JPH02204046A - 液体噴射記録ヘッド - Google Patents
液体噴射記録ヘッドInfo
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- JPH02204046A JPH02204046A JP2554389A JP2554389A JPH02204046A JP H02204046 A JPH02204046 A JP H02204046A JP 2554389 A JP2554389 A JP 2554389A JP 2554389 A JP2554389 A JP 2554389A JP H02204046 A JPH02204046 A JP H02204046A
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/321—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors electrically connecting electric components or wires to printed circuits by conductive adhesives
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/3452—Solder masks
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/36—Assembling printed circuits with other printed circuits
- H05K3/361—Assembling flexible printed circuits with other printed circuits
Landscapes
- Ink Jet (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
［産業上の利用分野］
本発明は、記録用の液体、例えば記録液の小滴等を吐出
し、それを紙等の被記録材に付着させて記録を行なう液
体噴射記録方法に用いる記録ヘッド、なかでも記録液の
液路等の壁を感光性樹脂を用いて形成した液体噴射記録
ヘッドに関する。 ［従来の技術］ 液体噴射記録ヘッドは、基板上に、記録用の液体を吐出
する吐出口と、該吐出口に連通し、液体を吐出口に供給
する液路と、液体を吐出するために利用されるエネルギ
ーを発生するエネルギー発生体等を基板上に設けた液吐
出部と、該液吐出部内のエネルギー発生体に外部の駆動
系からの電気的信号を付与するための配線が引き出され
、各配線の信号入力用端子（パッド）が設けられている
配線引き出し部とを有しいている。 なお、液体噴射記録ヘッドの構成としては種々のものが
知られているが、例えば特開昭５７−４３８７６号公報
に開示されているような液路壁を感光性樹脂の硬化膜で
形成した構造のものが、その加工性や記録特性等の面か
ら優れているものとして知られている。 また、プリント配線板やフレキシブルプリント基板等を
有する外部駆動系と、記録ヘッドの各配線の信号入力用
端子との接続は、ワイヤーボンディングやハンダバンブ
等の合金法による接合、または導電性膜等を用いる圧着
法が一般的に用いられている。 ［発明が解決しようとする課題］ 液体噴射記録ヘッドを有する記録装置において、吐出口
の高密度化が進み、それにともなって、配線末端の信号
入力用端子（パッド）もまた高密度化されるようになっ
てきた。 記録ヘッドの有する配線末端の信号入力用端子と外部駆
動部側の信号出力用端子との接続は、コストや生産性等
の点から、複数の端子接続を一括して行なう方式が適用
されてきている。 例えば、記録ヘッドの基板の配線引き出し部に配列され
た信号入力用端子パッド配列部に、伝導性膜を貼り付け
たフレキシブルプリント基板やハンダバンブを形成した
ＰＣＢ等を直接加熱・圧着することによって、−度に各
端子どうしの接続が行なわれる。 しかしながら、これらの方法においては、加熱・圧着時
における温度の調節、圧力の大きさやその分布の制御が
むずかしく、端子間のショートや接続後の各端子接続部
での接続抵抗のバラツキが生じ易く、そのため設計どお
りの電気的信号の付与状態が得られず、良好な液吐出特
性が記録ヘッドに得られない場合がある。 本発明の目的は、記録ヘッドの配線末端の信号入力用端
子と外部駆動系側の信号出力用配線の端子との一括接続
が、容易に精度良く行な久る構成を有する液体噴射記録
ヘッドを提供することにある。 Ｅ問題点を解決するための手段］ 本発明の液体噴射記録記録ヘッドは、 液体を吐出する吐出口に連通ずる液路と、該吐出口から
液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する
エネルギー発生体と、 該エネルギー発生体に付与される液吐出のための電気的
信号を入力するための信号入力用端子を有する配線と、 を有する液体噴射記録ヘッドにおいて、前記信号入力用
端子の配役部に、該信号入力用端子と外部駆動系側の信
号出力用端子との接続の際のガイドとなり感光性樹脂を
用いて形成されているガイド部材が設けられていること
を特徴とする。 本発明の液体噴射記録ヘッドにおいては、配線引き出し
部にあり、外部駆動系側の液吐出信号を出力する信号出
力用端子と接合される信号入力用端子（以下、入力用端
子という）の配役部に、外部駆動系側の信号出力用端子
との接続を安定かつ容易とするガイド部材が設けられて
いるので、外部駆動系側の出力用端子（以下、出力用端
子という）と液体噴射記録ヘッド側の入力用端子との一
括接続が極めて容易に行なえるようになった。 また、上記ガイド部材と、液路等の壁とを、同一の感光
性樹脂材料を用いた同一プロセスで形成すれば、工程数
を大幅に増加させることなく、ガイド部材の形成を効率
良く行なうことができる。 本発明において使用できる感光性組成物としては、感光
性樹脂、フォトレジスト等の通常のリソグラフィーの分
野において使用されている感光物の多くのものが挙げら
れる。これ等の感光物としては１例えば、ジアゾレジン
、Ｐ−ジアゾキノン、更には例えばビニルモノマーと重
合開始剤を使用する光重合型フォトポリマー、ポリビニ
ルシンナメート等と増感剤を使用する二重化型フォトポ
リマー、オルソナフトキノンジアジドとノボラックタイ
プのフェニール樹脂との混合物、ポリビニルアルコール
とジアゾ樹脂の混合物、４−グリシジルエチレンオキシ
ドとベンゾフェノンやグリシジルカルコンとを共重合さ
せたポリエーテル型フォトポリマー、Ｎ、Ｎ−ジメチル
メタクリルアミドと例えばアクリルアミドベンゾフェノ
ンとの共重合体、不飽和ポリエステル系感光性樹脂
し、それを紙等の被記録材に付着させて記録を行なう液
体噴射記録方法に用いる記録ヘッド、なかでも記録液の
液路等の壁を感光性樹脂を用いて形成した液体噴射記録
ヘッドに関する。 ［従来の技術］ 液体噴射記録ヘッドは、基板上に、記録用の液体を吐出
する吐出口と、該吐出口に連通し、液体を吐出口に供給
する液路と、液体を吐出するために利用されるエネルギ
ーを発生するエネルギー発生体等を基板上に設けた液吐
出部と、該液吐出部内のエネルギー発生体に外部の駆動
系からの電気的信号を付与するための配線が引き出され
、各配線の信号入力用端子（パッド）が設けられている
配線引き出し部とを有しいている。 なお、液体噴射記録ヘッドの構成としては種々のものが
知られているが、例えば特開昭５７−４３８７６号公報
に開示されているような液路壁を感光性樹脂の硬化膜で
形成した構造のものが、その加工性や記録特性等の面か
ら優れているものとして知られている。 また、プリント配線板やフレキシブルプリント基板等を
有する外部駆動系と、記録ヘッドの各配線の信号入力用
端子との接続は、ワイヤーボンディングやハンダバンブ
等の合金法による接合、または導電性膜等を用いる圧着
法が一般的に用いられている。 ［発明が解決しようとする課題］ 液体噴射記録ヘッドを有する記録装置において、吐出口
の高密度化が進み、それにともなって、配線末端の信号
入力用端子（パッド）もまた高密度化されるようになっ
てきた。 記録ヘッドの有する配線末端の信号入力用端子と外部駆
動部側の信号出力用端子との接続は、コストや生産性等
の点から、複数の端子接続を一括して行なう方式が適用
されてきている。 例えば、記録ヘッドの基板の配線引き出し部に配列され
た信号入力用端子パッド配列部に、伝導性膜を貼り付け
たフレキシブルプリント基板やハンダバンブを形成した
ＰＣＢ等を直接加熱・圧着することによって、−度に各
端子どうしの接続が行なわれる。 しかしながら、これらの方法においては、加熱・圧着時
における温度の調節、圧力の大きさやその分布の制御が
むずかしく、端子間のショートや接続後の各端子接続部
での接続抵抗のバラツキが生じ易く、そのため設計どお
りの電気的信号の付与状態が得られず、良好な液吐出特
性が記録ヘッドに得られない場合がある。 本発明の目的は、記録ヘッドの配線末端の信号入力用端
子と外部駆動系側の信号出力用配線の端子との一括接続
が、容易に精度良く行な久る構成を有する液体噴射記録
ヘッドを提供することにある。 Ｅ問題点を解決するための手段］ 本発明の液体噴射記録記録ヘッドは、 液体を吐出する吐出口に連通ずる液路と、該吐出口から
液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する
エネルギー発生体と、 該エネルギー発生体に付与される液吐出のための電気的
信号を入力するための信号入力用端子を有する配線と、 を有する液体噴射記録ヘッドにおいて、前記信号入力用
端子の配役部に、該信号入力用端子と外部駆動系側の信
号出力用端子との接続の際のガイドとなり感光性樹脂を
用いて形成されているガイド部材が設けられていること
を特徴とする。 本発明の液体噴射記録ヘッドにおいては、配線引き出し
部にあり、外部駆動系側の液吐出信号を出力する信号出
力用端子と接合される信号入力用端子（以下、入力用端
子という）の配役部に、外部駆動系側の信号出力用端子
との接続を安定かつ容易とするガイド部材が設けられて
いるので、外部駆動系側の出力用端子（以下、出力用端
子という）と液体噴射記録ヘッド側の入力用端子との一
括接続が極めて容易に行なえるようになった。 また、上記ガイド部材と、液路等の壁とを、同一の感光
性樹脂材料を用いた同一プロセスで形成すれば、工程数
を大幅に増加させることなく、ガイド部材の形成を効率
良く行なうことができる。 本発明において使用できる感光性組成物としては、感光
性樹脂、フォトレジスト等の通常のリソグラフィーの分
野において使用されている感光物の多くのものが挙げら
れる。これ等の感光物としては１例えば、ジアゾレジン
、Ｐ−ジアゾキノン、更には例えばビニルモノマーと重
合開始剤を使用する光重合型フォトポリマー、ポリビニ
ルシンナメート等と増感剤を使用する二重化型フォトポ
リマー、オルソナフトキノンジアジドとノボラックタイ
プのフェニール樹脂との混合物、ポリビニルアルコール
とジアゾ樹脂の混合物、４−グリシジルエチレンオキシ
ドとベンゾフェノンやグリシジルカルコンとを共重合さ
せたポリエーテル型フォトポリマー、Ｎ、Ｎ−ジメチル
メタクリルアミドと例えばアクリルアミドベンゾフェノ
ンとの共重合体、不飽和ポリエステル系感光性樹脂
【例
えばＡＰＲ（旭化成）、テビスタ（帝人）、ゾンネ（関
西ペイント）等】、不飽和ウレタンオリゴマー系感光性
樹脂、二官能アクリルモノマーに光重合開始剤とポリマ
ーとを混合した感光性組成物、重クロム酸系フォトレジ
スト、非クロム系水溶性フォトレジスト、ポリケイ皮酸
ビニル系フォトレジスト、環化ゴム−アジド系フォトレ
ジスト等が挙げられる。 この他、例えばデュポン社の１１０−マネントフオトポ
リマーコーティング、Ｒｌ５ＴＯＮ、ソルダーマスク７
３０Ｓ、７４０Ｓ、７３０ＦＲ。 ７４０ＦＲ，ＳＭＩ、東し社のフォトニース、ダイナケ
ンコーポレーションのラミナーＭＬ、ラミナーＲＭ、東
京応化のＴＰＲ，ＥＰＰＲ，０ＦＰＲ−７ＰＦ、０ＦＰ
Ｒ−７Ｐ、Ｇ９０．日立化成の５Ｒ−１０００Ｇ−５０
，５Ｒ−１０００Ｇ−７５，５Ｒ−１００ＯＮ−７５等
の商品名で市販されている感光性組成物も有効に本発明
において使用される。 ［実施例］ 以下、図面を用いて本発明の一実施例を説明する。 実施例１ 第１図（ａ）は、本発明の液体噴射記録ヘッドの斜視図
であり、第１図（ｂ）は第１図（ａ）のＡ部分の拡大図
である。 ｌは、多数のエネルギー発生体が設けられた基板であり
、該基板上に各エネルギー発生体に対応する波路等の壁
を形成する感光性樹脂の硬化ｌＩ３が設けられている。 エネルギー発生体としては、例えば液体の吐出のための
エネルギーとして熱エネルギーを発生するものが利用で
きる。 この感光性樹脂の硬化膜３は、パターン露光、現像、ベ
ーキング等の過程を含むフォトリソ工程を利用した常法
等により所定の形状にパターニングされている。 ４は液路をおおう覆いとしての天板であり、硬化膜３上
に積層接合されている。この天板は、樹脂、ガラスなど
の部材によって形成されている。 第１図にＡで示される部分は、液吐出部であり、例えば
、基板１上に第２図に示されるような配列で電極２０及
び発熱抵抗体１７からなる、液滴吐出のための熱エネル
ギーを発生し得る電気熱変換体を配置し、必要部分に保
護層を設け、更に第３図（ａ）および（ｂ）に示すよう
に感光性樹脂硬化膜３からなる液路１８及び液室１９の
壁を設け、該壁の覆いとしての記録液供給口５を有する
天板２を接合した構成を有する。 一方、第１図にＢで示される部分配線引き出し部であり
、各液滴吐出エネルギー発生体に付与する電気的信号の
入力用端子バッド６が配列されており、各入力用端子間
には外部駆動系側の出力用端子とこれら入力用端子との
接続をガイドするガイド部材としてのガイド壁４が設け
られている。 なお、この例のガイド壁４は、その高さが入力用端子６
と同一に形成されており、例えば第４図に示すような外
部駆動系側の出力用端子との接続に好適に利用できるも
のである。 このガイド壁４は、基板上に設けた感光性樹脂層をパタ
ーニングして、液路や液室の壁３を形成する際に、感光
性樹脂層のガイド壁４となる部分を一緒に硬化させて、
基板上に残すことによって効率良く形成できる。 このガイド壁は、必要に応じて壁３の形成と別の工程に
よって形成しても良い。 なお、ガイド壁４の形状およびその配置位置は、外部駆
動系の出力用端子との接続が容易となるように適宜設定
すれば良い。 たとえば、第２図に示すような接続方式を取る場合には
、入力用端子６と同程度の高さで、各入力用端子６の間
に形成された凹部による多端端子−括接続への影響が効
果的に排除されるような、すなわち記録ヘッドの配線引
き出し部と、外部駆動系側の出力用端子配列部との接合
時に重ね合せて圧接した際に、各圧接部に均一に圧力が
かかるような、幅、長さ及び配置で設ければよい。 第１図に示１１．た構成のガイド壁を有する液体噴射記
録ヘッドの作製と、記録ヘッド側の入力用端子と外部駆
動系側の出力用端子との接続を以下のようにして行なっ
た。 第３図に示すように、所定の配置で配列された吐出エネ
ルギーとして熱エネルギーを利用する吐出エネルギー発
生体を構成する電気熱変換体（発熱部のサイズ、２２μ
（配列方向の長さ）ｘ １１０μ、配列ピッチ６３．
５． ）の複数を設け、かつ各電気熱変換体に外部駆動
系からの電気的信号を印加するための配線と、各配線の
外部駆動系側との接続のための入力用端子（サイズ、２
２０１ｓ＋ （配列方向の長さ）ｘ ３００μ、配列
ピッチ５Ｓ４Ｕ）が配列された配線引出し部が配された
基板上に、感光性樹脂（東し社製のフォトニース、商品
名）を用いたフォトリソグラフィーによるパターニング
工程を含む上述の方法によって、−例として、ガイド壁
となる部分に対応する露光パターンが付加された露光マ
スクを用いた露光過程を含む方法によって、各発熱抵抗
体に対応する液路と液室とを構成する壁および各入力用
端子の中間に中心を有するように位置するガイド壁（サ
イズ、 １５０μ×３０θμ、配列ピッチ：前記入力用
端子と同様）を感光性樹脂砂化膿から同時形成した。 更に、液路と液室な構成する壁の覆いとし７ての天板を
接合し、必要に応じて、吐出エネルギー発生体配置部よ
り下流の所定の位置で、得られた接合体を切断して、切
断面に液路の開１０端部としての吐出口を形成して液体
噴射記録ヘッドを完成した。 なお、この製作過程に使用された材料や装置としては、
通常の感光性樹脂を用いた液体噴射記録ヘッドの作製に
利用されているものが用いられた。 次に、第４図（ａ）および（ｂ）に示すように、得られ
た液体噴射記録ヘッドの配線引出し部の入力用端子パッ
ド１５及びガイド壁１４の配列部に異方性導電ｌｌ１１
３、外部駆動系の有するフレシブルプリント基板１２の
出力用端子１６の配列部とを図示するように重ね合せて
、１３０〜１８０℃、１０〜１５秒の温度条件で圧着さ
せた。 その際、記録ヘッド側とフレキシブルプリント基板側の
対向する一対の端子パッド間で圧縮された異方性導電膜
の圧縮の程度が、隣接する端子パッド間にガイド壁が設
けられたことによって均一化し、各接続部において接続
抵抗におけるバラツキがない接続が容易に行なえた。 実施例２ 第５図（ａ）に本発明の他の実施例を示す。 この例では、記録ヘッドの配線引き出し部におけるガイ
ド壁として、各入力用端子パッドｌｌよりも高いガイド
壁ｌＯが設けられている。 このガイド壁１０と入力用端子パッド１１の高さの差は
、これらを形成する際に、その一方または両方の高さを
調節することによって得ることができる。 なお、ガイド壁と入力用端子パッドの高さの組合せは、
例えば第５図（ａ）および（ｂ）に示す接続方式に利用
した際に、良好な接続操作が行なえるように適宜設定す
れば良い。 例えば、ハンダバンブ８のリフロー後の容量に対応する
空間が、互いに隣接するガイド壁間に形成されるように
設定すると良い。 このガイド壁ｌＯを有する液体噴射記録ヘッドの作製と
、記録ヘッド側の入力用端子と外部駆動系側の出力用端
子との接続を以下のようにして行なった。 まず、ガイド部材の高さを、入力端子の高さよりも２０
μ鳳程高くする以外は、実施例１と同様にして、液体噴
射記録ヘッドを作製した。 次に、第５図（ａ）に示すように得られた液体噴射記録
ヘッドの配線引出し部の入力用端子パッド１１及びガイ
ド壁１０の配列部に外部駆動系の出力端子配列部を構成
するプリント配線板に接続用のハンダバンブ８を載せた
ものを重ね合せ、２００〜２３０℃、１０〜２０秒の条
件で、ハンダをリフローさせつつこれらを圧着し、第５
１ｆｆｌ （ｂ）のような接続状態を得た。 その際、高いガイド壁１０が各端子パッド１１間に設け
られているので、各端子パッド設置部間でのハンダの流
出移動が防止され、かつ各端子接合部でのりフロー後の
ハンダの厚みも一定化された。 しかも、ガイド壁１０が設けられているので、プリント
配線板と記録ヘッドの配線引き出し部とを平行かつ圧力
分布を均一にすることができ、かつ位置ズレのない接合
操作を容易に行な久た。 ［発明の効果］ 本発明によれば、液体噴射記録ヘッドの信号入力用端子
と、外部駆動系からの信号出力用端子との、特に多端子
の配列部同士の接合において、記録ヘッドの信号入力用
端子配列部にガイド部材が設けられているので、これら
の接合の際に、位置ズレが防止され、また接合高さを容
易に制御でき、各端子接合部で接合抵抗等においてバラ
ツキのない接合状態を容易に得ることができる。 しかも、ガイド部材は、感光性樹脂を用いて形成され、
記録ヘッドの液路等の感光性樹脂を利用した壁と同時形
成できるので、工程数を増加させることなく形成できる
。 また、ガイド部材のパターニングはフォトリソグラフィ
ーにより行なわれるので、微細で精度良いガイド壁が形
成できる。 本発明のガイド部材を含む配線引き出し部の構成によれ
ば、外部駆動系側の信号出力用端子との接続を安定に、
作業性良く、かつ歩留り良く行なうことが可能となる。 更に、得られた各端子間接続での接続状態、例えば接続
抵抗の均一性が容易に得られるので、記録ヘッドを搭載
した記録装置の信頼性が向上し、各吐出口間での吐出特
性の均一化が計れる。
えばＡＰＲ（旭化成）、テビスタ（帝人）、ゾンネ（関
西ペイント）等】、不飽和ウレタンオリゴマー系感光性
樹脂、二官能アクリルモノマーに光重合開始剤とポリマ
ーとを混合した感光性組成物、重クロム酸系フォトレジ
スト、非クロム系水溶性フォトレジスト、ポリケイ皮酸
ビニル系フォトレジスト、環化ゴム−アジド系フォトレ
ジスト等が挙げられる。 この他、例えばデュポン社の１１０−マネントフオトポ
リマーコーティング、Ｒｌ５ＴＯＮ、ソルダーマスク７
３０Ｓ、７４０Ｓ、７３０ＦＲ。 ７４０ＦＲ，ＳＭＩ、東し社のフォトニース、ダイナケ
ンコーポレーションのラミナーＭＬ、ラミナーＲＭ、東
京応化のＴＰＲ，ＥＰＰＲ，０ＦＰＲ−７ＰＦ、０ＦＰ
Ｒ−７Ｐ、Ｇ９０．日立化成の５Ｒ−１０００Ｇ−５０
，５Ｒ−１０００Ｇ−７５，５Ｒ−１００ＯＮ−７５等
の商品名で市販されている感光性組成物も有効に本発明
において使用される。 ［実施例］ 以下、図面を用いて本発明の一実施例を説明する。 実施例１ 第１図（ａ）は、本発明の液体噴射記録ヘッドの斜視図
であり、第１図（ｂ）は第１図（ａ）のＡ部分の拡大図
である。 ｌは、多数のエネルギー発生体が設けられた基板であり
、該基板上に各エネルギー発生体に対応する波路等の壁
を形成する感光性樹脂の硬化ｌＩ３が設けられている。 エネルギー発生体としては、例えば液体の吐出のための
エネルギーとして熱エネルギーを発生するものが利用で
きる。 この感光性樹脂の硬化膜３は、パターン露光、現像、ベ
ーキング等の過程を含むフォトリソ工程を利用した常法
等により所定の形状にパターニングされている。 ４は液路をおおう覆いとしての天板であり、硬化膜３上
に積層接合されている。この天板は、樹脂、ガラスなど
の部材によって形成されている。 第１図にＡで示される部分は、液吐出部であり、例えば
、基板１上に第２図に示されるような配列で電極２０及
び発熱抵抗体１７からなる、液滴吐出のための熱エネル
ギーを発生し得る電気熱変換体を配置し、必要部分に保
護層を設け、更に第３図（ａ）および（ｂ）に示すよう
に感光性樹脂硬化膜３からなる液路１８及び液室１９の
壁を設け、該壁の覆いとしての記録液供給口５を有する
天板２を接合した構成を有する。 一方、第１図にＢで示される部分配線引き出し部であり
、各液滴吐出エネルギー発生体に付与する電気的信号の
入力用端子バッド６が配列されており、各入力用端子間
には外部駆動系側の出力用端子とこれら入力用端子との
接続をガイドするガイド部材としてのガイド壁４が設け
られている。 なお、この例のガイド壁４は、その高さが入力用端子６
と同一に形成されており、例えば第４図に示すような外
部駆動系側の出力用端子との接続に好適に利用できるも
のである。 このガイド壁４は、基板上に設けた感光性樹脂層をパタ
ーニングして、液路や液室の壁３を形成する際に、感光
性樹脂層のガイド壁４となる部分を一緒に硬化させて、
基板上に残すことによって効率良く形成できる。 このガイド壁は、必要に応じて壁３の形成と別の工程に
よって形成しても良い。 なお、ガイド壁４の形状およびその配置位置は、外部駆
動系の出力用端子との接続が容易となるように適宜設定
すれば良い。 たとえば、第２図に示すような接続方式を取る場合には
、入力用端子６と同程度の高さで、各入力用端子６の間
に形成された凹部による多端端子−括接続への影響が効
果的に排除されるような、すなわち記録ヘッドの配線引
き出し部と、外部駆動系側の出力用端子配列部との接合
時に重ね合せて圧接した際に、各圧接部に均一に圧力が
かかるような、幅、長さ及び配置で設ければよい。 第１図に示１１．た構成のガイド壁を有する液体噴射記
録ヘッドの作製と、記録ヘッド側の入力用端子と外部駆
動系側の出力用端子との接続を以下のようにして行なっ
た。 第３図に示すように、所定の配置で配列された吐出エネ
ルギーとして熱エネルギーを利用する吐出エネルギー発
生体を構成する電気熱変換体（発熱部のサイズ、２２μ
（配列方向の長さ）ｘ １１０μ、配列ピッチ６３．
５． ）の複数を設け、かつ各電気熱変換体に外部駆動
系からの電気的信号を印加するための配線と、各配線の
外部駆動系側との接続のための入力用端子（サイズ、２
２０１ｓ＋ （配列方向の長さ）ｘ ３００μ、配列
ピッチ５Ｓ４Ｕ）が配列された配線引出し部が配された
基板上に、感光性樹脂（東し社製のフォトニース、商品
名）を用いたフォトリソグラフィーによるパターニング
工程を含む上述の方法によって、−例として、ガイド壁
となる部分に対応する露光パターンが付加された露光マ
スクを用いた露光過程を含む方法によって、各発熱抵抗
体に対応する液路と液室とを構成する壁および各入力用
端子の中間に中心を有するように位置するガイド壁（サ
イズ、 １５０μ×３０θμ、配列ピッチ：前記入力用
端子と同様）を感光性樹脂砂化膿から同時形成した。 更に、液路と液室な構成する壁の覆いとし７ての天板を
接合し、必要に応じて、吐出エネルギー発生体配置部よ
り下流の所定の位置で、得られた接合体を切断して、切
断面に液路の開１０端部としての吐出口を形成して液体
噴射記録ヘッドを完成した。 なお、この製作過程に使用された材料や装置としては、
通常の感光性樹脂を用いた液体噴射記録ヘッドの作製に
利用されているものが用いられた。 次に、第４図（ａ）および（ｂ）に示すように、得られ
た液体噴射記録ヘッドの配線引出し部の入力用端子パッ
ド１５及びガイド壁１４の配列部に異方性導電ｌｌ１１
３、外部駆動系の有するフレシブルプリント基板１２の
出力用端子１６の配列部とを図示するように重ね合せて
、１３０〜１８０℃、１０〜１５秒の温度条件で圧着さ
せた。 その際、記録ヘッド側とフレキシブルプリント基板側の
対向する一対の端子パッド間で圧縮された異方性導電膜
の圧縮の程度が、隣接する端子パッド間にガイド壁が設
けられたことによって均一化し、各接続部において接続
抵抗におけるバラツキがない接続が容易に行なえた。 実施例２ 第５図（ａ）に本発明の他の実施例を示す。 この例では、記録ヘッドの配線引き出し部におけるガイ
ド壁として、各入力用端子パッドｌｌよりも高いガイド
壁ｌＯが設けられている。 このガイド壁１０と入力用端子パッド１１の高さの差は
、これらを形成する際に、その一方または両方の高さを
調節することによって得ることができる。 なお、ガイド壁と入力用端子パッドの高さの組合せは、
例えば第５図（ａ）および（ｂ）に示す接続方式に利用
した際に、良好な接続操作が行なえるように適宜設定す
れば良い。 例えば、ハンダバンブ８のリフロー後の容量に対応する
空間が、互いに隣接するガイド壁間に形成されるように
設定すると良い。 このガイド壁ｌＯを有する液体噴射記録ヘッドの作製と
、記録ヘッド側の入力用端子と外部駆動系側の出力用端
子との接続を以下のようにして行なった。 まず、ガイド部材の高さを、入力端子の高さよりも２０
μ鳳程高くする以外は、実施例１と同様にして、液体噴
射記録ヘッドを作製した。 次に、第５図（ａ）に示すように得られた液体噴射記録
ヘッドの配線引出し部の入力用端子パッド１１及びガイ
ド壁１０の配列部に外部駆動系の出力端子配列部を構成
するプリント配線板に接続用のハンダバンブ８を載せた
ものを重ね合せ、２００〜２３０℃、１０〜２０秒の条
件で、ハンダをリフローさせつつこれらを圧着し、第５
１ｆｆｌ （ｂ）のような接続状態を得た。 その際、高いガイド壁１０が各端子パッド１１間に設け
られているので、各端子パッド設置部間でのハンダの流
出移動が防止され、かつ各端子接合部でのりフロー後の
ハンダの厚みも一定化された。 しかも、ガイド壁１０が設けられているので、プリント
配線板と記録ヘッドの配線引き出し部とを平行かつ圧力
分布を均一にすることができ、かつ位置ズレのない接合
操作を容易に行な久た。 ［発明の効果］ 本発明によれば、液体噴射記録ヘッドの信号入力用端子
と、外部駆動系からの信号出力用端子との、特に多端子
の配列部同士の接合において、記録ヘッドの信号入力用
端子配列部にガイド部材が設けられているので、これら
の接合の際に、位置ズレが防止され、また接合高さを容
易に制御でき、各端子接合部で接合抵抗等においてバラ
ツキのない接合状態を容易に得ることができる。 しかも、ガイド部材は、感光性樹脂を用いて形成され、
記録ヘッドの液路等の感光性樹脂を利用した壁と同時形
成できるので、工程数を増加させることなく形成できる
。 また、ガイド部材のパターニングはフォトリソグラフィ
ーにより行なわれるので、微細で精度良いガイド壁が形
成できる。 本発明のガイド部材を含む配線引き出し部の構成によれ
ば、外部駆動系側の信号出力用端子との接続を安定に、
作業性良く、かつ歩留り良く行なうことが可能となる。 更に、得られた各端子間接続での接続状態、例えば接続
抵抗の均一性が容易に得られるので、記録ヘッドを搭載
した記録装置の信頼性が向上し、各吐出口間での吐出特
性の均一化が計れる。
第１図（８）は本発明の液体噴射記録ヘッドの斜視図、
第１図（ｂ）は第１図（８）のＡ部分の拡大図、第２図
は電気熱変換体を配列した基板の一部の平面、第３図（
ａ）および（ｂ）は液吐出部の構成を示す図、第４図及
び第５図は本発明の液体噴射記録ヘッドの配線引き出し
部への外部駆動系の出力用端子配列部の接続過程を側面
図として示した図である。 １．９：基板 ２：天板 ３：感光性樹脂硬化膜 ４．１０．．１４ニガイド壁 ５：液体供給口 ６．１１．１５：信号入力用端子バッド７：プリント配
線板 ８：ハンダバンブ１２：フレキシブルプリン
ト基板 １３：異方性導電膜 １６：信号出力用端子パッド １７：発熱抵抗体（吐出エネルギ発生体）１８：液路
１９：液室 ２０：電極（層） ２１：発熱抵抗体層２２：保護層
２３：吐出口 ｌ。 （ａ）
第１図（ｂ）は第１図（８）のＡ部分の拡大図、第２図
は電気熱変換体を配列した基板の一部の平面、第３図（
ａ）および（ｂ）は液吐出部の構成を示す図、第４図及
び第５図は本発明の液体噴射記録ヘッドの配線引き出し
部への外部駆動系の出力用端子配列部の接続過程を側面
図として示した図である。 １．９：基板 ２：天板 ３：感光性樹脂硬化膜 ４．１０．．１４ニガイド壁 ５：液体供給口 ６．１１．１５：信号入力用端子バッド７：プリント配
線板 ８：ハンダバンブ１２：フレキシブルプリン
ト基板 １３：異方性導電膜 １６：信号出力用端子パッド １７：発熱抵抗体（吐出エネルギ発生体）１８：液路
１９：液室 ２０：電極（層） ２１：発熱抵抗体層２２：保護層
２３：吐出口 ｌ。 （ａ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）液体を吐出する吐出口に連通する液路と、該吐出口
から液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生
するエネルギー発生体と、 該エネルギー発生体に付与される液吐出のための電気的
信号を入力するための信号入力用端子を有する配線と、 を有する液体噴射記録ヘッドにおいて、 前記信号入力用端子の配設部に、該信号入力用端子と外
部駆動系側の信号出力用端子との接続の際のガイドとな
り感光性樹脂を用いて形成されているガイド部材が設け
られていることを特徴とする液体噴射記録ヘッド。 ２）前記ガイド部材と前記液路の壁とが、同一の感光性
樹脂を用いて同時形成されたものである請求項１に記載
の液体噴射記録記録ヘッド。 ３）前記エネルギー発生体が、前記液体を吐出するため
のエネルギーとして熱エネルギーを発生するものである
請求項１に記載の液体噴射記録ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2554389A JPH02204046A (ja) | 1989-02-03 | 1989-02-03 | 液体噴射記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2554389A JPH02204046A (ja) | 1989-02-03 | 1989-02-03 | 液体噴射記録ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02204046A true JPH02204046A (ja) | 1990-08-14 |
Family
ID=12168901
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2554389A Pending JPH02204046A (ja) | 1989-02-03 | 1989-02-03 | 液体噴射記録ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02204046A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6345887B1 (en) | 1998-03-10 | 2002-02-12 | Nec Corporation | Ink jet head for non-impact printer |
-
1989
- 1989-02-03 JP JP2554389A patent/JPH02204046A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6345887B1 (en) | 1998-03-10 | 2002-02-12 | Nec Corporation | Ink jet head for non-impact printer |
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