JPH02216741A - 蛍光表示管 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は蛍光表示管に関し、特に表示を電極形成面の反
対の面側から観察する平面発光型蛍光表示管に関する。

〔従来の技術〕

この種の平面発光型蛍光表示管は、視野角が広い等の利
点を有し、近年、増々その需要が増している。

従来の平面発光型蛍光表示管の構造は、第２図に示すよ
うに、透光性絶縁基板１（通常板ガラスが用いられてい
る）に、アルミニウム等の金属導電膜を全面に形成し、
しかる後、所定のパターンが得られるようにホトリング
ラフィ等の技術を用いて、電！！ｉ２及び給電配線３を
形成する。この場合、電極２については、発光表示が観
察面側に効率よく取り出されるために、通常ハニカム構
造やストライプ構造に形成する。

しかる後、表示をより明瞭にさせるために、遮光性絶縁
膜４を給電配線３上及び透光性絶縁基板１上に印刷等の
技術を用いて形成する。

次に、蛍光体層５を同様の手法を用いて、電極２上に形
成し、グリッド６、フィラメント７を第２図のように構
成させる。

最後に、全体を真空気密封止して蛍光表示管が完成する
。

このようにして作製された蛍光表示管では、フィラメン
ト７を６００〜６５０℃位に加熱することにより、エミ
ッションを取り出し、これをグリッド６で加速させ蛍光
体層５に衝突させることにより、発光表示を得ていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の蛍光表示管は、蛍光体層５が透光性絶縁
基板１と接した構造となっているため次の欠点がある。

即ち、透光性絶縁基板１は、通常コスト面から低価格な
板ガラスが使用されており、これに含まれるナトリウム
、カリウム等のアルカリ成分が蛍光体層５と相互作用し
、蛍光体層５の輝度が劣化する。

また、電極２及び給電配線３は、アルミニューム等の金
属膜からなっているため、表示を透光性絶縁基板１の電
極２形成面の反対の面側から観察する平面発光型蛍光表
示管に於いては、前記の金属膜の反射によって表示品位
が劣る。

なお、前述の欠点を排除するため、第３図の従来の他の
例に示すように、電極２及び給電配線３にＩＴＯ膜又は
ネサ膜等の透光性酸化物導電膜を使用した蛍光表示管も
公知であるが、この蛍光表示管も次の欠点がある。

即ち、蛍光表示管の製造工程に於いて、特に５００乃至
６００℃の熱処理工程時に、透光性酸化物導電膜の抵抗
が初期の値に比べて約３乃至４倍高くなり、給電配線３
による電圧ドロップが顕著となり、蛍光体層５の実効の
陽極電圧が低下し、輝度が低くなる。この傾向は、当然
のことながら給電配線３の配線長と配線巾との比が大き
い程顕著であり、第３図に示した構造は、配線長が短く
、又は、配線巾が広く取れる蛍光表示管にしか適用はで
きなかった。

また、熱処理工程による透光性酸化物導電膜の抵抗の変
化率は、膜質及び熱処理工程の変動等によってばらつき
があり、この点からも透光性酸化物導電膜の蛍光表示管
への適用に制限があった。

なお、前述の透光性酸化物導電膜の抵抗の増加は、伝導
に寄与する酸素空乏層が熱処理工程によって消失するた
めと考えられている。

第３図に示した従来の他の例の構造は、透光性酸化物導
電膜から成る給電配線３上に遮光性絶縁膜４を設けた形
状となっており、この遮光性絶縁膜４は通常主成分とし
てホウケイ酸鉛ガラス粉末及び黒色顔料としてＦｅｄ、
ＭｎＯ，Ｆｅ２０３等から成るペーストを所定のパター
ンに塗布し、５００乃至６００　’Ｃの熱処理工程によ
ってガラス化することによって形成される。この熱処理
工程時に、雰囲気中の酸素と給電配線３の透光性酸化物
導電膜とが反応し、酸素空乏層が消失し、透光性酸化物
導電膜の抵抗が高くなるものと考えれている。

本発明の目的は、蛍光体層の輝度の劣化と金属膜の反射
がなく、又、透光性酸化物導電膜の抵抗の増加による輝
度の劣化がなく、表示品位の高い蛍光表示管を提供する
ことにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、透光性絶縁基板上に透光性酸化物導電膜によ
り所定の形状の電極と給電配線とを形成し、前記電極を
蛍光体層にて被覆した陽極基板を有する蛍光表示管にお
いて、前記給電配線上にＳｉｏ２とＺｒＯ２とＴｉＯ２
とＡ、ＩＣ２０３とのうちの少なくともいずれが１種類
の酸化膜を形成し、しかる後肢酸化膜上に遮光性絶縁膜
が形成されている。

〔実施例〕

次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。

第１図は本発明の第１の実施例の要部拡大断面図である
。

第１の実施例は、第１図に示すように、透光性絶縁基板
１は板ガラスがらなり、この面上に透光性酸化物導電膜
であるＩＴＯ膜を厚さ約０．２μｍ蒸着法を用いて形成
し、ホトリソグラフィ技術の手法によって、所定の形状
の電極２及び給電配線３を形成した。

次に、リフトオフ法の手法を用いて、反応性スパッタに
より、給電配線３上にパッシベーション膜８を形成した
６本実施例では、パッシベーション膜として、厚さ約０
．５μｍの５ＬＯ２膜を形成した。

次に、遮光性絶縁膜４を表示部以外の部分に印刷法と約
５５０℃の熱処理工程によって形成し、蛍光体層５も同
様の手法により、電極２上に形成させた。

この熱処理工程前後での給電配線３のＩＴＯＩＩＫの抵
抗値の変化を第１表に示した。第１表には、比較用とし
ては、パッシベーション膜８を形成していない他は、す
べて本実施例と同一である従来の構造でのＩＴＯ膜の抵
抗の変化も併記した。

第１表 第１表の結果から、本実施例では、ＩＴＯ膜の抵抗が熱
処理工程を経ても変化することがなく、本実施例が有用
であることが判る。

次に、グリッド６、フィラメント７を順次蛍光面から所
定の距離を保つように形成し、最後に全体を真空気密封
止させ、蛍光表示管を作製した。

このようにして形成した蛍光表示管の輝度特性を調査し
たところ、パッシベーションｗＡ８の形成していない従
来の蛍光表示管に比べて、約２０〜３０％の輝度向上が
確かめられた。

他の実施例として、ＺｒＯ２膜、ＴｉＯ２膜及び／Ｍｌ
、　Ｏ，膜を各々パッシベーション膜８として使用し、
第１の実施例と同様にして蛍光表示管を作製した。

これら各膜を使用した蛍光表示管も、熱処理工程による
ＩＴＯ膜の抵抗の増加はなく、輝度も従来の蛍光表示管
に比べ２０〜３０％改善できた。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、透光性酸化物導電膜から
なる給電配線と遮光性絶縁膜との間にパッシベーション
膜として、ＳｉＯ２膜とＺ　ｒ　Ｏ−２膜とＴ　ｉ　０
２膜とＡ、！０２０．膜とのうちの少くともいずれか一
種類の酸化膜を形成することによって、前記の遮光性絶
縁膜の形成時の熱処理工程による透光性酸化物導電膜の
抵抗値の増加を防ぐことができ、蛍光体の実効の陽極電
位の減少を防止することができ、輝度特性の向上が図れ
る効果がある。

また、本発明の蛍光表示管は、金属導電膜を使用した蛍
光表示管のような金属導電膜による反射がなく、表示品
位に優れる利点も有するという効果もある。

ラド、７・・・フィラメント、８・・・パッシベーショ
ン膜。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 透光性絶縁基板上に透光性酸化物導電膜により所定の形
   状の電極と給電配線とを形成し、前記電極を蛍光体層に
   て被覆した陽極基板を有する蛍光表示管において、前記
   給電配線上にＳｉＯ＿２とＺｒＯ＿２とＴｉＯ＿２とＡ
   ｌ＿２Ｏ＿３とのうちの少なくともいずれか１種類の酸
   化膜を形成し、しかる後該酸化膜上に遮光性絶縁膜が形
   成されていることを特徴とする蛍光表示管。