JPH0221328U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0221328U JPH0221328U JP10023988U JP10023988U JPH0221328U JP H0221328 U JPH0221328 U JP H0221328U JP 10023988 U JP10023988 U JP 10023988U JP 10023988 U JP10023988 U JP 10023988U JP H0221328 U JPH0221328 U JP H0221328U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- side member
- slider
- guide shaft
- air slide
- static pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
第１図は本考案のエアースライドの全体斜視図
、第２図は第１図の―線断面図、第３図は第
２図の要部拡大図、第４図は本考案の他の実施例
を示す要部拡大図、第５図はさらに本考案の他の
実施例を示す要部拡大図、第６図は本考案のエア
ースライドにおけるスライダーの側部材の変位量
を示す特性図、第７図は従来例のエアーライドに
おけるスライダーの側部材の変位量を示す特性図
、第８図は従来例におけるエアースライドの全体
斜視図、第９図は第８図の―線断面、第１０
図は第９図の要部拡大断面図である。 １，１１，２１…スライダー、２，１２，２２
…ガイド軸、３，１３，２３…第１側部材、４，
１４，２４…第２側部材、Ａ，Ｂ，Ｃ…静圧間隙
。
、第２図は第１図の―線断面図、第３図は第
２図の要部拡大図、第４図は本考案の他の実施例
を示す要部拡大図、第５図はさらに本考案の他の
実施例を示す要部拡大図、第６図は本考案のエア
ースライドにおけるスライダーの側部材の変位量
を示す特性図、第７図は従来例のエアーライドに
おけるスライダーの側部材の変位量を示す特性図
、第８図は従来例におけるエアースライドの全体
斜視図、第９図は第８図の―線断面、第１０
図は第９図の要部拡大断面図である。 １，１１，２１…スライダー、２，１２，２２
…ガイド軸、３，１３，２３…第１側部材、４，
１４，２４…第２側部材、Ａ，Ｂ，Ｃ…静圧間隙
。
Claims (1)
- スラダーを断面多角形状のガイド軸上に静圧間
隙を介して浮上させ移動自在としたエアースライ
ドの構造において、前記スライダーはセラミツク
スを素材とし、かつ前記ガイド軸の一辺に対応す
る第１側部材と、残りの各辺に対応し一体的に形
成した第２側部材とからなり、これら第１側部材
及び第２側部材とを螺着一体化したことを特徴と
するエアースライド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10023988U JPH0221328U (ja) | 1988-07-28 | 1988-07-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10023988U JPH0221328U (ja) | 1988-07-28 | 1988-07-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0221328U true JPH0221328U (ja) | 1990-02-13 |
Family
ID=31328142
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10023988U Pending JPH0221328U (ja) | 1988-07-28 | 1988-07-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0221328U (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001057409A1 (en) * | 2000-02-01 | 2001-08-09 | Toto Ltd. | Hydrostatic gas bearing, hydrostatic gas bearing device for use in vacuum environment, and gas recovering method for the hydrostatic gas bearing device |
| JP2002188631A (ja) * | 2000-12-22 | 2002-07-05 | Toto Ltd | 真空環境下で使用する静圧気体軸受、および、その静圧気体軸受の気体回収方法 |
| KR100419378B1 (ko) * | 2000-11-29 | 2004-02-19 | 주식회사 에스에프에이 | 디바이더 장치 |
| WO2016158381A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2016-10-06 | 住友重機械工業株式会社 | 静圧気体軸受 |
-
1988
- 1988-07-28 JP JP10023988U patent/JPH0221328U/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001057409A1 (en) * | 2000-02-01 | 2001-08-09 | Toto Ltd. | Hydrostatic gas bearing, hydrostatic gas bearing device for use in vacuum environment, and gas recovering method for the hydrostatic gas bearing device |
| US7052182B2 (en) | 2000-02-01 | 2006-05-30 | Toto Ltd. | Hydrostatic gas bearing, hydrostatic gas bearing device for use in vacuum environment, and gas recovering method for the hydrostatic gas bearing device |
| US7189002B2 (en) | 2000-02-01 | 2007-03-13 | Toto Ltd. | Hydrostatic gas bearing, hydrostatic gas bearing device for use in vacuum environment, and gas recovering method for hydrostatic gas bearing device |
| KR100419378B1 (ko) * | 2000-11-29 | 2004-02-19 | 주식회사 에스에프에이 | 디바이더 장치 |
| JP2002188631A (ja) * | 2000-12-22 | 2002-07-05 | Toto Ltd | 真空環境下で使用する静圧気体軸受、および、その静圧気体軸受の気体回収方法 |
| WO2016158381A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2016-10-06 | 住友重機械工業株式会社 | 静圧気体軸受 |
| JP2016191434A (ja) * | 2015-03-31 | 2016-11-10 | 住友重機械工業株式会社 | 静圧気体軸受 |
| CN107429742A (zh) * | 2015-03-31 | 2017-12-01 | 住友重机械工业株式会社 | 静压气体轴承 |