JPH02207801A - Method and device for recovering cleaning solvent of cleaning machine - Google Patents
Method and device for recovering cleaning solvent of cleaning machineInfo
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Landscapes
- Accessory Of Washing/Drying Machine, Commercial Washing/Drying Machine, Other Washing/Drying Machine (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、洗浄機の洗浄用溶剤の回収方法及びその装置
に係り、さらに詳しくは金属、ガラスまたは半導体部品
等の被洗浄物を各種方式の洗浄機に対応してシステム化
することによって、洗浄用溶剤を回収再生しうるように
した付帯設備を有する洗浄機の洗浄用溶剤の回収方法及
びその装置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a method and apparatus for recovering a cleaning solvent for a washing machine, and more specifically, to a method and apparatus for recovering cleaning solvent for a cleaning machine, and more specifically to a method for recovering cleaning solvents for cleaning machines, and more specifically, for recovering objects to be cleaned such as metal, glass or semiconductor parts by various methods. The present invention relates to a method and an apparatus for recovering a cleaning solvent for a cleaning machine, which has ancillary equipment that can recover and regenerate the cleaning solvent by systemizing the cleaning solvent for the cleaning machine.
布帛等の被洗浄物を、ワッシャードラム式の洗浄機でド
ライクリーニングする際の、溶剤ガス回収方法及び装置
は、特公昭60−29519号公報ほかで公知である。A method and apparatus for recovering a solvent gas when dry cleaning an object to be cleaned such as a cloth using a washer drum type cleaning machine is known from Japanese Patent Publication No. 60-29519 and others.
一方、光学系レンズ、眼鏡レンズや液晶ガラス。On the other hand, optical lenses, eyeglass lenses and liquid crystal glasses.
および半導体部品等の洗浄にもフロン系の溶剤が使用さ
れている。第2図は、その代表的な洗浄装置であるが、
超音、波洗浄槽(21)、冷浴槽(22)、蒸気槽(2
3)の3槽からなる洗浄機(20)に対して溶剤ガスを
回収する装置は冷却コイル(24)のみで、更に余分に
チラー装置g(25)を必要とし、しかもペーパーライ
ン上部が開放されたままになっているので、フロンガス
の規制には対処し得なりものであった・
また従来の装置は、洗浄機と溶剤ガス回収装置が一体に
なった大型なものであった。そのため。Freon-based solvents are also used for cleaning semiconductor parts and the like. Figure 2 shows a typical cleaning device.
Ultrasonic, wave cleaning tank (21), cold bath (22), steam tank (2)
For the washing machine (20) consisting of three tanks in 3), the only device for recovering solvent gas is the cooling coil (24), which requires an additional chiller device g (25), and the top of the paper line is open. Since the gas remains unused, it was possible to comply with the regulations on fluorocarbon gas.In addition, conventional equipment was large, combining a cleaning machine and a solvent gas recovery device. Therefore.
多数の洗浄槽を有する洗浄機あるいは既存の洗浄機に対
して、溶剤ガス回収装置が大型になり、さらに工場のレ
イアウトに合わせた設計をなし得るものではなく、シか
も高価な点が最大の欠点となっていた。The biggest drawback is that the solvent gas recovery device is larger compared to cleaning machines with multiple cleaning tanks or existing cleaning machines, and it is not possible to design it to match the layout of the factory, and it is expensive. It became.
上記の事情に鑑み1本発明は、多数の洗浄槽を有する洗
浄機に対して、洗浄用溶剤回収のための必須の付帯設備
をレイアウトし、これを顧客の要望に合わせてシステム
化し、安価な方法でフロンガスの規制等に対処した洗浄
機の洗浄用溶剤回収方法及び装置の提供を目的とする。In view of the above circumstances, 1 the present invention lays out essential incidental equipment for recovering cleaning solvents for cleaning machines having a large number of cleaning tanks, systemizes this in accordance with customer requests, and provides an inexpensive solution. The purpose of the present invention is to provide a cleaning solvent recovery method and device for cleaning machines that comply with fluorocarbon gas regulations.
(課題を解決するための手段〕
本発明は、洗浄液タンクから揚液された洗浄用溶剤によ
って、多数の洗浄槽を有する洗浄機において被洗浄物を
洗浄した後、洗浄液の一部を洗浄液タンクに還元し、そ
の他の洗浄液を蒸留缶へ移送し、ついで蒸発した溶剤を
コンデンサーによって液化した後、必要に応じて分離器
によって水分を除去して再生された洗浄用溶剤を洗浄液
タンクへ回収するとともに、前記洗浄機、洗浄液タンク
及びエアタンクからの蒸発溶剤ガスをカーボンタンクに
よって吸着及び肌着をクローズドシステムによって行う
洗浄機の洗浄用溶剤回収方法及び多数の洗浄槽からなる
洗浄機に対して、洗浄液タンクと少なくとも1台の蒸留
缶と一連のカーボンタンクと一連のコンデンサーと必要
に応じて一連の分離器と連結した付帯設備をクローズド
システムとし、洗浄機からの洗浄用溶剤を回収、再生す
るようにした装置を提供するものである。(Means for Solving the Problems) The present invention provides a method for cleaning an object to be cleaned using a cleaning solvent pumped from a cleaning liquid tank in a washing machine having a large number of cleaning tanks, and then transferring a part of the cleaning liquid to the cleaning liquid tank. After reducing and transferring other cleaning liquid to a distillation tank, the evaporated solvent is liquefied in a condenser, water is removed by a separator as necessary, and the regenerated cleaning solvent is recovered to a cleaning liquid tank. The cleaning solvent recovery method for a cleaning machine in which the evaporated solvent gas from the cleaning machine, the cleaning liquid tank, and the air tank is adsorbed by a carbon tank and the underwear is collected in a closed system, and for the cleaning machine consisting of a large number of cleaning tanks, the cleaning liquid tank and at least A closed system consisting of one distillation can, a series of carbon tanks, a series of condensers, and ancillary equipment connected to a series of separators as necessary, to recover and regenerate the cleaning solvent from the washer. This is what we provide.
本発明は上記のように構成するので、洗浄液タンクから
揚液された洗浄用溶剤は多数の洗浄槽を有する洗浄機に
おいて被洗浄物を洗浄した後、洗浄液の一部は洗浄液タ
ンクに還元し、その他の洗浄液は蒸留缶へ移送され、溶
剤は蒸発しコンデンサーに移送される。一方汚物はスラ
ッジとして排出される。コンデンサーで冷却水によって
蒸発溶剤は液化され、ついで液化された溶剤は必要に応
じて分離器によって水分を除去し、再生された洗浄用溶
剤を洗浄液タンクへ注がれる。一方、洗浄機、洗浄液タ
ンク及びコンデンサーと分離器に連結したエアタンクか
らの蒸発溶剤ガスをカーボンタンクによって吸着しつい
でスチームによって脱着を交互に行い、脱着された溶剤
ガスはコンデンサーに移送される。このような一連の処
理をクローズドシステムによって行い洗浄用溶剤の回収
と再生を行う。Since the present invention is configured as described above, after the cleaning solvent pumped from the cleaning liquid tank cleans the object to be cleaned in a washing machine having a large number of cleaning tanks, a part of the cleaning liquid is returned to the cleaning liquid tank, The other cleaning liquid is transferred to the still and the solvent is evaporated and transferred to the condenser. On the other hand, waste is discharged as sludge. The evaporated solvent is liquefied by cooling water in a condenser, and then water is removed from the liquefied solvent by a separator if necessary, and the regenerated cleaning solvent is poured into a cleaning liquid tank. Meanwhile, the evaporated solvent gas from the washer, the cleaning liquid tank, the condenser, and the air tank connected to the separator is adsorbed by the carbon tank and desorbed by steam alternately, and the desorbed solvent gas is transferred to the condenser. A series of such processes is performed in a closed system to recover and regenerate the cleaning solvent.
本発明において、多数の洗浄槽を有する洗浄機に対する
洗浄用溶剤回収装置は、2槽以上の洗浄槽を有する洗浄
機を1つの回収装置によって溶剤ガスを処理するという
意味であり、洗浄機はシャワー式、ジェット式、浸漬式
、揺動式、撹拌式、超音波式、蒸気式の何れの方式にも
適用しうるものである。In the present invention, the cleaning solvent recovery device for a cleaning machine having a large number of cleaning tanks means that the solvent gas is processed by one recovery device for a cleaning machine having two or more cleaning tanks, and the cleaning machine is a shower It can be applied to any of the following methods: type, jet type, immersion type, rocking type, stirring type, ultrasonic type, and steam type.
本発明でいう蒸留缶とは、スチーム管が配管され、汚染
された洗浄液を間接加熱し、汚染したスラッジ分を分離
配設させて清浄な溶剤ガス成分を抽出させるためのもの
であり、少なくとも1台は必要である。The distillation can referred to in the present invention is a distillation can that is equipped with a steam pipe, indirectly heats the contaminated cleaning liquid, separates the contaminated sludge, and extracts a clean solvent gas component. A stand is necessary.
本発明でいうカーボンタンクとは、溶剤ガスを吸着させ
るための活性炭を充填したタンクのことであり、吸着の
みを行うためには少なくとも1台。The carbon tank used in the present invention refers to a tank filled with activated carbon for adsorbing solvent gas, and at least one tank is required to perform only adsorption.
吸着とともに脱着も行うためには少なくとも2台からな
る一連のタンクを必要とする。A series of at least two tanks is required to perform adsorption as well as desorption.
本発明でいうコンデンサーとは、蒸留缶および活性炭に
スチームを送りこんで脱着させた溶剤ガスをコイルの周
囲から冷却して、溶剤を液化させるためのものであり、
1台でもよいが効率的に処理するには2台からなる一連
のコンデンサーを必要とする。The condenser referred to in the present invention is a device for cooling the solvent gas desorbed by sending steam into the distillation can and activated carbon from around the coil to liquefy the solvent.
One capacitor is sufficient, but efficient processing requires a series of two capacitors.
本発明でいう分離器とは、油水分離機のことで、比重差
分離方式のものと、濾過式分離方式のものとの2台から
なる一連のものを配設してもよいが。The separator referred to in the present invention refers to an oil-water separator, and a series of two separators, one of the specific gravity separation type and the other of the filtration type separation type, may be provided.
カーボンタンクからスチームで溶剤ガスを脱着させない
場合で、水分の全く入らない場合には、敢えて必要とし
ない。This is not necessary if the solvent gas is not desorbed from the carbon tank by steam, and if no moisture enters the tank.
本発明は、上記の付帯設備において最後の濯ぎ洗いは新
鮮な溶剤で洗浄するが、前工程の洗浄は極低濃度汚染液
で洗浄するとか、全てを再生新液で洗浄するとか、又は
シャワー洗浄で発生する溶剤ガスはカーボンタンクを確
実に吸着させて大気中に放散させないとかのそれぞれの
要求に応じた配管組合せによる密閉型を構成したクロー
ズドシステム化によって、溶剤ガスを自動的に回収再生
するものである。In the present invention, the final rinsing of the above-mentioned auxiliary equipment is performed using a fresh solvent, but the pre-process cleaning is performed using an extremely low concentration contaminated solution, all of the equipment is cleaned using a recycled new solution, or the entire product is washed using a shower. The solvent gas generated in the process is automatically collected and regenerated through a closed system configured with a sealed type with a combination of piping that meets each request, such as ensuring that the solvent gas generated in the carbon tank is adsorbed and not released into the atmosphere. It is.
以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明する。第1
図は本発明の一実施例を示す洗浄機の洗浄用溶剤回収装
置のフローシートである。Hereinafter, embodiments of the present invention will be described based on the drawings. 1st
The figure is a flow sheet of a cleaning solvent recovery device for a washing machine, which shows one embodiment of the present invention.
(1)は・1号機(la)、 2号機(lb)、3号機
(lc)、4号機(ld)、 5号機(1e)の多数の
洗浄槽からなる洗浄機である0本発明の洗浄機は、少な
くとも2槽以上の多槽式に適用しうる洗浄用溶剤回収装
置である。洗浄機械を処理方式で分類すると、せいぜい
2kg/cdG以下の圧液をかけるシャワー洗浄。(1) The washing machine of the present invention is a washing machine consisting of a large number of cleaning tanks: No. 1 (la), No. 2 (lb), No. 3 (lc), No. 4 (ld), and No. 5 (1e). The machine is a cleaning solvent recovery device that can be applied to a multi-tank system with at least two or more tanks. When cleaning machines are categorized by processing method, shower cleaning uses pressure liquid of no more than 2 kg/cdG.
2〜30kg/aJGの圧液を吹き付ける中圧シャワー
洗浄、40〜150kg/aJGの圧液をぶつける高圧
ジェット洗浄、槽内の溜り液または流水液に浸す浸漬洗
浄、槽内で被洗浄物を揺動または回転させる液中揺動ま
たは回転洗浄、槽内の液をエアーまたはポンプ等を使用
して撹拌する液中噴流撹拌洗浄、超音波振動を利用して
洗浄する超音波洗浄、溶剤系の蒸気で洗浄する蒸気洗浄
があるが。Medium-pressure shower cleaning that sprays a pressure liquid of 2 to 30 kg/aJG, high-pressure jet cleaning that sprays a pressure liquid of 40 to 150 kg/aJG, immersion cleaning that immerses the object in the accumulated liquid or running water in the tank, and shakes the object to be cleaned in the tank. Submerged rocking or rotational cleaning that moves or rotates, submerged jet agitation cleaning that stirs the liquid in a tank using air or a pump, ultrasonic cleaning that uses ultrasonic vibration, and solvent-based steam. There is a steam cleaning method that cleans with water.
本発明の洗浄用溶剤回収装置はその何れにも使用するこ
とができる。The cleaning solvent recovery device of the present invention can be used for any of them.
複合型の多槽式洗浄機の場合は電子機器を使用するプリ
ント基板のハンダ付は後のフラックス落しや精密加工し
た金属部品の樹脂及び切り粉落しの洗浄や、有機溶剤が
使用しろる各種材料等に使用される。また、10〜16
槽から6なる大型機の多槽式洗浄機は、光学系レンズ、
眼鏡用ガラス。In the case of a complex multi-tank cleaning machine, it is used to remove flux after soldering printed circuit boards that use electronic equipment, to remove resin and chips from precision-machined metal parts, and to clean various materials that use organic solvents. Used for etc. Also, 10 to 16
A large multi-tank cleaning machine with six tanks has optical lenses,
Glass for glasses.
液晶ガラスまたは半導体関係の何れの被洗浄物にも本発
明の洗浄用溶剤回収装置は適用しうる。The cleaning solvent recovery device of the present invention can be applied to any object to be cleaned related to liquid crystal glass or semiconductors.
本発明の装置には、一連の分離器を有する。分離器は油
水を分離するためのものであり1本実施例の場合は、第
1分離器(2a)と第2分離器(2b)の2台からなる
一連の分離器を有する。第1分離器(2a)は比重差分
離方式からなり、第2分離器(2b)はガラスフィルタ
ーの濾過分離方式からなるが、両者は段差を設けて並設
させている。The device of the invention has a series of separators. The separator is for separating oil and water, and in this embodiment, it has a series of separators consisting of two separators: a first separator (2a) and a second separator (2b). The first separator (2a) is of a specific gravity separation type, and the second separator (2b) is of a glass filter filtration separation type, and both are arranged side by side with a step.
第2分離器(2b)に、 1.1.2−トリクロロ−1
゜2.2−トリフルオロエタンの新液溶剤(以下[新液
フレオン」という)を注入する。第2分離器(2b)と
洗浄機(1)との中間には、第3タンク(3C)と第2
タンク(3b)と第1タンク(3a)とが、順次段差を
設けて連結されている。従って第2分離器(2b)に入
れた新液フレオンは、順次オーバーフローして、第3タ
ンク(3c)、第2タンク(3b)、第1タンク(3a
)に充満される。In the second separator (2b), 1.1.2-trichloro-1
゜2. Inject a new solution of 2-trifluoroethane (hereinafter referred to as "new solution Freon"). A third tank (3C) and a second tank are located between the second separator (2b) and the washer (1).
The tank (3b) and the first tank (3a) are connected to each other by sequentially providing steps. Therefore, the fresh Freon liquid put into the second separator (2b) overflows sequentially to the third tank (3c), the second tank (3b), and the first tank (3a).
) is charged.
第1タンク(3a)に投入された最初の新液フレオンは
ポンプ(4)によって新液ライン(5)を経由して。The first new liquid Freon introduced into the first tank (3a) is passed through the new liquid line (5) by the pump (4).
各洗浄槽(1a)、(lb)、 (lc)、(ld)、
(le)あるいはこの中の何れかの洗浄槽に揚液され1
回目の洗浄に供される。また、第2タンク(3b)に投
入された最初の新液フレオンは、同じくポンプ(4)に
よって新液ライン(5)を経由して、各洗浄槽(la)
、(lb)、(lc)、 (ld)、(1e)あるいは
この中の何れかの洗浄機に揚液され2回目の洗浄に供さ
れた後、溶液ライン(6)、ボタントラップ(7)を経
由して第4タンク(3d)に落下し、ポンプ(8)にて
カートリッジフィルター(9)を経由して第1タンク(
3a)に還元する。さらに、第3タンク(3C)に投入
された最初の新液フレオンは、同じくポンプ(4)によ
って新液ライン(5)を経由して、各洗浄槽(1a)、
(1b)、(lc)、(id)、(is)あるいはこの
中の何れかの洗浄機に揚液された3回目の洗浄に供され
た後、溶液ライン(6)、ボタントラップ(7)を経由
して第4タンク(3d)に落下し、ポンプ(8)にてカ
ートリッジフィルター(9)を経由して第2タンク(3
b)に還元する。従って最初の新液フレオンは、第2タ
ンク(3b)の場合は低濃度に汚染した液(以下[低濃
度汚染フレオン」という)となり、また第1タンク(3
a)の場合は中濃度に汚染した液(以下「中濃度汚染フ
レオン」という)となり、これを洗浄液として循環する
ことになる。Each cleaning tank (1a), (lb), (lc), (ld),
(le) Or pumped into one of these cleaning tanks 1
It is used for the second cleaning. In addition, the first fresh Freon liquid put into the second tank (3b) is also passed through the new liquid line (5) by the pump (4) to each cleaning tank (la).
, (lb), (lc), (ld), (1e) or any one of them and after being used for the second cleaning, the solution line (6), button trap (7) It falls into the fourth tank (3d) via the pump (8) and the first tank (3d) via the cartridge filter (9).
Reduce to 3a). Furthermore, the first fresh Freon liquid put into the third tank (3C) is also passed through the new liquid line (5) by the pump (4) to each cleaning tank (1a).
After being pumped into (1b), (lc), (id), (is) or any of these cleaning machines for the third cleaning, the solution line (6), button trap (7) It falls into the fourth tank (3d) via the pump (8) and the second tank (3d) via the cartridge filter (9).
b) reduce to Therefore, the initial fresh Freon liquid becomes a low concentration contaminated liquid (hereinafter referred to as "low concentration contaminated Freon") in the case of the second tank (3b), and
In case a), a medium-concentration contaminated liquid (hereinafter referred to as "medium-concentration contaminated Freon") is obtained, and this is circulated as a cleaning liquid.
この実施例のような配管、循環によるシステム化した場
合、正常な運転に入ると、第1タンク(3a)の中濃度
汚染フレオンによる1回目の洗浄後の液は、高濃度に汚
染した液(以下「高濃度汚染フレオン」という)である
から、これを蒸留して新鮮なフレオンに戻す必要がある
。In the case of a system using piping and circulation as in this example, when normal operation begins, the liquid in the first tank (3a) after the first cleaning with medium-concentration contaminated Freon will become highly contaminated liquid ( (hereinafter referred to as ``highly contaminated freon''), it is necessary to distill it back to fresh freon.
高濃度汚染フレオンは、1回目の洗浄後、溶液ライン(
6)、ボタントラップ(7)を経由して第4タンク(3
d)に落下し、ポンプ(8)とカートリッジフィルター
(9)を経由して蒸留缶(lO)に移送される0本発明
の場合、蒸留缶(10)は少なくとも1台必要であり、
蒸留缶(10)内はスチーム(11)による間接加熱で
溶剤分は蒸発し、上部の第1コンデンサー(12a)か
ら第2コンデンサー(12b)に導かれ。After the first cleaning, high-concentration contaminated Freon should be removed from the solution line (
6), the fourth tank (3) via the button trap (7)
In the present invention, at least one distillation can (10) is required,
The inside of the distillation can (10) is indirectly heated by steam (11) to evaporate the solvent, and the solvent is led from the first condenser (12a) at the top to the second condenser (12b).
一方、汚物はスラッジ(13)として排出される。本発
明のコンデンサーは1台でもよいが、第1コンデンサー
(12a)と第2コンデンサー(12b)のように2台
からなる一連のものでもよい。このコンデンサー(12
a)、(12b)は、冷却水(14)により蒸発溶剤を
液化させるものであるが1本実施例の2台は効率的に作
動するためである。On the other hand, filth is discharged as sludge (13). The capacitor of the present invention may be one, or may be a series of two such as a first capacitor (12a) and a second capacitor (12b). This capacitor (12
In a) and (12b), the evaporated solvent is liquefied by the cooling water (14), and the two units in this embodiment operate efficiently.
第2コンデンサー(12b)で完全に液化された液化溶
剤は、前述の第1分離器(2a)から第2分離器(2b
)へと導かれ、水分を除去し、再生された新液溶剤(以
下「再生新液フレオン」という)として、第3タンク(
3c)へ注がれ、最後の3回目の濯ぎ洗浄に使用される
。なお溶剤分のみで水分を全く含まない場合には分離器
(2a)、 (2b)を必要としない。The liquefied solvent completely liquefied in the second condenser (12b) is transferred from the first separator (2a) to the second separator (2b).
), water is removed, and the regenerated new liquid solvent (hereinafter referred to as "regenerated fresh Freon") is transferred to the third tank (
3c) and used for the third and final rinse. Note that if the solvent contains only a solvent and no moisture, the separators (2a) and (2b) are not required.
また本発明の装置には、活性炭を充填した2個のカーボ
ンタンク(15a)、(tsb)からなる一連のカーボ
ンタンクを有しており、各洗浄槽(1a)、(tb)
。The apparatus of the present invention also has a series of carbon tanks (15a) and (tsb) filled with activated carbon, each cleaning tank (1a) and (tb).
.
(1c)、(1d)、(le)、各タンク(3a)、(
3b)、 (3c)及び第2コンデンサー(12b)と
分離器(2a)、(2b)に連結したエアータンク(1
6)からの蒸発溶剤ガスを吸着させている。カーボンタ
ンクを2台にした場合は、吸着と脱着を交互に行うもの
であり、脱着はスチーム(17)によっており、乾燥は
外気(18)をスチームヒーター(19)で加熱した熱
風によっている。(1c), (1d), (le), each tank (3a), (
3b), (3c) and an air tank (1) connected to the second condenser (12b) and separators (2a), (2b).
6) adsorbs evaporated solvent gas. When two carbon tanks are used, adsorption and desorption are performed alternately; desorption is performed using steam (17), and drying is performed using hot air heated by outside air (18) with a steam heater (19).
本発明の装置は、洗浄液タンク(3a)、(3b)、(
3c)と少な(とも1台の蒸留缶(10)と一連のカー
ボンタンク(15a)、(15b)と一連のコンデンサ
ー(12a)、(12b)と必要に応じて一連の分離器
(2a)、(2b)とを有する付帯設備を密閉配管して
クローズドシステムとすることにより、洗浄機からの洗
浄用溶剤を回収し、再生するものであるが、上記の実施
例は中濃度汚染フレオンで1回目の洗浄を行い、低濃度
汚染フレオンで2回目の洗浄を行い。The apparatus of the present invention comprises cleaning liquid tanks (3a), (3b), (
3c) and a small number of distillers (10), a series of carbon tanks (15a), (15b), a series of condensers (12a), (12b) and optionally a series of separators (2a), (2b) The cleaning solvent from the cleaning machine is collected and regenerated by sealing the piping of the incidental equipment with (2b) and creating a closed system. A second cleaning was performed with low-concentration contaminated Freon.
再生新液フレオンで3回目の洗浄を行うという一例を示
したにすぎない。This is just an example of performing a third cleaning with recycled fresh Freon solution.
しかし、レンズや半導体機器等の精密部品の洗浄に際し
ては、常に再生新液フレオンで洗浄する必要がある。こ
のような場合には、第2タンク(3b)に投入した最初
の新液フレオンで洗浄した液は第1タンク(3a)に戻
すことなく、蒸留缶(10)に移送するようにし、また
、第3タンク(3C)に投入した最初の新液フレオンで
洗浄した液は第2タンク(3b)に戻すことなく、蒸留
缶(10)に移送して、何れも再生新液とするようシス
テム化する必要がある。However, when cleaning precision parts such as lenses and semiconductor equipment, it is necessary to always clean them with recycled fresh Freon liquid. In such a case, the liquid washed with the first new Freon liquid charged into the second tank (3b) is not returned to the first tank (3a), but is transferred to the distillation can (10), and The system has been established so that the first new liquid Freon washed into the third tank (3C) is transferred to the distillation can (10) without being returned to the second tank (3b), and both are used as recycled new liquid. There is a need to.
また、シャワーあるいはジェット式洗浄機の場合には、
汚染溶剤よりも溶剤ガス成分の回収が問題となるので、
クローズドシステムとしたカーボンタンクを、これに見
合う容量のものにする必要があり、カーボンタンクは例
えばカートリッジ式にしては吸着と脱着を専用の系列に
してもよい。In addition, in the case of a shower or jet-type cleaning machine,
Recovery of solvent gas components is more important than contaminated solvent, so
The carbon tank used as a closed system must have a capacity commensurate with this, and the carbon tank may be of a cartridge type, for example, and may have a dedicated system for adsorption and desorption.
要するに本発明の装置は、上記の付帯設備の連結を適宜
変更することができるもので洗浄機から発生する洗浄用
溶剤を回収再生しうるようにして、フロン規制等に対処
せんとするものである。In short, the device of the present invention allows the connection of the above-mentioned auxiliary equipment to be changed as appropriate, and allows the cleaning solvent generated from the cleaning machine to be recovered and recycled, thereby addressing regulations such as fluorocarbon regulations. .
本発明は、多数の洗浄槽を有する洗浄機に対して各種類
の溶剤ガス回収装置を使用することができるとともに非
常に安価であることが最大の特長である0本発明は冷却
コイル方式ではないので。The main feature of the present invention is that various types of solvent gas recovery devices can be used for cleaning machines having a large number of cleaning tanks, and it is very inexpensive.0The present invention does not use a cooling coil method. So.
敢えてチラー装置は必要とせず、給水装置やフィルター
や別途のポンプ等も必要としない。It does not require a chiller device, nor does it require a water supply device, filter, or separate pump.
本発明は既存のあるいは新設の多数の洗浄槽を有する洗
浄機に対して、また工場内に点在する洗浄機に対して、
集中管理方式を採用することができる。The present invention is applicable to existing or newly installed washing machines having a large number of washing tanks, and to washing machines scattered within a factory.
A centralized management method can be adopted.
洗浄機は、密閉ボックス式でも可能であり、何よりも洗
浄部分のみですむため、洗浄機が非常に小さくなる。The cleaning machine can also be a closed box type, and best of all, since only the cleaning part is required, the cleaning machine becomes very small.
本発明は、洗浄機が小さいと共に、クローズドシステム
にすることにより、溶剤ロスが極端に少なくランニング
コストも安価である。In the present invention, the cleaning machine is small, and by using a closed system, solvent loss is extremely small and running costs are low.
従来、浸漬等の洗浄機の中にシャワーやジェット式の洗
浄機があれば、それぞれ別個の回収装置を必要としたが
、本装置は如何なる洗浄機にも対処して、汚染溶剤の再
生と蒸発ガスの回収とを。Previously, if there was a shower or jet type cleaning machine in the immersion type cleaning machine, a separate recovery device was required for each type of cleaning machine, but this system can be used with any type of cleaning machine to regenerate and evaporate contaminated solvent. and gas recovery.
同時に1台で行うことができる。It can be done with one machine at the same time.
本発明は1個々の需要に応じたレイアウトにてシステム
化するものであり、必要によってはその連結を適宜変更
して組みかえをなし得るものであり、そのため半導体を
はじめとする精密洗浄にも対応しうるちのである。The present invention is systematized with a layout according to individual needs, and can be rearranged by appropriately changing the connections as necessary, so it can also be used for precision cleaning of semiconductors and other materials. This is Shiuruchino.
例えば蒸気洗浄方式等の場合、ペーパー層を乱さないよ
うにする必要があり、そのために洗浄槽内に降下させる
被洗浄物を入れたバスケットをゆっくり降下させ、ゆっ
くり上昇させる必要がある。For example, in the case of a steam cleaning method, it is necessary not to disturb the paper layer, and for this purpose, it is necessary to slowly lower the basket containing the objects to be cleaned to be lowered into the cleaning tank, and then slowly raise it.
従ってこの洗浄槽の個所によってタクトの処理スピード
が支障をきたしていた。Therefore, depending on the location of this cleaning tank, the processing speed of the takt process has been hindered.
しかし1本発明の装置によれば、この部分のみ小さな洗
浄槽を必要なだけ増加し、スピードアップできるので、
タクトの処理が自由にできる。However, according to the device of the present invention, it is possible to increase the number of small cleaning tanks in this part as much as necessary and speed up the process.
Takt processing can be done freely.
第1図は本発明の一実施例を示す洗浄機の洗浄用溶剤回
収装置のフローシート、第2図は従来例を示す洗浄機の
溶剤ガス回収装置である。
(1)・・・洗浄機
(la) = (lb) 、(lc) t (ld)
−(le) ”’洗浄槽(2a) 、 (2b)・・・
分離器
(3a)、 (3b)、 (3c)・・・洗浄液タン
ク(10)・・・蒸留器
(12a) 、 (12b) ・・・コンデンサー(1
5a) 、 (15b) ・・・カーボンタンク(16
)・・・エアータンクFIG. 1 is a flow sheet of a cleaning solvent recovery device for a washing machine showing an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a flowchart of a cleaning solvent gas recovery device for a washing machine showing a conventional example. (1)...Washing machine (la) = (lb), (lc) t (ld)
-(le) ''Cleaning tank (2a), (2b)...
Separators (3a), (3b), (3c)...Washing liquid tank (10)...Distiller (12a), (12b)...Condenser (1)
5a), (15b) ...Carbon tank (16
)...Air tank
Claims (4)
、多数の洗浄槽を有する洗浄機において被洗浄物を洗浄
した後、洗浄液の一部を前記洗浄液タンクに還元し、そ
の他の洗浄液を蒸留缶へ移送し、ついで蒸発した溶剤を
コンデンサーによって液化した後、必要に応じて分離器
によって水分を除去して再生された洗浄用溶剤を洗浄液
タンクへ回収するとともに、前記洗浄機、洗浄液タンク
及びエアタンクからの蒸発溶剤ガスをカーボンタンクに
よって吸着及び脱着をクローズドシステムによって行う
ことを特徴とする洗浄機の洗浄用溶剤回収方法。(1) After cleaning the object to be cleaned in a washing machine having multiple cleaning tanks with the cleaning solvent pumped from the cleaning liquid tank, a part of the cleaning liquid is returned to the cleaning liquid tank, and the other cleaning liquid is transferred to the distillation tank. The evaporated solvent is then liquefied in a condenser, water is removed by a separator as necessary, and the regenerated cleaning solvent is recovered into the cleaning liquid tank, and the cleaning solvent is also removed from the cleaning machine, cleaning liquid tank, and air tank. A cleaning solvent recovery method for a cleaning machine, characterized in that adsorption and desorption of evaporated solvent gas in a carbon tank is performed in a closed system.
ンクと少なくとも1台の蒸留缶と一連のカーボンタンク
と一連のコンデンサーと必要に応じて一連の分離器とを
連結した付帯設備をクローズドシステムとし、洗浄機か
らの洗浄用溶剤を回収、再生することを特徴とする洗浄
機の洗浄用溶剤回収装置。(2) For cleaning machines with multiple cleaning tanks, ancillary equipment that connects a cleaning liquid tank, at least one distillation can, a series of carbon tanks, a series of condensers, and a series of separators as necessary is closed. What is claimed is: 1. A cleaning solvent recovery device for a washing machine, characterized in that the system collects and regenerates cleaning solvent from the washing machine.
式、撹拌式、超音波式、蒸気式あるいは煮沸式の単体ま
たは複合型であることを特徴とする請求項(2)記載の
洗浄機の洗浄用溶剤回収装置。(3) The cleaning machine according to claim (2) is characterized in that the washing machine is a shower type, jet type, immersion type, rocking type, stirring type, ultrasonic type, steam type, or boiling type, and is a single or combined type. Solvent recovery device for washing machines.
ズ、セラミックまたは半導体であることを特徴とする請
求項(2)記載の洗浄機の洗浄用溶剤回収装置。(4) The cleaning solvent recovery device for a cleaning machine according to claim (2), wherein the object to be cleaned by the cleaning machine is a metal, a lens, a ceramic, or a semiconductor.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1024775A JPH02207801A (en) | 1989-02-04 | 1989-02-04 | Method and device for recovering cleaning solvent of cleaning machine |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1024775A JPH02207801A (en) | 1989-02-04 | 1989-02-04 | Method and device for recovering cleaning solvent of cleaning machine |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02207801A true JPH02207801A (en) | 1990-08-17 |
Family
ID=12147550
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1024775A Pending JPH02207801A (en) | 1989-02-04 | 1989-02-04 | Method and device for recovering cleaning solvent of cleaning machine |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02207801A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002309390A (en) * | 2001-04-10 | 2002-10-23 | Tokyo Dynamics Kk | Electronic filter cleaning equipment |
| JP2009070974A (en) * | 2007-09-12 | 2009-04-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Substrate processing apparatus |
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-
1989
- 1989-02-04 JP JP1024775A patent/JPH02207801A/en active Pending
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