JPH0221733U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0221733U JPH0221733U JP10052588U JP10052588U JPH0221733U JP H0221733 U JPH0221733 U JP H0221733U JP 10052588 U JP10052588 U JP 10052588U JP 10052588 U JP10052588 U JP 10052588U JP H0221733 U JPH0221733 U JP H0221733U
- Authority
- JP
- Japan
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- base
- liquid
- top surface
- film
- wafer
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
Description
第１図は本考案装置の一実施例を示す側面図、
第２図はその平面図、第３図は液体をベース上の
溝に沿つて流動させる場合の一例を示すベースの
縦断側面図、第４図は流体をウエーハの摺動方向
と同方向に流動させる場合のベースの平面図、第
５図はベース上の溝を傾斜状に形成した場合のベ
ースの平面図、第６図は従来装置の平面図、第７
図はその縦断側面図である。 ａ……ウエーハ、ｂ……突起、１０……ベース
、１１……溝、１２……液体、１３……ウエーハ
摺動手段。
第２図はその平面図、第３図は液体をベース上の
溝に沿つて流動させる場合の一例を示すベースの
縦断側面図、第４図は流体をウエーハの摺動方向
と同方向に流動させる場合のベースの平面図、第
５図はベース上の溝を傾斜状に形成した場合のベ
ースの平面図、第６図は従来装置の平面図、第７
図はその縦断側面図である。 ａ……ウエーハ、ｂ……突起、１０……ベース
、１１……溝、１２……液体、１３……ウエーハ
摺動手段。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 平坦な上面を有し、かつ、この上面に溝を形成
したベースと、 ベースの上面を膜状に被覆する液体と、 上記液体の膜を介してベース上に載置した半導
体ウエーハを、ベース上の溝に交差させてベース
の上面と平行に摺動させるウエーハ摺動手段とを
具備したことを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10052588U JPH0221733U (ja) | 1988-07-27 | 1988-07-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10052588U JPH0221733U (ja) | 1988-07-27 | 1988-07-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0221733U true JPH0221733U (ja) | 1990-02-14 |
Family
ID=31328680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10052588U Pending JPH0221733U (ja) | 1988-07-27 | 1988-07-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0221733U (ja) |
-
1988
- 1988-07-27 JP JP10052588U patent/JPH0221733U/ja active Pending