JPH0541413Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0541413Y2 JPH0541413Y2 JP1549487U JP1549487U JPH0541413Y2 JP H0541413 Y2 JPH0541413 Y2 JP H0541413Y2 JP 1549487 U JP1549487 U JP 1549487U JP 1549487 U JP1549487 U JP 1549487U JP H0541413 Y2 JPH0541413 Y2 JP H0541413Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- conductor
- terminal
- shaped
- ground
- Prior art date
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- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本考案は高周波プローブに関するものである。
［従来の技術］
第４図は、従来の高周波プローブを示す平面図
である。
である。
IC等の被測定物５には、複数の信号端子５ａ
と、アース端子５ｂが設けられている。
と、アース端子５ｂが設けられている。
そして高周波プローブは、例えば信号端子５ａ
の数に対応して複数の同軸伝送路１０を用いこの
信号用導体１０ａが信号端子５ａに接触し、かつ
これら同軸伝送路１０のアース導体１０ｂは、線
材１１ではんだ付けで共通に接続されてアース端
子５ｂに接触して作用する。
の数に対応して複数の同軸伝送路１０を用いこの
信号用導体１０ａが信号端子５ａに接触し、かつ
これら同軸伝送路１０のアース導体１０ｂは、線
材１１ではんだ付けで共通に接続されてアース端
子５ｂに接触して作用する。
［考案が解決しようとする問題点］
したがつて、上述の高周波プローブによる問題
点は、１）各信号用導体１０ａ、及びアース導体
１０ｂがいずれも信号端子５ａ、アース端子５ｂ
に良好に接触することができないということ、
２）さらに、同軸伝送路１０の信号用導体１０ａ
が直接プローブとなることから小さなピツチの信
号端子５ａに用いることができないというもので
ある。１）の問題については、例えば、線材１１
は各同軸伝送路１０を保持する機能を有している
ため、この線材１１がある程度の太さを持つと各
導体１０ａ，１０ｂが均一に各端子５ａ，５ｂに
接触できない。
点は、１）各信号用導体１０ａ、及びアース導体
１０ｂがいずれも信号端子５ａ、アース端子５ｂ
に良好に接触することができないということ、
２）さらに、同軸伝送路１０の信号用導体１０ａ
が直接プローブとなることから小さなピツチの信
号端子５ａに用いることができないというもので
ある。１）の問題については、例えば、線材１１
は各同軸伝送路１０を保持する機能を有している
ため、この線材１１がある程度の太さを持つと各
導体１０ａ，１０ｂが均一に各端子５ａ，５ｂに
接触できない。
一方、各導体が個々に動きを取れるようにする
ため線材１１が小径なものを用いると、この部分
でのリアクタンスが大きくなり例えば測定波形が
乱れる等の欠点があつた。
ため線材１１が小径なものを用いると、この部分
でのリアクタンスが大きくなり例えば測定波形が
乱れる等の欠点があつた。
本考案は、上述の欠点を取り除くために考案さ
れたものであり、その目的は、各プローブと各端
子との接触が確実に取れ、しかも従来の小径の線
材を端子用アース導体として使用した場合と比較
して波形の乱れが少ない高周波プローブを提供す
ることにある。
れたものであり、その目的は、各プローブと各端
子との接触が確実に取れ、しかも従来の小径の線
材を端子用アース導体として使用した場合と比較
して波形の乱れが少ない高周波プローブを提供す
ることにある。
上記目的を達成するため、本考案の高周波プロ
ーブは、信号用導体１０ａおよびアース導体１０
ｂで構成される同軸伝送路１０と、 可撓性を有し該同軸伝送路の信号用導体に固定
されて先端部が揺動自在であるとともに、一方の
面に被測定物５の各信号端子５ａに接触自在な膜
状信号用導体２が形成された少なくとも１個の板
状誘電体１と、 該各々の板状誘電体の両側面に垂直に配置さ
れ、かつ、前記同軸伝送路のアース導体に固定さ
れて先端部が揺動自在であるとともに、膜状信号
用導体との間で常に一定の特性インピーダンスが
形成される板状アース用導体３と、 可撓性を有する板状に形成され、前記同軸伝送
路のアース導体に固定されて全体がアース電位の
導電性を有するとともに、前記板状誘電体の膜状
信号用導体の反対面を覆う板状端子用アース導体
６と、 該板状アース用導体の先端近傍に設けられ前記
板状端子用アース導体に接触する接点部３ｂと、 該板状端子用アース導体の先端部に設けられ、
被測定物のアース端子５ｂに接触する端子部６ｂ
とを具備することを特徴としている。
ーブは、信号用導体１０ａおよびアース導体１０
ｂで構成される同軸伝送路１０と、 可撓性を有し該同軸伝送路の信号用導体に固定
されて先端部が揺動自在であるとともに、一方の
面に被測定物５の各信号端子５ａに接触自在な膜
状信号用導体２が形成された少なくとも１個の板
状誘電体１と、 該各々の板状誘電体の両側面に垂直に配置さ
れ、かつ、前記同軸伝送路のアース導体に固定さ
れて先端部が揺動自在であるとともに、膜状信号
用導体との間で常に一定の特性インピーダンスが
形成される板状アース用導体３と、 可撓性を有する板状に形成され、前記同軸伝送
路のアース導体に固定されて全体がアース電位の
導電性を有するとともに、前記板状誘電体の膜状
信号用導体の反対面を覆う板状端子用アース導体
６と、 該板状アース用導体の先端近傍に設けられ前記
板状端子用アース導体に接触する接点部３ｂと、 該板状端子用アース導体の先端部に設けられ、
被測定物のアース端子５ｂに接触する端子部６ｂ
とを具備することを特徴としている。
［作用］
上述の構成による作用を説明すると、被測定物
５の信号端子５ａには各膜状導体２が、アース端
子５ｂには板状端子用アース導体６の端子部６ｂ
が接触して入力信号を被測定物に供給する。
５の信号端子５ａには各膜状導体２が、アース端
子５ｂには板状端子用アース導体６の端子部６ｂ
が接触して入力信号を被測定物に供給する。
このとき、膜状信号用導体２が形成された板状
誘電体１と板状アース導体３と板状端子用アース
導体６とは互いに固定されておらず、各々が別個
に同軸伝送路１０に可撓性を有して支持されてい
るから、例えば平面状の被測定物５に対して板状
誘電体１を信号端子５ａに接触させるべく板状端
子用アース導体６を下降させると、膜状信号用導
体に信号端子５ａに接触するとともに、端子部６
ｂもアース端子５ｂに接触でき、いずれも良好な
接触状態とすることができる。
誘電体１と板状アース導体３と板状端子用アース
導体６とは互いに固定されておらず、各々が別個
に同軸伝送路１０に可撓性を有して支持されてい
るから、例えば平面状の被測定物５に対して板状
誘電体１を信号端子５ａに接触させるべく板状端
子用アース導体６を下降させると、膜状信号用導
体に信号端子５ａに接触するとともに、端子部６
ｂもアース端子５ｂに接触でき、いずれも良好な
接触状態とすることができる。
同時に、板状アース導体３の接点部３ｂは板状
端子用アース導体６に接し、板状端子用アース導
体３先端部のアースを短い距離で板状端子用アー
ス導体６に接続でき膜状信号用導体２先端部にお
ける特性インピーダンスを保持できる。
端子用アース導体６に接し、板状端子用アース導
体３先端部のアースを短い距離で板状端子用アー
ス導体６に接続でき膜状信号用導体２先端部にお
ける特性インピーダンスを保持できる。
［実施例］
第１図ａは、本発明の高周波プローブを示す平
面図、第１図ｂは、同図ａのＡ−Ａ線断面図であ
る。
面図、第１図ｂは、同図ａのＡ−Ａ線断面図であ
る。
これらの図に示すように、同軸伝送路１０は複
数用いられ、この同軸伝送路１０の信号用導体１
０ａは、板状誘電体１の一方の面（下面）に形成
された膜状信号用導体２にはんだ付けされてい
る。また、板状誘電体１は、同軸伝送路１０に対
応した数だけ設けられるもので各々が先端部に従
いテーパー状に形成されている。
数用いられ、この同軸伝送路１０の信号用導体１
０ａは、板状誘電体１の一方の面（下面）に形成
された膜状信号用導体２にはんだ付けされてい
る。また、板状誘電体１は、同軸伝送路１０に対
応した数だけ設けられるもので各々が先端部に従
いテーパー状に形成されている。
さらに、同軸伝送路１０のアース導体１０ｂ
は、固定金具４を介してはんだ付けにより板状ア
ース導体３，３に接続されている。板状アース導
体３は、各板状誘電体１の側部に垂直に設けられ
たものであり、先端部には接点部３ｂが形成さ
れ、板状端子用アース導体６に接触している。
は、固定金具４を介してはんだ付けにより板状ア
ース導体３，３に接続されている。板状アース導
体３は、各板状誘電体１の側部に垂直に設けられ
たものであり、先端部には接点部３ｂが形成さ
れ、板状端子用アース導体６に接触している。
そして、これら膜状信号用導体２、板状アース
導体３は、一定の特性インピーダンス（例えば
50Ω）を保つために、膜状信号用導体２の先端に
つれテーパー状になつている。つまり、膜状信号
用導体２と、この両側の板状アース導体３は先端
につれ所定のギヤツプ比で序序に小さな幅に接近
したものとなつている。
導体３は、一定の特性インピーダンス（例えば
50Ω）を保つために、膜状信号用導体２の先端に
つれテーパー状になつている。つまり、膜状信号
用導体２と、この両側の板状アース導体３は先端
につれ所定のギヤツプ比で序序に小さな幅に接近
したものとなつている。
前記板状アース導体３の一方の面（上面）に
は、板状端子用アース導体６が設けられている。
この板状端子用アース導体６も固定金具４を介し
てはんだ付けにより同軸伝送路１０のアース導体
１０ｂに接続されている。
は、板状端子用アース導体６が設けられている。
この板状端子用アース導体６も固定金具４を介し
てはんだ付けにより同軸伝送路１０のアース導体
１０ｂに接続されている。
したがつて、各板状アース導体３は先端部に形
成された接点部３ｂを介してすべて板状端子用ア
ース導体６に電気的に導通している。
成された接点部３ｂを介してすべて板状端子用ア
ース導体６に電気的に導通している。
また、第１図ｃに示すのは、第１図ａのＢ−Ｂ
線矢視図であり、板状端子用アース導体６には、
先端部に端子部６ｂが立設されている。
線矢視図であり、板状端子用アース導体６には、
先端部に端子部６ｂが立設されている。
次に上記構成による動作を説明する。
被測定物５の信号端子５ａには各膜状導体２
が、アース端子５ｂには板状端子用アース導体６
の端子部６ｂが接触して入力信号を被測定物に供
給する。
が、アース端子５ｂには板状端子用アース導体６
の端子部６ｂが接触して入力信号を被測定物に供
給する。
このとき、膜状信号用導体２が形成された板状
誘電体１と板状信号用アース用導体６とは互いに
固定されておらず、各々が別個に同軸伝送路１０
に可撓性を有して支持されているから、例えば第
２図（第１図ｃに対応した動作図）に示す如く、
板状誘電体１も板状端子用アース導体の撓み量に
影響されることなく、独自に所定の撓み量で膜状
信号用導体２部分が信号端子５ａに接触すること
ができる。
誘電体１と板状信号用アース用導体６とは互いに
固定されておらず、各々が別個に同軸伝送路１０
に可撓性を有して支持されているから、例えば第
２図（第１図ｃに対応した動作図）に示す如く、
板状誘電体１も板状端子用アース導体の撓み量に
影響されることなく、独自に所定の撓み量で膜状
信号用導体２部分が信号端子５ａに接触すること
ができる。
同時にこの状態で板状アース導体３先端部の接
点部３ｂは、板状端子用アース導体６に接した状
態を保つており、アース端子５ｂのアース電位と
各板状アース導体３とを同電位とすることがで
き、かつ板状アース導体３先端部のアースを短い
距離で板状端子用アース導体６、端子部６ｂを介
してアース端子５ｂに接続でき、膜状信号用導体
２先端部における特性インピーダンスを保持でき
る。
点部３ｂは、板状端子用アース導体６に接した状
態を保つており、アース端子５ｂのアース電位と
各板状アース導体３とを同電位とすることがで
き、かつ板状アース導体３先端部のアースを短い
距離で板状端子用アース導体６、端子部６ｂを介
してアース端子５ｂに接続でき、膜状信号用導体
２先端部における特性インピーダンスを保持でき
る。
尚、上述の実施例では、アース端子５ｂが一つ
である例について説明したが、他、第３図に示す
ように、アース端子５ｂが、信号端子５ａの両側
に設けられている被測定物５に対応して、板状端
子用アース導体６の両側に端子部６ｂ，６ｂを設
けるようにしてもよい。そして、板状端子用アー
ス導体６の一方でアース端子と接触させ、片側
は、端子以外の部分で接触保持する構造とするこ
ともできる。
である例について説明したが、他、第３図に示す
ように、アース端子５ｂが、信号端子５ａの両側
に設けられている被測定物５に対応して、板状端
子用アース導体６の両側に端子部６ｂ，６ｂを設
けるようにしてもよい。そして、板状端子用アー
ス導体６の一方でアース端子と接触させ、片側
は、端子以外の部分で接触保持する構造とするこ
ともできる。
［考案の効果］
以上説明したように、本考案による高周波プロ
ーブによれば、複数の同軸伝送路の共通アースを
容易に取ることができ、しかも各端子との接触が
確実となる。
ーブによれば、複数の同軸伝送路の共通アースを
容易に取ることができ、しかも各端子との接触が
確実となる。
また、板状端子用アース導体を寸法的に大き
く、かつ、信号用導体とアース端子との距離が短
くでき、リアクタンスが従来より小さくすること
ができるためパルス波形の乱れが少ない状態で被
測定物の高周波特性を評価することができる。
く、かつ、信号用導体とアース端子との距離が短
くでき、リアクタンスが従来より小さくすること
ができるためパルス波形の乱れが少ない状態で被
測定物の高周波特性を評価することができる。
第１図ａは、本考案による高周波プローブを示
す平面図、第１図ｂは、同図ａのＡ−Ａ線断面
図、第１図ｃは、同図ａのＢ−Ｂ線矢視図、第２
図は、同プローブの動作図、第３図は、本考案の
他の実施例を示す図、第４図は、従来の高周波プ
ローブを示す平面図である。 １……板状誘電体、２……膜状信号用導体、３
……板状アース導体、３ｂ……接点部、４……固
定金具、５……被測定物、５ａ……信号端子、５
ｂ……アース端子、６……板状端子用アース導
体、１０……同軸伝送路、１０ａ……信号用導
体、１０ｂ……アース用導体。
す平面図、第１図ｂは、同図ａのＡ−Ａ線断面
図、第１図ｃは、同図ａのＢ−Ｂ線矢視図、第２
図は、同プローブの動作図、第３図は、本考案の
他の実施例を示す図、第４図は、従来の高周波プ
ローブを示す平面図である。 １……板状誘電体、２……膜状信号用導体、３
……板状アース導体、３ｂ……接点部、４……固
定金具、５……被測定物、５ａ……信号端子、５
ｂ……アース端子、６……板状端子用アース導
体、１０……同軸伝送路、１０ａ……信号用導
体、１０ｂ……アース用導体。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 信号用導体１０ａおよびアース導体１０ｂで構
成される同軸伝送路１０と、 可撓性を有し該同軸伝送路の信号用導体に固定
されて先端部が揺動自在であるとともに、一方の
面に被測定物５の各信号端子５ａに接触自在な膜
状信号用導体２が形成された少なくとも１個の板
状誘電体１と、 該各々の板状誘電体の両側面に垂直に配置さ
れ、かつ、前記同軸伝送路のアース導体に固定さ
れて先端部が揺動自在であるとともに、膜状信号
用導体との間で常に一定の特性インピーダンスが
形成される板状アース用導体３と、 可撓性を有する板状に形成され前記板状誘電体
の膜状信号用導体の反対面を覆い、前記同軸伝送
路のアース導体に固定されて全体がアース電位の
導電性を有する板状端子用アース導体６と、 前記板状アース用導体の先端近傍に設けられ前
記板状端子用アース導体に接触する接点部３ｂ
と、 前記板状端子用アース導体の先端部に設けら
れ、被測定物のアース端子５ｂに接触する端子部
６ｂと、 を具備することを特徴とする高周波プローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1549487U JPH0541413Y2 (ja) | 1987-02-06 | 1987-02-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1549487U JPH0541413Y2 (ja) | 1987-02-06 | 1987-02-06 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63124668U JPS63124668U (ja) | 1988-08-15 |
| JPH0541413Y2 true JPH0541413Y2 (ja) | 1993-10-20 |
Family
ID=30806480
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1549487U Expired - Lifetime JPH0541413Y2 (ja) | 1987-02-06 | 1987-02-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0541413Y2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07104361B2 (ja) * | 1989-02-07 | 1995-11-13 | 日本電気株式会社 | 高周波プローブ |
| JPH0747740Y2 (ja) * | 1990-03-19 | 1995-11-01 | アンリツ株式会社 | プローブの接点構造 |
| JPH0745020Y2 (ja) * | 1990-03-19 | 1995-10-11 | アンリツ株式会社 | プローブの接点構造 |
| JP3190874B2 (ja) * | 1998-03-16 | 2001-07-23 | 日本電気株式会社 | 先端脱着式高周波プローブ |
| JP6342406B2 (ja) * | 2013-09-13 | 2018-06-13 | 株式会社テクノプローブ | プローブ及びプローブカード |
-
1987
- 1987-02-06 JP JP1549487U patent/JPH0541413Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63124668U (ja) | 1988-08-15 |
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