JPH02206041A - 露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は、ガラス基板に対してレーザービームを照射し
情報の書き込みを行なうようにした露光装置に関する。

［従来の技術］ コンパクトディスクやビデオディスクなどの各種光ディ
スクに対して情報の書き込みを行なう露光装置において
は、感光性物質あるいは金属薄膜が表面に付与されてい
るガラス基板をターンテーブルの表面上に載置しておく
とともに、情報変調されたレーザービームを対物レンズ
により絞った上で螺旋状あるいは同心円状に照射・露光
し、これにより潜像あるいは凹凸パターンを形成するよ
うにしている。

また上記対物レンズに対しては、該対物レンズの焦点位
置の制御を行なうフォーカスサーボ系が付設されている
。このフォーカスサーボ系では、発光素子からの出射光
がガラス基板の表面で反射され、そのガラス基板表面か
らの反射光が受光素子に受けられるように構成されてお
り、この受光素子からの出力信号の変動に基づいて対物
レンズの制御動作が実行されるようになっている。

［発明が解決しようとする課題］ ところが上記フォーカスサーボ系においては、ガラス基
板の表面からの反射光のみが検出されれば問題はないが
、ガラス基板からの反射光にはガラス基板の裏面あるい
はガラス基板を載置するターンテーブル表面における反
射光が混在されることが多い。特にターンテーブル表面
からの反射光は、発光素子がわに戻されて発信状態に影
響を及ぼすこともあり、サーボ異常の主な発生原因とな
っている。

このような問題を解消するために、ターンテーブルの表
面を黒化したりすることも行なわれているが、十分な解
決手段にはなっていない。

そこで本発明は、ターンテーブル表面からの反射光の影
響を十分になくすことができ、対物レンズに対し良好な
フォーカスサーボを行なわせることができるようにした
露光装置を提供することを目的とする。

［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するため本発明は、ターンテーブルの表
面上に載置されているガラス基板に対しレーザービーム
を照射・露光して、情報の書き込みを行なうようにした
露光装置において、上記ターンテーブルの表面部には、
ガラス基板を支持する凸部が複数形成されているととも
に、上記各凸部の頂部における頂角は、６００より小さ
い鋭角をなすように形成される構成を採用している。

［作　　　用］ このような構成を備える手段においては、フォーカスサ
ーボ系によりターンテーブルの表面に照射されるレーザ
ービームが、ターンテーブル表面部の各凸部の側面部に
入射され反射される。このとき各凸部の頂角が６０°よ
り小さい鋭角をなすように形成されているため、上記各
凸部の側面部における反射光は、もとの照射方向光路に
対して極端に角度ずれされることのない光路をとるよう
にして進んでいく。そしてさらにこの反射光は、隣接す
る凸部の側面部に入射され反射されることとなり、以後
同様な反射を凸部どうしの間で複数回繰り返す。このよ
うな反射を複数回繰り返す間に光の減衰が行なわれ、し
たがって照射光が複数回の反射の後にもとの光路をたど
ってフォーカスサーボ系に戻されるとしても、もはやフ
ォーカスサーボ系がわへの影響が生じない程度に光減衰
が行なわれるようになっている。

［実　施　例］ 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。

第２図に示されている露光装置は、一つのビームでピッ
トの露光を行ない他方のビームでグループの露光を行な
うようにしたいねゆる２ビ一ム方式を採用する装置であ
る。すなわち露光用光源としてのアルゴンレーザー１か
ら発せられるレーザービームは、ダイクロイックミラー
２によってＡおよびＢの２系統のレーザービームに分け
られる。

まずＡ系統のレーザービームは、光量調整用のアナログ
Ａ１０変調器３および光をオン、オフするディジタル変
調器４を通して情報変調され、プリズム５で偏向された
後、ビームエキスパンダー６によってビーム径が広げら
れて偏光ビームスプリッタ−７およびλ／２板８さらに
偏光ビームスプリッタ−９およびλ／４板１１を通過さ
れ、ダイクロイックミラー１２により偏向されて偏光ビ
−ムスプリッター１３、λ／４板１４および対物レンズ
１５を通過してガラス基板１６上に照射される。上記ガ
ラス基板１６はターンテーブル１７の表面上に載置され
ている。

一方Ｂ系統のレーザービームは、ダイクロイックミラー
１８で偏向されてビームエキスパンダー１９によってビ
ーム径が広げられ、さらに前記偏光ビームスプリッタ−
９で偏向された後、上記Ａ系統のレーザービームと同様
にλ／４板１１を通過されてダイクロイックミラー１２
により偏向され、偏光ビームスプリッタ−１３、λ／４
板１４および対物レンズ１５を通過してガラス基板１６
上に照射されるようになっている。

また前記対物レンズ１５に対しては、該対物レンズ１５
の焦点位置制御を行なうフォーカスサーボ系が付設され
ている。このフォーカスサーボ系では、発光素子として
のＨｅ−Ｎｅレーザー２１から発せられる直線偏光の光
が、ダイクロイックミラー２２により偏向されてλ／２
板２３および前記ダイクロイックミラー１２を通過した
後、前記２系統の書き込みレーザービームと同様に、偏
光ビームスプリッタ−１３を通過してλ／４板１４で円
偏光に変えられ、対物レンズ１５で絞られてガラス基板
１６上に照射される。ガラス基板１６からの反射光は円
偏光のままであるが、入射光とは逆回転方向の偏光にな
されて戻っていくため、上記λ／４板１４で再度直線偏
光になされることにより入射光と直角の方向をなす直線
偏光となされ、これによって偏光ビームスプリッタ−１
３で反射される。この反射光は受光素子としてのフォト
ダイオード２４に受けられる。このフォトダイオード２
４からの出力信号は図示を省略した対物レンズ１５の鄭
動系にフィードバックされ、対物レンズ１５のフォーカ
シング制御動作が実行されるようになっている。

一方第１図に示されるように、前記ガラス基板１６を支
持する上記ターンテーブル１７の表面部には複数の凸部
１７ａが形成されている。これら各凸部１７ａは、ター
ンテーブル１７の回転中心の回りに同心状に形成され、
あるいは小突起状のものがランダムに配列されなるもの
であり、各凸部１７ａの頂部が前記ガラス基板１６の底
面部に接触されるようになっている。そしてこのガラス
基板１６の底面部に接触される頂部は、その頂角αが６
０６より小さい鋭角をなすように形成されている。

このような実施例においては、フォーカスサーボ系から
ターンテーブル１７の表面に照射されるレーザービーム
が、ターンテーブル１７の表面部における各凸部１７ａ
の側面部に入射角θ１で照射されるとともに反射角θ□
で反射されていく。

このとき各凸部１７ａの頂角αが６０’より小さい鋭角
をなすように形成されているため、各凸部１７ａの側面
部からの反射光はもとの照射方向（紙面上下方向）光路
に対して極端に角度ずれされることのない光路をとるよ
うにして進んでいく。

さらにこの反射光は、隣接する凸部１７ａの側面部に入
射角θ２で照射されるとともに反射角θ２で反射されて
いくこととなり、以後同様な反射を凸部１７ａどうしの
間で複数回繰り返す。このような反射を複数回繰り返す
ごとに凸部１７ａの側面部に対する入射角および反射角
は次第に大きくなっていくが、その間に光の減衰が行な
ねれる。したがって照射光が複数回の反射の後にもとの
光路をたどってフォーカスサーボ系に戻されるとしても
、もはやフォーカスサーボ系がわへの影響が生じない程
度に光減衰が行なわれることとなり、例えば発光素子と
してのＨｅ　−Ｎ　ｅレーザー２１の発振状態への影響
は皆無になされるようになっている。

第３図には、ターンテーブル１７の表面部に形成されて
いる各凸部１７ａの頂角αが６０ａちょうどに設定され
ている場合が示されている。この場合には、第１回目の
反射角０工が３０°になされるとともに、隣接する凸部
１７ａの側面部への入射角θ２が９０°になされる。し
たがってこの場合には反射は２回のみしか行なわれず、
照射光はその後再びもとの光路にしたがってフォーカス
サーボ系へ戻されることとなり、光の減衰作用はあまり
期待できない。一方凸部１７ａの頂角αが６０’より小
さくなされる場合には、上述したように光の減衰が十分
行なわれるまで反射が何度も繰り返されることとなる。

すなわち凸部１７ａの頂角αを小さくすればするほど大
きな光減衰効果を得ることができるものである。

なお凸部１７ａは、ターンテーブル１７の表面部に一体
的に形成してもよいし、別体に形成してそれをターンテ
ーブル１７上に取り付けるようにしてもよい。

［発明の効果］ 以上述べたように本発明は、ターンテーブルの表面に照
射されるレーザービームが、ターンテーブルの表面部に
おいて複数回にわたって反射を繰り返し減衰されるよう
に、ターンテーブルの表面部に、６０°より小さい鋭角
をなす凸部を複数形成する構成を採用したから、ターン
テーブル表面からの反射光によるフォーカスサーボ系へ
の影響を十分になくすことができ、対物レンズに対して
良好なフォーカスサーボを安定して行なわせることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例におけるターンテーブルの表
面部を拡大して表わした側面説明図、第２図は露光装置
の一般構成を表わした模式的構成説明図、第３図はター
ンテーブル表面部を臨界状態に形成した場合を表わす部
分拡大側面説明図である。 １６・・・ガラス基板、１７・・・ターンテーブル、１
７ａ・・・凸部。 代 理 人 樺山　亨 （ばか１名）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ターンテーブルの表面上に載置されているガラス基板に
   対しレーザービームを照射・露光して、情報の書き込み
   を行なうようにした露光装置において、 上記ターンテーブルの表面部には、ガラス基板を支持す
   る凸部が複数形成されているとともに、上記各凸部の頂
   部における頂角は、６０゜より小さい鋭角をなすように
   形成されていることを特徴とする露光装置。