JPH02201919A - 移動自在なカンチレバー式パージ方法、エレファント管およびそのパージシステム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、半導体処理システムに関し、−層詳細には、
ウェハ装填位置、ウェハパージ位置および基板処理炉の
ためのウェハプロセス位置の間で使用されるパドルを備
えた移動自在な石英製エレファント管を有する移動自在
なカンチレバー式パージ方法、それに用いられるエレフ
ァント管およびそのパージシステムに関する。

［従来の技術］ 従来のシステムは、ウェハ装填位置かウェハプロセス位
置のいずれかを有するが、これらの二つの位置の間で適
切なパージ位置を有していない。

「カンチレバー式拡散管および方法」と題するウォルマ
ン（Ｗｏｌ　Ｉｍａｎｎ）の米国特許第４、４５９．１
０４号、および第４，５２６．５３４号には、夫々、プ
ロセス管の底部にスロットを備えたものを示しである。

「溝付カンチレバー式拡散管システム、および装填方法
とその装置」と題するウアング（Ｗｈａｎｇ）等の米国
特許第４．５４３．０５９号には拡散管装置が示しであ
る。この特許には底部に溝を有する大きな石英管が設け
られる。処理管の内側には一つのガラス製スリーブが設
けられ、パドルを支承するベローズは設けていない。ガ
ラス製スリーブは処理管に密接して単一ランナウェイ上
に支承されている。

［発明の目的コ 本発明は、ウェハの装填、パージ、プロセス位置で使用
する移動自在なエレファント管を設けるとともに、パー
ジ用インゼクタおよび戻し用排気管をエレファント管に
設けることにより従来技術の欠点を克服するものである
。この移動自在なエレファント管は、ウェハの装填およ
び加速冷却サイクルを含む処理管のパージを容易にする
ものである。

本発明の一般的な目的は、移動自在な石英製エレファン
ト管をウェハ処理炉およびこの処理炉の回収面（Ｓｃａ
ｖｅｎｇｅｒ面）周りに密封する密封用リングアセンブ
リを備える移動自在な石英製エレファント管を使用する
移動自在なカンチレバー式パージシステムを提供するこ
とにある。

本発明の一実施例によれば、ステンレススチールシャフ
トの支承ブロック上に配置された移動自在な石英製エレ
ファント管を備えるカンチレバー式パージシステムが提
供される。カンチレバー式パドルクランプ用担体には炭
化珪素またはセラミック製のパドルが支承され、この担
体はまたステンレススチールシャフトに装着される。ス
テンレススチールシャフトアセンブリは処理炉に隣接し
、石英製処理炉に整列して配置される。移動自在な石英
製エレファント管はウェハ装填位置、ウェハパージ位置
およびウェハ処理位置の間を移動する。本システムには
処理管に対する石英リングによる特定の密封構造、回収
面に対するステンレススチールリングによる特定の密封
構造が付与され、これらのリングは、移動自在な石英製
エレファント管、処理管および処理炉の間でドアにより
三つの移動自由度と同心性が与えられる。

本発明の重要な点および特徴によれば、移動自在な石英
製エレファント管を備えた移動自在なカンチレバー式パ
ージシステムが提供される。

これはウェハ処理管を密封する石英製ドアと回収面を密
封する金属製ドアとを備え、両ドアは両管に対して同心
性を保持して密封される。回収面とガス抜き用戻り排気
口の間も密封される。

これはガス逆流防止システムとしても作用する。

本発明の他の重要な点と特徴によれば、エレファント管
はウェハ装填位置、ウェハパージ位置およびウェハ処理
位置の間で滑動自在に構成される。エレファント管と支
承構造はさらに戻し回収排気管を通してガスの換気、冷
却および／またはパージの促進を確保する。上記密封構
造により、作業室からエレファント管への大気ガスの逆
流は非常に僅かか、または全くない。

本発明のさらに重要な点と特徴によれば、気相デポジシ
ョン処理等に対して制御された大気環境を与える移動自
在なカンチレバー式パージシステムが提供される。上記
の大気は不活性ガス等により清浄化される。

以上、本発明の主要実施例に概説したように、本発明の
主要な目的は、トラックまたはレールシステムに搭載さ
れた少なくとも一つの、好適には二つのインゼクタノズ
ルを有するエレファント管を用いた移動自在なカンチレ
バー式パージシステムを提供することにある。

本発明の一つの目的は、種々の位置の間、および、例え
ば、ノルトン（Ｎｏｒｔｏｎ）パドル等のパドルハンド
ルのシャフトに沿って移動自在なエレファント管を提供
することにある。

本発明の他の目的は、囲繞する構造の周囲に対して気密
性を確保しガスの逃散を防止するとともに、ガスの逆流
を防止するエレファント管アセンブリを提供することに
ある。動作パラメータや温度、圧力に依存して非常に僅
かな量のガス逃散、逆流があるが、本発明によれば、こ
れが最小になされる。

［実施例コ 以下、図面により本発明の好適な実施例につき説明する
。

第１図は移動自在な石英製エレファント管１２を備える
移動自在なカンチレバー式パージシステム１０の側面図
である。この石英製エレファント管１２は特定の装填要
件およびウェハサイズに従って直径および長さを変更す
ることが出来る。この石英製エレファント管１２は、開
放された一方の端部１４とその反対側の端部１６を有し
ており、前記反対端部１６は部分的に閉成することが出
来、また炭化珪素、セラミック製のパドル支承シャフト
、またはハンドル１８が約７万インチ（１，７８Ｘ１０
３メートル）および１万〜１０万インチ（２，５４Ｘ１
０２〜２．５４Ｘ１０”メートル〕　の範囲の微小なり
すアランスを通過するのに十分な大きさと形状の開口を
有している。さらに、移動自在な石英製エレファント管
１２はその内壁の主要な部位に複数個の窒素パージ用イ
ンゼクタ２０ａ乃至２０ｎを配置固着し、大気から酸素
を除去する等の目的のため、窒素またはその他のガスが
ウェハ面を通過出来るように構成している。さらに、こ
の石英製エレファント管１２はガス通過装置構造を装着
するための複数の接続用ニップルを有する。窒素パージ
用インゼクタ２０ａ乃至２０ｎには、第２図に示すよう
に、シリコンウェハの表面に窒素またはその他のガスを
供給するために、大きさと中心間距離の異なる複数の孔
２２ａ乃至２２ｎが画成されている。石英製エレファン
ト管１２の部分的に閉成した端部１６には石英製排気ニ
ップル２４が配置され、これにはガス源が装着可能であ
る。この石英製排気ニップル２４はパージ用インゼクタ
管２０ａ乃至２Ｏｎに接続される。石英製排気ニップル
２６は石英チューブで構成され、気密用の０リングから
なる圧縮コネクタおよびフランジアセンブリ２８を装着
するため、前記石英製エレファント管１２の内部に直接
封止される。ステンレススチール製コネクタ用ニルボウ
３０が圧縮コネクタ２８の他端部および気密用の０リン
グからなる圧縮コネクタ３２に接続される。コネクタ用
ニルボウ３０はステンレススチールまたは他の同様の材
料からなり、石英製排気ニップル２６を介した移動自在
な石英製エレファント管１２と、圧縮コネクタ２８．３
２、およびステンレススチール製戻し回収用排気管３４
の間に真空気密を与える。これは、炉の回収領域から放
出される排気ガスを搬送する管路として作用する。排気
管３４用の閉塞用ドア３６は、ステンレススチールまた
は他の同様の材料からなり、ステンレススチール密封用
ドア５８と協働してステンレススチール製の可撓性ジヨ
イント３６ａに結合し、さらに排気管３４に装着される
。

この閉塞用ドア３６は、パージまたはウェハ処理位置に
ある時、回収面１２１と排気管３４の間を略気密に封止
する。圧縮式の気密な０リング３７は閉塞用ドア３６の
端部に近接配置され、第６図に示すように、回収面１２
１の戻し回収用排出孔１３２に対して実質的に封止動作
する。

石英製密封用ドア５２は十分な内径、外径と厚みとを有
し、エレファント管１２に対し且つその周囲に同心状に
配置される。石英製密封用ドア５２は、エレファント用
担体３８の両側で二つ以上の水平方向に整列した石英製
摺動ロッドにより支承され、エレファント管１２がパー
ジまたはウェハ処理位置にある時、エレファント管１２
と処理管の間を密封するように作用する。

ステンレススチール製密封用ドア５８は、十分な内径、
外径と厚さを有するステンレススチールペまたは他の同
様な材料からなり、エレファント管１２に対し且つその
周囲に同心状に配置され、二つ以上の水平方向に整列し
た円筒状管６０．６２により支承され、さらに石英製エ
レファント管１２がパージ位置、またはウェハ処理位置
にある時、エレファント管１２と回収用排気領域の間を
封止するように作用する。装着用フランジ６４．６６は
、ステンレススチール、またはその他の同様の材料から
なり、ステンレススチール製密封用ドア５８を装着し且
つ固着するために、円筒管６０．６２上で同心状に配置
される。回転調節用ブロック６８．７０は、ステンレス
スチールまたは他の同様の材料からなり、エレファント
用担体３８の両側に配置装着され、さらに石英製スライ
ドロッド５４．５６および円筒管６０．６２に対する支
承手段を提供するとともに、石英製封止用ドア５２およ
びステンレススチール製回収封止用ドア５８に対する垂
直方向および角度の回動調整作用を営む。円筒管６０．
６２はステンレススチールまたは他の同様の材料からな
り、回動調節用ブロック６８．７０に装着配置され、さ
らに一端部が開成し、他端部が閉塞したステンレススチ
ール製ばね、および一つ以上のポリテトラフルオロエチ
レン製同心円筒状スペーサに対する密封したハウジング
を提供する。ポリテトラフルオロエチレン製スペーサは
、石英製摺動ロッド５４．５６と円筒管６０．６２０間
で、夫々同心性を維持するとともに石英製密封用ドア５
２がパージまたはウェハ処理サイクル時に、処理管に同
心状に当接する際に、滑動自在である。ステンレススチ
ール製スプリングは、石英製摺動ロッド５４に可撓性を
与えるとともに、パージまたはウェハ処理サイクル時に
石英製密封用ドア５２に適切な係合と張力を保証する。

回動ビン？２．７４は、石英製のエレファント管１２、
ステンレススチール製密封用ドア５８、およびエレファ
ント管１２との間が同心状になるように調整を行う時、
エレファント用担体３８の両側で移動自在な石英製エレ
ファント管１２の両測部上方に配置された回動調節用ブ
ロック６８．７０に対し、同軸となる。

エレファント管１２の一部閉塞した端部１６にはパドル
孔７８が形成され、これは炭化珪素パドル支承シャフト
１８が通過する通路を提供する。一部閉塞した孔１６の
大きさと形状は特定の炭化珪素パドルの大きさに従って
定められる。カンチレバー式パドルクランプ担体８０は
アルミニウム製であるが、硬質ステンレススチールまた
は他の同様の材料で形成することも出来る。パドルクラ
ンプ担体８０は平行するステンレススチール製シャフト
４５．５０上ヲ滑うかに走行する複数の支承ブロック８
２ａ乃至８２ｎにより支承される。パドルクランプ担体
８０は炭化珪素製パドル支承シャツ）１８を固着し且つ
支承する。また、このパドルクランプ担体８０は処理管
およびその他の要素に対してパドルを整列させるように
作用する。さらに、このカンチレバー式パドルクランプ
担体８０は、炭化珪素製パドル支承シャフト１８に対し
て垂直および水平方向の調節を与え、これにより炭化珪
素バドル支承シャフト１８、エレファント管１２および
処理管のカンチレバー式パドルクランプ担体の間の整列
状態を確保する。エレファント管１２に対する閉塞用ド
ア８４は、ステンレススチールまたは他の同様の材料か
らなり、適切な材料からなる圧縮式の気密用０リングタ
イプのシール９１を介して炭化珪素製パドル支承シャフ
ト１８に直接装着される。この閉塞用ドア８４は、エレ
ファント管１２の端部１６に係合する、適切な材料で形
成された任意の圧縮式気密用０リング８９を有する封止
用板８８に装着されたステンレススチール製可撓性ベロ
ーズ８６からなり、パージまたはウェハ処理位置にある
時、炭化珪素バドル支承シャフト１８およびエレファン
ト管１２０間を略気密に封止するように作用する。シャ
フトサポート９０．９２は、ステンレススチールまたは
その他の同様の材料からなり、支承ブロック４０ａ乃至
４０ｎおよび８２ａ乃至８２ｎがシャフトサポート９０
．９２に対し滑らかに係合することが可能なようにステ
ンレススチール製シャフト４８．５０を固着し且つ支承
する構造である。Ｏ’ｌング８９は封止用板８８および
エレファント管の一端部１６を封止する。他の０リング
９１は炭化珪素製パドル支承シャフト１８の周囲にあっ
て閉塞用ドア８４を封止する。

第２図は、移動自在なカンチレバー式パージシステム１
０の第１図における２−２線に沿う端部断面図であり、
ここで参照符号の全ては既に説明した構成要素に対応し
ている。特に、エレファント管１２に対し、その周囲で
同心状をなすステンレススチール製密封用ドア５８が示
しである。複数のパージインゼクク２０ａ乃至２Ｏｎが
、例えば、エレファント管１２の内部側壁の基板前面に
対し所望のパージを施すように配置される。さらに、他
のパージインセクタ２０ａ乃至２Ｏｎもシステムに取り
込むことが出来る。これらのパージインセクタ２０ａ乃
至２Ｏｎは図示の位置ではなく内側壁上の他の位置に配
置することも出来、また、第４図に示すように、まとめ
て配置することも出来る。

第３図は移動自在なカンチレバー式パージシステム１０
の、第１図の３−３線に沿う端部断面図であり、参照符
号の全ては既に説明した構成要素に対応している。

長手方向に延在する支承部材９４．９６はエレファント
用担体３８の装着板４２から垂直方向に延在して当該エ
レファント管１２の側部を支承する。エレファント管１
２とともにエレファント用担体３８は複数の支承ブロッ
ク４０ａ乃至４Ｏｎに対し横方向に延在しシャフト４８
．５０に沿う。シャフト４８．５０はシャフトサポート
９０．９２に支承されている。

回動調節ブロック６８．７０内には回動ビン７２．７４
が示しである。回動調節ブロック６８の調節ねじ９５．
９７および回動調節ブロック７０の調節ねじ９８．１０
０も、第１図に一部示すように、円筒管６０．６２、石
英製スライドロッド５４．５６、およびステンレススチ
ール製および石英製封止用ドア５８．５２を水平方向に
整列させるように、回動調節ブロック６８．７０を回動
ピン７２．７４周りに旋回させて調節する。封止用ドア
５２．５５は処理管および回収面に対して同心状のドア
として作用する。

第４図は石英製エレファント管１２の垂直断面図であり
、全ての参照符号は既に説明した構成要素に対応してい
る。特に、エレファント管１２の内壁に確保されたパー
ジインゼクタ２０ａの一つが示しである。さらに、第５
図に示したように、マニホールド１０２は各々のインゼ
クタ管の孔２２ｎに隣接するパージインゼクタ管２０ａ
乃至２０Ｔ１の端部に接続されている。

第５図はこの図の５−５線に沿うエレファント管１２の
端面図であり、全ての参照符号は既に説明した構成要素
に対応するものである。この図はマニホールド１０２が
、窒素パージインゼクタ２０ａと２０７１に接するエレ
ファント管１２の内部に沿って示しである。

第６図乃至第８図はウェハ処理炉に関して移動自在なカ
ンチレバー式パージシステムの動作態様を示す図である
。

第６図は、ウェハ装填位置におけるウェハ処理炉１２０
に隣接配置された移動自在なカンチレバー式パージシス
テム１０を一部断面で示した図である。全ての参照符号
は既に説明した構成要素に対応している。パドルのウェ
ハ装填ゾーン１８ａはパドルの中点から炭化珪素からな
るパドル支承シャフト１８の一方の端部に延在する。処
理に備えるウェハボード１２２は、装填ゾーン１８ａの
上の複数のウェハ１２４ａ乃至１２４ｎを収容し、図に
は処理前の状態が示しである。ウェハ処理炉１２０は回
収面１２１と、この回収面１２１に形成された回収孔１
２６、石英製処理管１２８、および処理管オリフィス１
３０を有する。ウェハ処理炉１２０の回収壁１２７は回
収領域１３４を処理炉１２０内の処理領域１３６から分
離する。回収孔１２６の直径は処理管オリフィス１３０
の直径より太きなす法を有して石英製密封用ドア５２が
回収孔１２６を通ることを可能にし、次に処理管オリフ
ィス１３０を封止する。回収孔１２６はステンレススチ
ール製密封用ドア５８と軸方向に整列し、次にステンレ
ススチール製密封用ドア５８を封止する。同様に、処理
管オリフィス１３０は石英製密封用ドア５２と軸方向に
整列し、次に封止する。ウェハ処理炉１２０の回収面１
２１の戻し回収用排気孔１３２は戻し回収用排気管３４
、閉塞用ドア３６、およびフレクシプルジヨイント３６
ａと整列する。この戻し回収用排気孔１３２は回収孔１
２６に任意に付加することが出来る。回収領域１３４に
隣接するウェハ処理炉１２０には回収用排気孔１３８が
配置される。

第７図は、ウェハパージ位置を示したもので、全ての参
照符号は既に説明した構成要素に対応している。第１図
に示したエレファント搬送担体３８およびカンチレバー
式パドルクランプ担体８０はステンレススチール製シャ
フト４８．５０に沿い共働し、衝動自在に配置され、従
って、エレファント管１２、およびこれに係る部材はウ
ェハ処理炉１２０および石英製処理管１２８内で部分的
に位置決めされ、それらを封止し、パージ動作に備える
。既に説明したように、ウェハ処理炉１２０は炉の回収
面１２１とのステンレススチール製密封用ドア５８の嵌
合により封止される。また、石英製処理管１２８は処理
管オリフィス１３０との石英製密封用ドア５２の嵌合に
より封止される。閉塞用ドア３６は可撓性ジヨイント３
６ａとともに、戻し回収排気孔１３２を通して、従って
、ウェハ処理炉１２０の炉回収領域１３４とともに突出
する戻し回収排気管３４を封止する。石英製密封用ドア
右よびステンレススチール密封用ドア５８は回収面１２
１および石英製処理管１２８に対し逐次封止する。すな
わち、先ず、スプリング式石英製密封用ドア５２は処理
管１２８の処理管オリフィス１３０と嵌合し、次に回動
調節ブロック６８．７０の内部スプリングを圧縮する。

次に、ステンレススチール製密封用ドア５８が、第１図
に示したように、エレファント搬送担体３８がさらに左
手に移動された時、ウェハ処理炉１２０の回収面１２１
に対して位置決めされる。石英製排気ニップル２４に加
圧窒素またはその他のガスが導入され、これは第１図、
２図、４図、および５図に示したパージインゼクタ２０
ａ乃至２Ｏｎを通して封止されたエレファント管１２の
内部に浸入する。使用ガスは、封止されたエレファント
管１２から、石英製排気ニップル２６を通り、気密な０
リングからなる圧縮コネクタ用ニルボウ３０、コネクタ
３２を通り、戻し回収用排気管３４を通って、ウェハ処
理炉１２０の炉処理領域１３６にパージされる。

第９図はウェハ処理位置を示したもので、全ての参照符
号は既に説明した構成要素に対応させである。エレファ
ント管１２をパージした後、カンチレバー式パドルクラ
ンプ担体８０がさらに左右に、且つエレファント搬送担
体３８に指向して位置づけられ、ウェハ１２４ａ乃至１
２４ｎを含むウェハ装填ゾーン１８を石英製処理管１２
８の十分内部に位置決めし、ウェハ処理に供する。エレ
ファント搬送担体３８ふよびその関係する構成要素は、
炭化珪素製パドル支承シャフト１８が第２図に示したパ
ドル孔７８を通して左手に移動する時、静止状態にある
。

石英製処理管１２８内でのウェハ１２４ａ乃至１２４ｎ
およびエレファント管１２は、平行するステンレススチ
ール製シャフト４８．５０に沿うエレファント搬送担体
３８およびカンチレバー式パドルクランプ担体８０の逐
次移動により石英製処理管１２８およびウェハ処理炉１
２０から逆の手順で後退する。

第９図はカンチレバー式パドルクランプ担体８０の斜視
図であり、全ての参照符号は既に説明した構成要素に対
応させである。長方形状ベース板１５０は複数のすりわ
り付調節孔１５２ａ乃至１５２ｎを備えるとともに、こ
れらの孔を通しての適切な小ねじファスナにより第１図
の支承ブロック８２ａ乃至８２Ｔ１に確保される。

ベース板１５０から垂直に平行垂直側部部材１５４．１
５６が延在し、第１０図に示したようにファスナ１５８
ａ乃至１５８ｎによりベース板１５０に確保される。こ
れらの垂直側部部材１５４．１５６には頂部板１６０が
複数のファスナ１６２ａ乃至１６２ｎにより確保される
。

回動クランプアセンブリ１６４は上部チャネル付クラン
プ部材１６６および下部チャネル付クランプ部材１６８
を備える。これらの上部および下部チャネル付クランプ
部材１６６．１６８は互いに対向するそれらのチャネル
付側部と整列し、第１０図に示したように複数のファス
ナ１７０ａ乃至１７０ｎにより炭化珪素パドル支承シャ
フト１８に対して確保される。上部チャネル付クランプ
部材１６６の起立した長方形状の中実部材１７４の孔１
７５を通して、第１０図に示したジャムナラ）１７６．
１７８により上記部材に調節固着される。回動シャフト
１７２は側部部材１５４．１５６の孔１８０．１８２内
に整列回動される。垂直方向に整列された螺合調節ロッ
ド１８４は、ジャムナツト１８６．１８８とともに上部
チャネル付クランプ部材１６６の一端部の開放されたす
りわり付札１９０に整列されるとともに、第１１図にさ
らに示したように、頂部板１６０の孔１９２に整列する
。

第１１図に示したように、複数のアクセス孔ｌ９４ａ乃
至１９４ｎが、ファスナ１７０ａ乃至１７０ｎと整列さ
れ、上部および下部チャネル付クランプ部材１６６．１
６８が炭化珪素パドル支承シャフト１８に対し、且つそ
の周囲に締結されるように、ファスナ１７０ａ乃至１７
０ｎに対するアクセス手段として提供される。頂部板１
６０の孔１９２に対し、止めねじ１９６が水平方向に整
列し、孔１９２内に調節ロッド１８４の上端部を確保す
る。上部および下部チャネル付クランプ部材１６６．１
６８の、これらの内部に確保された炭化珪素パドル支承
シャフト１８との横方向の調節は、ジャムナツト１７６
．１７８を回動シャフト１７２に沿い、且つ起立する長
方形状の中実部材１７４の側部に対して水平方向に調節
することによりなされる。

炭化珪素パドル支承シャフト１８の垂直方向の上昇調節
は、調節ロッド１８４に沿い垂直方向にジャムナツト１
８６．１８８を調節して回動クランプアセンブリ１６４
を、上部および下部チャネル付クランプ部材１６６．１
６８および収容される炭化珪素パドル支承シャフト１８
とともに回動シャフト１７２の周りに回動固定させる。

炭化珪素パドル支承シャフト１８の適切な横方向並びに
垂直方向の上昇調節を実現するに際しては、調節ロッド
１８４の上部に対して止めねじ１９６が締結され、さら
に側部部材１５４．１５６内で水平方向に整列された止
めねじ１９８．２００により回動シャフト１７２が適切
に固着される。止めねじ１９８．２００は孔１８０．１
８２の回動シャフト１７２の端部に対して垂直に締結さ
れる。

第１０図は炭化珪素パドル支承シャフト１８に対してク
ランプされたカンチレバー式パドルクランプ担体８０の
端面図である。全ての参照符号は既に説明した構成要素
に対応させである。

特に、回動クランプアセンブリ１６４を横方向に位置決
めするジャムナツト１７６．１７８が示しである。

第１１図はカンチレバー式パドルクランプ担体８０の側
部断面図で、特に、回動クランプアセンブリ１６４と係
合された炭化珪素パドル支承シャフト１８を仰角方向に
位置決めするジャムナツト１８６．１８８が示しである
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る移動自在なカンチレバー式パージ
システムの側面図、 第２図は第１図の２−２線に沿う移動自在なカンチレバ
ー式パージシステムの端部断面図、第３図は第１図の３
−３線に沿う移動自在なカンチレバー式パージシステム
の端部断面図、第４図は移動自在な石英製のエレファン
ト管の垂直断面図、 第５図は移動自在な石英製のエレファント管の端面図、 第６図は移動自在なカンチレバー式パージシステムのウ
ェハ装填位置についての動作態様を一部断面で示した図
、 第７図はウェハバージ位置についての動作態様を示す図
、 第８図はウェハ処理位置の動作態様を示す図、第９図は
カンチレバー式パドルクランプ担体の斜視図、 第１０図はカンチレバー式パドルクランプ担体の端面図
、 第１１図はカンチレバー式パドルクランプ担体の断面図
である。 ０・・・カンチレバー式パージシステム２・・・移動自
在な石英製エレファント管Ｏａ〜２Ｏｎ・・・パージイ
ンゼクタ管６・・・石英製排気ニップル ８・・・圧縮コネクタ・フランジアセンブリ０・・・コ
ネクタ用ニルボウ ４・・・戻し回収排気管 ６・・・閉塞用ドア 訃・・エレファント搬送担体 Ｏａ〜４０ｎ、８２ａ〜８２Ｔｌ・・・支承ブロック２
・・・石英製密封用ドア ４．５６・・・石英製スライドロッド ５８・・・ステンレススチール製密封用ドア６８． ７０・・・回動調節ブロック

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. （１）処理炉の処理管内での基板の処理方法であって、 複数の基板を基板装填位置でパドルに装填する第１のス
   テップと、 前記基板を基板装填位置から基板パージ位置に位置決め
   する第２のステップと、 エレファント管を有するパドルと基板を密封自在なドア
   で囲繞する第３のステップと、 処理炉の処理管内で基板を処理する第４のステップと、 前記第１乃至第４のステップを逆の順序で反復するステ
   ップにより構成することを特徴とする基板処理方法。
2. （２）パドルに支承されたウェハキャリヤ内での基板の
   処理方法であって、 支承手段内の複数の基板をパドル上に装填する第１のス
   テップと、 エレファント管をガスでパージする第２のステップと、 エレファント管およびパドルをパージ位置に移動させる
   第３のステップと、 処理炉の処理管において、且つエレファント管端部にお
   いてパージする第４のステップと、基板とともにパドル
   をパージ位置から処理管内に移動させるとともに前記エ
   レファント管を前記処理管内に移動させる第５のステッ
   プと、前記基板を処理する第６のステップと、 前記パドルと前記エレファント管をパージ位置に逆に移
   動させる第７のステップと、 さらに、 前記エレファント管と前記パドルを基板装填位置に逆に
   移動させる第８のステップとで構成することを特徴とす
   るウェハキャリヤ内での基板処理方法。
3. （３）基板処理炉とカンチレバー式パドルクランプ担体
   の間の位置決めのための基板処理用エレファント管であ
   って、 移動自在な石英製エレファント管と、 インゼクタ管内に配置されたガスパージインゼクタ手段
   と、 前記エレファント管に接続されるとともに前記基板処理
   炉に対し挿入、着脱自在な排気手段と、 基板処理管に係合する第１密封ドア手段と、前記基板処
   理炉に係合するための第２密封ドア手段とから構成され
   、これにより前記ドア手段はバイアス部材に支承される
   とともに前記第２密封ドア手段は前記エレファント管に
   固着されることを特徴とするエレファント管。
4. （４）基板処理システムであって、 処理管を含む基板処理炉と、 前記パドルのシャフトを囲む炭化珪素またはセラミック
   製ベローズを支承するパドル搬送担体と、 トラック手段に支承されたパージ手段を有するエレファ
   ント管とから構成することを特徴とする基板処理システ
   ム。
5. （５）移動自在なカンチレバー式パージシステムであっ
   て、 パドルのシャフトを収容する孔を一端部に有するエレフ
   ァント管と、 装填位置、パージ位置および処理位置の間で前記エレフ
   ァント管を移動させる担体と、 管状手段に支承されるとともに前記エレファント管の周
   囲に支承され、対向隔置されたロッドに装填された処理
   リング手段と、 前記管状手段に固着されるとともに前記エレファント管
   の周囲に支承された回収リングとを備えることを特徴と
   するパージシステム。
6. （６）請求項５記載のシステムにおいて、前記エレファ
   ント管に排気手段を有することを特徴とするシステム。
7. （７）請求項５記載のシステムにおいて、前記エレファ
   ント管にガスインゼクタ手段を有することを特徴とする
   システム。