JPH0221730U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0221730U JPH0221730U JP9984088U JP9984088U JPH0221730U JP H0221730 U JPH0221730 U JP H0221730U JP 9984088 U JP9984088 U JP 9984088U JP 9984088 U JP9984088 U JP 9984088U JP H0221730 U JPH0221730 U JP H0221730U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- furnace
- wall
- diffusion
- thickness
- insulating collar
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 9
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims 2
- 239000011162 core material Substances 0.000 claims 2
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 claims 2
- 239000012784 inorganic fiber Substances 0.000 claims 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 239000002759 woven fabric Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Furnace Housings, Linings, Walls, And Ceilings (AREA)
- Furnace Charging Or Discharging (AREA)
- Thermal Insulation (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す斜視図であり
、ａは帯状体、ｂはリング状体のものである。第
２図は本考案の断熱カラーの使用状況を示す断面
図である。 １……断熱カラー、２……拡散炉、３……拡散
チユーブ。
、ａは帯状体、ｂはリング状体のものである。第
２図は本考案の断熱カラーの使用状況を示す断面
図である。 １……断熱カラー、２……拡散炉、３……拡散
チユーブ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 半導体或いは集積回路等の製造される炉内
に拡散チユーブを支持し該炉の両端を断熱する断
熱カラーであつて、前記炉内の高い作動温度に耐
え得る無機繊維の複合体で形成され、炉内に挿入
される部分と、該部分と連続しかつ炉の外壁に密
着する部分とを有する二段構造を有することを特
徴とする拡散炉断熱カラー。 (2) 上記二段構造において、上記炉内に挿入さ
れる部分の厚さが拡散チユーブの外壁と炉内壁と
の間隙と同等又は若干小さく、上記炉の外壁に密
着する部分の厚さが上記炉内に挿入される部分の
厚さの１〜２倍であることを特徴とする請求項１
記載の拡散炉断熱カラー。 (3) 形状が帯状であることを特徴とする請求項
１ないし２記載の拡散炉断熱カラー。 (4) 前記無機繊維の複合体が、高純度な石英ガ
ラス繊維の集合体をコア材として、その外周部を
高純度な石英ガラス繊維の織布で包被した構造で
あることを特徴とする請求項１記載の拡散炉断熱
カラー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9984088U JPH0737308Y2 (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | 拡散炉断熱カラー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9984088U JPH0737308Y2 (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | 拡散炉断熱カラー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0221730U true JPH0221730U (ja) | 1990-02-14 |
| JPH0737308Y2 JPH0737308Y2 (ja) | 1995-08-23 |
Family
ID=31327373
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9984088U Expired - Lifetime JPH0737308Y2 (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | 拡散炉断熱カラー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0737308Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-07-29 JP JP9984088U patent/JPH0737308Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0737308Y2 (ja) | 1995-08-23 |