JPH02208846A

JPH02208846A - 光学式記録媒体の検査装置

Info

Publication number: JPH02208846A
Application number: JP2899689A
Authority: JP
Inventors: Kiminori Yano; 公規矢野; Yukihiro Hattori; 服部　幸廣; Tetsuya Toyonaga; 豊永　哲也
Original assignee: Idemitsu Petrochemical Co Ltd
Current assignee: Idemitsu Petrochemical Co Ltd
Priority date: 1989-02-07
Filing date: 1989-02-07
Publication date: 1990-08-20

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は光学式記録媒体の検査装置に係り、光学的な記
録再生を行う光ディスク等の製造や検査に利用できる。

〔従来の技術〕

従来より、光ディスク等の光学的な記録および再生を行
う記録媒体においては、基板材料の光学的特性が高くか
つ均質で安定していることが要求される。

例えば、光ディスクの基板に材料むら等の光学的な欠陥
部分があると、この部分において記録再生用の光ビーム
等が所期の状態でｉ３過あるいは反射しなくなり、記録
媒体として正常に使用できなくなる。このため、光ディ
スク等の生産にあたっては、基板の光学的特性や欠陥部
分等の検査が不可欠である。特に、不良基板を用いた記
録媒体への記録といった無駄を省くために、製造工程の
早い段階での基板の欠陥検査が要求されている。

このような光学的特性の検査としては、従来よリ、基板
表面からの目視検査が行われており、光の反射状態およ
び透過状態について、例えば正常な基板との直接比較な
どが行われている。近年では、検査の自動化を図るため
に画像処理による判定が採用されており、例えば正常な
基板の画像を撮影して基準画像としておき、同一条件で
検査対象の基板を順次ＩＲ影して検査画像とし、相互の
対応する部分について例えば画素毎に光学的な状態を比
較し、検査画像中に基準画像と相違する部分がある場合
に欠陥と判定する方法などが提案されている。

〔発明が解決しようとする課題］ところで、光ディスクにも幾つかの種類があり、特に書
き換え型光ディスク等では記録方式に応じて基板に要求
される光学的特性が異なる。このため、光学的特性を検
査する際には、要求される特性に応じて検査条件を変更
する必要がある。

例えば、光磁気記録方式では記録層の磁化の向きに応じ
た偏光面の変化を用いて信号を記録しており、基板には
特に偏光特性が重要である。このため、基板に照射する
検査光として各種の偏光を採用し、基板の偏光特性を中
心に検査することが望ましい。一方、相変化記録方式で
は記録層の反射率の変化により信号を記録しており、基
板における反射特性や透過特性が要求される。このため
、基板に照射する検査光の方向や拡散状態等を変化させ
、基板表面の反射および内部の透過特性を中心に検査す
るといった対応が求められる。

ここで、従来からの目視による検査を行う場合、基板の
姿勢調整や光源の種類選択などが自由に行える。しかし
、目視検査はあくまで人間による判定であるため曖昧さ
が避けられず、また、検査担当者が安定した判定を行え
るようになるには経験を積む必要がある。さらに、人手
による基板の取扱いが頻繁になるため、基板表面に傷を
付けたり汚れが付着したりする恐れがあるうえ、−枚の
基板の検査にかかる処理時間が長く、検査効率が低いと
いう問題があり、大量生産される基板の全量を検査する
事は実際的に困難であった。

一方、画像処理による検査を行えば客観的な結果が得ら
れるが、基板の画像取り込みを行うために投光〜撮影を
行う専用の装置はなく、各種偏光の設定や光の拡散度合
の調整などを行う場合はその都度検査機器を設定する必
要があり、作業性が低いうえ、多様な光ディスクへの対
応が難しいという問題がある。

また、基準画像との比較検査する場合、検査時の条件設
定を基準画像の条件設定と一致させる必要があるうえ、
基板種別毎に理想的な基準画像を準備する必要があり、
実際の製造時検査に適用するには困難が伴う。

さらに、前述のような比較検査では、検査画像および基
準画像の対応部分どうしの比較結果が略−敗している限
りは正常と判定され、検査対象の材質むらのような微妙
な光学的不均一を確実に検出することができない。一方
、光ディスク等では外周部と中央部とで特性を変えてお
く場合があり、このような検査対象の検査においては全
体的な均一さの判定は有効ではなく、実際に問題となる
光学的特性の特異な変化すなわち周囲との連続性が欠如
する部分等を確実に検出することが望まれていた。

本発明の目的は、多様な光学的特性についての検査を効
率よく行えるとともに、的確な検査結果が得られる光学
式記録媒体の検査装置を提供することにある。

［課題を解決するための手段］本発明は、検査対象の光学式記録媒体に光を照射する光
源と、前記記録媒体に照射される光の光学的特性を調整
する検査光調整手段と、前記記録媒体からの透過光また
は反射光の光学的特性を調整する投影光調整手段と、こ
の投影光調整手段からの光を画像情報として取り込む画
像入力手段と、取り込んだ画像情報を所定区画毎に演算
処理して前記記録媒体の欠陥の有無を検査する画像処理
手段とを備えて光学式記録媒体の検査装置を構成するも
のである。

ここで、検査光調整手段としては、光源からの光の拡散
状態を調整可能な光学素子や、直線偏光、円偏光、楕円
偏光といった偏光状態を調整可能な光学素子が利用でき
、あるいはこれらを適宜組み合わせたもの等が採用でき
る。

また、投影光調整手段としては、検査対象からの光の特
定偏光成分あるいは特定の帯′域を分離する光学素子等
が利用でき、検査光調整手段に対応して適宜設定するこ
とが望ましい。

さらに、これらの検査光調整手段および投影光調整手段
は・、単数または複数の光学素子を規定のパッケージ等
に収め、適宜差し替えられるようにしたもの等が採用で
きる。

一方、画像処理手段としては、取り込んだ画像情報を処
理して、所定の光学的特性を画素毎に計測して記憶して
おき、続いて画像中の一画素あるいは任意の画素の集合
など、適宜設定した所定区画毎の判定処理を行い、判定
する区画を順次移動させて検査対象全体の検査を行うも
の等が採用できる。

また、区画毎の具体的な判定処理としては、区画内の全
画素の平均を求め、区画内の各画素の個別値を順次平均
値と比較し、許容しうる範囲内でないならば検査対象の
当該画素に対応する部分に周囲に対して光学的に特異な
部分が存在すると判定する手段などが採用できる。

〔作用〕

このような本発明においては、検査対象の光学式記録媒
体に光源からの光が照射され、照射された光は記録媒体
を透過し、または表面で反射される。この透過光または
反射光には記録媒体各部の光学的特性に応して変化が与
えられており、画像入力手段から取り込まれて画像処理
手段で光学的特性の判定が行われる。

この際、光源から記録媒体に照射される光は、検査光調
整手段により検査内容に応した最適な拡散状態および偏
光状態の光に変換される。また、記録媒体からの光は、
投影光調整手段によって検査内容に応じた特定の偏光成
分や帯域成分のみに分離される。このため、画像入力手
段から取り込まれた画像は、検査する特定の特性に関し
て記録媒体各部の状態を正確に反映し、かつ他の特性に
よる影響が抑えられたものとなる。

一方、画像処理手段により、取り込まれた画像情報を区
画毎に順次演算処理することにより記録媒体全体の的確
な検査が行われる。例えば、所定区画内の全画素の平均
と各画素とを順次比較し、当該区画内での光学的な特異
部分を検出することにより、各区画内の連続性が鐙認さ
れ、区画毎の検査を順次行うことにより記録媒体全体の
光学的特性の連続性が的確に判定される。

また、順次行われる区画毎の検査の間に欠陥が発見され
た場合、割り込み処理を行い、その時点で当該記録媒体
の欠陥検査を終了し、以後の検査工程を省略して次の記
録媒体の検査に移行することが可能であり、このため、
欠陥検査作業全体としての作業時間が短縮されて処理効
率が向上される。

従って、本発明においては、検査光調整手段および投影
光調整手段により多様な光学的特性についての的確な検
査を効率よく行えるとともに、画像処理装置で区画毎に
検査を行うことにより、検査の的確さおよび処理効率が
一層向上され、これらにより前記目的が達成される。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。

第１図には、本発明に基づく光学式記録媒体の欠陥検査
システムｌが示されている。ここで、欠陥検査システム
１は、検査対象である光ディスク基板２の偏光欠陥を検
査するものである。

光ディスク基板２は光学記録用の情報記録膜を蒸着され
る前の段階のポリカーボネート類の円板であり、保持装
置１０によって水平に保持されている。この保持装置１
０は、光ディスク基板２の中心に係合されるスピンドル
１１と、このスピンドル１１を回転駆動するモータを含
む駆動部１２とを備え、当該基板２を保持して適宜角度
づつ回動可能であり、外部指令により基準位置から９０
度、１８０度、２７０度といった４段階の角度位置で停
止可能である。

光ディスク基板２の下方には、当該基板２に検査光を照
射するための光源１３が配置されている。

また、光ディスク基板２の上方には、基板２を透過した
投影光を画像として取り込むための画像入力手段として
のＣＣＤカメラ１４が配置されている。

コノＣＣＤカメラ１４ハ、例えば１１０００　Ｘ横１ｏ
ｏｏ程度のセルを有するＣＯＤ　（Ｃｈａｒｇｅ　Ｃｏ
ｕｐｌｅｄ　Ｄｅｖｉｃｅ）を用いた固体逼像カメラで
あり、各セル毎に入射光量に応じた信号を発生し、各セ
ルを一画素とする画像情報として出力可能である。

これらの光源１３からＣＣＤカメラ１４に至る光学系は
、光ディスク基板２の約１７４の部分をカバーするよう
に配置されており、保持手段１０により光ディスク基板
２を順次１／４回転（９０度）づつ回動させ、第２図に
示すような４つの画像１〜■についての撮影を順次行う
ことにより、光ディスク基板２全体の画像情報が取り込
まれる。なお、第２図に示す画素Ｐｘは模式的に示した
ものであり、実際には極めて多数である。

光源１３と光ディスク基板２との間には検査光調整手段
２０が配置されている。また、ＣＣＤカメラ１４と光デ
ィスク基板２との間には、投影光調整手段３０が配置さ
れている。

検査光調整手段２０は、光源１３からの光を適宜拡散さ
せる二重の凸レンズ２Ｌ　２２と、特定の偏光成分のみ
を通過させる偏光板２３と、通過した特定成分の偏光を
円偏光に変換する１７４波長板２４とを備え、光ディス
ク基板２に照射される検査光を調整するものである。

投影光調整手段３０は、光ディスク基板２を透過した検
査光の円偏光を直線偏光に再変換する１７４波長板３１
と、特定の偏光成分のみを通過させる偏光板３２とを備
え、ＣＣＤ　カメラ１４で撮影される投影光を調整する
ものである。

これらの検査光調整手段２０および投影光調整手段３０
は、光ディスク基板２を挾むように配置された略コの字
型のフレーム１５にそれぞれ着脱自在に保持されている
。

一方、ＣＣＤカメラ１４には、本発明に基づいて欠陥検
査処理を行う画像処理手段４０が接続されている。この
画像処理手段４０は、ＣＣＤカメラ１４からの画像情報
を読み込むための変換器４１および画像情報メモリ４２
を備えている。

変換器４１は、ＣＣＤカメラ１４から送られる画像情報
のうち、予め指定された有効領域Ａ内の各画素Ｐｘを水
平方向に順次走査し、画素Ｐｘ毎に信号を８ビツト２５
５段階の輝度情報Ｂｒに変換して画像情報メモリ４２に
出力する。ここで、有効領域Ａとしては、光ディスク基
板２の記録面がカバーされるように、その種別や寸法等
に応じ、第２図に示す扇型の領域が設定されている。

画像情報メモリ４２は、変換器４１からの輝度情報Ｂｒ
を、その画素Ｐｘの位置情報＾ｄとともに格納するもの
であり、第３図に示すように、それぞれ画像Ｉ〜■に対
応する４つのバンクを備え、各画像１〜■についての輝
度情報を順次格納してゆくことにより、光ディスク基板
２全体としての輝度情報を記憶可能である。

また、画像処理手段４０は、画像情報メモリ４２に記憶
された画像情報に基づいて欠陥を検査するための区画設
定手段４３、平均値計算手段４４および比較判定手段４
５を備え、さらに、全体的な動作制御等を行うための制
御手段４６を備えている。

区画設定手段４３は、制御手段４６から与えられる区画
情報Ｓに基づいて順次区画Ｓｎを設定し、画像情報メモ
リ４２内から当該区画Ｓｎに該当する各画素Ｐｘの輝度
情報Ｂｒを順次読み出す。例えば、区画情報Ｓが縦２×
横２の矩形領域と指定された場合、区画設定手段４３は
画像情報゛メモリ４２内から第４図に斜線で示す区画Ｓ
ｎとして画素Ｐｘｓ　＋〜ＰＸＳ４を指定し、各々の輝
度情報Ｂｒｓ＋ｘＢｒｓ＜を読み出す。また、区画Ｓｎ
の処理が済んだら鎖線で示す区画Ｓ６．１に移動し、順
次４個づつの画素Ｐｘｓ＋〜ＰＸＳ４を読み出す。

平均値計算手段４４は、区画設定手段４３で読み出され
た輝度情報Ｂｒｓ　、〜Ｂｒ５ａの平均値Ｂｒ５ｍを計
算する。

比較判定手段４５は、区画設定手段４３で読み出された
輝度情報Ｂｒｓ　＋〜Ｂｒ５４を順次平均値計算手段４
４からの平均（ｉＢｒａｍと比較し、各輝度情報Ｂｒｓ
がそれぞれ平均値ＢｒａＩｌに対して所定の許容範囲Ｅ
内であれば当該区画Ｓｎは以上なしと判定する。一方、
変動範囲外の輝度情報Ｂｒ−５ｉがあれば、対応する画
素Ｐｘｓ　ｉは当該区画ＳｒＩの中でも不均一な特異部
分であると判定し、各々判定結果Ｒｅを制御手段４６に
返す。

制御手段４６は、区画設定手段４３が順次各区画Ｓｎ毎
の処理を行う間、判定結果Ｒｅをモニタし、特異部分の
検出があった際にはその時点で各区画Ｓｎ毎の処理を省
略するように構成されている。

さらに、画像処理手段４０には、通常のパーソナルコン
ピュータ等を用いた操作用端末装置５０が接続されてお
り、欠陥検査システム１全体の動作指令や画像処理手段
４０の入出力（有効領域Ａや区画情報Ｓ、許容範囲Ｅの
設定および判定結果Ｒｅの表示）などは、この端末装置
５０によって一括して行われる。また、端末装置５０は
保持装置１０にも接続され、画像処理手段４０による画
像■〜■の撮影に応じて保持装置１０を作動させ、光デ
ィスク基板２を所定の位置へ回動させるように構成され
ている。

このように構成された本実施例においては、次に示すよ
うな手順で光ディスク基板２の欠陥検査を行う。

検査にあたっては、予め端末装置５ｏから検査対象とな
る光ディスク基板２の種別や寸法に応じて有効領域Ａを
設定しておくとともに、処理単位となる区画情報Ｓを設
定しておき、保持装置１ｏに順次光ディスク基板２をセ
ットして欠陥検査システム１を起動させる。

起動された欠陥検査システム１は、まずＣＣＤカメラ１
４により画像Ｉの撮影を行う。すなわち、光ディスク基
板２に光源１３からの光を照射し、基板２を透過した光
をＣＣＤカメラ１４で逼影して画像Ｉの取り込みを行う
。取り込まれた逼影された画像Ｉは画像処理手段４０に
読み込まれ、画素Ｐｘ毎に変換器４１で輝度情報Ｂｒに
変換されて画像情報メモリ４２に格納される。

ここで、光ａ１３から基［２に照射される光は、検査光
調整手段２０により検査内容に応じた最適な拡散状態お
よび偏光状態の光に変換されるとともに、基板２からの
光は、投影光調整手段３０によって検査内容に応じた特
定の偏光成分のみに分離される。従って、ＣＣＤカメラ
１４から取り込まれた画像Ｉは、検査する特定の特性に
関して基板２の状態を正確に反映し、かつ他の特性によ
る影響が抑えられたものとなる。

続いて、保持装置１０により光ディスク基板２を９０度
づつ回動させ、画像■と同様な手順で順次画像■〜■を
逼影して画像情報メモＩＪ４２に格納し、合計４回の逼
影ないし格納により光ディスク基板２の全体に対応した
輝度情報Ｂｒが画像情報メモリ４２内に記憶される。

光ディスク基板２の全体の画像情報の取り込みが済んだ
後、欠陥検査システム１は、画像処理手段４０を起動し
、区画設定手段４３、平均値計算手段４４および比較判
定手段４５により画像情報メモリ４２内の輝度情報Ｂｒ
から選択された各区画Ｓｎ毎の処理および特異部分の判
定を行う。

すなわち、検査した光ディスク基板２の光学的特性が、
全体に一様あるいは変動があっても連続的な場合、各区
画Ｓｎ毎の判定結果Ｒｅは常に正常となるが、局部的な
特異部分があると当該部分に対応する画素Ｐｘｉ　の輝
度情報Ｂｒｉ　は、同じ区画内の平均値Ｂｒ５ｍに対し
て大きく変化し、平均値Ｂｒ５ｍを基準とした許容範囲
Ｅから外れた場合に判定結果Ｒｅは異常となる。

従って、検査した基板２には光学的に不連続な欠陥部分
があると判定され、端末装置５０にその旨の表示が行わ
れる。

なお、欠陥部分が発見された場合、当該光ディスク基板
２は利用に適さないことが明らかであり、制御手段４６
は以後の処理を中断して次の光ディスク基Ｉｒｌ１２の
セット要求を表示する。

このような本実施例によれば、次に示すような効果があ
る。

すなわち、検査対象の光ディスク基板２の光学的特性を
画像情報として取り込み、画像処理により欠陥を自動的
に判定することができるため、基板２の欠陥検査を高速
かつ客観的に行うことができ、処理効率を従来の目視検
査等に比べて飛躍的に高めることができる。

また、画像情報の取り込みにあたっては、検査光調整手
段２０により基板２に照射する光を検査に最適な特性に
調整できるとともに、投影光調整手段３０により画像と
して取り込む光の特性を調整することができ、偏光欠陥
などの所望の光学的特性についての検査を的確に行うこ
とができる。

さらに、検査光調整手段２０および投影光調整手段３０
を適宜選択することにより、多様な光学的特性の検査に
広範に対応することが簡単に行え、特に本実施例では各
手段２０．３０をいわゆるカセット式とすることにより
準備の際の作業効率を一層向上することができる。

一方、画像処理により欠陥を自動的に判定するにあたっ
ては、画像処理装置４０で区画毎に１頃次処理し、各区
画内の特異部分を検出して区画毎の連続性が確認すると
したため、全体の均一さに関係なく光学的特性の特異な
部分の検出、および全体としての連続性の６１　ＬＵが
行え、不良な光ディスク基板２の的確な判定を行うこと
ができる。

また、検査する画像情報は画像処理装置４０内で定量的
に処理されるため、客観的な判定を行うことができると
ともに、適宜輝度情報Ｂｒや各区画Ｓｎ毎の状態等を端
末装置５０に表示する等も可能であり、検査にあたって
柔軟な利用が可能である。

さらに、処理する区画Ｓｎは、区画情報Ｓによって任意
の大きさや配置に設定することができ、例えば区画Ｓｎ
に含まれる画素Ｐｘの数を多くすることで全体の均一さ
を評価することもできる。この際、判定する感度は、許
容範囲Ｅの設定により調節することができ、検出しよう
とする欠陥の種類等に応じて設定することにより、多様
な欠陥等の検査に広範に対応することができる。

また、順次行われる区画毎の検査の間に欠陥が発見され
た場合、割り込み処理を行い、その時点で当該記録媒体
の欠陥検査を終了して以後の検査工程を省略して次の記
録媒体の検査に移行するとしたため、検査作業全体の作
業時間を短縮して処理効率をさらに向上することができ
る。

さらに、撮影した画像の読み込みにあたっては、光ディ
スク基ｖｉ２の種別や寸法に応じた有効領域Ａ内に限定
したため、外側の無意味な領域に対しての処理を省略し
、演算および判定に係る処理データ量を予め少なく抑制
でき、処理時間を一層短縮することができ、かつ、有効
領域Ａの外側部分におけるノイズ等による誤判定等を未
然に回避することができ、正確な検査をより確実に行う
ことができる。

従って、本実施例の欠陥検査システム１によれば、微妙
な欠陥の検出が確実に行えるとともに、効率よい高速処
理が行え、光ディスク基板２を大量生産するライン中に
おける欠陥検査に無理なく利用することができ、不良品
を未然にチエツクして製品としての品質を確実に向上す
ることができ・る。

なお、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく
、以下に示すような変形をも含むのである。

すなわち、検査対象である光ディスク基板２の１／４づ
つを画像■〜■とじて（最影し、これらを併せて全体を
カバーするように構成したが、検査対象が小さい場合な
ど全体を一括して撮影してもよく、あるいは大きい場合
などさらに細分化してもよい。

また、画像１〜■の順次撮影のために光ディスク基板２
を保持する保持手段１０を回動させるように構成したが
、光ディスク基板２を固定して光源１３ないしＣＯＤカ
メラ１４に至る光学系を移動させるように構成してもよ
い。

さらに、光ディスク基板２が大きく、検査画像を当該基
板２の径方向にも分割する場合には、例えば保持手段１
０に、当該基板２を水平を維持して平行移動させる機構
を付加してもよい。

また、端末装置５０で行っていた保持装置ｉ１０の制御
は画像処理手段４０の制御手段４６で代替してもよく、
あるいは制御手段４６の機能を外部接続された端末装置
５０で行わせてもよい。

また、画像の取り込みはＣＯＤカメラ１４に限らず、他
の画像入力手段を用いてもよく、この画像入力手段とし
ては要するに画像を取り込んで前記実施例のような各処
理を行えるような出力が得られるものであればよい。

さらに、画像取り込みにあたっては、光ディスク基板２
に光を通過させ、基板２の透過特性を検査したが、表面
の反射特性を検査する場合、光ディスク基板２の検査対
象面に対して光源１３およびＣＣＤカメラ１４等を同じ
側に配置し、表面からの反射光を検査画像として取り込
めばよい。

また、前記実施例においては、光ディスク基板２の偏光
欠陥を検査するために、基板２と光ａｌＸ１３との間に
偏光板２３およびｌハ波艮板２４を介装し、かつ、基板
２とＣＣＤカメラ１４との間に１７４波長板３１および
偏光板３２を介装し、当該基板２に円偏光を照射したが
、これは検査する欠陥に応じて変更すればよく、通常光
でよい場合には偏光板２３．３２および１／４波長板２
４．３１を省略すればよい。

一方、前記実施例においては、画像処理手段４０で処理
される画像の画素Ｐｘが縦横の格子状であるとしたが、
これは光ディスク基板２の周方向に沿って区切るとして
もよい。

また、区画Ｓとしては、前記実施例のような縦横２画素
づつの設定に限らず、全体的な均一さが要求される場合
にはとり大きな領域を設定すればよく、あるいは光ディ
スク基板２では周方向に連続して記録再生を行うため、
周方向に長い領域を区画として設定し、その光学的特性
の連続性を判定してもよい。

さらに、有効６Ｊ［域Ａとしては、例えば光ディスク基
板２等の円板状の検査対象の場合、有効外径および有効
内径の指定等により前述の扇型の領域を判別する手段等
を採用すればよく、他の形状の検査対象の場合にはそれ
ぞれの投影形態を登録しておく等により対応すればよい
。

また、有効領域への限定にあたっては、検査対象部分の
輝度と領域外の部分の輝度が極端に変化することを利用
して、変換器４１における輝度情報Ｂｒの変換時に各画
素毎の有効、無効を判定し、有効のものだけを有効とし
て画像記録メモＩＪ４２に格納する等の処理を行っても
よい。

さらに、画像処理を行う画像処理手段４０は、前記実施
例のような方式および構成に限らず、要するに画像情報
として取り込んだ光ディスク基板２の光学的特性の分布
を適宜な画像処理により検査し、特異部分や特性の不均
一といった欠陥要素を判定できるものであればよい。

なお、前記実施例においては、検査対象の光学式記録媒
体として光ディスク基板２を採用したが、完成品として
記録層を形成した光ディスクや光磁気ディスク等の他の
光学式記録媒体に適用してもよく、本発明の光学式記録
媒体の検査装置は高精度が要求される記録媒体の光学的
検査に広く利用できるものである。特に、本発明におい
てはｉ３過光による光ディスク基板の検査に有効である
。

（発明の効果〕以上に説明したように、本発明の光学式記録媒体の検査
装置によれば、検査対象の記録媒体の欠陥検査を効率よ
く行えるとともに、微妙な欠陥をも確実に検出すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の全体を示す概略構成図、第
２図は前記実施例における検査対象および検査画像の状
態を示す模式図、第３図は前記実施例における画像情報
の格納状態を示す概念図、第４図は前記実施例における
区画毎の処理を示す斗既念図である。１・・・検査装置である欠陥検査システム、２・・・光
学式記録媒体である光ディスク基板、１３・・・光源、
１４・・・画像人力手段であるＣＣＤカメラ、２０・・
・検査光調整手段、２１．２２・・・凸レンズ、２３．
３２・・・偏光板、２４、３１・・・１７４波長板、３
０・・・投影光調整手段、４０・・・画像処理手段、Ａ
・・・有効領域、Ｂ「・・・輝度情報、Ｂｒｓ　ｘＢｒ
ｓａ・・・区画内の画素の輝度情報、Ｂｒ５ｍ・・・区
画内の輝度情報の平均値、Ｅ・・・許容、範囲、Ｐｘ・
・・画素、Ｐｘｓ　１〜ＰＸＳ４・・・区画内の画素、
Ｒｅ・・・判定結果、Ｓ・・・区画情報、Ｓｎ・・・検
査する区画。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）検査対象の光学式記録媒体に光を照射する光源と
、前記記録媒体に照射される光の光学的特性を調整する
検査光調整手段と、前記記録媒体からの透過光または反
射光の光学的特性を調整する投影光調整手段と、この投
影光調整手段からの光を画像情報として取り込む画像入
力手段と、取り込んだ画像情報を所定区画毎に演算処理
して前記記録媒体の欠陥の有無を検査する画像処理手段
とを備えて構成されたことを特徴とする光学式記録媒体
の検査装置。
（２）特許請求の範囲第１項において、前記光学式記録
媒体は光ディスク基板であることを特徴とする光学式記
録媒体の検査装置。