JPH02213212A - ２端子対弾性表面波共振子 - Google Patents
２端子対弾性表面波共振子Info
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- JPH02213212A JPH02213212A JP3289389A JP3289389A JPH02213212A JP H02213212 A JPH02213212 A JP H02213212A JP 3289389 A JP3289389 A JP 3289389A JP 3289389 A JP3289389 A JP 3289389A JP H02213212 A JPH02213212 A JP H02213212A
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 10
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Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の属する技術分野）
本発明は弾性表面波共振子に関し、特にエネルギー閉じ
込め型弾性表面波共振子の２端子対弾性表面波共振子に
関するものである。
込め型弾性表面波共振子の２端子対弾性表面波共振子に
関するものである。
（従来技術とその問題点）
エネルギー閉じ込め型ｌ端子対（ｌｐｏｒｔ） ｌｌ性
表面波共振子は、通常第１図（ａ）に示すように、弾性
表面波を伝搬させる圧電基板１の表面に設けられ電気信
号を弾性表面波に変換する１つのすだれ状変換器２ （
Ｉｎｔｅｒｄｉｇｉｔａｌ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ、以
下ＩＤＴと略記する。）の両側に周期的構造のグレーテ
ィング（格子状）反射器３が配置された構成を有してい
る。４は入力端子であり接地端子Ｅとで１端子対を構成
する。本図及び以降の図でグレーティング反射器３の中
間電極の図示は省略した。
表面波共振子は、通常第１図（ａ）に示すように、弾性
表面波を伝搬させる圧電基板１の表面に設けられ電気信
号を弾性表面波に変換する１つのすだれ状変換器２ （
Ｉｎｔｅｒｄｉｇｉｔａｌ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ、以
下ＩＤＴと略記する。）の両側に周期的構造のグレーテ
ィング（格子状）反射器３が配置された構成を有してい
る。４は入力端子であり接地端子Ｅとで１端子対を構成
する。本図及び以降の図でグレーティング反射器３の中
間電極の図示は省略した。
このような構成において、ＩＤＴ２によって励振された
弾性表面波は、両側のグレーティング反射器３によって
多重反射されて定在波となり、そのエネルギーの大部分
が両側のグレーティング反射器３の間に閉じ込められる
。このとき弾性表面波の伝搬方向（縦方向、第１図（ａ
）で矢印で示す、）にキャビティが構成されるため、例
えば定在波の包絡線が第１図Φ）に示すような変位分布
をもつ０次縦モードの振動が励起される。ＩＤＴ２の電
極対数は任意に多数設けられるが、第１図（ａ）の場合
は代表させて２対で示してあり、第１図以降の図面にお
いても電極対数は特定したものではなく代表例で示す。
弾性表面波は、両側のグレーティング反射器３によって
多重反射されて定在波となり、そのエネルギーの大部分
が両側のグレーティング反射器３の間に閉じ込められる
。このとき弾性表面波の伝搬方向（縦方向、第１図（ａ
）で矢印で示す、）にキャビティが構成されるため、例
えば定在波の包絡線が第１図Φ）に示すような変位分布
をもつ０次縦モードの振動が励起される。ＩＤＴ２の電
極対数は任意に多数設けられるが、第１図（ａ）の場合
は代表させて２対で示してあり、第１図以降の図面にお
いても電極対数は特定したものではなく代表例で示す。
圧電基板１の材料は、通常タンタル酸リチウム（ＬｉＴ
ａＯｉ）、 ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯｉ） 、水
晶等の圧電単結晶基板が用いられ、ＩＤＴ２及びグレー
ティング反射器３の電極材料には、通常アルミニウム（
＾２）や金（Ａｕ）等が用いられる。
ａＯｉ）、 ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯｉ） 、水
晶等の圧電単結晶基板が用いられ、ＩＤＴ２及びグレー
ティング反射器３の電極材料には、通常アルミニウム（
＾２）や金（Ａｕ）等が用いられる。
次に、ＩＤＴを２つにした従来の２端子対弾性表面波共
振子は、第２図（ａ）に示すように、弾性表面波の伝搬
路上に２つのＩＤＴ （２Ａ）、（２Ｂ）が直列に配設
され、この２つのＩＤＴ（２Ａ）。
振子は、第２図（ａ）に示すように、弾性表面波の伝搬
路上に２つのＩＤＴ （２Ａ）、（２Ｂ）が直列に配設
され、この２つのＩＤＴ（２Ａ）。
（２Ｂ）の両側にグレーティング反射器３がそれぞれ配
設された構成である。入力端子４と接地端子Ｅおよび出
力端子５と接地端子Ｅ゛とで２端子対構成となる。なお
、第２図以降では圧電基板１の図示は省略する。
設された構成である。入力端子４と接地端子Ｅおよび出
力端子５と接地端子Ｅ゛とで２端子対構成となる。なお
、第２図以降では圧電基板１の図示は省略する。
共振子の容量比γ（共振周波数と反共振周波数の差の逆
数に比例する値）を小さくすれば、フィルタを構成した
場合通過帯域を広くできることが知られているが、第２
図のような構成の２端子対共振子に於いて、共振子の容
量比γを小さくするためにＩ ＤＴ （２Ａ）、（２Ｂ
）の電極対数を多くすると、共振器長が長くなるため弾
性表面波の伝搬方向に第２図（ｂ）の破線７に示すよう
な非調和１次縦モードが存在するようになりＩＤＴ（２
Ａ）（２Ｂ）と結合してスプリアスとなる欠点があった
。
数に比例する値）を小さくすれば、フィルタを構成した
場合通過帯域を広くできることが知られているが、第２
図のような構成の２端子対共振子に於いて、共振子の容
量比γを小さくするためにＩ ＤＴ （２Ａ）、（２Ｂ
）の電極対数を多くすると、共振器長が長くなるため弾
性表面波の伝搬方向に第２図（ｂ）の破線７に示すよう
な非調和１次縦モードが存在するようになりＩＤＴ（２
Ａ）（２Ｂ）と結合してスプリアスとなる欠点があった
。
第４図は、第２図の構成の２端子対弾性表面波共振子の
入力インピーダンスの実測例であり、ＩＤＴ （２Ａ）
、（２Ｂ）の電極対数はそれぞれ２５対、反射器３の格
子の本数は３００本、使用圧電単結晶基板はＸ−１１２
°Ｙ ＬｉＴａＯ３の例である。第４図ａは基本（０次
）縦モードであり、ｂは１次縦モードのスプリアスであ
る。
入力インピーダンスの実測例であり、ＩＤＴ （２Ａ）
、（２Ｂ）の電極対数はそれぞれ２５対、反射器３の格
子の本数は３００本、使用圧電単結晶基板はＸ−１１２
°Ｙ ＬｉＴａＯ３の例である。第４図ａは基本（０次
）縦モードであり、ｂは１次縦モードのスプリアスであ
る。
また、第２図の構成の２端子対共振子に於いて、Ｉ Ｄ
Ｔ （２Ａ）、 （２Ｂ）が弾性表面波の伝搬路上にあ
るため、ＩＤＴ（２Ａ）とＩＤＴ （２Ｂ）が結合する
。すなわち、ＩＤＴ（２Ａ）から励振された表面波がＩ
ＤＴ （２Ｂ）により受信されることになり通過共振子
特性に重畳される。このような共振子でフィルタを構成
した場合、ＩＤＴ（２Ａ）とＩＤＴ（２Ｂ）が表面波の
伝搬路上にあるために生ずるＩＤＴ同志の結合は帯域外
減衰量を劣化させる原因となる。
Ｔ （２Ａ）、 （２Ｂ）が弾性表面波の伝搬路上にあ
るため、ＩＤＴ（２Ａ）とＩＤＴ （２Ｂ）が結合する
。すなわち、ＩＤＴ（２Ａ）から励振された表面波がＩ
ＤＴ （２Ｂ）により受信されることになり通過共振子
特性に重畳される。このような共振子でフィルタを構成
した場合、ＩＤＴ（２Ａ）とＩＤＴ（２Ｂ）が表面波の
伝搬路上にあるために生ずるＩＤＴ同志の結合は帯域外
減衰量を劣化させる原因となる。
（発明の目的）
本発明の目的は、入出力ＩＤＴが直接結合することがな
（、またスプリアスの要因となる非調和１次縦モードと
結合しないような電極構成を有する単一モードの２端子
対弾性表面波共振子を提供することにある。
（、またスプリアスの要因となる非調和１次縦モードと
結合しないような電極構成を有する単一モードの２端子
対弾性表面波共振子を提供することにある。
（発明の構成及び作用）
本発明による２端子対弾性表面波共振子は、弾性表面波
を伝搬させる圧電基板上に設けられた２つの格子状反射
器の間に該２つの格子状反射器を共用して電気信号を弾
性表面波に変換する２つのすだれ状変換器が並列に配設
され前記２つのすだれ状変換器の一方が入力端子対とな
り他方が出力端子対となるように構成されたことを特徴
とするものであり、さらに、前記２つのすだれ状変換器
の接地側電極が共通になるように形成されたことを特徴
とするものである。
を伝搬させる圧電基板上に設けられた２つの格子状反射
器の間に該２つの格子状反射器を共用して電気信号を弾
性表面波に変換する２つのすだれ状変換器が並列に配設
され前記２つのすだれ状変換器の一方が入力端子対とな
り他方が出力端子対となるように構成されたことを特徴
とするものであり、さらに、前記２つのすだれ状変換器
の接地側電極が共通になるように形成されたことを特徴
とするものである。
以下本発明による２端子対弾性表面波共振子について、
図面により詳細に説明する。
図面により詳細に説明する。
第３図（ａ）は、本発明の？端子対弾性表面波共振子の
電極構成の一実施例を示す。第３図（ｂ）（Ｃ）はそれ
ぞれ変位分布を示す。図において、２つの格子状反射器
３の間に弾性表面波伝搬方向に対し並列に配設された２
つのＩＤＴ２Ｃ，２Ｄは、それぞれ独立した電極構成で
入力ＩＤＴ、出力ＩＤＴとしてもよいが、本実施例では
接地側電極を共通にしたＩＤＴ構成としている。９は入
力端子、１０は出力端子であり、それぞれ接地側端子Ｅ
、 Ｅ’ とで２端子対を構成する。圧電基板は図示
を省略した。
電極構成の一実施例を示す。第３図（ｂ）（Ｃ）はそれ
ぞれ変位分布を示す。図において、２つの格子状反射器
３の間に弾性表面波伝搬方向に対し並列に配設された２
つのＩＤＴ２Ｃ，２Ｄは、それぞれ独立した電極構成で
入力ＩＤＴ、出力ＩＤＴとしてもよいが、本実施例では
接地側電極を共通にしたＩＤＴ構成としている。９は入
力端子、１０は出力端子であり、それぞれ接地側端子Ｅ
、 Ｅ’ とで２端子対を構成する。圧電基板は図示
を省略した。
第３図（ａ）の電極構成において、ＩＤ７２Ｃにより励
振された弾性表面波は両側のグレーティング反射器３に
よって多重反射されて定在波となり、そのエネルギーの
大部分は両側の２つのグレーティング反射器３の間に閉
じ込められ、その定在波の包絡線は第３図（ｂ）に示す
ような変位分布６をもつ。しかし、弾性表面波の仏殿方
向にはＩＤＴが１つしか存在しないため、非調和１次縦
モード（第２図（ｂ）の７）の振動が存在しても結合す
ることはな〈従来方法にみられた１次縦モードのスプリ
アスは生じない。また、弾性表面波伝搬方向にＴＤＴが
１つしかないため、従来の方法でみられた入出力のＩＤ
Ｔの結合による特性劣化も生じないことは明白である。
振された弾性表面波は両側のグレーティング反射器３に
よって多重反射されて定在波となり、そのエネルギーの
大部分は両側の２つのグレーティング反射器３の間に閉
じ込められ、その定在波の包絡線は第３図（ｂ）に示す
ような変位分布６をもつ。しかし、弾性表面波の仏殿方
向にはＩＤＴが１つしか存在しないため、非調和１次縦
モード（第２図（ｂ）の７）の振動が存在しても結合す
ることはな〈従来方法にみられた１次縦モードのスプリ
アスは生じない。また、弾性表面波伝搬方向にＴＤＴが
１つしかないため、従来の方法でみられた入出力のＩＤ
Ｔの結合による特性劣化も生じないことは明白である。
グレーティング反射器３の領域では、弾性表面波伝搬速
度が自由表面上に比べて低下しているため、弾性表面波
導波路が形成され、弾性表面波伝搬方向と直角の方向（
横方向）で考えると縦モードとは独立に横モードが存在
するが、ここでは０次（基本）横モード（第３図（Ｃ）
の１１）のみを考えている。
度が自由表面上に比べて低下しているため、弾性表面波
導波路が形成され、弾性表面波伝搬方向と直角の方向（
横方向）で考えると縦モードとは独立に横モードが存在
するが、ここでは０次（基本）横モード（第３図（Ｃ）
の１１）のみを考えている。
第５図は、本発明による第３図の構成の２端子対弾性表
面波共振子の人力インピーダンスの実測例であり、ＩＤ
Ｔ（２Ｃ）、（２Ｄ）の重陽対数はそれぞれ２５対、反
射器３の格子の本数は３００本、使用圧電単結晶基板は
Ｘ−１１２°Ｙ ＬｉＴａＯ３の例である。図から明ら
かなように、第２図に見られた１次縦モードスプリアス
は見られない。すなわち、第３図の構成によりスプリア
スのない単一モード２＠子対弾性表面波共振子が構成で
きることがわかる。
面波共振子の人力インピーダンスの実測例であり、ＩＤ
Ｔ（２Ｃ）、（２Ｄ）の重陽対数はそれぞれ２５対、反
射器３の格子の本数は３００本、使用圧電単結晶基板は
Ｘ−１１２°Ｙ ＬｉＴａＯ３の例である。図から明ら
かなように、第２図に見られた１次縦モードスプリアス
は見られない。すなわち、第３図の構成によりスプリア
スのない単一モード２＠子対弾性表面波共振子が構成で
きることがわかる。
（発明の効果）
以上詳細に説明したように、本発明の構成による２端子
対弾性表面波共振子は２つのＩＤＴが弾性表面波伝搬方
向に並列に配設されているため、縦方向（弾性表面波伝
搬方向）に存在する非調和１次縦モードとは結合しない
。すなわち、１次縦モードスプリアが発生しない利点が
ある。
対弾性表面波共振子は２つのＩＤＴが弾性表面波伝搬方
向に並列に配設されているため、縦方向（弾性表面波伝
搬方向）に存在する非調和１次縦モードとは結合しない
。すなわち、１次縦モードスプリアが発生しない利点が
ある。
また、弾性表面波伝搬方向には１つのＩ ＤＴＬかない
。すなわち、入出力ＩＤＴが同一の弾性表面波伝搬路上
に直列に存在しないため、従来の構成に見られた入出力
ＩＤＴの結合によるスプリアス特性がみられない利点が
ある。
。すなわち、入出力ＩＤＴが同一の弾性表面波伝搬路上
に直列に存在しないため、従来の構成に見られた入出力
ＩＤＴの結合によるスプリアス特性がみられない利点が
ある。
ｖ！ＪＩ図
第１図は従来の１端子対弾性表面波共振子の電極構成側
図、第２図は従来の２端子対弾性表面波共振子の電極構
成側図、第３図は本発明の２端子対弾性表面波共振子の
電極構成側図、第４図は従来の２端子対弾性表面波共振
子の人力インピーダンス特性側図、第５図は本発明の２
端子対弾性表面波共振子の入力インピーダンス特性側図
である。 １・・・圧電基板、２ 、 ２ Ａ〜２ Ｄ −Ｉ Ｄ
Ｔ （Ｉｎｔｅｒ−ｄｉｇｉｔａｌ Ｔｒａｎｓｄｕ
ｃｅｒ、すだれ状変換器）・３・・・グレーティング（
格子状）反射器、４・・・入力端子、５・・・出力端子
、６・・・０次縦モード変位分布、 ７・・・１次縦モ
ード変位分布、９・・・入力端子、 １０・・・出力端
子、１１・・・０次横モード変位分布。 第２図 第３図 第４図 周波数
図、第２図は従来の２端子対弾性表面波共振子の電極構
成側図、第３図は本発明の２端子対弾性表面波共振子の
電極構成側図、第４図は従来の２端子対弾性表面波共振
子の人力インピーダンス特性側図、第５図は本発明の２
端子対弾性表面波共振子の入力インピーダンス特性側図
である。 １・・・圧電基板、２ 、 ２ Ａ〜２ Ｄ −Ｉ Ｄ
Ｔ （Ｉｎｔｅｒ−ｄｉｇｉｔａｌ Ｔｒａｎｓｄｕ
ｃｅｒ、すだれ状変換器）・３・・・グレーティング（
格子状）反射器、４・・・入力端子、５・・・出力端子
、６・・・０次縦モード変位分布、 ７・・・１次縦モ
ード変位分布、９・・・入力端子、 １０・・・出力端
子、１１・・・０次横モード変位分布。 第２図 第３図 第４図 周波数
第５図
周波数（ＭＨｚ）
Claims (2)
- （１）弾性表面波を伝搬させる圧電基板上に設けられた
２つの格子状反射器の間に該２つの格子状反射器を共用
して電気信号を弾性表面波に変換する２つのすだれ状変
換器が並列に配設され前記２つのすだれ状変換器の一方
が入力端子対となり他方が出力端子対となるように構成
された２端子対弾性表面波共振子。 - （２）前記２つのすだれ状変換器の接地側電極が共通に
なるように形成されたことを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の２端子対弾性表面波共振子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1032893A JP2632407B2 (ja) | 1989-02-14 | 1989-02-14 | 単一モード２端子対弾性表面波共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1032893A JP2632407B2 (ja) | 1989-02-14 | 1989-02-14 | 単一モード２端子対弾性表面波共振子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02213212A true JPH02213212A (ja) | 1990-08-24 |
| JP2632407B2 JP2632407B2 (ja) | 1997-07-23 |
Family
ID=12371568
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1032893A Expired - Lifetime JP2632407B2 (ja) | 1989-02-14 | 1989-02-14 | 単一モード２端子対弾性表面波共振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2632407B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6140890A (en) * | 1997-11-12 | 2000-10-31 | Nec Corporation | Saw filter with multiple reflector pairs |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51244A (ja) * | 1974-05-20 | 1976-01-05 | Texas Instruments Inc | |
| JPS57127319A (en) * | 1980-12-22 | 1982-08-07 | Yokogawa Hewlett Packard Ltd | Surface acoustic wave resonator |
| JPS61144910A (ja) * | 1984-12-19 | 1986-07-02 | Toyo Commun Equip Co Ltd | Ｉｄｔ励振エネルギ閉込め型圧電デバイスの電極構造 |
-
1989
- 1989-02-14 JP JP1032893A patent/JP2632407B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51244A (ja) * | 1974-05-20 | 1976-01-05 | Texas Instruments Inc | |
| JPS57127319A (en) * | 1980-12-22 | 1982-08-07 | Yokogawa Hewlett Packard Ltd | Surface acoustic wave resonator |
| JPS61144910A (ja) * | 1984-12-19 | 1986-07-02 | Toyo Commun Equip Co Ltd | Ｉｄｔ励振エネルギ閉込め型圧電デバイスの電極構造 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6140890A (en) * | 1997-11-12 | 2000-10-31 | Nec Corporation | Saw filter with multiple reflector pairs |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2632407B2 (ja) | 1997-07-23 |
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