JPH02214020A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

磁気記録媒体の製造方法

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JPH02214020A
JPH02214020A JP3293189A JP3293189A JPH02214020A JP H02214020 A JPH02214020 A JP H02214020A JP 3293189 A JP3293189 A JP 3293189A JP 3293189 A JP3293189 A JP 3293189A JP H02214020 A JPH02214020 A JP H02214020A
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Teruhisa Yokozawa
横澤 照久
Mutsuhiro Nakamura
中村 睦弘
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Fuji Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、潤滑特性の優れた磁気記録媒体の製造方法
に関する。
〔従来の技術〕
近年、高記録密度の磁気記録媒体(以下、単に媒体とも
称する)として、強磁性合金薄膜を磁性層とする媒体が
注目されている。このような媒体においては、媒体表面
の潤滑特性を良′好にして磁性層の磨耗を防ぎ、また、
磁性層を外部雰囲気から保護してその変質を防ぐために
、磁性層表面にカーボン保護層が設けられているのが一
般的である。すなわち、磁性層上にスパッタ法でカーボ
ンを数百人の厚さに成膜し、そのカーボン層表面をバニ
シ(Burnish)  L/て微小突起を除去して潤
滑性能の良いカーボン保護層を形成することが行われて
いる。
このようなカーボン保護層の潤滑性能は、下地層である
磁性層の表面形状1例えば表面粗さにより大きく左右さ
れることが知られており、磁性層表面が所望の表面形状
となるように媒体製造工種々の工夫がなされている。例
えば、媒体の基体表面にテクスチャ加工を施し、その上
に磁性層を形成して必要な表面形状とする製造方法など
が知られている。
〔発明が解決しようとする課題〕
ところが、磁性層の表面形状を所望の一定の形状とした
場合でも、その上に形成されたカーボン保護層の潤滑性
能が大きくばらつくことがあり、媒体の潤滑特性にばら
つきが発生するという問題があった。
この発明は、上述の問題点を解消して、潤滑性能のばら
つきの少ないカーボン保護層を形成することができ、ば
らつきの少ない優れた潤滑特性を有する媒体を製造する
ことが可能な媒体の製造方法を提供することを目的とす
る。
〔課題を解決するための手段〕
上記の目的は、磁性層上にカーボン保護層を備えた磁気
記録媒体の製造方法において、カーボン保護層形成後、
その表面の純水の接触角が60°以上になるよう所定時
間放置したのちに、このカーボン保護層表面にバニシ加
工を施す製造方法とすることによって達成される。
第1図は、媒体のカーボン保護層上に純水を滴下した状
態を示す部分断面図で、磁性層1上に形成されたカーボ
ン保護層2の表面に滴下された純水3は偏平な水玉状と
なり、接触角θでカーボン保護層表面と接する。
カーボン保護層20表面への純水3の接触角θは、カー
ボン保護層形成後の媒体を常温常湿の雰囲気中に12時
間以上放置することにより60°以上となる。この接触
角θが60°以上となる放置時間は、カーボン保護層表
面に風をあてることによって短縮することができ、風速
0.5m /秒置上の風を2時間以上あてると接触角θ
を60°以上とすることができる。また、高湿雰囲気と
することによっても短縮することができ、相対湿度70
%以上の雰囲気中に2時間以上放置すると接触角θを6
0°以上とすることができる。
〔作用〕
カーボン層の潤滑性能についてはまだ解明されていない
部分が多いが、真空中では極端に悪いが大気中に長時間
放置しておくと非常に良(なることが知られており、こ
れには、カーボン層の最表面にハイドロカーボンからな
る硬化層が形成されることが大きく関与していることは
経験的事実として認められている。すなわち、大気中に
放置することによりカーボン層の最表面にハイドロカー
ボンからなる硬化層が徐々に形成されていき、充分な時
間放置すると膜厚数十人の良好な被覆層となり、優れた
潤滑特性を示すようになると考えられている。
媒体の製造においては、カーボン保護層はその表面の微
小突起を除去し磁気ヘッドの走行がスムーズに行われる
ように最終的に表面にバニシ加工が施される。本発明者
等は、カーボン保護層形成後バニシ加工までの放置時間
により、得られる媒体の潤滑特性が大きく変動すること
を見出した。
これは上述の経験的事実より、カーボン保護層表面のハ
イドロカーボンからなる硬化層の形成が不充分な状態で
バニシ加工が行われると表面のハイドロカーボン層が削
られてカーボン保護層表面を充分に被覆できなくなり潤
滑性能が良くないが、ハイドロカーボンからなる硬化層
が充分形成された状態でバニシ加工が行われると表面の
微小突起が削られて除去されたのちでもハイドロカーボ
ン層はカーボン保護層表面を充分に被覆しており良好な
潤滑性能が得られるためと考えられる。
本発明者等は、さらに、このハイドロカーボンの硬化層
の形成の程度がその表面の純水の接触角で推定できるこ
と、そして、この接触角が60°以上となる程度にハイ
ドロカーボンの硬化層が形成された状態でバニシ加工が
行われると、表面の微小突起は除去され、かつ、良好な
潤滑特性が得られることを見出した。接触角が60°以
上になると、ハイドロカーボンの硬化層は80%以上形
成されると推定される。
また、ハイドロカーボンの硬化層の形成が不充分な状態
でバニシ加工を行ってしまうと、その後大気中に放置さ
れてハイドロカーボン層ができても潤滑特性の良好な硬
化層とはならないことも判明℃た。
〔実施例〕
第2図は、磁性層表面にカーボン保護層をスパッタ法で
形成したのち、その表面にバニシ加工を施すまでの大気
中での放置時間と純水の接触角との関係を調べた結果を
示す線図である。放置時間と接触角の関係は放置条件に
より異なる。第2図において、実線は常温常湿中放置の
場合、−点鎖線は相対湿度70%の高湿中放置の場合、
点線は常温常湿中で風速0.5ffl/秒の風をあてた
場合の結果を示す。
第2図に見られるとおりカーボン保護層をスパッタ法で
形成した直後の表面の純水の接触角は30°であるが、
これを大気中に放置すると、放置時間につれてハイドロ
カーボンからなる硬化層が形成されていき、接触角が大
きくなってくる。ハイドロカーボンの硬化層の形成は放
置時間が充分長くなり、カーボン層表面を完全に被覆し
てその膜厚が数十人となると止まるがそのときの接触角
は約70°である。接触角60°でハイドロカーボンの
硬化層は約80%形成される。接触角が60°以上。
従ってハイドロカーボンの硬化層が80%以上形成され
たのちにバニシ加工を施すと、カーボン保護層表面の微
小突起は除去され、しかも表面はハイドロカーボンの硬
化層で充分被覆された状態となるので、潤滑特性の優れ
た媒体が得られることになる。接触角60°以上となる
放置時間は常温常湿中では12時間以上を要するが、相
対湿度70%の高湿中、または常温常湿中でも風速0.
5m7秒の風をあてた場合には2時間以上でよく、約1
76に短縮することができる。このように高温雰囲気は
ハイドロカーボンの硬化層の形成を促進するが、表面に
結露が生じると好ましくなく、結露しない状態で相対湿
度70%ないし90%が望ましい。また、風をあてるこ
とも有効であるが、風速は0.5m/秒ないし21i/
秒が好適である。 さらに放置時間はハイドロカーボン
の硬化層の形成のためには長い程好ましいが、製造工程
上は短い方が好ましい。常温常湿中放置の場合には12
時間ないし1週間、高湿中放置の場合および常温常湿中
で風をあてる場合には2時間ないし6時間の放置時間を
採るのが実用的である。
以下、具体的な実施例について説明する。
実施例1 ディスク状A1合金板表面に無電解めっきでNi −P
層を形成した基体表面に、スパッタ法でCr下地層、 
Co−Ni合金磁性層、カーボン保護層を順次成膜した
。このカーボン保護層まで形成した媒体を常温常湿の大
気中に48時間放置した後、その表面に最終的なバニシ
加工を施した。すなわち、媒体を50Orpmで回転さ
せながら、そのカーボン保護層表面にW A#8000
の研磨テープを流量30nj!/分のエアで押し付け、
このテープを媒体の回転方向と逆の方向に接触走行させ
ながら、媒体の半径方向に300mm/分の速度で5回
往復動させてバニシを行った。
このようにして作製された媒体の潤滑性能をスライディ
ングコンタクトテストで調査した。このテストは媒体を
垂直荷重(10gf程度)をかけられた磁気ヘッドが浮
上しない程度の低速で回転させ、磁気ヘッドを媒体表面
に摺動させながら、摺動摩擦係数の変動を測定する一種
の摩擦磨耗テストである。その結果は第3図に示すよう
に摺動60分後でも摺動摩擦係数は0.5以下であり、
良好な潤滑特性であることが判る。第3図において、摺
動摩擦係数の変動幅は2つの線で包括することによって
概略表しである。
この媒体の表面粗さは、中心線平均粗さRaで60人で
あり、また、表面の相対負荷曲線の相対負荷長さ10%
におけるカッティング深さから相対負荷長さ1%におけ
るカッティング深さを差し引いた値、ΔCV(10%−
1%)値は130人であり、表面の断面プロファイルは
第4図に示すとおり上方向の粗さが残っている。
比較例 実施例1と同様にしてカーボン保護層まで形成した媒体
を、常温常湿の大気中に2時間放置した後、この媒体表
面に実施例1と同様にバニシ加工を施した。このように
して作製された媒体の潤滑特性を実施例1と同様にして
調べた結果を第5図に示す。第5図に見られるとおり、
摺動時間約20分で摺動摩擦係数は1.0を超え、潤滑
特性が悪く、これに比べて実施例1の潤滑特性が大幅に
向上していることは明らかである。なお摺動摩擦係数の
変動幅は2つの線で包括することによって概略表しであ
る。
この比較例の媒体の表面粗さはRaで55人。
ΔCv(10%−1%)で9OAであり、表面の断面プ
ロファイルは第6図に示されるように第4図に比べて上
方向の粗さが小さく、削られていることが判る。
実施例2 実施例1と同様にしてカーボン保護層まで形成した媒体
を、常温常湿で風速0.5111/秒の環境下に4時間
放置した後、実施例1と同様にバニシ加工を施した。こ
の媒体の潤滑特性を調べた結果を第7図に示す。なお、
摺動摩擦係数の変動幅は2つの線で包括することによっ
て概略表しである。放置時間が4時間と短いにもかかわ
らず、摺動60分後の摺動摩擦係数は0,8と低い値を
示し、良好な潤滑特性を有していることが判る。
実施例3 実施例1と同様にしてカーボン保護層まで形成した媒体
を、温度33℃、相対湿度80%の高湿中に4時間放置
した後、実施例1と同様にバニシ加工を施した。この媒
体の潤滑特性を調べた結果を第8図に示す。なふ、摺動
摩擦係数の変動幅は2つの線で包括することによって概
略表しである。放置時間が4時間と短いにもかかわらず
、摺動60分後の摺動摩擦係数は0.7と低い値を示し
、良好な潤滑特性を有していることが判る。
〔発明の効果〕
この発明によれば、磁性層上にカーボン保護層を備えた
磁気記録媒体の製造方法にふいて、カーボン保護層形成
後その表面の純水の接触角が60゜以上になるよう所定
時間放置したのち、このカーボン保護層表面にバニシ加
工を施すこととする。
接触角が60°以上となると、カーボン保護層表面にハ
イドロカーボンからなる硬化層が80%以上形成されて
いると推定され、このような状態で表面にバニシ加工が
施されると、表面の微小突起は除去され、しかもハイド
ロカーボンの硬化層で充分に被覆されて潤滑性能が良好
でばらつきの少ないカーボン保護層が得られることにな
り、ばらつきの少ない優れた潤滑特性を有する媒体を製
造することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図はカーボン保護層上に純水を滴下した状態を示す
部分断面図、第2図はカーボン保護層形成後その表面に
バニシ加工を施すまでの放置時間と表面の純水の接触角
との関係を示す線図、第3図は常温常湿中放置48時間
後にカーボン保護層表面にバニシ加工を施して得た媒体
の摺動摩擦係数の変動を測定した結果を示す線図、第4
図は常温常湿中放置48時間後にカーボン保護層表面に
バニシ加工を施して得た媒体の表面の断面プロファイル
図、第5図は常温常湿中2時間放置後にカーボン保護層
表面にバニシ加工を施して得た媒体Φ摺動摩擦係数の変
動を測定した結果を示す線図、第6図は常温常湿中2時
間放置後にカーボン保護層表面にバニシ加工を施して得
た媒体の表面断面プロファイル図、第7図は常温常湿で
風速Q、5m/秒の環境下に4時間放置した後カーボン
保護層表面にバニシ加工を施して得た媒体の摺動摩擦係
数の変動を測定した結果を示す線図、第8図は温度33
℃、相対湿度80%の高湿中に4時間放置した後カーボ
ン保護層表面にバニシ加工を施して得た媒体の摺動摩擦
係数の変動を測定した結果を示す線図である。 第1図 放置時間(分) 第2図 ↓習動時間(分) 第 図 第 図 ↓習動摩擦係数 第 図 第 図 ↓習動摩擦係数

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1)磁性層上にカーボン保護層を備えた磁気記録媒体の
    製造方法において、カーボン保護層形成後その表面の純
    水の接触角が60°以上になるよう所定時間放置したの
    ちに、このカーボン保護層表面にバニシ加工を施すこと
    を特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
JP3293189A 1989-02-13 1989-02-13 磁気記録媒体の製造方法 Expired - Fee Related JPH087863B2 (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0615238A3 (en) * 1993-03-12 1995-01-25 Sony Corp Recording and playback device for tape-shaped recording medium.
CN1305034C (zh) * 2003-09-30 2007-03-14 日立环球储存科技荷兰有限公司 在制造磁性薄膜盘片期间过程定时的控制

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US7276262B2 (en) 2003-09-30 2007-10-02 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Control of process timing during manufacturing of magnetic thin film disks

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