JPH0220548A - 封止用樹脂組成物 - Google Patents
封止用樹脂組成物Info
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- JPH0220548A JPH0220548A JP16932788A JP16932788A JPH0220548A JP H0220548 A JPH0220548 A JP H0220548A JP 16932788 A JP16932788 A JP 16932788A JP 16932788 A JP16932788 A JP 16932788A JP H0220548 A JPH0220548 A JP H0220548A
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- 238000007789 sealing Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 title claims abstract description 15
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 30
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims abstract description 20
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims abstract description 20
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims abstract description 19
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 19
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 12
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 11
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 11
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 11
- 239000010680 novolac-type phenolic resin Substances 0.000 claims description 10
- 229920005989 resin Polymers 0.000 abstract description 17
- 239000011347 resin Substances 0.000 abstract description 17
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 abstract description 14
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 abstract description 9
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 abstract description 8
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 7
- 239000008188 pellet Substances 0.000 abstract description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 239000012778 molding material Substances 0.000 description 11
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 9
- 229910002026 crystalline silica Inorganic materials 0.000 description 7
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 7
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 7
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 5
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 description 4
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 4
- 239000006082 mold release agent Chemical class 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N Formaldehyde Chemical compound O=C WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 3
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 3
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 3
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ADCOVFLJGNWWNZ-UHFFFAOYSA-N antimony trioxide Chemical compound O=[Sb]O[Sb]=O ADCOVFLJGNWWNZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 2
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 2
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000001993 wax Substances 0.000 description 2
- QSSXJPIWXQTSIX-UHFFFAOYSA-N 1-bromo-2-methylbenzene Chemical compound CC1=CC=CC=C1Br QSSXJPIWXQTSIX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229930185605 Bisphenol Natural products 0.000 description 1
- 229930040373 Paraformaldehyde Natural products 0.000 description 1
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 description 1
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- 150000004982 aromatic amines Chemical class 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000011362 coarse particle Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 125000000113 cyclohexyl group Chemical class [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 1
- 238000007429 general method Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 1
- CAYGQBVSOZLICD-UHFFFAOYSA-N hexabromobenzene Chemical compound BrC1=C(Br)C(Br)=C(Br)C(Br)=C1Br CAYGQBVSOZLICD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- RLSSMJSEOOYNOY-UHFFFAOYSA-N m-cresol Chemical compound CC1=CC=CC(O)=C1 RLSSMJSEOOYNOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 231100000252 nontoxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000003000 nontoxic effect Effects 0.000 description 1
- IWDCLRJOBJJRNH-UHFFFAOYSA-N p-cresol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1 IWDCLRJOBJJRNH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012188 paraffin wax Substances 0.000 description 1
- 229920002866 paraformaldehyde Polymers 0.000 description 1
- 150000002989 phenols Chemical class 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 125000005480 straight-chain fatty acid group Chemical class 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000001721 transfer moulding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Sealing Material Composition (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Epoxy Resins (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的]
(産業上の利用分野)
本発明は、熱伝導率が大きく、熱膨脂係数が小さく、成
形性・耐湿性に優れた、特性バランスのよい封止用樹脂
組成物に関する。
形性・耐湿性に優れた、特性バランスのよい封止用樹脂
組成物に関する。
(従来の技術)
従来、ダイオード、トランジスタ、集積回路等の電子部
品を熱硬化性樹脂を用いて樹脂封止する方法が行われて
きた。 この樹脂封止は、ガラス、金属、セラミックを
用いたハーメチックシール方式に比較して経済的に有利
なため、広く実用化されている。 封止用樹脂としては
、熱硬化性樹脂の中でも信頼性および価格の点からエポ
キシ樹脂が最も一般的に用いられている。 エポキシ樹
脂には、酸無水物、芳香族アミン、ノボラック型フェノ
ール樹脂等の硬化剤が用いられている。 これらの中で
もノボラック型フェノール樹脂を硬化剤としたエポキシ
樹脂は、他の硬化剤を使用したものに比べて、成形性、
耐湿性に優れ、毒性がなく、かつ安価であるため、半導
体封止用樹脂として広く使用されている。 一方、充填
剤としては溶融シリカ粉末や結晶性シリカ粉末が前述の
硬化剤と共に最も一般的に使用されている。 近年、半
導体部品の高集積化に伴って熱膨脂係数の小さい、また
大電力化に伴って熱放散性のより優れた半導体封止用樹
脂が要望されてきた。
品を熱硬化性樹脂を用いて樹脂封止する方法が行われて
きた。 この樹脂封止は、ガラス、金属、セラミックを
用いたハーメチックシール方式に比較して経済的に有利
なため、広く実用化されている。 封止用樹脂としては
、熱硬化性樹脂の中でも信頼性および価格の点からエポ
キシ樹脂が最も一般的に用いられている。 エポキシ樹
脂には、酸無水物、芳香族アミン、ノボラック型フェノ
ール樹脂等の硬化剤が用いられている。 これらの中で
もノボラック型フェノール樹脂を硬化剤としたエポキシ
樹脂は、他の硬化剤を使用したものに比べて、成形性、
耐湿性に優れ、毒性がなく、かつ安価であるため、半導
体封止用樹脂として広く使用されている。 一方、充填
剤としては溶融シリカ粉末や結晶性シリカ粉末が前述の
硬化剤と共に最も一般的に使用されている。 近年、半
導体部品の高集積化に伴って熱膨脂係数の小さい、また
大電力化に伴って熱放散性のより優れた半導体封止用樹
脂が要望されてきた。
しかしながら、ノボラック型フェノール樹脂を硬化剤と
したエポキシ樹脂と溶融シリカ粉末からなる封止用樹脂
は、比較的に熱膨張係数が小さく、そのため耐湿性、ま
た吸湿に関連する温寒サイクル試験によるボンディング
ワイヤのオープン、樹脂クラック、ペレットクラック等
に耐える特性に優れているという特長を有するものの、
熱伝導率が小さいために熱放散が悪く、消gt電力の大
きいパワー半導体ではその機能が果せな゛くなる欠点が
ある。 一方、ノボラック型フェノール樹脂を硬化剤と
したエポキシ樹脂と、結晶性シリカ粉末とからなる封止
用樹脂は、結晶性シリカ粉末の配合割合を上げると熱伝
導率が大きくなり、熱放散も良好となるが、熱膨張係数
が大きく、また耐湿性に対する信頼性が低下する欠点が
ある。 さらに、後者の封止用樹脂から得られる成形品
は、機械的特性や成形性が悪くなる傾向がある。 従っ
て、結晶性シリカ粉末を用いる封止用樹脂の高熱伝導化
にはおのずから限界があった。
したエポキシ樹脂と溶融シリカ粉末からなる封止用樹脂
は、比較的に熱膨張係数が小さく、そのため耐湿性、ま
た吸湿に関連する温寒サイクル試験によるボンディング
ワイヤのオープン、樹脂クラック、ペレットクラック等
に耐える特性に優れているという特長を有するものの、
熱伝導率が小さいために熱放散が悪く、消gt電力の大
きいパワー半導体ではその機能が果せな゛くなる欠点が
ある。 一方、ノボラック型フェノール樹脂を硬化剤と
したエポキシ樹脂と、結晶性シリカ粉末とからなる封止
用樹脂は、結晶性シリカ粉末の配合割合を上げると熱伝
導率が大きくなり、熱放散も良好となるが、熱膨張係数
が大きく、また耐湿性に対する信頼性が低下する欠点が
ある。 さらに、後者の封止用樹脂から得られる成形品
は、機械的特性や成形性が悪くなる傾向がある。 従っ
て、結晶性シリカ粉末を用いる封止用樹脂の高熱伝導化
にはおのずから限界があった。
(発明が解決しようとする課題)
本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、その目的
は、熱伝導率が大きくて熱放散性に優れ、その一方で熱
膨張係数が小さく、成形性、111湿性に優れた、特性
バランスのよい高信頼性の封止用樹脂組成物を提供しよ
うとするものである。
は、熱伝導率が大きくて熱放散性に優れ、その一方で熱
膨張係数が小さく、成形性、111湿性に優れた、特性
バランスのよい高信頼性の封止用樹脂組成物を提供しよ
うとするものである。
[発明の構成]
(課題を解決するための手段)
本発明者らは、上記の目的を達成しようと鋭意研究を重
ねた結果、平均粒径60メツシユ以下の細粒で金属ケイ
素の含有率が1%以下の窒化ケイ素粉末を配合すること
によって上記目的が達成されることを見いだし、本発明
を完成したものである。
ねた結果、平均粒径60メツシユ以下の細粒で金属ケイ
素の含有率が1%以下の窒化ケイ素粉末を配合すること
によって上記目的が達成されることを見いだし、本発明
を完成したものである。
即ち、本発明は
(A)エポキシ樹脂、
(B)ノボラック型フェノール樹脂および(C)平均粒
径60メツシュ以上の細粒で金属ケイ素の含有率が1%
以下の窒化ケイ素粉末を必須成分とし、前記(C)窒化
ケイ素粉末を全体の樹脂組成物に対して25〜90重量
%の割合で含有することを特徴とする封止用樹脂組成物
である。
径60メツシュ以上の細粒で金属ケイ素の含有率が1%
以下の窒化ケイ素粉末を必須成分とし、前記(C)窒化
ケイ素粉末を全体の樹脂組成物に対して25〜90重量
%の割合で含有することを特徴とする封止用樹脂組成物
である。
本発明に用いる(A)エポキシ樹脂は、その分子中にエ
ポキシ基を少なくとも2個有する化合物である限り、分
子構造、分子量等に特に制限はなく、一般に使用されて
いるものを広く包含することができる。 例えば、ビス
フェノール型の芳香族系、シクロヘキサン誘導体等の脂
環族系、さらに次の一般式で示されるエポキシノボラッ
ク系のエポキシ樹脂が挙げられる。
ポキシ基を少なくとも2個有する化合物である限り、分
子構造、分子量等に特に制限はなく、一般に使用されて
いるものを広く包含することができる。 例えば、ビス
フェノール型の芳香族系、シクロヘキサン誘導体等の脂
環族系、さらに次の一般式で示されるエポキシノボラッ
ク系のエポキシ樹脂が挙げられる。
(但し、式中R1は水素原子、ハロゲン原子又はアルキ
ル基を、R2は水素原子又はアルキル基を、nは1以上
の整数を表す)、 これらのエポキシ樹脂は単独又は2
種以上混合して使用することができる。
ル基を、R2は水素原子又はアルキル基を、nは1以上
の整数を表す)、 これらのエポキシ樹脂は単独又は2
種以上混合して使用することができる。
本発明に用いる(B)ノボラック型フェノール樹脂とし
ては、フェノール、アルキルフェノール等のフェノール
類と、ホルムアルデヒドあるいはパラホルムアルデヒド
を反応させて得られるノボラック型フェノール樹脂およ
びこれらの変性樹脂、例えばエポキシ化もしくはブチル
化ノボラック型フェノール樹脂等が挙げられ、これらは
単独又は2種以上混合して用いることができる。 ノボ
ラック型フェノール樹脂の配合割合は、前記(A)エポ
キシ樹脂のエポキシ基(a )と(B)ノボラック型フ
ェノール樹脂のフェノール性水酸基(b )とのモル比
[(a)/(b)]が0.1〜10の範囲内であること
が必要である。 モル比が0.1未満もしくは10を超
えると耐湿性、成形性および硬化物の電気特性が悪くい
ずれの場合も好ましくないからである。
ては、フェノール、アルキルフェノール等のフェノール
類と、ホルムアルデヒドあるいはパラホルムアルデヒド
を反応させて得られるノボラック型フェノール樹脂およ
びこれらの変性樹脂、例えばエポキシ化もしくはブチル
化ノボラック型フェノール樹脂等が挙げられ、これらは
単独又は2種以上混合して用いることができる。 ノボ
ラック型フェノール樹脂の配合割合は、前記(A)エポ
キシ樹脂のエポキシ基(a )と(B)ノボラック型フ
ェノール樹脂のフェノール性水酸基(b )とのモル比
[(a)/(b)]が0.1〜10の範囲内であること
が必要である。 モル比が0.1未満もしくは10を超
えると耐湿性、成形性および硬化物の電気特性が悪くい
ずれの場合も好ましくないからである。
本発明に用いる(C)窒化ケイ素粉末は、平均粒径が6
0メツシュ以上の細粒で、未反応金属ケイ素の含有率が
1%以下のものである。 窒化ケイ素粉末の平均粒径が
60メツシュ未満の粗粒の場合は、成形時にゲート詰り
ゃワイヤー流れ、金型鷹耗等が生じて好ましくないから
である。 また窒化ケイ素粉末中の未反応金属ケイ素の
含有率が1%を超えると絶縁破壊の低下や製品でのリー
ク不良が発生するので好ましくない、 窒化ケイ素の具
体的なものとしては三方晶系(α−3i 3N、)ある
いは六方晶系(β−3i3N4)等が挙げられ、これら
は単独又は2種以上混合して使用することができる。
窒化ケイ素粉末の配合割合は、全体の樹脂組成物に対し
て25〜90重量%含有することが好ましい、 その配
合割合が25重量%未満では、熱膨張係数が大きく、熱
伝導率が小さいので好ましくない、 また90重量%を
超えると、カサバリが大きく、かつ成形性が悪く実用に
適さない、 従って上記の範囲に限定される。
0メツシュ以上の細粒で、未反応金属ケイ素の含有率が
1%以下のものである。 窒化ケイ素粉末の平均粒径が
60メツシュ未満の粗粒の場合は、成形時にゲート詰り
ゃワイヤー流れ、金型鷹耗等が生じて好ましくないから
である。 また窒化ケイ素粉末中の未反応金属ケイ素の
含有率が1%を超えると絶縁破壊の低下や製品でのリー
ク不良が発生するので好ましくない、 窒化ケイ素の具
体的なものとしては三方晶系(α−3i 3N、)ある
いは六方晶系(β−3i3N4)等が挙げられ、これら
は単独又は2種以上混合して使用することができる。
窒化ケイ素粉末の配合割合は、全体の樹脂組成物に対し
て25〜90重量%含有することが好ましい、 その配
合割合が25重量%未満では、熱膨張係数が大きく、熱
伝導率が小さいので好ましくない、 また90重量%を
超えると、カサバリが大きく、かつ成形性が悪く実用に
適さない、 従って上記の範囲に限定される。
本発明の封止用樹脂組成物は、エポキシ樹脂、ノボラッ
ク型フェノール樹脂、窒化ケイ素粉末を必須成分とする
が、本発明の目的に反しない限り必要に応じて、例えば
、天然ワックス類、合成ワックス類、直鎖脂肪酸の金属
塩、酸アミド類、エステル類、パラフィン類等の離型剤
、塩素化パラフィン、ブロムトルエン、ヘキサブロムベ
ンゼン、三酸化アンチモン等の難燃剤、カーボンブラッ
ク、ベンガラ等の着色剤、シランカップリング剤、種々
の硬化促進剤などを適宜添加配合することができる。
ク型フェノール樹脂、窒化ケイ素粉末を必須成分とする
が、本発明の目的に反しない限り必要に応じて、例えば
、天然ワックス類、合成ワックス類、直鎖脂肪酸の金属
塩、酸アミド類、エステル類、パラフィン類等の離型剤
、塩素化パラフィン、ブロムトルエン、ヘキサブロムベ
ンゼン、三酸化アンチモン等の難燃剤、カーボンブラッ
ク、ベンガラ等の着色剤、シランカップリング剤、種々
の硬化促進剤などを適宜添加配合することができる。
本発明の封止用樹脂組成物を成形材料として製造する場
合の一般的な方法として、エポキシ樹脂、ノボラック型
フェノール樹脂、窒化ケイ素粉末、その他を所定の組成
比に選択した原料組成分をミキサー等によって十分均一
に混合した後、更に熱ロールによる溶融混合処理、又は
ニーダ等による混合処理を行い、次いで冷却固化させ、
適当な大きさに粉砕して成形材料とすることができる。
合の一般的な方法として、エポキシ樹脂、ノボラック型
フェノール樹脂、窒化ケイ素粉末、その他を所定の組成
比に選択した原料組成分をミキサー等によって十分均一
に混合した後、更に熱ロールによる溶融混合処理、又は
ニーダ等による混合処理を行い、次いで冷却固化させ、
適当な大きさに粉砕して成形材料とすることができる。
こうして製造した成形材料は、電子部品或いは電気部品
の封止用として、また被覆や絶縁等に適用すれば優れた
特性と信顆性を付与することができる。
の封止用として、また被覆や絶縁等に適用すれば優れた
特性と信顆性を付与することができる。
(作用)
本発明の封止用樹脂組成物は、特定のサイズで、未反応
金属ケイ素含有量の少ない窒化ケイ素粉末を所定量配合
することによって目的を達したものである。 すなわち
、窒化ケイ素粉末の平均粒径60メツシュ以上の細粒の
ために成形時の流れが良好となり金型の磨耗等が生じな
くなる。 また未反応金属ケイ素1%未満であるため絶
縁破壊が低下することがない、 更に全体の樹脂組成物
の25〜90重量%配合することによって熱伝導率が大
きく、熱膨張係数を小さくすることができる。
金属ケイ素含有量の少ない窒化ケイ素粉末を所定量配合
することによって目的を達したものである。 すなわち
、窒化ケイ素粉末の平均粒径60メツシュ以上の細粒の
ために成形時の流れが良好となり金型の磨耗等が生じな
くなる。 また未反応金属ケイ素1%未満であるため絶
縁破壊が低下することがない、 更に全体の樹脂組成物
の25〜90重量%配合することによって熱伝導率が大
きく、熱膨張係数を小さくすることができる。
(実施例)
次に本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明
は以下の実施例に限定されるものではない。
は以下の実施例に限定されるものではない。
実施例および比較例において「%」とあるのは「重量%
」を意味する。
」を意味する。
実施例 1
クレゾールノボラックエポキシ樹脂(エポキシ当量21
5) 18%に、ノボラック型フェノール樹脂(フェノ
ール当量107) 9%、六方晶型窒化ケイ素粉末(
平均粒径7μl、未反応金属ケイ素含有率0.5%)7
0%、離型剤等3%を常温で混合し、更に90〜95℃
で混練し、冷却した後粉砕して成形材料(A>を製造し
な。
5) 18%に、ノボラック型フェノール樹脂(フェノ
ール当量107) 9%、六方晶型窒化ケイ素粉末(
平均粒径7μl、未反応金属ケイ素含有率0.5%)7
0%、離型剤等3%を常温で混合し、更に90〜95℃
で混練し、冷却した後粉砕して成形材料(A>を製造し
な。
実施例 2
実施例1において用いた六方晶型窒化ケイ素粉末の代わ
りに、六方晶型窒化ケイ素粉末(平均粒径7μm、未反
応金属ケイ素含有率0.9%> 30%と結晶性シリカ
粉末(平均粒径38μm)40%を用いた以外は、すべ
て実施例1と同一にして成形材料(B)を製造した。
りに、六方晶型窒化ケイ素粉末(平均粒径7μm、未反
応金属ケイ素含有率0.9%> 30%と結晶性シリカ
粉末(平均粒径38μm)40%を用いた以外は、すべ
て実施例1と同一にして成形材料(B)を製造した。
比較例 1
クレゾールノボラックエポキシ樹脂(エポキシ当量)1
8%に、ノボラック型フェノール樹脂(フェノール当量
107) 9%、溶融シリカ粉末70%、離型剤等3
%を実施例1と同様にして成形材料(C)を製造した。
8%に、ノボラック型フェノール樹脂(フェノール当量
107) 9%、溶融シリカ粉末70%、離型剤等3
%を実施例1と同様にして成形材料(C)を製造した。
比較例 2
比較例1において溶融シリカ粉末の代わりに結晶性シリ
カ粉末(平均粒径28μm)を用いた以外はすべて比較
例1と同一にして成形材料(D)を製造した。
カ粉末(平均粒径28μm)を用いた以外はすべて比較
例1と同一にして成形材料(D)を製造した。
比較例 3
クレゾールノボラックエポキシ樹脂(エポキシ当量21
5) 10%に、ノボラック型フェノール樹脂(フェノ
ール当i 107) 5%、結晶性シリカ粉末(平均
粒径28μ■)85%を用いた以外はすべて比較例1と
同一にして成形材料(E)を製造した。
5) 10%に、ノボラック型フェノール樹脂(フェノ
ール当i 107) 5%、結晶性シリカ粉末(平均
粒径28μ■)85%を用いた以外はすべて比較例1と
同一にして成形材料(E)を製造した。
比較例 4
クレゾールノボラックエポキシ樹脂(エポキシ当量21
5) 18%に、ノボラック型フェノール樹脂9%、六
方晶型窒化ケイ素粉末(平均粒径7μl、未反応金属ケ
イ素含有率1.5%)70%、離型剤3%を用いた以外
はすべて比較例1と同一にして成形材料(F)を製造し
た。
5) 18%に、ノボラック型フェノール樹脂9%、六
方晶型窒化ケイ素粉末(平均粒径7μl、未反応金属ケ
イ素含有率1.5%)70%、離型剤3%を用いた以外
はすべて比較例1と同一にして成形材料(F)を製造し
た。
実施例1〜2、比較例1〜4で製造した成形材料(A)
〜(F)を用いて、170℃に加熱した金型内にトラン
スファー成形し硬化させて成形品(封止品)を得た。
得られた成形品について、熱伝導率、熱膨張係数、成形
性、耐湿性、絶縁破壊の試験を行ったので、その結果を
第1表に示した。 いずれも本発明の著しい効果が確認
された。
〜(F)を用いて、170℃に加熱した金型内にトラン
スファー成形し硬化させて成形品(封止品)を得た。
得られた成形品について、熱伝導率、熱膨張係数、成形
性、耐湿性、絶縁破壊の試験を行ったので、その結果を
第1表に示した。 いずれも本発明の著しい効果が確認
された。
*1 :得られた成形品を迅速熱伝導針(昭和電工社製
、商品名QTM−MD)を用いて室温下で測定した。
、商品名QTM−MD)を用いて室温下で測定した。
*2:120キャビティ取り16ビンDIP金型を用い
て、170℃で3分間トランスファー成形し充填性を評
価した。
て、170℃で3分間トランスファー成形し充填性を評
価した。
*3:成形材料を用いて、2本のアルミニウム配線を有
する電気部品を170℃で3分間トランスファー成形し
、その後180℃で8時間硬化させた。 こうして得た
封止電気部品100個について 120℃の高圧水蒸気
中で耐湿試験を行い、アルミニウム腐食による50%の
断線(不良発生)の起こる時間を判定する。
する電気部品を170℃で3分間トランスファー成形し
、その後180℃で8時間硬化させた。 こうして得た
封止電気部品100個について 120℃の高圧水蒸気
中で耐湿試験を行い、アルミニウム腐食による50%の
断線(不良発生)の起こる時間を判定する。
[発明の効果]
以上の説明および第1表からも明らかなように、本発明
の封止用樹脂組成物は、熱伝導率が大きく、熱膨脂係数
が小さく、成形性、耐湿性に優れているためボンディン
グワイヤーのオーブン、樹脂クラ・ツク、ペレットクラ
ックがなく特性バランスのよい信頼性の高いものであり
電子・電気部品の封止用として好適なものである。
の封止用樹脂組成物は、熱伝導率が大きく、熱膨脂係数
が小さく、成形性、耐湿性に優れているためボンディン
グワイヤーのオーブン、樹脂クラ・ツク、ペレットクラ
ックがなく特性バランスのよい信頼性の高いものであり
電子・電気部品の封止用として好適なものである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1(A)エポキシ樹脂、 (B)ノボラック型フェノール樹脂および (C)平均粒径60メッシュ以上の細粒で金属ケイ素の
含有率が1%以下の窒化ケイ素 粉末 を必須成分とし、前記(C)窒化ケイ素粉末を全体の樹
脂組成物に対して25〜90重量%の割合で含有するこ
とを特徴とする封止用樹脂組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16932788A JPH0220548A (ja) | 1988-07-07 | 1988-07-07 | 封止用樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16932788A JPH0220548A (ja) | 1988-07-07 | 1988-07-07 | 封止用樹脂組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0220548A true JPH0220548A (ja) | 1990-01-24 |
Family
ID=15884493
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16932788A Pending JPH0220548A (ja) | 1988-07-07 | 1988-07-07 | 封止用樹脂組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0220548A (ja) |
-
1988
- 1988-07-07 JP JP16932788A patent/JPH0220548A/ja active Pending
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