JPH02215610A - 微小チップ供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この究明は微小チップを同一姿勢に整えて自動供給する
微小チップ供給装置に関するものである。

従来の技術 従来微小チップの供給作業は作業者により顕微鏡を用い
、表裏、姿勢のずれ角度を確認し整列させて行っていた
。

発明が解決しようとする課題 しかしながら上記の方法では作業者の負担が大であり生
産性の向上に限度があるという問題を有していた。

そこで本発明は、微小チップの同一姿勢での自動供給を
可能にすることにより生産性の向上と作業者の負担を低
減することができる微小チップ供給装置を提供するもの
である。

課題を解決するための手段 上記問題を解決するため、本発明の微小チップ供給装置
は微小チップ各１コを任意の姿勢で収納する複数個の凹
部を有する凹状トレイと、前記凹状トレイの凹部が視野
に入る様前記凹状トレイ上部に配置され、認識コントロ
ーラを有するＣＣＤカメラと、前記凹状トレイの各凹部
と前記ＣＣＤカメラの視野を一致する様前記凹状トレイ
を移動可能にした移動テープμを有する供給本体部と、
前記供給本体部と前記微小チップの最終供給位置を結ぶ
直線上に配置され、前記微小チップを保持しかつ前記最
終供給位置に前記微小チップを表裏反転供給することが
可能な反転装置と、前記微小チップを把持し回転可能な
移載ヘッド部を有しかつ前記ＣＣＤカメラ下方位置、前
記微小チップの最終供給位置及び前記反転装置への供給
位置の各位置に停止位置を有する移載部とからなるもの
である。

作　　　用 本発明は上記した構成により、凹状トレイの凹部にラン
ダムに置かれた微小チップをＣＣＤカメラによりその位
置、表裏ずれの回転角度を検出し、微小チップが表向き
ならば回転可能な移載ヘッド部にて回転補正のみ行った
後最終供給位置へ移載、裏向きならば、回転補正した後
反転装置へ移載し。

そこで表裏反転し最終供給位置へ供給するので微小チッ
プの同一姿勢での自動供給が可能となり、生産性向上が
得られるようになる。

実施例 以下本発明の一実施例について、図面を参照しながら説
明する。

第一図は１本発明の一実施例の微小チップ供給装置の全
体斜視図である。

図において、１は第２図に示す様な凹６角形状抜穴１ａ
を有する微小チップで、２は微小チップ１を収納するた
めの凹状トレイで、第３図及び第４図に示す様な整列し
た複数個の凹部２ａを有する。微小チップ１は、第４図
に示す様に凹状トレイ２の凹部２ａの中に各１９の姿勢
９表裏がランダムに収納されている。３は凹状トレイ２
の１個の凹部２ａが視野に入る高さで凹状トレイ２の中
心と一致する位置に固定されているＣＣＤカメラ、４は
ＣＣＤカメラ３の情報を演算する認識コントローラ、６
は凹状トレイ２の外寸と同一の移動量を有し、移動量の
中央と凹状トレイ２の中心が一致する様凹状トレイ２の
下部に配置されかつ凹状ト、レイ２を固定可能なＸＹテ
ープμ、６は凹状トレイ２に収納されている微小チップ
１を最終的に供給すべき位置に設けられたチップ１保持
用の治具、７は複数個の穴（図示せず）を有し真空吸着
により微小チップ１を把持し、かつ１８０°天地反転さ
せる機能を有する反転装置、８は真空吸着により微小チ
ップ１を把持し、かつ微小チップ１を３６０’回転可能
な吸着ヘッド１ｏと吸着ヘッド１０を第１図中のＸ方向
及びＹ方向に往復移動せしめかつＸ方向に対し３ケ所に
て停止可能な移載部１１とからなる移載装置である。

そして、反転装置７は、凹状トレイ２の中心と治具６を
結ぶ線上でかつ反転装置７に把持された微小チップ１が
反転装置７により天地反転された時治具６上最終供給位
置に一致する様装置されている。また移載装置８はＣＣ
Ｄカメラ３と凹状トレイ２の間に入る様構成され、吸着
ヘッド１ｏの停止位置は１つは凹状トレイ２の中心、い
ま１っは治具６上の最終供給位置の中心、残りは反転装
置７の微小チップ１を把持する中心と一致させである。

したがって移載装置８は凹状トレイ２から反転装置７又
は治具６へ微小チップ１を移載可能である。

一方、微小チップ１は凹状トレイ２の凹部２ａに各１コ
づつ姿勢がランダムに置かれている。凹状トレイ２の凹
部２ａが順次ＣＣＤカメラ・３の視野に入る様ＸＹテー
プｌｖ６を動作させ、ＣＣＤカメラ３及び認識コントロ
ーラ４により凹状トレイ２内の微小チップ１の重心位置
１表裏２回転角度を検出する。本実施例では、微小チッ
プ１の形状特性から把持時の安定性を向上させるため、
凹６角形状抜穴１ａの重心位置の検出を行った。その際
、移載装置８の吸着ヘッド１０は反転袋＠７又は治具６
上に位置している。

検出後、移載装置８は凹状トレイ２の上部へ移動し、一
方ｘＹテープ／Ｌ／６は認識コントローラ４のデータに
従い微小チップ１の重心位置が移載装置８の吸着ヘッド
１０の中心と一致する様凹状トレイ２を移動さぜる。そ
して移載装置８は下降し吸着により微小チップ１を把持
し、認識コントローラ４のデータに従い微小チップ１を
一定方向にすべく回転を行いかつ表裏を区別するデー・
夕に↓り表ならは治具６上へ、裏ならば反転装置７Ｊ−
へ移動し供給を行う。微小チップ１が反転装欣了りへ供
給された場合は、反転装置７が治具６へ微小チップ１を
表の状態に反転して供給する。その結果治具６へは微小
チップ１が同一姿勢でしかもすべて表の状態で供給され
ることとなる。

第５図ａ、ｂ、ｃは微小チップの表裏、角度を認識する
方法を示す説明図である。

本実施例においては、第２図の如く微小チップ１の中央
に口近角形状抜穴１ａがあり、これを認識し表裏、姿勢
修正の回転角度の決定をしている。

以下類をおって説明する。

■　ＣＣＤカメラ３により口近角形状抜穴１＆を認識さ
せる。

■　あらかじめインプットしであるデ゛−夕により凹６
角形状抜穴１ａの重心位置を求める。

■　第５図δに示すように重心Ｇから各辺までの距離を
一定角度おきに３６Ｑｏ″！、で求める。

■　距離の増分（（＆十Δａ）−ａ）　　が正から負に
変化する点を求める。本実施例では４点となる。

■　第６図す、ａに示すように４点の内距離の最も大き
いものを点Ａとし１時計回りに点Ｂ。

（Ｃ２点りとする。

■　／ＡＢ、ｃと／ＡＤＣを求め角度の大のものがどち
らかにより表裏を決定する。本実施例でｌｄ／ＡＤＣが
大の場合表となる。

■　線分ＡＢがＣＣＤカメラ３の基準に対し何度の角度
にあるかにより回転角度を求める。

以上の方法により表裏９回転角度の決定をする。

この方法を用いれば、対称軸を持念ない認識可能な形状
を持つものは判定可能である。

以上のように、本実施例においては、微小チップ中央の
口近角形状抜穴を認識し２表裏１回転すべき角度を判定
し１判定データに応じ微小チップ１を反転装置又は治具
のどちらに移載するか決定し、裏向の場合には反転装置
に移載してさらに反転動作を行うことにより同一姿勢で
の微小チップの自動供給が可能となる。

発明の効果 以上のように、ＣＣＤカメラを使用し微小チップの表裏
、姿勢ずれの回転角度の判定を行い、その結果を基にＸ
Ｙテープ／′Ｌ／ｌ−動作させ、移載装置により最終供
給位置に、また裏向きの場合には反転装置に供給させ、
さらに反転装置により天地反転させ最終供給位置に供給
させることにより同一姿勢での自動供給が可能となり、
生産性を向上させることができ、また１作業者を顕微鏡
作業から解放でき、凹状トレイへ微小チップを配置する
作業のみとなり負担を低減できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の微小チップ供給装置の全体
斜視図、第２図は同実施例の微小チップの拡大斜視図、
第３図は凹状トレイ断面図、第４図は凹状トレイへの微
小チップの配置状態図、第６図ａ、ｂ、０は微小チップ
の表裏、角度を認識する方法を示す説明図である。 １・・・・・・微小チップ、２・・・・・・凹状トレイ
、３・・・・・・ＣＣＤカメラ、４・・・・・・認識コ
ントローラ、６・・・・・・ＸＹテーブル（移動テーブ
ル）、７・・・・・・反転装置、８・・・・・・移載装
置（移載部）、１０・・・・・・吸着ヘッド（移載ヘッ
ド部）０

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 対称軸を持たない形状を有する微小チップ各１個を任意
   の姿勢で収納する複数個の凹部を有する凹状トレイと、
   前記凹状トレイの凹部が視野に入る様前記凹状トレイ上
   部に配置され、認識コントローラを有するＣＣＤカメラ
   と、前記凹状トレイの各凹部と前記ＣＣＤカメラの視野
   を一致する様前記凹状トレイを移動可能にした移動テー
   ブルを有する供給本体部と、前記供給本体部と前記微小
   チップの最終供給位置を結ぶ直線上に配置され、前記微
   小チップを保持し、かつ前記最終供給位置に前記微小チ
   ップを表裏反転供給することが可能な反転装置と、前記
   微小チップを把持し回転可能な移載ヘッド部を有しかつ
   前記ＣＣＤカメラ下方位置、前記微小チップの最終供給
   位置及び前記反転装置への供給位置の各位置に停止位置
   を有する移載部とからなる微小チップ供給装置。