JPH02208572A - 高周波プローブ - Google Patents
高周波プローブInfo
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- JPH02208572A JPH02208572A JP2902689A JP2902689A JPH02208572A JP H02208572 A JPH02208572 A JP H02208572A JP 2902689 A JP2902689 A JP 2902689A JP 2902689 A JP2902689 A JP 2902689A JP H02208572 A JPH02208572 A JP H02208572A
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- Japan
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- conductor
- connector
- tapered
- center conductor
- central
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- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 56
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract description 4
- 239000012212 insulator Substances 0.000 abstract description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 3
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
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- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はマイクロ波帯以上の高周波帯でマイクロストリ
ップ（Ｍｉｃｒｏｓｔｒｉｐ）線路の伝送路を伝播する
信号を外部からモニタする高周波プローブに関する。
ップ（Ｍｉｃｒｏｓｔｒｉｐ）線路の伝送路を伝播する
信号を外部からモニタする高周波プローブに関する。
従来、マイクロ波帯以上の高周波信号をモニタしようと
する場合、一般に用いられる手段としては、伝送線路の
信号をモニタすべき個所に方向性結合器を挿入し、信号
を取り出すという方法があった。この方法によれば確実
に一定の大きさの信号取り出しが可能であるが、方向性
結合器を用いるために大きなスペースを必要とし、コス
トもかかった。
する場合、一般に用いられる手段としては、伝送線路の
信号をモニタすべき個所に方向性結合器を挿入し、信号
を取り出すという方法があった。この方法によれば確実
に一定の大きさの信号取り出しが可能であるが、方向性
結合器を用いるために大きなスペースを必要とし、コス
トもかかった。
近年、マイクロ波回路はマイクロストリップ構造により
形成されることが多くなり、導波管の使用は限られた一
部にとどまるようになった。このマイクロストリップ回
路を用いた方向性結合器は、少なくとも＾／４（λは波
長）の長さを必要とするため、大きな回路面積を占有し
てしまうという欠点があった。さらに、方向性結合器で
取り出した信号を外部の測定器や回路につなぎ込むため
にコネクタを用いる必要もあり、その上コネクタは通常
時無反射終端器（一般に線路の特性インビーダンスと等
・しい抵抗器を内部に仕込んだコネクタ付のもの）で終
端しておく必要がある。マイクロ波のコネクタや終端器
は非常に高価であるという問題もあった。
形成されることが多くなり、導波管の使用は限られた一
部にとどまるようになった。このマイクロストリップ回
路を用いた方向性結合器は、少なくとも＾／４（λは波
長）の長さを必要とするため、大きな回路面積を占有し
てしまうという欠点があった。さらに、方向性結合器で
取り出した信号を外部の測定器や回路につなぎ込むため
にコネクタを用いる必要もあり、その上コネクタは通常
時無反射終端器（一般に線路の特性インビーダンスと等
・しい抵抗器を内部に仕込んだコネクタ付のもの）で終
端しておく必要がある。マイクロ波のコネクタや終端器
は非常に高価であるという問題もあった。
本発明の目的は、これらの欠点を除き、可撓性のある所
定の特性インピーダンス回路を用いて、少ない占有面積
で狭い個所の測定できると共に安価に構成できる高周波
プローブを提供することにある。
定の特性インピーダンス回路を用いて、少ない占有面積
で狭い個所の測定できると共に安価に構成できる高周波
プローブを提供することにある。
本発明の高周波プローブは、先端が細く根元の太いテー
パ状の可撓性中心導体と、この中心導体を挟んで両側対
角方向に配設されテーパ状かつ板バネ状の１対の外導体
と、これら中心導体および外導体を各根元の部分で支持
する支持部材と、この支持部材と一体に形成され外部ケ
ーブルと接続されるコネクタ部とを備えたことを特徴と
する。
パ状の可撓性中心導体と、この中心導体を挟んで両側対
角方向に配設されテーパ状かつ板バネ状の１対の外導体
と、これら中心導体および外導体を各根元の部分で支持
する支持部材と、この支持部材と一体に形成され外部ケ
ーブルと接続されるコネクタ部とを備えたことを特徴と
する。
第１図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は本発明の一実施例の正
面図、側面図および縦断面図であり、断面図は信号伝播
軸の中心を含む断面を示している。第１図（ｃ）におい
て、中心導体１は先端部１ａが細く根元に向ってテーパ
状に太くなっている。この中心導体１の両側には外導体
２が平板状に配され、同じくその先端部２ａから根元ヘ
テーパ状になっている。この外導体２を支持するプロー
ブの支持部３は、同時に手でこの高周波プローブをつか
む部分を兼ねる。この支持部３と一体に形成されたコネ
クタの外導体６は、本実施例ではネジを切ってあり、コ
ネクタの接続部となる。このコネクタの中心導体の結合
部５は、中心導体１につながっている。
面図、側面図および縦断面図であり、断面図は信号伝播
軸の中心を含む断面を示している。第１図（ｃ）におい
て、中心導体１は先端部１ａが細く根元に向ってテーパ
状に太くなっている。この中心導体１の両側には外導体
２が平板状に配され、同じくその先端部２ａから根元ヘ
テーパ状になっている。この外導体２を支持するプロー
ブの支持部３は、同時に手でこの高周波プローブをつか
む部分を兼ねる。この支持部３と一体に形成されたコネ
クタの外導体６は、本実施例ではネジを切ってあり、コ
ネクタの接続部となる。このコネクタの中心導体の結合
部５は、中心導体１につながっている。
ここで中心導体１と外導体２とがどのように支持され位
置関係を保っているか説明する。第１図（ｂ）において
、支持部材３にはスロット３ａが設けられ、このスロッ
トに可撓性の板バネ状の外導体２が挿入され、図示され
ていないがテーパネジで支持部材３の先端を締め込むこ
とにより、外導体２は支持部材３に強固に取付けられる
。
置関係を保っているか説明する。第１図（ｂ）において
、支持部材３にはスロット３ａが設けられ、このスロッ
トに可撓性の板バネ状の外導体２が挿入され、図示され
ていないがテーパネジで支持部材３の先端を締め込むこ
とにより、外導体２は支持部材３に強固に取付けられる
。
次に、中心導体１は円筒状の絶縁体４に挿入され、さら
にこの絶縁体４を支持部材３に穿った穴に挿入すること
によって支持されている。
にこの絶縁体４を支持部材３に穿った穴に挿入すること
によって支持されている。
この高周波プローブの先端部分より見た第１図（ａ＞に
おいて、中心導体１に対し支持部材３が同心状に配され
、さらに支持部材３に板バネ状外導体２が挟まれている
。
おいて、中心導体１に対し支持部材３が同心状に配され
、さらに支持部材３に板バネ状外導体２が挟まれている
。
第２図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は第１図（Ｃ）のＡ−Ａ
、Ｂ−Ｂ、Ｃ−Ｃ功各横断面を示す、断面Ａ−Ａは中心
導体１を支持している部分、断面Ｂ−Ｂは中間部分、断
面Ｃ−Ｃは先端に近い部分である。
、Ｂ−Ｂ、Ｃ−Ｃ功各横断面を示す、断面Ａ−Ａは中心
導体１を支持している部分、断面Ｂ−Ｂは中間部分、断
面Ｃ−Ｃは先端に近い部分である。
第３図＜ａ）、（ｂ）は高周波プローブの線路構造によ
る電気力線の分布図であり、第３図（ａ）は先端に近い
部分、第３図（ｂ）は中間部分を示している。この電磁
界分布は中心導体とその両側の外導体２の隙間部に集中
している。プローブの支持部では電磁界の分布は同軸状
となる。
る電気力線の分布図であり、第３図（ａ）は先端に近い
部分、第３図（ｂ）は中間部分を示している。この電磁
界分布は中心導体とその両側の外導体２の隙間部に集中
している。プローブの支持部では電磁界の分布は同軸状
となる。
先端から根元、さらにコネクタへと電磁界はなめらかに
変化するようになっている。
変化するようになっている。
第４図（ａ）は本実施例の使用されるマイクロストリッ
プ構造部の平面図で、この信号伝送路上の信号をモニタ
すると仮定する。サブストレート１０上に中心導体１１
が配設され、中心導体１１から高抵抗部１２により分岐
して電極１３が設けられ、この電極１３の両脇には接地
ホール（Ｇｒｏｕｎｄ Ｖｉａ） １４が設けられてい
る。この状態で中心導体１１を伝播する信号は抵抗部１
２が高抵抗であるためほとんど影響を受けない。
プ構造部の平面図で、この信号伝送路上の信号をモニタ
すると仮定する。サブストレート１０上に中心導体１１
が配設され、中心導体１１から高抵抗部１２により分岐
して電極１３が設けられ、この電極１３の両脇には接地
ホール（Ｇｒｏｕｎｄ Ｖｉａ） １４が設けられてい
る。この状態で中心導体１１を伝播する信号は抵抗部１
２が高抵抗であるためほとんど影響を受けない。
次に、この信号をモニタする場合、第４図（ｂ）に示す
ように、本実施例の高周波プローブを電極１３と接地ホ
ール１４に接触させる。プローブ中心導体１の先端部１
ａを電極１３に、プローブ外導体２の先端部２ａを接地
ホール１４に押し当てるようにする。この場合、プロー
ブの中心導体１も外導体２も、可撓性がありそれぞれ独
立に僅かに撓み変形することによって変形に応じた接触
圧を発生する。
ように、本実施例の高周波プローブを電極１３と接地ホ
ール１４に接触させる。プローブ中心導体１の先端部１
ａを電極１３に、プローブ外導体２の先端部２ａを接地
ホール１４に押し当てるようにする。この場合、プロー
ブの中心導体１も外導体２も、可撓性がありそれぞれ独
立に僅かに撓み変形することによって変形に応じた接触
圧を発生する。
これによって中心導体１と外導体２の双方に無理のない
接触が実現され、マイクロストリップ線路に存在する信
号は高抵抗部１２を介してその−部が高周波プローブへ
取り出される。
接触が実現され、マイクロストリップ線路に存在する信
号は高抵抗部１２を介してその−部が高周波プローブへ
取り出される。
第５図は本実施例の高周波プローブを用いている状態の
等価回路図である。高抵抗部１２の抵抗値をＲｈとし、
線路の特性インピーダンスＺ。に対しＲｂ＞Ｚａになる
ように選定しておけば、主線路に対する高周波プローブ
の影響はほとんど無視することが出来る。
等価回路図である。高抵抗部１２の抵抗値をＲｈとし、
線路の特性インピーダンスＺ。に対しＲｂ＞Ｚａになる
ように選定しておけば、主線路に対する高周波プローブ
の影響はほとんど無視することが出来る。
以上説明したように本発明の高周波プローブは、先端部
からコネクタ部まで同一特性インピーダンスが保たれ信
号伝播線路としての不連続は極めて小さい、先端部分は
中心導体と外導体ともども、なめらかに撓むため、マイ
クロストリップ構造における高周波の測定も容易に実施
することが出来る。
からコネクタ部まで同一特性インピーダンスが保たれ信
号伝播線路としての不連続は極めて小さい、先端部分は
中心導体と外導体ともども、なめらかに撓むため、マイ
クロストリップ構造における高周波の測定も容易に実施
することが出来る。
本発明の高周波プローブによれば、大きな面積を有する
方向性結合器を回路に仕込んでおく必要はなく、測定回
路の小形化ができると共に、方向性結合器と共に必要な
信号取り出し用コネクタや終端器も必要とせず機器の価
格を引き下げる効果も大きい。
方向性結合器を回路に仕込んでおく必要はなく、測定回
路の小形化ができると共に、方向性結合器と共に必要な
信号取り出し用コネクタや終端器も必要とせず機器の価
格を引き下げる効果も大きい。
第１図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は本発明の一実施例の高
周波プローブの正面図、側面図および縦断面図、第２図
（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は第１図のＡ−Ａ、Ｂ−Ｂ、Ｃ
−Ｃの各断面図、第３図（ａ）、（ｂ）は本実施例の高
周波プローブの線路の電界分布図、第４図（ａ）、（ｂ
）は本実施例の高周波プローブの使用法を説明するマイ
クロストリップ線路の平面図およびそのモニタ時の斜視
図、第５図は本実施例の高周波プローブを含む等価回路
図である。 １・・・中心導体、１ａ・・・中心導体先端部、２・・
・外導体、２ａ・・・外導体先端部、３・・・支持部材
、４・・・円筒状絶縁体、５・・・コネクタ中心導体結
合部、６・・・外導体結合ネジ、１０・・・サブストレ
ート（基板）、１１・・・中心導体、１２・・・高抵抗
部、１３・・・電極、１４・・・接地ホール。
周波プローブの正面図、側面図および縦断面図、第２図
（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は第１図のＡ−Ａ、Ｂ−Ｂ、Ｃ
−Ｃの各断面図、第３図（ａ）、（ｂ）は本実施例の高
周波プローブの線路の電界分布図、第４図（ａ）、（ｂ
）は本実施例の高周波プローブの使用法を説明するマイ
クロストリップ線路の平面図およびそのモニタ時の斜視
図、第５図は本実施例の高周波プローブを含む等価回路
図である。 １・・・中心導体、１ａ・・・中心導体先端部、２・・
・外導体、２ａ・・・外導体先端部、３・・・支持部材
、４・・・円筒状絶縁体、５・・・コネクタ中心導体結
合部、６・・・外導体結合ネジ、１０・・・サブストレ
ート（基板）、１１・・・中心導体、１２・・・高抵抗
部、１３・・・電極、１４・・・接地ホール。
Claims (1)
- 先端が細く根元の太いテーパ状の可撓性中心導体と、こ
の中心導体を挟んで両側対角方向に配設されテーパ状か
つ板バネ状の１対の外導体と、これら中心導体および外
導体を各根元の部分で支持する支持部材と、この支持部
材と一体に形成され外部ケーブルと接続されるコネクタ
部とを備えたことを特徴とする高周波プローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1029026A JPH07104361B2 (ja) | 1989-02-07 | 1989-02-07 | 高周波プローブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1029026A JPH07104361B2 (ja) | 1989-02-07 | 1989-02-07 | 高周波プローブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02208572A true JPH02208572A (ja) | 1990-08-20 |
| JPH07104361B2 JPH07104361B2 (ja) | 1995-11-13 |
Family
ID=12264902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1029026A Expired - Lifetime JPH07104361B2 (ja) | 1989-02-07 | 1989-02-07 | 高周波プローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07104361B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1090302A (ja) * | 1996-09-11 | 1998-04-10 | Kiyota Seisakusho:Kk | 金属板で形成したプロ−ブ |
| JP2001349903A (ja) * | 2000-06-07 | 2001-12-21 | Noozeru Engineering Kk | 高周波プローブ |
| KR20170010936A (ko) * | 2015-07-20 | 2017-02-02 | 한국전자통신연구원 | 무선 주파수 프로브 장치 |
| JPWO2015037741A1 (ja) * | 2013-09-13 | 2017-03-02 | 株式会社テクノプローブ | プローブ及びプローブカード |
| WO2020217729A1 (ja) * | 2019-04-26 | 2020-10-29 | 日置電機株式会社 | プローブ装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5295274A (en) * | 1976-02-06 | 1977-08-10 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Coaxial probe for high frequency measurement |
| JPS63124668U (ja) * | 1987-02-06 | 1988-08-15 |
-
1989
- 1989-02-07 JP JP1029026A patent/JPH07104361B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5295274A (en) * | 1976-02-06 | 1977-08-10 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Coaxial probe for high frequency measurement |
| JPS63124668U (ja) * | 1987-02-06 | 1988-08-15 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1090302A (ja) * | 1996-09-11 | 1998-04-10 | Kiyota Seisakusho:Kk | 金属板で形成したプロ−ブ |
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| JPWO2015037741A1 (ja) * | 2013-09-13 | 2017-03-02 | 株式会社テクノプローブ | プローブ及びプローブカード |
| KR20170010936A (ko) * | 2015-07-20 | 2017-02-02 | 한국전자통신연구원 | 무선 주파수 프로브 장치 |
| WO2020217729A1 (ja) * | 2019-04-26 | 2020-10-29 | 日置電機株式会社 | プローブ装置 |
| US12000862B2 (en) | 2019-04-26 | 2024-06-04 | Hioki E.E. Corporation | Probe apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07104361B2 (ja) | 1995-11-13 |
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