JPH02213764A - 欠陥の検査装置 - Google Patents
欠陥の検査装置Info
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- JPH02213764A JPH02213764A JP3360889A JP3360889A JPH02213764A JP H02213764 A JPH02213764 A JP H02213764A JP 3360889 A JP3360889 A JP 3360889A JP 3360889 A JP3360889 A JP 3360889A JP H02213764 A JPH02213764 A JP H02213764A
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- coil
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、金属材料の腐食やき裂等を検査する装置に係
り、特に、可変的な励磁の磁界において追従可能な５Ｑ
Ｕ４Ｄセンサの測定装置に関する。
り、特に、可変的な励磁の磁界において追従可能な５Ｑ
Ｕ４Ｄセンサの測定装置に関する。
従来の装置では、特開昭６０−１２８３８号公報に記載
のように、超電導マグネットで−様な均一磁界を形成し
、生体磁気をＳＱＵＩＤで検出していた。
のように、超電導マグネットで−様な均一磁界を形成し
、生体磁気をＳＱＵＩＤで検出していた。
このときの超電導マグネットは、永久電流モードで使用
されていた。
されていた。
上記従来技術では、超電導マグネットを永久電流モード
で使用して均一な磁界を得ており、磁界を掃引しながら
、ＳＱＵＩＤを使用して検査する方法については考慮が
されておらず、可変励磁に伴うドリフトやノイズのため
、ＳＱＵＩＤが掃引磁界中で動作しないという問題があ
った。
で使用して均一な磁界を得ており、磁界を掃引しながら
、ＳＱＵＩＤを使用して検査する方法については考慮が
されておらず、可変励磁に伴うドリフトやノイズのため
、ＳＱＵＩＤが掃引磁界中で動作しないという問題があ
った。
本発明の目的は、掃引する磁界中で安定に動作し、かつ
、腐食やき裂等の検出に良好な５（ＩＵＩＤ測定システ
ムを提供することにある。
、腐食やき裂等の検出に良好な５（ＩＵＩＤ測定システ
ムを提供することにある。
上記目的は、磁界の掃引によるＳＱＵＩＤのドリフトや
ノイズをキャンセルするため、ＳＱＵＩＤのピックアッ
プコイルにＳＱＵＩＤの出力信号をフィードバックし、
自動的にバランスする機構を設けることにより達成され
る。
ノイズをキャンセルするため、ＳＱＵＩＤのピックアッ
プコイルにＳＱＵＩＤの出力信号をフィードバックし、
自動的にバランスする機構を設けることにより達成され
る。
測定体がない状態で超電導マグネットの電流をｃｙｃｌ
ｉｃに印加し、磁界を掃引したときに発生するＳＱＵＩ
Ｄのドリフトやノイズを検出し、この信号をフィードバ
ックし、ＳＱＵＩＤのピックアップコイル部に設けた磁
性体の位置制御やキャンセルコイルにより、ドリフト磁
界やノイズ磁界の相殺し、自動的にバランスをとる。こ
の状態を記憶し、測定体を検査する場合に、磁性体の位
置やキャンセルコイルを測定体がない状態の情報で制御
し、測定体のみの磁気特性の情報を得る。
ｉｃに印加し、磁界を掃引したときに発生するＳＱＵＩ
Ｄのドリフトやノイズを検出し、この信号をフィードバ
ックし、ＳＱＵＩＤのピックアップコイル部に設けた磁
性体の位置制御やキャンセルコイルにより、ドリフト磁
界やノイズ磁界の相殺し、自動的にバランスをとる。こ
の状態を記憶し、測定体を検査する場合に、磁性体の位
置やキャンセルコイルを測定体がない状態の情報で制御
し、測定体のみの磁気特性の情報を得る。
このようにして、磁界が掃引しながら、測定体の磁気情
報を得ることができるため、測定体の腐食やき裂等に伴
う磁気的な変化をＳＱＵＩＤで高感度に検出できる。
報を得ることができるため、測定体の腐食やき裂等に伴
う磁気的な変化をＳＱＵＩＤで高感度に検出できる。
次に１本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は、ＳＱＵＩＤセンサを用いた本発明の実施シス
テム構成の一例を示したものである。図において、１は
火力やＩｆｉ子力発電プラント及び化学プラント等に用
いられる機器あるいは配管等の測定体である。２０は前
記測定体を励磁するための励磁コイルで、２１は励磁コ
イルの磁化コントローラである。４０はＳＱＵＩＤセン
サを動作温度に維持するためのタライオスタットである
。
テム構成の一例を示したものである。図において、１は
火力やＩｆｉ子力発電プラント及び化学プラント等に用
いられる機器あるいは配管等の測定体である。２０は前
記測定体を励磁するための励磁コイルで、２１は励磁コ
イルの磁化コントローラである。４０はＳＱＵＩＤセン
サを動作温度に維持するためのタライオスタットである
。
４１は、冷媒である。５０は、ＳＱＵＩＤ素子である。
５１は、ＳＱＵＩＤのピックアップコイルである。５２
は、ＳＱＵＩＤセンサのへッドアンプで、５３は、ＳＱ
ＵＩＤセンサのコントローラである。６０は、ピックア
ップコイル５１のバランスを取るための磁性体である。
は、ＳＱＵＩＤセンサのへッドアンプで、５３は、ＳＱ
ＵＩＤセンサのコントローラである。６０は、ピックア
ップコイル５１のバランスを取るための磁性体である。
６１は、バランス用磁性体の位置制御をする駆動装置で
、６２は、駆動装置６１のコントローラである。７０は
、磁化コントローラ３，ＳＱＵＩＤセンサコントローラ
５３及び駆動装置コントローラ６２の信号処理や制御す
る演算装置である。７１は、演算装置７ｏの結果を表示
する出力装置で、７２は、演算装置７０のデータベース
である。さらに、８０は。
、６２は、駆動装置６１のコントローラである。７０は
、磁化コントローラ３，ＳＱＵＩＤセンサコントローラ
５３及び駆動装置コントローラ６２の信号処理や制御す
る演算装置である。７１は、演算装置７ｏの結果を表示
する出力装置で、７２は、演算装置７０のデータベース
である。さらに、８０は。
測定体１の表面状態を観察するため観察装置である。観
察装置８０としては光学カメラ等を使用できる。８１は
、観察装置８０のコントローラである。
察装置８０としては光学カメラ等を使用できる。８１は
、観察装置８０のコントローラである。
測定体１の上部に励磁コイル２０として超電導コイル、
ＳＱＵＩＤセンサ５０．ピックアップコイル５１及びバ
ランス用磁性体６０を収納したクライオスタット４０が
配置しである。クライオスタット４０の内部には、液体
Ｈｅ等の冷媒４１が充填され、ＳＱＵＩＤ素子５０や超
電導励磁コイル２０の動作温度に維持されている。励磁
コイル２０は、励磁コントローラ２１によって制御され
、Ｃｙｃｌｉｃな磁界を前記測定体ｌに印加する。
ＳＱＵＩＤセンサ５０．ピックアップコイル５１及びバ
ランス用磁性体６０を収納したクライオスタット４０が
配置しである。クライオスタット４０の内部には、液体
Ｈｅ等の冷媒４１が充填され、ＳＱＵＩＤ素子５０や超
電導励磁コイル２０の動作温度に維持されている。励磁
コイル２０は、励磁コントローラ２１によって制御され
、Ｃｙｃｌｉｃな磁界を前記測定体ｌに印加する。
超電導励磁コイル２０で励磁する際に、ピックアップコ
イル５１に生じる磁気のドリフトやノイズを除去するた
め、ピックアップコイル５１の近傍にバランス用磁性体
６０を配置し、磁性体６゜の位置制御することによって
ピックアップコイル５１に生じる磁気のドリフトやノイ
ズキャンセルする。
イル５１に生じる磁気のドリフトやノイズを除去するた
め、ピックアップコイル５１の近傍にバランス用磁性体
６０を配置し、磁性体６゜の位置制御することによって
ピックアップコイル５１に生じる磁気のドリフトやノイ
ズキャンセルする。
この詳細な例を第２図から第８図を用いて説明する。
第２図は、バランス用磁性体６ｏの一例である。
ピックアップコイル５１の上部にドーナツ状のバランス
用磁性体６０を配置し、磁性体６ｏにはこれを上下駆動
するためのシャフト８５０が取付けである。シャフト６
５０によりバランス用磁性体６０を上下に動かし、ＳＱ
ＵＩＤセンサの出力が零になるように調節できる。
用磁性体６０を配置し、磁性体６ｏにはこれを上下駆動
するためのシャフト８５０が取付けである。シャフト６
５０によりバランス用磁性体６０を上下に動かし、ＳＱ
ＵＩＤセンサの出力が零になるように調節できる。
バランス用磁性体６０の形状をドーナツ状にすることに
よりピックアップコイル５１の上部で広がる磁束を絞る
ことができるため１局部的に−様な磁界を形成できる。
よりピックアップコイル５１の上部で広がる磁束を絞る
ことができるため１局部的に−様な磁界を形成できる。
第６図は、バランス用磁性体６０の位置とＳＱＵＩＤセ
ンサの出力との関係を示したものである。バランス用磁
性体６０の位置を変えることにより５ＱｔＯＤセンサの
出力は、実線のように変化する。また、超電導励磁コイ
ル２０に電流工を印加した場合、特性曲線は破線のよう
になる。
ンサの出力との関係を示したものである。バランス用磁
性体６０の位置を変えることにより５ＱｔＯＤセンサの
出力は、実線のように変化する。また、超電導励磁コイ
ル２０に電流工を印加した場合、特性曲線は破線のよう
になる。
逆に、超電導励磁コイル２０に流す電流工の極性を変え
た場合、特性は一点鎖線のようになる。すなわち、超電
導励磁コイルの電流をｃｙｃｌｉｃに変化させてもバラ
ンス用磁性体６０の位置を制鮮することによってＳＱＵ
ＩＤセンサの出力を常に零の状態に保持できる。この状
態を第７図に示す、第７図は、ＳＱＵＩＤセンサの出力
を零に保持した時の超電導励磁コイル２０の磁界とバラ
ンス用磁性体６０の位置との関係を示したものである。
た場合、特性は一点鎖線のようになる。すなわち、超電
導励磁コイルの電流をｃｙｃｌｉｃに変化させてもバラ
ンス用磁性体６０の位置を制鮮することによってＳＱＵ
ＩＤセンサの出力を常に零の状態に保持できる。この状
態を第７図に示す、第７図は、ＳＱＵＩＤセンサの出力
を零に保持した時の超電導励磁コイル２０の磁界とバラ
ンス用磁性体６０の位置との関係を示したものである。
この状態をデータベース７２に記憶しておく。
第８図は１本発明のシステムで測定した結果の一例であ
る。実線で示した腐食やき裂のない場合の測定体のＳＱ
ＵＩＤ出力と磁界の強さの測定結果をデータベースに予
め求めておく。このデータは、測定体のＢ−Ｈカーブか
らも求めることができる。
る。実線で示した腐食やき裂のない場合の測定体のＳＱ
ＵＩＤ出力と磁界の強さの測定結果をデータベースに予
め求めておく。このデータは、測定体のＢ−Ｈカーブか
らも求めることができる。
次に、き裂や腐食がある測定体を測定したときの結果を
破線及び−点鎖線で示す。
破線及び−点鎖線で示す。
腐食の場合５例えば５測定体の腐食生成物の磁気特性の
増加や減肉により一点鎖線で示すような特性を示す、腐
食生成物の磁気特性は、測定体の材質で決まるため、測
定体の成分や使用環境のデータをデータベース７２に予
め入力しておく。
増加や減肉により一点鎖線で示すような特性を示す、腐
食生成物の磁気特性は、測定体の材質で決まるため、測
定体の成分や使用環境のデータをデータベース７２に予
め入力しておく。
き裂の場合、き裂近傍の塑性変形による透磁率の変化や
き裂による磁界の乱れ等が生じ、破線で示すような特性
が得られる。
き裂による磁界の乱れ等が生じ、破線で示すような特性
が得られる。
このように、第８図の実線で示した腐食やき裂のない場
合のＳＱＵＩＤ出カと磁界の強さのデータに対して測定
体のデータが、どのように変化しているかを検出する。
合のＳＱＵＩＤ出カと磁界の強さのデータに対して測定
体のデータが、どのように変化しているかを検出する。
本実施例によれば、バランス用磁性体により励磁コイル
によるｃｙｃｌｌｃな磁界に対しても高精度に磁気信号
を測定できる。
によるｃｙｃｌｌｃな磁界に対しても高精度に磁気信号
を測定できる。
第３図は、バランス用磁性体６０の他の実施例である。
バランス用磁性体６０の形状を円錐上にし、頂点をピッ
クアップコイル５１の上部に向けて配置したものである
。このように磁性体６０を配置することによりピックア
ップコイル５１の上部で広がる磁束を絞り込むことがで
きるため、局部的に一様な磁界を形成できる。
クアップコイル５１の上部に向けて配置したものである
。このように磁性体６０を配置することによりピックア
ップコイル５１の上部で広がる磁束を絞り込むことがで
きるため、局部的に一様な磁界を形成できる。
第４図は、バランス用磁性体６０の他の実施例である。
バランス用磁性体６０の形状を円錐上にし、底面をピッ
クアップコイル５１の上部に向けて配置したものである
。このように磁性体６０を配置することによりピックア
ップコイル５１の上部での磁束分布を均一にできるため
、局部的に一様な磁界を形成できる。
クアップコイル５１の上部に向けて配置したものである
。このように磁性体６０を配置することによりピックア
ップコイル５１の上部での磁束分布を均一にできるため
、局部的に一様な磁界を形成できる。
第５図は、バランス用磁性体６０が複数の場合の例であ
る。ピックアップコイル５１の上部にドーナツ状のバラ
ンス用磁性体６００とその中心に円筒状の磁性体６０１
を配置し、磁性体６００及び６０１にはこれらを上下駆
動するためのシャフト６５０及び６５１が取付けである
。磁性体６００及び６０１を上下移動して磁界の均一性
を得る。
る。ピックアップコイル５１の上部にドーナツ状のバラ
ンス用磁性体６００とその中心に円筒状の磁性体６０１
を配置し、磁性体６００及び６０１にはこれらを上下駆
動するためのシャフト６５０及び６５１が取付けである
。磁性体６００及び６０１を上下移動して磁界の均一性
を得る。
本実施例によれば、ＳＱＵＩＤセンサのピックアップコ
イル部の磁界を均一に調整できるため、測定体に印加す
る励磁コイルの磁界をｃｙｃｌｉｃに変化させた場合で
も、ＳＱＵＩＤセンサで安定して測定ができる。
イル部の磁界を均一に調整できるため、測定体に印加す
る励磁コイルの磁界をｃｙｃｌｉｃに変化させた場合で
も、ＳＱＵＩＤセンサで安定して測定ができる。
他の実施例を第１０図に示す、この実施例では、ＳＱＵ
ＩＤセンサのピックアップコイル５０の近傍にバランス
用コイルを配置し、前記バランス用コイルによってＳＱ
ＵＩＤセンサの出力の調整を行う。
ＩＤセンサのピックアップコイル５０の近傍にバランス
用コイルを配置し、前記バランス用コイルによってＳＱ
ＵＩＤセンサの出力の調整を行う。
第１０ＩＡでは、ＳＱＵＩＤセンサのピックアップコイ
ル５０の上下にバランス用コイル６２０゜６２１を配置
しである。
ル５０の上下にバランス用コイル６２０゜６２１を配置
しである。
バランス用コイル６２０，６２１に流す電流を調整する
ことによりピックアップコイル５１付近の磁界を一様に
できるため、ＳＱＵＩＤセンサの出力のバランスを取る
ことができる。
ことによりピックアップコイル５１付近の磁界を一様に
できるため、ＳＱＵＩＤセンサの出力のバランスを取る
ことができる。
また、超電導励磁コイル２０に電流工を印加した場合、
あるいは、超電導励磁コイル２０の電流をｃｙｃｌｉｃ
に変化させた場合でもバランス用うイル６２０．６２１
の電流を制御することによってＳＱＵＩＤセンサの出力
を常に零の状態に保持できる。この状態の励磁コイル２
０の電流とバランス用コイル６２０，６２１の電流をデ
ータベース７２に記憶しておく。
あるいは、超電導励磁コイル２０の電流をｃｙｃｌｉｃ
に変化させた場合でもバランス用うイル６２０．６２１
の電流を制御することによってＳＱＵＩＤセンサの出力
を常に零の状態に保持できる。この状態の励磁コイル２
０の電流とバランス用コイル６２０，６２１の電流をデ
ータベース７２に記憶しておく。
同様に、この実施例でも第８図に示すように、実線で示
した腐食やき裂のない場合の測定体のＳＱＵＩＤ出力と
磁界の強さの測定結果をデータベースに予め求めておき
、これに対して測定体のデータが、どのように変化して
いるかを検出する。
した腐食やき裂のない場合の測定体のＳＱＵＩＤ出力と
磁界の強さの測定結果をデータベースに予め求めておき
、これに対して測定体のデータが、どのように変化して
いるかを検出する。
本実施例によれば、バランス用コイルにより励磁コイル
によるｃｙｃｌｉｃな磁界に対しても電気的にバランス
が取れ、高精度に磁気信号が測定できる。
によるｃｙｃｌｉｃな磁界に対しても電気的にバランス
が取れ、高精度に磁気信号が測定できる。
他の実施例を第１１図に示す、この実施例では、ＳＱＵ
ＩＤセンサのピックアップコイルとＳＱＵＩＤ素子との
間に超電導トランスを配置し、さらに、前記超電導トラ
ンスに結合させてバランス用コイルを配置し、前記バラ
ンス用コイルによってＳＱＵＩＤセンサの出力の調整を
行う。
ＩＤセンサのピックアップコイルとＳＱＵＩＤ素子との
間に超電導トランスを配置し、さらに、前記超電導トラ
ンスに結合させてバランス用コイルを配置し、前記バラ
ンス用コイルによってＳＱＵＩＤセンサの出力の調整を
行う。
第１１図では、ＳＱＵＩＤセンサのピックアップコイル
５０の入力コイル６３１とＳＱＵＩＤ素子への出力コイ
ル６３２とバランス用コイル６３０が結合し、超電導ト
ランスを形成している。
５０の入力コイル６３１とＳＱＵＩＤ素子への出力コイ
ル６３２とバランス用コイル６３０が結合し、超電導ト
ランスを形成している。
バランス用コイル６３０に流す電流を調整することによ
りピックアップコイル５１付近の磁界の乱れによるノイ
ズをキャンセルできるため、ＳＱＵＩＤセンサの出力の
バランスを取ることができる。
りピックアップコイル５１付近の磁界の乱れによるノイ
ズをキャンセルできるため、ＳＱＵＩＤセンサの出力の
バランスを取ることができる。
また、超電導励磁コイル２０に電流工を印加した場合、
あるいは、超電導励磁コイル２０の電流をｃｙｃｌｉｃ
に変化させた場合でもバランス用コイル６３０の電流を
制御することによってＳＱＵＩＤセンサの出力を常に零
の状態に保持できる。この状態の励磁コイル２０の電流
とバランス用コイル６３０の電流をデータベース７２に
記憶しておく。
あるいは、超電導励磁コイル２０の電流をｃｙｃｌｉｃ
に変化させた場合でもバランス用コイル６３０の電流を
制御することによってＳＱＵＩＤセンサの出力を常に零
の状態に保持できる。この状態の励磁コイル２０の電流
とバランス用コイル６３０の電流をデータベース７２に
記憶しておく。
同様に、この実施例でも第８図に示すように、実線で示
した腐食やき裂のない場合の測定体のＳＱＵＩＤ出力と
磁界の強さの測定結果をデータベースに予め求めておき
、これに対して測定体のデータが、とのように変化して
いるかを検出する。
した腐食やき裂のない場合の測定体のＳＱＵＩＤ出力と
磁界の強さの測定結果をデータベースに予め求めておき
、これに対して測定体のデータが、とのように変化して
いるかを検出する。
本実施例によれば、ＳＱＵＩＤのピックアップコイルの
変更に対しても無関係にバランス用コイルにより電気的
にバランスが取れ、高精度に磁気信号が測定できる。
変更に対しても無関係にバランス用コイルにより電気的
にバランスが取れ、高精度に磁気信号が測定できる。
第１２図は、本発明のシステムを移動可能な駆動装置と
して移動ロボット等に取り付は場合の例である。
して移動ロボット等に取り付は場合の例である。
多関節ロボット３の先端に本発明の検査装置２を取り付
け、測定体１の表面を走査しながら、き裂、欠陥、形状
変化、腐食状態等を検出するものである。４は１本発明
の検査装置２のコントローラで、５は、多関節ロボット
３のコントローラである。
け、測定体１の表面を走査しながら、き裂、欠陥、形状
変化、腐食状態等を検出するものである。４は１本発明
の検査装置２のコントローラで、５は、多関節ロボット
３のコントローラである。
第９図は、本発明のフローチャート図である。
以下、フローチャート図に従い動作を説明する。
５ｔａｒｔ ：
ｓｔａρ１： ｖＡ定条件の入力及び初期化。
第１２図の多関節ロボット３の初期化
を行い、ロボットコントローラ５から測定範囲、開始位
置を入力し、検査装置２の励磁電流、８１！ｌ定感度等
の測定条件を入力する。
置を入力し、検査装置２の励磁電流、８１！ｌ定感度等
の測定条件を入力する。
５ｔｏｐ２： 検査位置へセンサを移動。
検査装！！２を測定位置に移動し、第１図に示す観察装
置８０で測定位置の表面状態をメモリ７２に記録する。
置８０で測定位置の表面状態をメモリ７２に記録する。
ａｔａｐ３： 励磁マグネットの磁界を掃引する。
超電導励磁コイル２０の電流をｃｙｃｌｉｃに変化させ
る。このとき、励磁過程に生ずるドリフトやノイズを除
去するため、メモリ７２より、バランス磁性体６０やバ
ランスコイル６２０，６３０等の位置制御や電流制御の
データを読み出し、校正する。
る。このとき、励磁過程に生ずるドリフトやノイズを除
去するため、メモリ７２より、バランス磁性体６０やバ
ランスコイル６２０，６３０等の位置制御や電流制御の
データを読み出し、校正する。
ＳＱＵＩＤセンサのｓｉｇｎａｌをメモリする。
測定位置での励磁コイル２０の磁場の
５ｔｅｐ４ ：
掃引にともなうＳＱＵＩＤセンサの
ｓｉｇｎａｌをメモリ７２に記憶する。
５ｔａｐ５： 次に測定位置に移動する。
多関節ロボット３により、検査装置２
を次の測定位置へ移動する。
ｇｔｅｐ６ ： 最終位置かどうかを判定する。
ｙｅｓ ； ５ｔｏｐ ７ ヘ
ｎｏ ： ５ｔｏｐ ２ ヘ
５ｔｏｐ７： ＳＱＵＩＤセンサのｓｉｇｎａｌをマ
ツピングする。
ツピングする。
測定したデータをメモリ７２から読み
出し、演算装置７０で画像化によるマツピングを行う、
これを出力袋［７１に表示する。
これを出力袋［７１に表示する。
５ｔｏｐ８ ： 画像分析、パターン化演算装置７０
で画像化したマツピング データをパターン化し、損傷を推定する。
で画像化したマツピング データをパターン化し、損傷を推定する。
５ｔｏｐ９ ： 異常値の判定から再測定か終了かを
判定する。
判定する。
ｙｅｓ ； ５ｔｏｐ ２ ヘ
ｎｏ ； ｅｎｄへ
ｅｎｄ ：
第９図のフローチャート図の５ｔｅｐ ７から５ｔｅｐ
９の詳細を第１３図から第１８図を用いて説明する。
９の詳細を第１３図から第１８図を用いて説明する。
５ｔｏｐ ７のマツピングの詳細内容を以下に述べる。
第１３図は、１１ｍ定したデータの例である。超電導励
磁コイル２０の励磁に伴うＳ Ｑ Ｕ Ｉ Ｄｓｉｇｎ
ａｌの変化であり、測定体試料が無い場合の信号を常に
零として、それに対するＳ Ｑ Ｕ Ｉ Ｄｓｉｇｎａ
ｌの変化分を示したものである。この−点におけるデー
タを任意の範囲で整理し、マツピングする。
磁コイル２０の励磁に伴うＳ Ｑ Ｕ Ｉ Ｄｓｉｇｎ
ａｌの変化であり、測定体試料が無い場合の信号を常に
零として、それに対するＳ Ｑ Ｕ Ｉ Ｄｓｉｇｎａ
ｌの変化分を示したものである。この−点におけるデー
タを任意の範囲で整理し、マツピングする。
第１５図及び第１６図は、任意の範囲のマツピングデー
タである。第１５図は、励磁の磁界が大きい場合であり
、第１６図は、励磁が無い場合の例である０表面の状態
は、観測袋［８０のデータから得る。この観測装置８０
のデータと本検査装置ｉ！２の磁気的なデータを総合し
てマツピングによる画像化を行う。
タである。第１５図は、励磁の磁界が大きい場合であり
、第１６図は、励磁が無い場合の例である０表面の状態
は、観測袋［８０のデータから得る。この観測装置８０
のデータと本検査装置ｉ！２の磁気的なデータを総合し
てマツピングによる画像化を行う。
１ｉｔｅｐ ８のマツピングの詳細内容を以下に述べる
。
。
第１４図は、第１３図の測定したデータについて更に欠
陥の無い場合の信号で基準化したもので、Ｓ Ｑ Ｕ
Ｉ Ｄｓｉｇｎａｌの変化より、複数のパターン化に分
類したものである。このパターン化を第１５図及び第１
６図に適用して、各信号変化部を各パターンと比較し、
損傷を推定する。
陥の無い場合の信号で基準化したもので、Ｓ Ｑ Ｕ
Ｉ Ｄｓｉｇｎａｌの変化より、複数のパターン化に分
類したものである。このパターン化を第１５図及び第１
６図に適用して、各信号変化部を各パターンと比較し、
損傷を推定する。
第１７図は、出力装置７１の表示画面の例である。
画面に測定体１の全体図を示し、検査装置２で測定した
結果を色別で表示する。画面内に色別レベルを表示し、
特定のレベル範囲を任意に選定できるようにレベル選定
指示マーク９０１，９０２を表示し、レベル選定指示マ
ーク９０１，９０２で信号レベルを選ぶ。
結果を色別で表示する。画面内に色別レベルを表示し、
特定のレベル範囲を任意に選定できるようにレベル選定
指示マーク９０１，９０２を表示し、レベル選定指示マ
ーク９０１，９０２で信号レベルを選ぶ。
さらに、局部部位９１１のみの結果をみる場合、局部領
域指示マークと範囲を示す線９１０で領域を選択し、次
画面に任意の拡大で表示する。この例を第１８図に示す
０局部領域９１１における異常欠陥の状態９２０を示し
ている。
域指示マークと範囲を示す線９１０で領域を選択し、次
画面に任意の拡大で表示する。この例を第１８図に示す
０局部領域９１１における異常欠陥の状態９２０を示し
ている。
本実施例によれば、測定結果を画像表示し、画像分析に
よる信号のパターン化により測定体の損傷の判定が容易
で高精度に測定できる。
よる信号のパターン化により測定体の損傷の判定が容易
で高精度に測定できる。
（発明の効果〕
本発明によれば、バランス用磁性体やコイル等の機構に
より掃引する磁界中でも、ＳＱＵＩＤセンサが安定して
動作でき、画像のパターン化分析により腐食やき裂等の
検出が高精度にできる。
より掃引する磁界中でも、ＳＱＵＩＤセンサが安定して
動作でき、画像のパターン化分析により腐食やき裂等の
検出が高精度にできる。
第１図は１本発明の実施例のシステム構成図、第２図乃
至第５図は、夫々本発明のバランス用磁性体の実施例を
示す作用説明用模式図、第６図は、バランス用磁性体の
位置と５ＱｔＪＩＤセンサのシグナルとの関係を示した
特性図、第７図は、ＳＱＵＩＤセンサのｓｌｇｕｎａｌ
を常に零とした時の超電導励磁コイルの磁界の強さとバ
ランス用磁性体の位置との関係を示した特性図、第８図
は、各損傷形態での磁界の強さに伴うＳＱＵＩＤセンサ
のｓｉｇｕｎａｌの変化を示した特性図、第９図は、本
発明の実施例システムの動作フローチャート図。 第１０図は、ＳＱＵＩＤセンサのピックアップコイル部
にバランス用コイルを配置して実施例の装置構成図、第
１１図は、ＳＱＵＩＤセンサのピックアップコイルと素
子部の間に超電導トランスを設け、この超電導トランス
にバランス用コイルを結合させた実施例の装置構成図、
第１２図は、本発明の検査装置を多関節ロボットに取付
けた場合の実施例を示す装置構成図、第１３図及び第１
４図は、夫々超電導励磁コイルの磁界の強さに伴うＳＱ
ＵＩＤセンサのｓｉｇｕｎａｌの変化を示した特性図、
第１５図及び第１６図は、測定した結果を画像化した模
式図、第１７図及び第１８図は、出力装置の画面状態を
示した模式図である。 １・・・測定体、２・・・本発明の検査装置、３・・・
多関節ロボット、４・・・検査装置のコントローラ、５
・・・多関節ロボットのコントローラ、２０・・・励磁
コイル、２１・・・磁化コントローラ、４０・・・タラ
イオスタット、４１・・・冷媒、５０・・・ＳＱＵＩＤ
素子、５１・・・ＳＱＵＩＤのピックアップコイル、５
２・・・ＳＱＵＩＤセンサのヘッドアンプ、５３・・・
ＳＱＵＩＤセンサのコントローラ、６０・・・バランス
用磁性体、６１・・・バランス用磁性体の駆動装置、６
２・・・駆動装置のコントローラ、７０・・・演算装置
、７１・・・出力装置、７２・・・データベース、８０
・・・観察装置、８１・・・＊６装置のコントローラ、
６００・・・ドーナツ状のバランス用磁性体、６０１・
・・円筒状の磁性体、６２０．６２１，６３０・・・バ
ランス用コイル、６３１・・・ピックアップコイルの入
力コイル、６３２・・・ＳＱＵＩＤ素子への出力コイル
、６５０，６５１・・・シャフト、９０１，９０２・・
・レベル選定指示マーク、９１０・・・局部領域指示マ
ークと範囲を示す線、９１１・・・局部領域、９２０・
・・異常や欠陥の状態。 鳩 ｌ 第 凹 鴇 Σ Ｂｏ−・・ｖ、ｖ景Ｉ 猶 第 凹 璃 図 ６ρ０冒ぐラシヌｆ狛１軸Ａネ φ、ｉ＆孝 ■ 居力力拓区コイノＬ６Ｑ！ｉ！：浅 第 ワ 口 ＃電導コイルめ屓賑、臀切ヲ菅さ 第 ？ 図 ζに 坦１電〉本コイル６比摩ａ５色さ 第 凹 ６２ｏ、６２／・・・バランス用コづル端 記 鳩 凹 ｇ３θ 八′ランス用コイル 第 Σ 乎 ／り 国 マ、７ぴシフ′ 鳩 ／６ 圀 ａ欣亥杷 第 因 痴Ａトの５狼さ 第 記 ７Ａ！トのうｊ仝さ 第 ／７ 区 ！ フ゛ラシトヤ叶・暑シ 第 １ｇ Σ ９２１常や／７？触の状態
至第５図は、夫々本発明のバランス用磁性体の実施例を
示す作用説明用模式図、第６図は、バランス用磁性体の
位置と５ＱｔＪＩＤセンサのシグナルとの関係を示した
特性図、第７図は、ＳＱＵＩＤセンサのｓｌｇｕｎａｌ
を常に零とした時の超電導励磁コイルの磁界の強さとバ
ランス用磁性体の位置との関係を示した特性図、第８図
は、各損傷形態での磁界の強さに伴うＳＱＵＩＤセンサ
のｓｉｇｕｎａｌの変化を示した特性図、第９図は、本
発明の実施例システムの動作フローチャート図。 第１０図は、ＳＱＵＩＤセンサのピックアップコイル部
にバランス用コイルを配置して実施例の装置構成図、第
１１図は、ＳＱＵＩＤセンサのピックアップコイルと素
子部の間に超電導トランスを設け、この超電導トランス
にバランス用コイルを結合させた実施例の装置構成図、
第１２図は、本発明の検査装置を多関節ロボットに取付
けた場合の実施例を示す装置構成図、第１３図及び第１
４図は、夫々超電導励磁コイルの磁界の強さに伴うＳＱ
ＵＩＤセンサのｓｉｇｕｎａｌの変化を示した特性図、
第１５図及び第１６図は、測定した結果を画像化した模
式図、第１７図及び第１８図は、出力装置の画面状態を
示した模式図である。 １・・・測定体、２・・・本発明の検査装置、３・・・
多関節ロボット、４・・・検査装置のコントローラ、５
・・・多関節ロボットのコントローラ、２０・・・励磁
コイル、２１・・・磁化コントローラ、４０・・・タラ
イオスタット、４１・・・冷媒、５０・・・ＳＱＵＩＤ
素子、５１・・・ＳＱＵＩＤのピックアップコイル、５
２・・・ＳＱＵＩＤセンサのヘッドアンプ、５３・・・
ＳＱＵＩＤセンサのコントローラ、６０・・・バランス
用磁性体、６１・・・バランス用磁性体の駆動装置、６
２・・・駆動装置のコントローラ、７０・・・演算装置
、７１・・・出力装置、７２・・・データベース、８０
・・・観察装置、８１・・・＊６装置のコントローラ、
６００・・・ドーナツ状のバランス用磁性体、６０１・
・・円筒状の磁性体、６２０．６２１，６３０・・・バ
ランス用コイル、６３１・・・ピックアップコイルの入
力コイル、６３２・・・ＳＱＵＩＤ素子への出力コイル
、６５０，６５１・・・シャフト、９０１，９０２・・
・レベル選定指示マーク、９１０・・・局部領域指示マ
ークと範囲を示す線、９１１・・・局部領域、９２０・
・・異常や欠陥の状態。 鳩 ｌ 第 凹 鴇 Σ Ｂｏ−・・ｖ、ｖ景Ｉ 猶 第 凹 璃 図 ６ρ０冒ぐラシヌｆ狛１軸Ａネ φ、ｉ＆孝 ■ 居力力拓区コイノＬ６Ｑ！ｉ！：浅 第 ワ 口 ＃電導コイルめ屓賑、臀切ヲ菅さ 第 ？ 図 ζに 坦１電〉本コイル６比摩ａ５色さ 第 凹 ６２ｏ、６２／・・・バランス用コづル端 記 鳩 凹 ｇ３θ 八′ランス用コイル 第 Σ 乎 ／り 国 マ、７ぴシフ′ 鳩 ／６ 圀 ａ欣亥杷 第 因 痴Ａトの５狼さ 第 記 ７Ａ！トのうｊ仝さ 第 ／７ 区 ！ フ゛ラシトヤ叶・暑シ 第 １ｇ Σ ９２１常や／７？触の状態
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、測定体に生じた磁気の変化からき裂や腐食等の程度
を検出する検査装置において、測定体に磁場を印加する
励磁装置と、それによつて前記測定体の飽和磁気、残留
磁気、保持力、バルクハウゼンノイズ等の磁気特性を検
出する磁気測定装置と、予め求めておいたき裂や腐食の
無い場合の磁気特性のデータベースと、測定したデータ
とデータベースの比較演算から前記測定体のき裂や腐食
の程度を判定する演算装置とを備えた欠陥の検査装置。 ２、特許請求の範囲第１項において、前記測定体に磁場
を印加する励磁装置として超電導励磁コイルを用い、可
変励磁の機能を持たせた超電導励磁コイルを特徴とする
欠陥の検査装置。 ３、特許請求の範囲第１項において、前記測定体の磁気
特性を検出する磁気測定装置に、励磁コイルの可変励磁
に対応して自動的に平衡を取る機能を持たせたことを特
徴とする欠陥の検査装置。 ４、特許請求の範囲第３項において、前記測定体の磁気
特性を検出する磁気測定装置に、ＳＱＵＩＤセンサを用
い、磁気検出のピックアップコイル近傍に磁性体を配置
し、前記磁性体に位置制御機構を設けたことを特徴とす
る欠陥の検査装置。 ５、特許請求の範囲第４項において、前記磁性体を複数
配置し、それぞれに位置制御機構を設けたことを特徴と
する欠陥の検査装置。 ６、特許請求の範囲第３項において、前記測定体の磁気
特性を検出する磁気測定装置に、ＳＱＵＩＤセンサを用
い、磁気検出のピックアップコイル近傍にバランス用コ
イルを配置し、前記バランス用コイルによつてＳＱＵＩ
Ｄセンサの出力バランス機構を設けたことを特徴とする
欠陥の検査装置。 ７、特許請求の範囲第３項において、前記測定体の磁気
特性を検出する磁気測定装置に、ＳＱＵＩＤセンサを用
い、磁気検出のピックアップコイルとＳＱＵＩＤ素子と
の間に超電導トランスを配置し、さらに、前記超電導ト
ランスに結合させてバランス用コイルを配置し、前記バ
ランス用コイルによつてＳＱＵＩＤセンサの出力バラン
ス機構を設けたことを特徴とする欠陥の検査装置。 ８、特許請求の範囲第１項において、前記検査装置を移
動ロボット等の移動可能な駆動装置に取り付け、実機の
検査を可能にした欠陥の検査装置。 ９、特許請求の範囲第１項において、前記演算装置の結
果を表示する出力装置に、き裂や腐食の検出結果を等高
線図あるいは鳥観図状の等高線図に表す機能を持たした
ことを特徴とした欠陥の検査装置。 １０、特許請求の範囲第１項において、前記演算装置の
結果を表示する出力装置に、測定機器の全体画像を表示
し、測定範囲及び測定の結果を色別で表示し、指示マー
クにより局部領域を選択でき、この局部領域を拡大図と
して別途画像に表示でき、き裂や腐食の検出結果を透視
画像あるいは鳥観図状の等高線図に表す機能を持たした
ことを特徴とした欠陥の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3360889A JPH0713627B2 (ja) | 1989-02-15 | 1989-02-15 | 欠陥の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3360889A JPH0713627B2 (ja) | 1989-02-15 | 1989-02-15 | 欠陥の検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02213764A true JPH02213764A (ja) | 1990-08-24 |
| JPH0713627B2 JPH0713627B2 (ja) | 1995-02-15 |
Family
ID=12391177
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3360889A Expired - Lifetime JPH0713627B2 (ja) | 1989-02-15 | 1989-02-15 | 欠陥の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0713627B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0727743A (ja) * | 1993-07-12 | 1995-01-31 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 非破壊検査装置 |
| RU167925U1 (ru) * | 2016-02-10 | 2017-01-12 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физический институт им. П.Н. Лебедева Российской академии наук (ФГБУН ФИАН) | Криостат |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3964274B2 (ja) * | 2002-07-10 | 2007-08-22 | 関西電力株式会社 | 超電導量子干渉素子による非破壊検査方法および非破壊検査装置 |
-
1989
- 1989-02-15 JP JP3360889A patent/JPH0713627B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0727743A (ja) * | 1993-07-12 | 1995-01-31 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 非破壊検査装置 |
| RU167925U1 (ru) * | 2016-02-10 | 2017-01-12 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физический институт им. П.Н. Лебедева Российской академии наук (ФГБУН ФИАН) | Криостат |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0713627B2 (ja) | 1995-02-15 |
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