JPH02205429A - テーブル装置およびテーブル装置の製造方法 - Google Patents
テーブル装置およびテーブル装置の製造方法Info
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- JPH02205429A JPH02205429A JP1965589A JP1965589A JPH02205429A JP H02205429 A JPH02205429 A JP H02205429A JP 1965589 A JP1965589 A JP 1965589A JP 1965589 A JP1965589 A JP 1965589A JP H02205429 A JPH02205429 A JP H02205429A
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- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
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- B23Q1/03—Stationary work or tool supports
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
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- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/34—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
この発明は上面に載置された被移載物をＸ方向、Ｙ方向
およびθ方向に移動させるためのテーブル装置に関する
。
およびθ方向に移動させるためのテーブル装置に関する
。
（従来の技術）
一般に、被移載物を位置決めするにはＸ方向、Ｙ方向お
よびθ方向に駆動されるテーブルが用いられる。つまり
、テーブル上に被移載物を載置し、そのテーブルを駆動
することで上記被移載物を位置決めするようにしている
。
よびθ方向に駆動されるテーブルが用いられる。つまり
、テーブル上に被移載物を載置し、そのテーブルを駆動
することで上記被移載物を位置決めするようにしている
。
従来、上記テーブルをＸ、Ｙ、θ方向に駆動するには、
たとえば送りねじを用いた機械的な手段や圧電素子を用
いた電気的な手段などが知られている。
たとえば送りねじを用いた機械的な手段や圧電素子を用
いた電気的な手段などが知られている。
しかしながら、前者の手段によると、ｘ、ｙ。
θの三方向の送り機構を必要とするため、装置全体の構
造が複雑かつ大型化するということがある。
造が複雑かつ大型化するということがある。
また、後者の手段は第５図に示すようにテーブルａの一
辺すと、この−辺すに直交する他辺Ｃとをそれぞれこれ
らの辺ｂ％Ｃに対して平行な固定部ｄに圧電素子ｅで連
結する。そして、上記各圧電素子ｅに電圧を印加するこ
とで、これら圧電素子ｅを変形させて上記テーブルａを
ｘＳｙ、θ方向に移動させるようにしている。
辺すと、この−辺すに直交する他辺Ｃとをそれぞれこれ
らの辺ｂ％Ｃに対して平行な固定部ｄに圧電素子ｅで連
結する。そして、上記各圧電素子ｅに電圧を印加するこ
とで、これら圧電素子ｅを変形させて上記テーブルａを
ｘＳｙ、θ方向に移動させるようにしている。
しかしながら、このような手段によると、テーブルａの
側方に固定部ｄを設けなければならないから、装置全体
が大型化することが避けられない。
側方に固定部ｄを設けなければならないから、装置全体
が大型化することが避けられない。
また、テーブルａのＸ、Ｙ、θ方向への駆動は圧電素子
ｅが変形できる範囲内に限られ、その範囲を広範囲に、
しかも自由に設定することができないから、上記テーブ
ルａ上に載置される被移載物（図示せず）を移動させる
ことができる範囲も制限を受けてしまうということもあ
った。
ｅが変形できる範囲内に限られ、その範囲を広範囲に、
しかも自由に設定することができないから、上記テーブ
ルａ上に載置される被移載物（図示せず）を移動させる
ことができる範囲も制限を受けてしまうということもあ
った。
（発明が解決しようとする課題）
このように、従来はテーブルを移動させて被移載物を移
動させるようにしていたので、装置の大型化を招くばか
りか、テーブル上に載置された被移載物を広範囲にわた
ってＸ方向、Ｙ方向およびθ方向に移動させるというこ
とができなかった。
動させるようにしていたので、装置の大型化を招くばか
りか、テーブル上に載置された被移載物を広範囲にわた
ってＸ方向、Ｙ方向およびθ方向に移動させるというこ
とができなかった。
この発明は上記事情にもとずきなされたもので、その目
的とするところは、構成の大型化や複雑化を招くことな
く、被移載物をＸ方向、Ｙ方向およびθ方向の各方向に
広い範囲で移動させることができるようにしたテーブル
装置を提供することにある。
的とするところは、構成の大型化や複雑化を招くことな
く、被移載物をＸ方向、Ｙ方向およびθ方向の各方向に
広い範囲で移動させることができるようにしたテーブル
装置を提供することにある。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段及び作用）上記課題を解決
するためにこの発明は、圧電気逆効果を有する材料によ
って平板状に形成されたテーブルと、このテーブルの上
面と下面とにそれぞれ設けられ少なくとも一方の面は多
数の電極片に分割された電極と、上記テーブルの上面と
下面とに設けられた電極に電圧を印加するとともに一方
の面の電極の電極片には選択的に電圧を印加して上記テ
ーブルに生じる振動を所定の方向に進行させる１Ｊｓ源
制御部とを具備する。このような構成とすることによっ
て、上記電源制御部で設定される振動の進行方向に被移
載物を移動させることができるようにした。
するためにこの発明は、圧電気逆効果を有する材料によ
って平板状に形成されたテーブルと、このテーブルの上
面と下面とにそれぞれ設けられ少なくとも一方の面は多
数の電極片に分割された電極と、上記テーブルの上面と
下面とに設けられた電極に電圧を印加するとともに一方
の面の電極の電極片には選択的に電圧を印加して上記テ
ーブルに生じる振動を所定の方向に進行させる１Ｊｓ源
制御部とを具備する。このような構成とすることによっ
て、上記電源制御部で設定される振動の進行方向に被移
載物を移動させることができるようにした。
（実施例）
以下、この発明の一実施例を第１図乃至第４図を参照し
て説明する。第３図に示すテーブル装置はテーブル１を
備えている。このテーブル１は、チタン酸バリウムやチ
タンジルコン酸鉛などのように外部から電界を加えると
、その内部にひずみ（伸長または収縮）が生じる圧電気
逆効果を有するセラミック材料によって矩形板状に形成
されている。このテーブル１の下面両端部にはそれぞれ
脚部材１ａが固着されている。
て説明する。第３図に示すテーブル装置はテーブル１を
備えている。このテーブル１は、チタン酸バリウムやチ
タンジルコン酸鉛などのように外部から電界を加えると
、その内部にひずみ（伸長または収縮）が生じる圧電気
逆効果を有するセラミック材料によって矩形板状に形成
されている。このテーブル１の下面両端部にはそれぞれ
脚部材１ａが固着されている。
上記テーブル１の上面には全面にわたって上部電極２が
蒸着形成され、下面には下部電極３が蒸着形成されてい
る。下部電極３は第２図に示すように格子状に分割され
た多数の電極片３ａ・・・からなる。これらの電極片３
ａ・・・にはそれぞれ微細な導線４の一端が接続されて
いる。これらの導線４は上記テーブル１の電極片３ａ・
・・間の隙間に電極片と同時に蒸着形成され、他端は上
記テーブル１の所定箇所に集められている。
蒸着形成され、下面には下部電極３が蒸着形成されてい
る。下部電極３は第２図に示すように格子状に分割され
た多数の電極片３ａ・・・からなる。これらの電極片３
ａ・・・にはそれぞれ微細な導線４の一端が接続されて
いる。これらの導線４は上記テーブル１の電極片３ａ・
・・間の隙間に電極片と同時に蒸着形成され、他端は上
記テーブル１の所定箇所に集められている。
上記上部電極２と下部電極３とは電源制御部５に接続さ
れている。すなわち、この電源制御部５はグランド端子
６と、上記下部電極３の電極片３ａ・・・の数に対応し
た電圧出力端子７・・・を有する。
れている。すなわち、この電源制御部５はグランド端子
６と、上記下部電極３の電極片３ａ・・・の数に対応し
た電圧出力端子７・・・を有する。
そして、上記上部電極２は第１の接続線８によって上記
グランド端子６に接続され、上記下部電極３の各電極片
３ａ・・・はそれぞれ第２の接続線９によって各電圧出
力端子７・・・に接続される。これら出力端子７・・・
からの出力は上記電源制御部５に内蔵された図示しない
制御手段によって電圧、周波数および位相を制御するこ
とができる。したがって、上記テーブル１の各電極片３
ａ・・・と対応する部分にそれぞれ所定の強さの電圧を
印加することができるとともに、その電圧の位相のずれ
によってテーブル１の各電極片３ａ・・・に対応する各
部分の振動を所定の方向に進行させることができ、さら
に周波数を制御すれば、進行波の速度を変えることがで
きる。そして、上記テーブル１上には第３図に示すよう
に被移載物１１が載置され、この被移載物１１は後述す
るように移動させることができる。
グランド端子６に接続され、上記下部電極３の各電極片
３ａ・・・はそれぞれ第２の接続線９によって各電圧出
力端子７・・・に接続される。これら出力端子７・・・
からの出力は上記電源制御部５に内蔵された図示しない
制御手段によって電圧、周波数および位相を制御するこ
とができる。したがって、上記テーブル１の各電極片３
ａ・・・と対応する部分にそれぞれ所定の強さの電圧を
印加することができるとともに、その電圧の位相のずれ
によってテーブル１の各電極片３ａ・・・に対応する各
部分の振動を所定の方向に進行させることができ、さら
に周波数を制御すれば、進行波の速度を変えることがで
きる。そして、上記テーブル１上には第３図に示すよう
に被移載物１１が載置され、この被移載物１１は後述す
るように移動させることができる。
つぎに、上記構成のテーブル装置によってテーブル１の
上面に載置された被移載物１１を位置決めする場合につ
いて説明する。まず、第４図に鎖線で示す被移載物１１
をＡの位置からＢの位置、つまりＸ方向に移動させるに
は、このＸ方向に沿う複数列、たとえば被移載物１１の
幅寸法とほぼ対応する４列の電極片３ａ・・・に電圧を
印加する。
上面に載置された被移載物１１を位置決めする場合につ
いて説明する。まず、第４図に鎖線で示す被移載物１１
をＡの位置からＢの位置、つまりＸ方向に移動させるに
は、このＸ方向に沿う複数列、たとえば被移載物１１の
幅寸法とほぼ対応する４列の電極片３ａ・・・に電圧を
印加する。
そして、テーブル１の上記４列の電極片に対応する部分
に生じる振動が同図に矢印Ｘ方向に向かって進行するよ
う各電極片３ａ・・・に印加する電圧の位相を制御する
。それによって、上記テーブル１の上記４列の電極片３
ａ・・・に対応する部分には矢印Ｘ方向に進行する進行
波が生じるから、その進行波で被移載物１１をＸ方向へ
移動させることができる。そして、被移載物１１をＢの
位置まで移動させたなら、４列の電極片３ａ・・・への
電圧の印加を解除すれば、Ｘ方向の位置決めをすること
ができる。
に生じる振動が同図に矢印Ｘ方向に向かって進行するよ
う各電極片３ａ・・・に印加する電圧の位相を制御する
。それによって、上記テーブル１の上記４列の電極片３
ａ・・・に対応する部分には矢印Ｘ方向に進行する進行
波が生じるから、その進行波で被移載物１１をＸ方向へ
移動させることができる。そして、被移載物１１をＢの
位置まで移動させたなら、４列の電極片３ａ・・・への
電圧の印加を解除すれば、Ｘ方向の位置決めをすること
ができる。
つぎに、被移載物１１をＢの位置からＣ位置までＹ方向
に移動させるには、このＹ方向に沿うたとえば被移載物
１１の長さ寸法に対応する６行の電極片３ａ・・・に電
圧を印加する。それによって、上記６行の電極片３ａ・
・・には図中矢印Ｙで示すＢの位置からＣの位置へ進行
する進行波を発生させることができるから、その進行波
によって上記被移載物１１をＣの位置へ移動させること
ができる。
に移動させるには、このＹ方向に沿うたとえば被移載物
１１の長さ寸法に対応する６行の電極片３ａ・・・に電
圧を印加する。それによって、上記６行の電極片３ａ・
・・には図中矢印Ｙで示すＢの位置からＣの位置へ進行
する進行波を発生させることができるから、その進行波
によって上記被移載物１１をＣの位置へ移動させること
ができる。
一方、上記テーブル１のＤの位置にある被移載物１１を
θ方向に移動（回転）させるには、このＤの位置におけ
る環状の矢印θに沿う複数の電極片３ａ・・・（第４図
に斜線で示す）に電圧を印加する。それによって、テー
ブル１のＤの位置には上記矢印θに沿う方向の進行波が
発生するから、その進行波によって被移載物１１を回転
させることができる。
θ方向に移動（回転）させるには、このＤの位置におけ
る環状の矢印θに沿う複数の電極片３ａ・・・（第４図
に斜線で示す）に電圧を印加する。それによって、テー
ブル１のＤの位置には上記矢印θに沿う方向の進行波が
発生するから、その進行波によって被移載物１１を回転
させることができる。
なお、被移載物１１をＡの位置からＣの位置へ移動させ
るには第４図に矢印Ｐで示すＸ方向とＹ方向との合成方
向に沿う電極片に電圧を印加し、矢印Ｐ方向に進行する
進行波を発生させるようにしてもよい。
るには第４図に矢印Ｐで示すＸ方向とＹ方向との合成方
向に沿う電極片に電圧を印加し、矢印Ｐ方向に進行する
進行波を発生させるようにしてもよい。
また、上記構成のテーブル装置によれば、下部電極４の
各電極片３ａ・・・に印加する電圧、周波数および位相
を変えれば、被移載物１１の重量の変化に応じてその移
動速度を制御することができる。
各電極片３ａ・・・に印加する電圧、周波数および位相
を変えれば、被移載物１１の重量の変化に応じてその移
動速度を制御することができる。
さらに、被移載物１１が載置されるテーブル１の上面の
上部電極２がグランド端子に接続されているので、被移
載物１１が電気的に導体であっても不導体であても、移
動させることができる。
上部電極２がグランド端子に接続されているので、被移
載物１１が電気的に導体であっても不導体であても、移
動させることができる。
また、テーブル１にバイアス電圧をかけておき、被移載
物１１が位置する部分の電極片３ａ・・・に同じ位相の
電圧を印加するようにすれば、その電圧の大きさによっ
て被移載物をＺ方向に移動させることもできる。つまり
、テーブル１を３次元テーブルとして利用することがで
きる。
物１１が位置する部分の電極片３ａ・・・に同じ位相の
電圧を印加するようにすれば、その電圧の大きさによっ
て被移載物をＺ方向に移動させることもできる。つまり
、テーブル１を３次元テーブルとして利用することがで
きる。
なお、上記一実施例ではテーブルの下面の下部電極だけ
を多数の電極片に分割したが、上面の上部電極も多数の
電極片に分割するようにしてもよい。そして、電極片を
細分化すればする程、被移載物を精密かつ円滑に移動さ
せることが可能となる。
を多数の電極片に分割したが、上面の上部電極も多数の
電極片に分割するようにしてもよい。そして、電極片を
細分化すればする程、被移載物を精密かつ円滑に移動さ
せることが可能となる。
また、下部電極を四角形の電極片に分割したが、円形や
六角形であってもよく、その形状は限定されない。さら
に、テーブルは１枚の材料でなく、多数の圧電気逆効果
を有する材料を接着して形成するようにしてもよい。
六角形であってもよく、その形状は限定されない。さら
に、テーブルは１枚の材料でなく、多数の圧電気逆効果
を有する材料を接着して形成するようにしてもよい。
［発明の効果］
以上述べたようにこの発明は、圧電気逆効果を有する材
料からなるテーブルの上面と下面とにそれぞれ電極を設
けるとともに、少なくとも一方の面に設けられる電極は
多数の電極片に分割し、これら電極片に印加する電圧を
制御して上記テーブルに生じる振動を所定の方向に進行
させるようにしたから、テーブルに生じる進行波によっ
てこの上面に載置された被移載物を移動させることがで
きる。つまり、テーブルを移動させずに被移載物を移動
させるようにしたので、従来のテーブル装置に比べて小
形化することができ、しかも被移載物を移動させること
ができる範囲を拡大できるなどの利点を′有する。
料からなるテーブルの上面と下面とにそれぞれ電極を設
けるとともに、少なくとも一方の面に設けられる電極は
多数の電極片に分割し、これら電極片に印加する電圧を
制御して上記テーブルに生じる振動を所定の方向に進行
させるようにしたから、テーブルに生じる進行波によっ
てこの上面に載置された被移載物を移動させることがで
きる。つまり、テーブルを移動させずに被移載物を移動
させるようにしたので、従来のテーブル装置に比べて小
形化することができ、しかも被移載物を移動させること
ができる範囲を拡大できるなどの利点を′有する。
第１図はこの発明の一実施例を示すテーブルの断面図、
第２図は同じくテーブルの下面側の一部分の拡大図、第
３図は装置全体の斜視図、第４図はテーブル上に載置さ
れた被移載物を移動させるときの説明図、第５図は従来
のテーブル装置の平面図である。 １・・・テーブル、 ２・・・上部電極、 ３・・・下部電極、 ３ａ・・・電極片、 ５・・・電源制御部。
第２図は同じくテーブルの下面側の一部分の拡大図、第
３図は装置全体の斜視図、第４図はテーブル上に載置さ
れた被移載物を移動させるときの説明図、第５図は従来
のテーブル装置の平面図である。 １・・・テーブル、 ２・・・上部電極、 ３・・・下部電極、 ３ａ・・・電極片、 ５・・・電源制御部。
Claims (1)
- 圧電気逆効果を有する材料によって平板状に形成された
テーブルと、このテーブルの上面と下面とにそれぞれ設
けられ少なくとも一方の面は多数の電極片に分割された
電極と、上記テーブルの上面と下面とに設けられた電極
に電圧を印加するとともに一方の面の電極の電極片には
選択的に電圧を印加して上記テーブルに生じる振動を所
定の方向に進行させる電源制御部とを具備したことを特
徴とするテーブル装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1019655A JP2997474B2 (ja) | 1989-01-31 | 1989-01-31 | テーブル装置およびテーブル装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1019655A JP2997474B2 (ja) | 1989-01-31 | 1989-01-31 | テーブル装置およびテーブル装置の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02205429A true JPH02205429A (ja) | 1990-08-15 |
| JP2997474B2 JP2997474B2 (ja) | 2000-01-11 |
Family
ID=12005262
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1019655A Expired - Lifetime JP2997474B2 (ja) | 1989-01-31 | 1989-01-31 | テーブル装置およびテーブル装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2997474B2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6156836A (ja) * | 1984-08-23 | 1986-03-22 | Rion Co Ltd | 精密位置決めテ−ブル |
| JPS63294268A (ja) * | 1987-05-23 | 1988-11-30 | Marcon Electronics Co Ltd | 圧電アクチュエ−タ |
-
1989
- 1989-01-31 JP JP1019655A patent/JP2997474B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6156836A (ja) * | 1984-08-23 | 1986-03-22 | Rion Co Ltd | 精密位置決めテ−ブル |
| JPS63294268A (ja) * | 1987-05-23 | 1988-11-30 | Marcon Electronics Co Ltd | 圧電アクチュエ−タ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2997474B2 (ja) | 2000-01-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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|
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