら起算したシール液の封入高さ)とから両者の差圧を検
出する差圧検出手段13を備えている。
〔発明が解決しようとする課題〕
乙のような装置では、差圧△Pを検出するにあたり、次
の式 %式%) において、当初H=0とし、あらかじめ上式右辺にρ、
hを加えることによりΔP=Oに調整(ゼロ点調整)し
てから測定を開始する。
しかし、ゼロ点調整時と使用時とに温度差があると、シ
ール液密度が温度変化に伴って変化するため、ゼロ点が
移動し、誤差を生じる。
本発明はこのような背景の下でなされたもので、その課
題は誤差をなくして正確な計測の行える差圧式計測装置
を提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
本発明は前記課題を解決するため、次のような手段をと
った。
本発明の装置は液面計としであるいは密度計として具体
化できるもので、第1の圧力入力部1aと第2の圧力入
力部1bを有しこれら各圧力入力部(1a、1b)に入
力される圧力の差圧を測定する差圧計1を備えている。
そして、差圧計1の第1の圧力入力11aが第1の管3
で被測定液を収容する貯溜2に接続されるとともに、差
圧計1の第2の圧力入力部1bが第2の管4で貯溜2に
接続され、かつ、第2の管4と貯溜2との接続点は第1
の管3と貯溜2との接続点よりも高い位置にある。
さらに、第1の管3及び第2の管4の内生なくとも第2
の管4内にシール液が充填され、このシール液の温度を
検知するシール液温度検出手段11が設けられている。
また、第1の圧力入力部1aに入力される圧力(P++
ρdH) Pl:貯溜内圧 ρd :被測定液の設計密度 H:第1の圧力入力部1aから被測定液面までの高さ と第2の圧力入力部1bに入力される圧力(P++ρ、
h) ρ5:シール液の密度 h :第2の圧力入力部1bから起算したシール液の封
入高さ とから両者の差圧ΔPを次の(1)式 6式%) に基づき検出する差圧検出手段13と、差圧計1におい
て予め前記(1)式の右辺に ρ5hを加えることにより(この時のρ5=ρ50)Δ
P=ρdH・・ (2) とするゼロ点調整手段30とを備えている。
以上が、)夜面計、密度計に共通の構成であるが、液面
計の場合は、 得られた差圧から被測定液の液面高さHを次の(3)式 %式%(3) より算出する液面演算手段12と、 ゼロ点調整時の一シール液密度ρ5gと実際の測定時に
おけるシール液密度ρ5aとの差を下記(4)式 %式%(4) β  :シール液の膨張係数/℃ t8:測定時におけるシール液温度 ta  :ゼロ点調整時におけるシール液温度から求め
るシール液密度の変動分検出手段15と、1夜面演算手
段12で液面高さを算出する際、ΔP中に包含されるシ
ール液密度の変動分に基づく誤差圧力β(1a−10)
hを打ち消す誤差補正手段31とを備えて差圧式計測装
置とする。
また、これとは別に、シール液密度の変動分検出手段1
5と先の誤差補正手段31とを用いず、前記共通事項及
び液面演算手段に加え、液面演算手段12で液面高さを
算出する際、下記の(5)式 β  :シール液の膨張係数/℃ te  :ゼロ点調整時におけるシール液温度t、:測
定時におけるシール液温度 ρ−:被測定液の設計密度(=固定値)H4:被測定液
の液面高さの測定範囲 でゼロ点移動量ε求め、前記液面演算手段12で演算し
た得た実測値に17(1+ε)を乗じて真値を得るよう
にした誤差補正手段31を備えて差圧式計測装置として
もよい。
以上において、hの値を次の(6)式 へPe:ゼロ点調整時の差圧(=測定値)ρs1:基準
温度におけるシール液密度(=固定値) :シール液の膨張係数/℃(=固定値):ゼロ点調整時
におけるシール液温度 (=測定値) :任意の基準温度(=固定値) で演算するh算出手段14を備えるとさらに精度が高ま
る。
密度計の場合は、液面計では未知であったHの値をHQ
(第1の圧力入力部1aから第2の管4と貯溜2との接
続点までの高さ)として固定した上で、得られた差圧か
ら被測定液の密度を算出する密度演算手段32を備える
すなわち、前記共通事項において、第2の管4と貯溜2
との接続点より液面が高くなるように被測定ン夜を貯溜
2に入れた状態とすることでHがHQとなり、第1の圧
力入力部1aに入力される圧力が(P’++ρL+ρ8
9)となり、Pl:貯溜内圧 ρ :被測定液の密度(未知) L :第2の管4と貯溜2との接続点から被測定液面ま
での高さ HQ:第1の圧力入力部1aから第2の管4と貯溜2と
の接続点までの高さ と第2の圧力入力部1bに入力される圧力が(P++ρ
L+ρ、h)となるので ρs:シール液の密度 h :第2の圧力入力部1bから起算したシーツ1夜の
封入高さ(ここではh=HQ)差圧検出手段13では両
者の差圧ΔPを次の(1)′式 %式%) に基づき検出する。
また、ゼロ点調整手段30も、前記HがHQに変わり、
差圧計1において予め前記(1)′式の右辺に ρ、HQを加えることにより(この時のρ5=ρ50)
八P=pHQ           ・・(2)′とす
る。
密度計では、さらに得られた差圧から被測定液の密度ρ
を次の(8)式 %式%(8) より算出する密度演算手段32と、 ゼロ点調整時のシール液密度ρ5aと実際の測定時にお
けるシール液密度ρsaとの差を下記(4)D sa 
 D 5G =β (ta−tc+)     ・ ◆
 (4)β :シール液の膨張係数/℃ t、:測定時におけるシール液温度 tlI:ゼロ点調整時に$けるシール液温度から求める
シール液密度の変動分検出手段15と、密度演算手段3
2で液密度を算出する際、ΔP中に包含されるシール液
密度の変動分に基づく誤差圧力β(ta−t9)hを打
ち消す誤差補正手段31とを備えて差圧式計測装置とす
る。
また、これとは別に、シール液密度の変動分検出手段1
5や先の誤差補正手段31を用いずに、この密度演算手
段32で液密度を算出する際、下記の(9)式 %式%(9) β :シール液の膨張係数/℃ tl:測定時におけるシール液温度 tθ:ゼロ点調整時におけるシール液温度ρ、:被測定
液の密度測定範囲の最大値h :第2の圧力入力部1b
から起算したシール液の封入高さ HQ:第1の圧力入力部1aから第2の管4と貯溜2と
の接続点までの高さ でゼロ点移動量ε求め、前記密度演算手段32で演算し
た得た実測値ζこ1/(1+ε)を乗じて真値を得るよ
うにした誤差補正手段31を備えて差圧式計測装置とし
てもよい。
〔作用〕
本発明では、液面計の場合、測定可能な液面高さの最大
値をH,、lとして、貯溜2にシール液供給手段でシー
ル液の供給を開始する。
そして、計器をゼロ点調整した後、差圧検出手段13で
第1圧力入力部に加わる圧力と第2圧力入力部に加わる
圧力との差を検出する。
その間、目標の液面高さHIllを得るのに必要なhの
値を算出しておく。但し、hの値を設計値(固定値)と
して(6)式以外で与えることもてきる。
また、前記差圧から実際の液面高さHを算出する。
ゼロ点調整時と実際の測定時で環境温度が変わりゼロ点
調整時のシール液密度ρ53と実際の測定時におけるシ
ール液密度ρs8とに差が生じると得られた測定値に誤
差が生ずるので、シール液密度の差を(4)式から求め
、その変動分に基づく誤差圧力β(ta−tta) h
を打ち消して真値を得る。
これとは別に、液面高さを算出する際、(5)式でゼロ
点移動量ε求め、前記液面演算手段12で演算した得た
実測値に17(1+ε)を乗じて真値を得るようにして
も誤差を補正できる。
密度計の場合も得られた密度の実測値に同様にして誤差
補正する。なお、密度計として使用する場合、第2の管
4と貯溜2との接続点より液面が高くなるように被測定
液を貯溜2に入れるため、h=HQとなり、各式で直接
りの値を使用する必要がないため、hの算出を前記のよ
うにする必要はない。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
〈実施例1〉 本実施例の装置は液面計であり、第2図に示したように
、第1の圧力入力部1aと第2の圧力入力部1bを有し
これら各圧力入力部(la、  lb)に入力される圧
力の差圧を測定する差圧計1が備えられている。また、
被測定液を収容する貯溜2の上部に被測定液を供給する
ための被測定液供給管2aが接続され、この被測定液供
給管2aにバルブ24が設けられ、貯溜2へ被測定液の
供給をバルブ24の開閉で開始・停止できるようになっ
ている。
また、差圧計1の第1の圧力入力部1aが第1の管3で
貯溜2に接続されるとともに、差圧計1の第2の圧力入
力部1bが第2の管4で貯溜2に接続され、かつ、第2
の管4と貯溜2との接続点は第1の管3と貯溜2との接
続点よりも高い位置にある。
さらに、第1及び第2の管4内にシール液が充填され、
このシール液の温度を検知するシール液温度検出手段1
1が設けられている。
また、この第1の圧力入力部1aに入力される圧力と第
2の圧力入力部1bに入力される圧力とから両者の差圧
を検出する差圧検出手段13を有している。
ここで第1の圧力入力部1aに入力される圧力は式 %式% : ρd:被測定液の設計密度 H:第1の圧力入力部1aから被測定液面までの高さ(
未知) 第2の圧力入力部1bに入力される圧 で表され、 力は式 %式% ρs:シール液の密度 h :第2の圧力入力部1bから起算したシール液の封
入高さ で表されるので、その差圧△Pは、 ΔP=(Pt+ρdH)   (P++o5h)=ρd
H−ρ5h      ・・(1)である。
そこで、得られた差圧から被測定液の液面高さを算出す
る液面演算手段12で液面を算出するのであるが、算出
にあたってはゼロ点調整手段3゜で、差圧計1において
予め前記(1)式の右辺にρ5hを加えることにより(
この時のρ5=ρ5illとする) ΔP=ρdH・・ (2) とする。よって、液面演算手段12では、得られた差圧
から被測定液の液面高さHを次の(3)弐H=ΔP/ρ
d         ◆・(3)より算出すればよいこ
ととなる。
このようにして液面高さが得られるが、ゼロ点調整時と
測定時どの間に温度変化が生じ、シール液密度が変化す
ると(1)式における(−〇、h)が確実にキャンセル
されたこととならないため、実測値に誤差が含まれたこ
ととなる。
そこで、シール液密度の変動分検出手段15を設け、ゼ
ロ点調整時のシール液密度ρ5Qと実際の測定時におけ
るシール液密度ρ5aとの差を下記(4)式 %式%(4) β  :シール液の膨張係数/℃ t、:測定時におけるシール液温度 t、:ゼロ点調整時におけるシール液温度から求める。
ゼロ調整時に補正するために(1)式の右辺に加算した
圧力ρs[111に対し、測定時のシール液実圧力(ρ
58+β(t、−to))hとなり、両者の差β(t−
t9)hが誤差圧力となる。よって、この値を液面演算
手段12で液面高さを算出する際、ΔP中から誤差補正
手段31で打ち消す。
以上により、論理的に誤差を解消できるが、より具体的
には以下の手段によるのがよい。
まず、シール液密度の温度変化と計器誤差(ゼロ点移動
量ε)の関係は下記の(5)式β  :シール液の膨張
係数/℃(=固定(a)t[I:ゼロ点調整時における
シール液温度ta:測定時におけるシール液温度 ρd  :被測定液の設計密度(=固定値)H7:被測
定液の液面高さの測定範囲 (=固定値) tl:シール液封入高さ で表せるので、誤差補正手段31としては、この式から
ゼロ点移動量ε求め、前記液面演算手段12で演算した
得た実測値に1/(1+ε)を乗じて真値を得るように
するとよい。
ところで、h(シール液封入高さ)は固定値であるが、
設計段階・の設定値と配管施工後の実際の1直とでは差
があるのが通常である。そして、配管施工後のh実測作
業も難しいことから、hの値をゼロ点調整時に演算する
ことを考えた。
ゼロ点調整時差圧計にはΔP9=−ρ5θhの圧力が加
わる。(−)符号は低圧側にρ5tahの圧力が加わっ
ていることを意味する。よって、hの1直を h=−八P9/ρ53 で演算できる。
ここで、ゼロ点調整時のシール液密度ρ5gはその時の
温度上〇で決まるが、一定の温度で実施することはでき
ない。そこで、任意の基準温度をtl、基準温度におけ
るシール液密度をρ51とするとρ51a=ρ51+β
(tc+−t+)となるので、次の(6)式 ΔP&l:ゼロ点調整時の差圧(=測定値)ρ51:基
準温度におけるシール液密度(=固定値) :シール液の膨張係数/℃(=固定値):ゼロ点調整時
におけるシール液温度 (=測定値) :任意の基準温度(=固定値) でhを演算する。
そこで、この(6)式を前記(5)式に代入すると、 ・ ・ (7) となる。
ここで、β、ρd5 ρ51、tl、H,は固定値であ
り、tra1△P9はゼロ点調整時にメモリーに保存し
ておいたデータを使用する。
よって、taを測定することで、εを自動補正できる。
以上は、マイクロコンピュータに絹み込まれたプログラ
ムによ−り第2図のフローチャー1・図のように実行さ
れる。
まず、ステップ1で、Hm (?(7面高さの最大測定
範囲)、ρd(被測定液の設計密度)、β(シール液の
膨張係数/℃)、1+  (基準温度)、ρ5゜(基準
温度におけるシール液密度)を入力する。
次にステップ2で計器単体ゼロ調フラグF1を確認する
(F 1 = 1で計器単体ゼロ調実施)。ここでNO
の場合ゼロ調整を行わずに実測に入ることを意味し、そ
のままステップ15へと移行する。
Yesの場合は、ステップ3で計器単体ゼロ調が完了し
たかを確認する。NOの場合ステ・ンブ4の計器単体ゼ
ロ調実施に移行してステ・ンブ3に戻り、Yesの場合
にはステップ5で計器単体ゼロ調フラグF1=0が立て
られる。
次にステップ6でシール液を使用しゼロ調整実施の準備
が順次なされ、ステップ7でゼロ調整時の温度tc+、
差圧ΔP9が測定される。ここで、測定された温度tl
I、差圧△P9が妥当な値か否かを判断しくステップ8
)、妥当でない場合はステップ3へと戻る。妥当な場合
にはシール液を使用したゼロ調整時演算実行フラグF2
=1が立てられ(ステップ9)、t9、△P9が記憶さ
れ、hが演算されその値が記憶される(ステップ10)
次に、hの値が妥当か否かを判断しくステップ11)、
妥当でない場合はステップ3に戻り、妥当である場合は
シール液が入った状態でのゼロ点調整を行う(ステップ
12)。次に、実際の測定時へのラインアップを行い(
ステップ13)、h演算実行フラグF2を0にする(ス
テップ14)。
ステップ15では運転中における実測が開始されてΔP
が測定される。その際には、シール液温度t8が測定さ
れ、εが(7)式により演算される(ステップ16)。
そして、そのデータを基に真のHを演算する(ステップ
17)。
〈実施例2〉 実施例2は密度計の場合である。
この場合、第3図のように、実施例1における液面演算
手段12に代えて、得られた差圧から被測定液の密度を
算出する密度演算手段32を有している。
そして、液面計の場合と異なり第2の管4と貯溜2との
接続点より液面が高くなるように被測定液が貯溜2に入
れられる。このためh=H1l!となり、よって、第1
の圧力入力部1aに入力される圧力は (P++ρL+pH1ll) Pl :貯溜内圧 ρ :被測定液の密度(未知) L :第2の管4と貯溜2との接続点から被測定液面ま
での高さ HQ :第1の圧力入力部1aから第2の管4と貯溜2
との接続点までの高さ となり、第2の圧力入力部1bに入力される圧力は(P
++ρL+ρ、h) ρ5:シール液の密度 h :第2の圧力入力部1bから起算したシール液の封
入高さ(ここではh=HQ)となるので、両者の差圧Δ
Pを次の(1)”式0式%) に基づき検出する。
またゼロ点調整においても、差圧計1において予め前記
(1)式の右辺にρ5HQ を加えることにより(この
時のOs”ρ58) ΔP=pHQ            ・・ (2)′
とする。
そして密度演算手段32では、得られた差圧から被測定
液の密度ρを次の(8)式 0式%(8) より算出する。
ゼロ点調整時のシール液密度05Gと実際の測定時にお
けるシール液密度ρ5aとの差をから生ずる誤差、及び
、その補正は、先の実施例の場合と同様に考えてよいが
、密度計の場合、H,というデータはHQに置き変わり
、密度の最大値ρdmが導入されるので、前記(5)式
は次の(9)式に変更される。
β :シール液の膨張係数7℃ t8:測定時におけるシール液温度 t9:ゼロ点調整時におけるシール液温度ρ、:被測定
液の密度測定範囲の最大値h :第2の圧力入力部1b
から起算したシール液の封入高さ HQ:第1の圧力入力部1aから第2の管4と貯溜2と
の接続点までの高さ ここで、密度計の場合、h=HQであるため(9)式は
、 ブロック図、第2図はそのフローチャート図、第3図は
本発明に係る液面計の実施例を示したブロック図、第4
図は従来例を示した図である。
1・・差圧計、1a・・第1の圧力入力部、1b・・第
2の圧力入力部、2・・貯溜、3・・第1の管、4◆◆
第2の管、11φ・シール液温度検出手段、12・・液
面演算手段、13・・差圧検出手段、14・・h算出手
段、30・・ゼロ点調整手段、31・・誤差補正手段、
32・・密度演算手段。
となる。この式でゼロ点移動量ε求め、前記密度演算手
段32で演算した得た実測値に1/(1+ε)を乗じて
真値を得る。
〔発明の効果〕
本発明では、温度変化に伴う測定値の誤差をなくし正確
な計測値を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る液面計の実施例を示した特許出願
人     三井石油化学工業株式会社第2図 (b) 第3図 第4図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 【1】第1の圧力入力部1aと第2の圧力入力部1bを
    有しこれら各圧力入力部(1a、1b)に入力される圧
    力の差圧を測定する差圧計1を備え、この差圧計1の第
    1の圧力入力部1aが第1の管3で測定液を収容する貯
    漕2に接続されるとともに、差圧計1の第2の圧力入力
    部1bが第2の管4で貯漕2に接続され、かつ、第2の
    管4と貯漕2との接続点は第1の管3と貯漕2との接続
    点よりも高い位置にあり、さらに、第1の管3及び第2
    の管4の内少なくとも第2の管4内にシール液が充填さ
    れ、このシール液の温度を検知するシール液温度検出手
    段11が設けられ、さらに、この第1の圧力入力部1a
    に入力される圧力 (P_1+ρ_dH) P_1:貯漕内圧 ρ_d:被測定液の設計密度 H:第1の圧力入力部1aから被測定液面 までの高さ(未知) と第2の圧力入力部1bに入力される圧力 (P_1+ρ_sh) ρ_s:シール液の密度 h:第2の圧力入力部1bから起算したシ ール液の封入高さ とから両者の差圧ΔPを次の(1)式 △P=(P_1+ρ_dH)−(P_1+ρ_sh)=
    ρ_dH−ρ_sh・・(1) に基づき検出する差圧検出手段13と、 差圧計1において予め前記(1)式の右辺にρ_shを
    加えることにより(この時のρ_s=ρ_s_0)△P
    =ρ_dH・・(2) とするゼロ点調整手段30と、 得られた差圧から被測定液の液面高さHを次の(3)式 H=ΔP/ρ_d・・(3) より算出する液面演算手段12と、 ゼロ点調整時のシール液密度ρ_s_0と実際の測定時
    におけるシール液密度ρ_s_aとの差を下記(4)式 ρ_s_a−ρ_s_0=β(t_a−t_0)・・(
    4)β:シール液の膨張係数/℃ t_a:測定時におけるシール液温度 t_0:ゼロ点調整時におけるシール液温度から求める
    シール液密度の変動分検出手段15と、液面演算手段1
    2で液面高さを算出する際、△P中に包含されるシール
    液密度の変動分に基づく誤差圧力β(t_a−t_0)
    hを打ち消す誤差補正手段31とを備えたことを特徴と
    する差圧式計測装置。 【2】第1の圧力入力部1aと第2の圧力入力部1bを
    有しこれら各圧力入力部(1a、1b)に入力される圧
    力の差圧を測定する差圧計1を備え、この差圧計1の第
    1の圧力入力部1aが第1の管3で測定液を収容する貯
    漕2に接続されるとともに、差圧計1の第2の圧力入力
    部1bが第2の管4で貯漕2に接続され、かつ、第2の
    管4と貯漕2との接続点は第1の管3と貯漕2との接続
    点よりも高い位置にあり、さらに、第1の管3及び第2
    の管4の内少なくとも第2の管4内にシール液が充填さ
    れ、このシール液の温度を検知するシール液温度検出手
    段11が設けられ、さらに、この第1の圧力入力部1a
    に入力される圧力(P_1+ρ_dH) P_1:貯漕内圧 ρ_d:被測定液の設計密度 H:第1の圧力入力部1aから被測定液 面までの高さ(未知) と第2の圧力入力部1bに入力される圧力 (P_1+ρ_sh) ρ_s:シール液の密度 h:第2の圧力入力部1bから起算した シール液の封入高さ とから両者の差圧ΔPを次の(1)式 ΔP=(P_1+ρ_dH)−(P_1+ρ_sh)=
    ρ_dH−ρ_sh・・(1) に基づき検出する差圧検出手段13と、 差圧計1において予め前記(1)式の右辺にρ_s_h
    を加えることにより(この時のρ_s=ρ_s_0)Δ
    P=ρ_dH・・(2) とするゼロ点調整手段30と、 得られた差圧から被測定液の液面高さHを次の(3)式 H=ΔP/ρ_d・・(3) より算出する液面演算手段12と、 この液面演算手段12で液面高さを算出する際、下記の
    (5)式 ε=[−β(t_a−t_0)h]/(ρ_dH_m)
    ・・(5) β:シール液の膨張係数/℃ t_0:ゼロ点調整時におけるシール液温度t_a:測
    定時におけるシール液温度 ρ_d:被測定液の設計密度(=固定値) H_m:被測定液の液面高さの測定範囲 でゼロ点移動量ε求め、前記液面演算手段12で演算し
    た得た実測値に1/(1+ε)を乗じて真値を得るよう
    にした誤差補正手段31とを備えた差圧式計測装置。 【3】hの値を次の(6)式 h=(−ΔP_0)/[ρ_s_1+β(t_0−t_
    1)]・・(6)ΔP_0:ゼロ点調整時の差圧(=測
    定値)ρ_s_1:任意の基準温度におけるシール液密
    度 (=固定値) β:シール液の膨張係数/℃(=固定値) t_0:ゼロ点調整時におけるシール液温度(=測定値
    ) t_1:任意の基準温度(=固定値) で演算するh算出手段14を備えた請求の範囲第1項ま
    たは第2項記載の差圧式計測装置。 【4】第1の圧力入力部1aと第2の圧力入力部1bを
    有しこれら各圧力入力部(1a、1b)に入力される圧
    力の差圧を測定する差圧計1を備え、この差圧計1の第
    1の圧力入力部1aが第1の管3で測定液を収容する貯
    漕2に接続されるとともに、差圧計1の第2の圧力入力
    部1bが第2の管4で貯漕2に接続され、かつ、第2の
    管4と貯漕2との接続点は第1の管3と貯漕2との接続
    点よりも高い位置にあり、さらに、第1の管3及び第2
    の管4の内少なくとも第2の管4内にシール液が充填さ
    れ、このシール液の温度を検知するシール液温度検出手
    段11が設けられ、さらに、第2の管4と貯漕2との接
    続点より液面が高くなるように被測定液を貯漕2に入れ
    た状態で、第1の圧力入力部1aに入力される圧力 (P_1+ρ_L+ρHl) P_1:貯漕内圧 ρ:被測定液の密度(未知) L:第2の管4と貯漕2との接続点から被 測定液面までの高さ Hl:第1の圧力入力部1aから第2の管4と貯漕2と
    の接続点までの高さ と第2の圧力入力部1bに入力される圧力 (P_1+ρL+ρ_sh) ρ_s:シール液の密度 h:第2の圧力入力部1bから起算したシ ール液の封入高さ(ここではh=Hl) とから両者の差圧△Pを次の(1)′式 △P=(P_1+ρL+ρHl) −(P_1+ρL+ρ_sh) =ρHl−ρ_sh =ρHl−ρ_sHl・・(1)′ に基づき検出する差圧検出手段13と、 差圧計1において予め前記(1)′式の右辺にρ_sH
    lを加えることにより(この時のρ_s=ρ_s_0)
    ΔP=ρHl・・(2)′ とするゼロ点調整手段30と、 得られた差圧から被測定液の密度ρを次の(8)式 ρ=ΔP/Hl・・(8) より算出する密度演算手段32と、 ゼロ点調整時のシール液密度ρ_s_0と実際の測定時
    におけるシール液密度ρ_s_aとの差を下記(4)式 ρ_s_a−ρ_s_0=β(ta−t_0)・・(4
    )β:シール液の膨張係数/℃ t_a:測定時におけるシール液温度 t_0:ゼロ点調整時におけるシール液温度から求める
    シール液密度の変動分検出手段15と、密度演算手段3
    2で液密度を算出する際、ΔP中に包含されるシール液
    密度の変動分に基づく誤差圧力β(t_a−t_0)h
    を打ち消す誤差補正手段31とを備えたことを特徴とす
    る差圧式計測装置。 【5】第1の圧力入力部1aと第2の圧力入力部1bを
    有しこれら各圧力入力部(1a、1b)に入力される圧
    力の差圧を測定する差圧計1を備え、この差圧計1の第
    1の圧力入力部1aが第1の管3で測定液を収容する貯
    漕2に接続されるとともに、差圧計1の第2の圧力入力
    部1bが第2の管4で貯漕2に接続され、かつ、第2の
    管4と貯漕2との接続点は第1の管3と貯漕2との接続
    点よりも高い位置にあり、さらに、第1の管3及び第2
    の管4の内少なくとも第2の管4内にシール液が充填さ
    れ、このシール液の温度を検知するシール液温度検出手
    段11が設けられ、さらに、第2の管4と貯漕2との接
    続点より液面が高くなるように被測定液を貯漕2に入れ
    た状態で、第1の圧力入力部1aに入力される圧力 (P_1+ρL+pHl) P_1:貯漕内圧 ρ:被測定液の密度(未知) L:第2の管4と貯漕2との接続点から被 測定液面までの高さ Hl:第1の圧力入力部1aから第2の管4と貯漕2と
    の接続点までの高さ と第2の圧力入力部1bに入力される圧力 (P_1+ρL+p_sh) ρ_s:シール液の密度 h:第2の圧力入力部1bから起算したシ ール液の封入高さ(ここではh=Hl) とから両者の差圧ΔPを次の(1)′式 ΔP=(P_1+ρL+ρHl) −(P_1+ρL+ρ_sh) =ρHl−ρ_sh =ρHl−ρ_sHl・・(1)′ に基づき検出する差圧検出手段13と、 差圧計1において予め前記(1)′式の右辺にρ_sH
    lを加えることにより(この時のρ_s=ρ_s0)△
    P=ρHl・・(2)′ とするゼロ点調整手段30と、 得られた差圧から被測定液の密度ρを次の(8)式 ρ=ΔP/Hl・・(8) より算出する密度演算手段32と、 この密度演算手段32で液密度を算出する際、下記の(
    9)式 ε=[−β(t_a−t_0)h]/ρ_mHl・・(
    9)β:シール液の膨張係数/℃ t_a:測定時におけるシール液温度 t_0:ゼロ点調整時におけるシール液温度ρ_m:被
    測定液の密度測定範囲の最大値 h:第2の圧力入力部1bから起算した シール液の封入高さ Hl:第1の圧力入力部1aから第2の管 4と貯溜2との接続点までの高さ でゼロ点移動量ε求め、前記密度演算手段32で演算し
    た得た実測値に1/(1+ε)を乗じて真値を得るよう
    にした誤差補正手段31とを備えたことを特徴とする差
    圧式計測装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2013088027A (ja) * 2011-10-18 2013-05-13 Hitachi Plant Technologies Ltd 冷却システム及び冷却方法
CN103308424A (zh) * 2013-06-30 2013-09-18 唐山三友氯碱有限责任公司 氯气回收中的次氯酸钠密度测量与过程控制方法
CN105486373A (zh) * 2016-01-19 2016-04-13 黄亮 一种储液罐及液体重量的测量方法
CN115307702A (zh) * 2022-09-07 2022-11-08 北京北方华创微电子装备有限公司 液体参数测量装置和方法、半导体清洗设备

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