JPH02196948A - 記録媒体の欠陥検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は記録媒体の欠陥検査方法に係り、高精度が要求
される光ディスク等の記録媒体の製造に利用できる。

（従来の技術〕 従来より、高密度記録媒体には、機械的な精度に加えて
材料の均質さなどの精度が要求される。

特に、光学的な記録を行う光ディスク等においては、基
板材料の表面ないし内部に至る光学的な欠陥を排除する
ことが要求される。

例えば、光ディスク等の基板には透明性の優れたプラス
チック材料が用いられるが、成形時の応力や材料むら、
気泡の混入や異物の付着等により部分的な偏光欠陥等が
生じることがある。このような偏光欠陥部分においては
、記録の再生にあたって読み出し用の光ビーム等が所期
の状態で透過あるいは反射しなくなるなど、記録媒体と
しての正常な読み出しが困難となる。

このため、光ディスク等の記録媒体の生産にあたっては
欠陥検査が不可欠であり、特に不良基板への記録といっ
た無駄を省くために、記録前の基板の状態での早い段階
での検査が求められ、インライン検査等の製造工程にお
ける欠陥検査がなされている。

このような欠陥検査としては、精度的な要求から光学的
な手段を用いた検査が利用されており、近年では画像処
理による検査が行われている０例えば、検査対象の基板
を撮影して画像として取り込み、この検査画像と同一条
件で撮影した正常な基板の画像を基準画像としておき、
検査画像と基準画像との対応する部分について所定領域
例えば画素毎に光学的な状態を比較し、検査画像中の基
ｉｌＮ像と相違する部分を欠陥と判定する方法が採用さ
れている。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、前述のような画像比較による欠陥検査におい
ては、基準画像と検査画像といった画像情報に対して相
互の画素毎の比較といった大量データ処理を行う必要が
ある。このため、−枚の基板の検査にかかる処理時間が
長く効率が低いという問題があり、大量生産される基板
のインライン検査には不適当である。

また、基準画像に用いる正常基板として、欠陥が全くな
い完璧な基板を製造することは現実的に不可能である。

このため、撮影による基準画像を用いた検査では信幀性
や検査精度を高めることが難しい、一方、画像合成を利
用すれば理想的な基準画像を作成できるが、比較にあた
って照射光等の検査条件や検査対照の基板種別に対応さ
せる必要などから現実的な利用は困難であり、検査精度
向上に有効な手段とはなり得ない。

さらに、前述の比較検査では、検査画像およびｌ＆準両
画像対応部分どうしの比較結果が略一致している限りは
正常と判定され、基準画像中の微妙な欠陥等を感度よく
検出することができない。

例えば、検査画像中の一部分における偏光状態が基準画
像の対応部分と比較して許容範囲内の上限近くであり、
この部分に隣接した部分の偏光状態が許容範囲内の下限
近くである場合、これらの部分間では偏光状態が急に変
化して実際の基板上では偏光欠陥となる。ところが、前
述の比較検査においては、各部分の偏光状態自体は基準
画像と比較して許容範囲内であるため、当該部分も正常
と判定され、欠陥として確実に検出することができない
という問題があった。

本発明の目的は、検査対象の記録媒体の欠陥検査を効率
よく行えるとともに、微妙な欠陥をも確実に検出できる
記録媒体の欠陥検査方法を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、検査対象の基板等に生じた欠陥部分は、光を
投射した際の輝度が他の正常な部分に比べて大きくなる
ことに着目し、かつ、各点毎の検査に加えて他の部分と
の比較を行うことにより材質変動等の微妙な欠陥をも検
出できるという知見に基づいてなされたものである。

すなわち、本発明は、検査対象の記録媒体に光を投射し
、当該記録媒体からの透過光または反射光を画像情報と
して取り込み、得られた画像を走査して所定区画毎の輝
度を求め、得られた各輝度中の最大輝度について判定す
るとともに、所定間隔毎に前記区画間の輝度差を求め、
得られた各輝度差中の最大輝度差について判定すること
により、前記記録媒体の欠陥の有無を検査する記録媒体
の欠陥検査方法を構成するものである。

ここで、最大輝度および最大輝度差についての同定とし
ては、予め検査対象となる記録媒体が正常である場合の
正常最大輝度および正常最大輝度差を設定しておき、実
際に検査する記録媒体毎の最大輝度または最大輝度差の
何れかがこれらの正常値よりも大きい場合に、当該記録
媒体には欠陥があると判定する方法が採用できる。

また、輝度情報を求める際の走査としては、画像の各区
画をその画像の水平方向といった一定の方向に順次検査
し、各区画の輝度をそれぞれ読み出す動作等が採用でき
、その際の区画としては、例えば当該画像自体の画素が
採用できる。

さらに、画像情報を取り込むにあたっては、通常の光の
ほか、各種偏光が利用でき、例えば検査対象の記録媒体
に円偏光を投射し、当該記録媒体からの透過光を直線偏
光に変換して取り込む等の方法が採用できる。

また、検査対象の記録媒体としては、光ディスク基板あ
るいは記録済みの光ディスクなどの光学式記録媒体のほ
か、表面精度が要求される磁気ディスク用基板等が採用
できる。

〔作用〕

このような本発明においては、予め検査対象の記録媒体
に応じて正常として扱うことができる正常最大輝度およ
び正常最大輝度差を設定しておき、順次与えられる 記録媒体毎に画像情報を採取し、その画像情報に基づい
て各々の欠陥検査を行う。

まず、採取した画像中に適宜設定した区画毎に輝度の値
を求める。ここで、得られた輝度の中の最大値である最
大輝度は、検査中の記録媒体が正常であれば通常の値と
なるが、欠陥部分があるとその区画の輝度が著しく大き
くなり、この欠陥区画の輝度が当該記録媒体の最大輝度
を与えることになる。このため、例えば、予め検査対象
の記録媒体に応じて正常として扱うことができる正常最
大輝度を設定しておき、検査中の記録媒体の最大輝度を
正常最大輝度と比較した結果、最大輝度が正常値より明
らかに大きい場合、検査中の記録媒体には欠陥があるこ
とになる。

また、区画毎に求めた輝度の値をもとに、適宜設定した
間隔にある各区画どうしの輝度の差を求める。ここで、
検査中の記録媒体に材質変動等の微妙な欠陥があると、
その区画の輝度は正常な値から変化し、周囲の区画に対
して特異な値となる。

従って、所定間隔の区画間で輝度差をとると、当該記録
媒体が正常であれば各区画間の輝度差は略−律となり、
得られた輝度差の中の最大値である最大輝度差も通常の
値となるが、輝度の特異な区画があると他との当該部分
を含む区画と周囲の区画との間の輝度差が顕著となり、
当該記録媒体の最大輝度差を与えることになる。このた
め、例えば、予め検査対象の記録媒体に応じて正常とし
て扱うことができる正常最大輝度を設定しておき、検査
中の記録媒体の最大輝度差を正常最大輝度差と比較した
結果、最大輝度差が正常値より明らかに大きい場合、検
査中の記録媒体には微妙な欠陥があることになる。

従って、検査対象の記録媒体においては、最大輝度の検
査により明らかな欠陥が検出されるとともに、最大輝度
差の検査により最大輝度では検出されない微妙な欠陥等
が確実に検出される。

なお、最大輝度差の検査における間隔の設定を適宜変更
することにより、微妙な欠陥の程度や大きさ等に対応す
ることが可能であり、多様な検査対象における種々の微
小欠陥等に対する広範囲な対応を可能にする。

さらに、先に行われる最大輝度ないし最大輝度差の検査
の間に欠陥が発見された場合、割り込み処理を行い、そ
の時点で当該記録媒体の欠陥検査を終了し、以後の検査
工程を省略して次の記録媒体の検査に移行することが可
能であり、このため、欠陥検査作業全体としての作業時
間が短縮されて処理効率が向上される。

従って、本発明では、微妙な欠陥の検出が確実に行われ
るとともに、効率よい高速処理を行うことが可能となり
、これにより前記目的が達成される。

（実施例〕 以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。

第１図には、本発明に基づいて記録媒体の欠陥検査を行
う欠陥検査システムｌが示されている。

欠陥検査システムｌは、検査対象である光ディスク基Ｆ
ｉ２に対して円偏光を投射し、その透過光を直線偏光に
変換して画像情報として取り込んで処理することにより
、偏光欠陥を検査するものである。なお、光ディスク基
板２は光ディスクに利用されるポリカーボネート製の円
板であり、光学記録用の情報記録膜を蒸着する前の段階
のものである。

光ディスク基板２は保持装置１０によって水平に保持さ
れている。この保持装置ＩＯは、光ディスク基板２の中
心に係合されるスピンドル１１と、このスピンドル１１
を回転駆動するモータを含む駆動部１２とを備え、当該
基板２を保持して適宜角度づつ回動可能であり、外部指
令により基準位置から９０度、１８０度、２７０度とい
った４段階の角度位置で停止可能である。

光ディスク基板２の上下を挟むように一対の偏光板２１
．２２が配置され、これらの偏光板２１．２２は略コの
字型のフレーム２３に保持されている。下側の偏光板２
Ｉの下方には照明２４が配置され、照明２４からの光は
偏光板２１を通して円偏光に変換されて光ディスク基板
２の下面側に投射される。また、上側の偏光板２２の上
方にはＣＣＤカメラ２５が配置され、光ディスク基板２
からの透過光は偏光板２２を通して円偏光から直線偏光
に再変換され、ＣＣＤカメラ２５により撮影されて画像
情報として取り込まれる。

なお、照明２４からＣＣＤカメラ２５に至る光学系は、
光ディスク基板２の約１／４の部分をカバーするように
配置されており、保持手段１０により光ディスク基板２
を順次ｌハ回転（９０度、）づつ回動させ、第２図に示
すような４つの画像１〜Ｎについての１ｉ影を順次行う
ことにより、光ディスク基板２全体の画像情報が取り込
まれる。

また、ＣＣＤカメラ２５は、例えばｆｆｌ　１０００　
Ｘ横１０００程度のセルを有するＣＣＵ　（Ｃｈａｒｇ
ｅ　Ｃｏｕｐｌｅｄ　Ｄｅｖｉｃｅ）を用いた固体Ｉ最
像カメラであり、各セル毎に入射光量に応した信号を発
生し、各セルを一画素Ｐχとする画像情報として出力可
能である。なお、第２図に示す画素Ｐｘは模式的に示し
たものであり、実際には極めて多数である。

一方、ＣＣＤカメラ２５には、本発明に基づいて欠陥検
査処理を行う画像処理袋′Ｗ３０が接続されている。こ
の画像処理装置３０は、ＣＣＤカメラ２５からの画像情
報を読み込むための変換器３１および画像情報メモリ３
２を備えている。

変換器３１は、ＣＣＤカメラ２５から送られる画像情ｔ
Ｈのうち、予め指定された有効領域Ａ内の各画素ＰＸを
水平方向に順次走査し、画素Ｐｘ毎に信号を８ビｙ　）
　２５５段階の輝度情報Ｂｒに変換して画像情報メモリ
３２に出力する。ここで、有効領域Ａとしては、光ディ
スク基板２の記録面がカバーされるように、その種別や
寸法等に応し、第２図に示す扇型の領域が設定されてい
る。

画像情報メモリ３２は、変換器３１からの輝度情報Ｂｒ
を、その画素Ｐｘの位置情報＾ｄとともに格納するもの
であり、第３図に示すように、それぞれ画像１−ＩＶに
対応する４つのバンクを備え、各画像！〜■についての
輝度情報を順次格納してゆくことにより、光ディスク基
板２全体としての輝度情報を記憶可能である。

また、画像処理袋２３０は、記憶した輝度情報を処理す
るための最大輝度演算手段３３、最大輝度判定手段３４
、最大輝度差演算手段３５および最大輝度差判定手段３
６を備え、さらに、全体的な動作制御等を行うための制
御手段３７を備えている。

最大輝度演算手段３：（は、例えば画像情報メモリ３２
内の各輝度情報Ｂｒを順次比較演算して最大値を求め、
輝度情報Ｂｒの中の最大値を最大輝度Ｂｒｘ　として決
定する。

最大輝度判定手段３４は、予め外部から設定された正常
最大輝度Ｂｒｘｏに基づき、先に決定した最大輝度８ｒ
ｘ　との比較を行い、最大輝度Ｂｒｘが正常最大輝度Ｂ
？ｘｏよりも大きい場合に欠陥があるとの判定結果Ｒｅ
ｌ　を出力する。

最大輝度差演算手段３５は、予め外部から設定された間
隔ＳＬに基づき、例えば画像情報メモリ３２内の各輝度
情報Ｂ「を順次間隔ｓｔ先の輝度情報Ｂ「と比較演算し
て輝度差Ｏｆを求め、この輝度差Ｏｆの中の最大のもの
を最大輝度差Ｄｆｘ　として決定する。

最大輝度差判定手段３６は、予め外部から設定された正
常最大輝度差Ｄｆｘｏに基づき、先に決定した最大輝度
差Ｏｆ＋＋　との比較を行い、最大輝度差Ｄｆｘが正常
最大輝度差Ｄｆｘｏよりも大きい場合に欠陥があるとの
判定結果Ｒｅ２を出力する。

なお、画像処理装置ｔ３０における処理は、最大輝度Ｂ
ｒｘの検査、最大輝度差Ｄｆｘの検査の順に実行される
が、最大輝度Ｂｒｘについて欠陥が発見された場合には
制御手段３７により割り込みが行われ、以後の最大輝度
差Ｄｆｘの検査を省略するように構成されている。

さらに、画像処理装置３０には、通常のパーソナルコン
ピュータ等を用いた操作用端末装置４０が接続されてお
り、欠陥検査システムｌ全体の動作指令や画像処理装置
３０の入出力（設定の入力および結果の表示）などは、
この端末装置４０によって一括して行われる。また、端
末装置４０は保持装置！ＦＩＯにも接続され、画像処理
装置３０による画像■〜■の撮影に応じて保持袋２１０
を作動させ、光ディスク基板２を所定の位置へ回動させ
るように構成されている。

このように構成された本実施例においては、次に示すよ
うな手順で光ディスク基板２の欠陥検査を行う。

検査にあたっては、予め端末袋ｊｆｆ４０から検査対象
となる光ディスク店板２の種別や寸法を入力して有効領
域Ａを設定しておくとともに、光ディスク基板２におけ
る正常最大輝度Ｂｒｘｏ、正常最大輝度差Ｄｆｘｏおよ
び輝度差の比較間隔ｓｔを設定しておき、保持装置ｌＯ
に順次光ディスク基板２をセットして欠陥検査システム
ｌを起動させる。

起動された欠陥検査システムｌは、まずＣＣＯカメラ２
５により画像■の１最影を行う、撮影された画像１は画
像処理装置３０に涜み込まれ、画素Ｐ×毎に変換器３１
で輝度情報Ｂｒに変換されて画像情報メモリ３２に格納
される。続いて、保持装置ｌＯにより光ディスク基板２
は９０度づつ回動され、順次画像■〜■が撮影されて画
像情報メモリ３２に格納され、合計４回の撮影ないし格
納により光ディスク基板２の全体に対応した輝度情報Ｂ
ｒが画像情報メモリ３２内に記憶される。

次に、画像処理装置３０の制御手段３７により最大輝度
演算手段３３および最大輝度判定手段３４が順次起動さ
れ、画像情報メモリ３２内の輝度情報Ｂｒから選択され
た最大輝度Ｂｒｘを正常最大輝度Ｂｒｘｏと比較し、そ
の判定結果Ｒｅｌを端末装置４０に表示する。

ここで、検査した光ディスク基板２が正常であれば最大
輝度Ｂｒｘ　も通常の値となるが、欠陥部分があるとそ
の画素の輝度が著しく大きくなって当該ａ１２の最大輝
度Ｂｒｘ　として検出される。従って、最大輝度Ｂｒχ
が正常最大輝度Ｂｒｘｏより明らかに大きい場合、当該
光ディスク基板２には欠陥があると判定され、その旨の
表示が行われる。

なお、最大輝度Ｂｒｘの検査で欠陥が発見された場合、
当該光ディスク基板２は利用に適さないことが明らかで
あり、制御手段３７は以後の処理を中断して次の光ディ
スク基板２のセット要求を表示する。

一方、最大輝度３ｒｘに問題がない場合、続いて最大輝
度差Ｏｆの検査が行われる。

すなわち、制御手段３７により最大輝度差演算手段３５
および最大輝度差判定手段３４が順次起動され、画像情
報メモリ３２内の輝度情報Ｂｒから間隔３１毎の輝度差
Ｏｆを順次計算し、得られた最大輝度差Ｏｆｘを正常最
大輝度差Ｄｆｘｏと比較し、その判定結果Ｒｅ２を端末
装置４０に表示する。ここで、検査対象の光ディスク基
板２に材質変動等に基づく偏光欠陥があると、その画素
の輝度は周囲の画素に対して特異な値となる。このため
、適当な間隔Ｓ【をおいて画素間の輝度差Ｏｒをとると
、当該基板２が正常であれば各輝度差ｏｒは略−律とな
り最大輝度差１１ｆＸも通常の値となるが、輝度の特異
な画素があるとその画素に係る輝度差Ｏｒが顕著となり
、当該基板２の最大輝度差Ｄｆｘ　として検出される。

従って、最大輝度差Ｏｆにが正常最大輝度差Ｄｆｘｏよ
り明らかに大きい場合、当該光ディスク基板２には微妙
な欠陥があると判定され、その旨の表示が行われる。

このような本実施例によれば、次に示すような効果があ
る。

すなわち、検査対象の光ディスク基板２における、明ら
かな偏光欠陥は最大輝度Ｏｒの検査により検出されると
ともに、最大輝度差Ｄｒの検査により最大輝度Ｂｒの検
査だけでは検出できないような微妙な偏光欠陥までをも
確実に検出することができる。

また、最大輝度差Ｏｆの検査における間隔ｓｔの設定は
、光ディスク基板２に発生しやすい欠陥の程度や大きさ
等に応じて適宜設定することができる。

このため、問題とする欠陥に対する検出感度を高めるこ
とができるとともに、検出しようとする欠陥の種類等の
選択することができ、かつ、多様な検査対象における種
々の微小欠陥等に対する広範囲な対応が可能となる。

さらに、最大輝度Ｂｒの検査において欠陥が発見された
場合、割り込み処理によりその時点で当該光ディスク基
板２の欠陥検査を終了し、すぐに次の基板２の検査に移
行することができる。このため、欠陥検査作業全体とし
ての作業時間が短縮され、処理効率を向上することがで
きる。

また、１！影した画像の読み込みにあたっては、光ディ
スク基板２の種別や寸法に応した有効領域Ａ内に限定し
たため、外側の無意味な領域に対しての処理を省略し、
輝度情報Ｂ「や輝度差Ｏｆの演算および判定に係る処理
データ量を予め少なく抑制でき、処理時間を一層短縮す
ることができる。

さらに、有効領域への外側部分におけるノイズ等による
誤判定等を未然に回避することができ、正値な検査をよ
り確実に行うことができる。

従って、本実施例の欠陥検査システムｌによれば、微妙
な欠陥の検出が確実に行えるとともに、効率よい高速処
理が行え、光ディスク基板２を大量生産するライン中に
おける欠陥検査に無理なく利用することができ、欠陥品
を未然にチエツクして製品としての品質を確実に向上す
ることができる。

なお、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく
、以下に示すような変形をも含むのである。

すなわち、最大輝度についての判定としては、輝度情報
Ｂｒから最大輝度Ｂｒｘを決定しておき、この値Ｂｒｘ
　と正常最大輝度Ｂｒｘｏとの比較を行う方法に限らず
、各輝度情報Ｂｒを順次正常最大輝度１１ｒＸ。

と比較し、この正常（ｉＢｒｘｏを越える値が検出され
た時点で欠陥があると判定する方法を採用してもよく、
予め輝度情報Ｏｒの中の最大値を別途演算する手順を省
略することができる。

このように各輝度情報８ｒを正常最大輝度Ｂｒｘｏと直
接比較する場合、画像情報メモリ３２に格納された輝度
情報Ｂｒに限らず、変１負器３１での輝度情報Ｂｒの変
換時にその都度比較を行ってもよい。

また、最大輝度差についての判定としては、輝度情報［
１ｒから求めた輝度差Ｏｆから最大輝度差Ｏｆを決定し
ておき、この値Ｄｆｘ　と正常最大輝度差ｏｒｘｏとの
比較を行う方法に限らず、得られた各輝度差Ｄｆを順次
正常最大輝度差Ｄｆｘｏと比較し、この正常値Ｄ１χ０
を越える値が検出された時点で欠陥があると判定する方
法を採用してもよく、予め輝度差Ｄｆの中の最大値を別
途演算する手順を省略できるとともに、各輝度差口ｆを
記憶しておく領域等を省略することができる。

なお、各輝度差［１ｆについては、前記実施例のように
予め各輝度情報Ｂｒから一括して演算しておく場合、各
輝度情報Ｂｒとともに画像情報メモＩＪ３２内に格納し
ておいてもよく、前述のように各輝度差ｏｒを正常最大
輝度差Ｄｆｘｏと直接比較する場合でも、その都度画像
情報メモリ３２から読み出して利用できる。

さらに、最大輝度および最大輝度差の判定時の比較基準
としては、前述した正常最大輝度Ｂｒｘｏおよび正常最
大輝度差Ｄｆｘｏなど、正常な光ディスク基板２で検出
あるいは想定される値を予め設定したものに限らず、例
えば、各輝度差口「の演算を行う際に、同時に平均値を
求め、この値あるいはその所定倍の値等を基準として比
較を行うことにより最大輝度差Ｄｆｘを判定する等とし
てもよい。

また、υ１り込みによる処理の中断としては、前記実施
例のように、最大輝度［１ｒｘと正常最大輝度１１ｒｘ
ｏとの比較の結果により欠陥ありと判定された陣に以後
の処理を中断する等に限らず、前述のように各輝度情報
［１ｒとの直接比較を行う場合、最大輝度Ｂｒｘについ
ての判定結果が判明した時点で中断すればよく、例えば
変換器３１での輝度情報８ｒのｉ　１０時に欠陥が発見
されればそのまま中断してもよく、早期に中断判定を行
うことにより処理時間を一層短縮することができる。

このような割り込みによる処理の中断は、最大輝度差Ｄ
ｆｘの判定においても通用してもよく、前記実施例のよ
うに最大輝度差Ｄｆｘを求めて正常最大輝度差Ｄｆｘｏ
と比較する場合にはあまり意味を持たないが、前述した
ように、各輝度差Ｏｆとの直接比較を行う場合、最大輝
度差Ｏｆｘについての判定結果が判明した時点で中断す
れば、残りの輝度差Ｄｆとの比較を省略して処理時間を
短縮することができる。

ところで、前記実施例においては、各画素Ｐｘについて
、適宜設定された所定間隔ｓｔ先の画素の輝度情報Ｏｒ
との比較により輝度差ｏｆを求めたが、この場合の間隔
ｓｔは検出する欠陥の大きさ等により適宜設定すればよ
く、例えば微小な欠陥に対しては間隔ｓｔを小さく、比
較的大きな欠陥に対しては逆に大きくとればよい。

また、比較する画素としては、直線的なアドレスの上で
間隔Ｓ【だけ先のものに限らず、間隔ｓｔだけ戻る位置
の画素との比較を行ってもよく、あるいは実際の検査対
象において間隔ｓｔに相当する位置にある他の画素を選
択し、その画素との比較を行うとしてもよい。

さらに、輝度情報Ｂｒを求める所定区画としては、取り
込んだ画像の画素Ｐにに限らず、例えば区画を別途設定
し、その区画中に含まれる画素Ｐｘ毎の輝度の平均値を
当該区画の輝度情報Ｂｒとしてもよく、解像度の高い画
像入力手段を用いて比較的大きな欠陥の検査を行う場合
等、処理データが不必要に多量となることを防止できる
。

また、各区画毎の輝度情報Ｂ「を採取する際の走査方法
としては、画像の水平方向に限らず、垂直方向あるいは
検査対象の円周方向などであってもよい。

さらに、走査する区画を限定する有効領域Ａとしては、
例えば光ディスク基板２等の円板状の検査対象の場合、
有効外径および有効内径の指定等により前述の扇型の領
域を判別する手段等を採用すればよく、他の形状の検査
対象の場合にはそれぞれの投影形態を登録しておく等に
より対応すればよい。

また、有効領域Ａの限定にあたっては、検査対象部分の
輝度と頭載外の部分の輝度が極端に変化することを利用
して、変換器３１における輝度情報Ｂ「の変換時に各画
素毎の有効、無効を判定し、有効のものだけを有効とし
て画像記録メモ＋７３２に格納する等の処理を行っても
よい。

なお、画像処理の主要動作を行う画像処理装置３０は、
前記実施例にような構成に限らず、他の機能部分を採用
するものであってもよい０例えば、制御手段３７の機能
は外部接続された端末装置４０によって代替してもよく
、あるいは端末装置４０で行っていた保持装置１０の制
御を制御手段３７で行うとしてもよい。さらに、前述し
たような各種の画像処理内容の変更を行う場合、画像処
理装置３０に配置される構成を処理内容に応じて適宜変
更すればよい。

一方、本発明を実施する際の具体的装置構成は、前記実
施例のような欠陥検査システム１に限らず、実施にあた
って適宜選択すればよい。

すなわち、検査対象である光ディスク基板２の１／４づ
つを画像■〜■とじて撮影し、これらを併せて全体をカ
バーするように構成したが、検査対象が小さい場合など
全体を一括して撮影してもよく、あるいは大きい場合な
どさらに細分化してもよい。

また、画像！〜■の順次撮影のために光ディスク基１ｉ
２を保持する保持手段１０を回動させるように構成した
が、光ディスク基板２を固定して照明２４ないしＣＣＤ
カメラ２５に至る光学系を移動させるように構成しても
よい。

さらに、光ディスク基板２が大きく、検査画像を当該基
板２の径方向にも分割する場合には、例えば保持手段１
０に、当該基板２を水平を維持して平行移動させる機構
を付加してもよい。

また、画像の取り込みはＣＣＤカメラ２５に限らず、他
の画像入力手段を用いてもよく、この画像入力手段とし
ては要するに画像を取り込んで前記実施例のような各処
理を行えるような出力が得られるものであればよい。

さらに、画像取り込みにあたっては、光ディスク基板２
を通過した透過光を用い、内部の材質変異による微妙な
欠陥を検査したが、表面の微小欠陥等を検査する場合、
光ディスク基板２の検査対象面に対して照明２４および
ＣＣＤカメラ２５等を同し側に配置し、表面からの反射
光を検査画像として取り込めばよい。

また、前記実り一例においては、光ディスク基板２の偏
光欠陥を検査するために、当該基板２き照明２４および
ＣＣＤカメラ２５との間にそれぞれ偏光板２１、２２を
介装し、当該基板２に円偏光を投射したが、これは検査
する欠陥に応じて偏光すればよく、通常光でよい場合に
は各偏光板２１．２２を省略すればよい。

さらに、前記実施例においては、検査対象の記録媒体と
して光ディスク基板２を採用したが、完成品として記録
層を形成した光ディスクやその他の光学式記録媒体に適
用してもよく、あるいは透明ではないが高い表面精度が
要求されるハードディスク等の磁気式記録媒体の検査に
通用してもよく、本発明の記録媒体の欠陥検査方法は高
精度が要求される記録媒体の光学的欠陥検査に広く利用
できるものである。

〔発明の効果〕

以上に説明したように、本発明の記録媒体の欠陥検査方
法によれば、検査対象の記録媒体の欠陥検査を効率よく
行えるとともに、微妙な欠陥をも確実に検出することが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の〜実施例の全体を示す概略構成図、第
２図は前記実施例における検査対象および検査画像の状
態を示す模式図、第３図はｍ１記実施例における画像情
報の格納状態を示す概念図である。 ｌ・・・欠陥検査システム、２・・・検査対象の記録媒
体である光ディスク基板、２１．２２・・・検査対象に
円偏光を投射するための偏光板、２４．２５・・・検査
対象からの透過光を画像情報を取り込むための照明およ
びＣＣＤカメラ、３０・・・本発明の方法に基づく処理
を行う画像処理装置、Ｂ「・・・輝度情報、Ｂｒｘ・・
・最大輝度、Ｂｒｘｏ・・・正常最大輝度、Ｏｒ・・・
輝度差、Ｏｆｘ・・・最大輝度差、Ｄｆｘｏ・・・正常
最大輝度差、ｓＬ・・・輝度差をとる間隔、Ｐ×・・・
区画である画素、Ｒｅｌ　・・・最大輝度による判定結
果、Ｒｅ２・・・最大輝度差による判定結果。 第２図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）検査対象の記録媒体に光を投射し、当該記録媒体
   からの透過光または反射光を画像情報として取り込み、
   得られた画像を走査して所定区画毎の輝度を求め、得ら
   れた各輝度中の最大輝度について判定するとともに、所
   定間隔毎に前記区画間の輝度差を求め、得られた各輝度
   差中の最大輝度差について判定することにより、前記記
   録媒体の欠陥の有無を検査することを特徴とする記録媒
   体の欠陥検査方法。
2. （２）特許請求の範囲第１項において、前記記録媒体は
   光ディスク基板であることを特徴とする記録媒体の欠陥
   検査方法。
3. （３）特許請求の範囲第１項または第２項において、前
   記画像情報を取り込むにあたって、前記記録媒体に円偏
   光を投射し、当該記録媒体からの透過光を直線偏光に変
   換して取り込むことを特徴とする記録媒体の欠陥検査方
   法。