JPH0221739U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0221739U JPH0221739U JP10050088U JP10050088U JPH0221739U JP H0221739 U JPH0221739 U JP H0221739U JP 10050088 U JP10050088 U JP 10050088U JP 10050088 U JP10050088 U JP 10050088U JP H0221739 U JPH0221739 U JP H0221739U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- copying
- copying block
- spherical surface
- washer
- base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Description
第１図、第２図は本考案の倣いテーブルを示す
断面図、第３図は従来の倣いテーブルを示す断面
図である。 １……ワーク固定手段、２……位置出し円板、
３……小球、４……基準円板、５……倣いブロツ
ク、６……ワツシヤー、７……駆動手段、８……
案内手段、９……ベース、１０……加圧空気供給
手段、１１……ワーク、１２……ボンデイングツ
ール。
断面図、第３図は従来の倣いテーブルを示す断面
図である。 １……ワーク固定手段、２……位置出し円板、
３……小球、４……基準円板、５……倣いブロツ
ク、６……ワツシヤー、７……駆動手段、８……
案内手段、９……ベース、１０……加圧空気供給
手段、１１……ワーク、１２……ボンデイングツ
ール。
Claims (1)
- 球体の上部を水平に切断し、その上部に平坦部
を形成した倣いブロツクと、該倣いブロツクの下
部球面に当接しこれを保持し、かつこの倣いブロ
ツクの球面に向けて開口した多数の穴を有するワ
ツシヤーと、該ワツシヤーを定位置に保持し、か
つこのワツシヤー下部に向けて開口した管路を備
えたベースと、前記倣いブロツク上に固定され同
一円周上に等間隔に設けた複数個の逆三角錐状の
穴をもつ基準円板と、該基準円板の各穴に嵌合し
た小球と、該小球を定位置に固定するリング状の
位置出し円板と、該位置出し円板を定位置で上下
移動させる案内手段と、ベースに固定され位置出
し円板を上下移動させる駆動手段と、ワークを倣
いブロツク上に固定するワーク固定手段と、ベー
スの管路からワツシヤー内管路をへて倣いブロツ
クの下部球面上に加圧空気を作用させる加圧空気
供給手段とを含むことを特徴とする空圧倣いテー
ブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10050088U JPH0221739U (ja) | 1988-07-28 | 1988-07-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10050088U JPH0221739U (ja) | 1988-07-28 | 1988-07-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0221739U true JPH0221739U (ja) | 1990-02-14 |
Family
ID=31328629
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10050088U Pending JPH0221739U (ja) | 1988-07-28 | 1988-07-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0221739U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0346245A (ja) * | 1989-07-13 | 1991-02-27 | Fujitsu Ltd | ボンディング・ツールとその固定方法 |
| JP2008294099A (ja) * | 2007-05-23 | 2008-12-04 | Nikon Corp | 揺動体拘束機構および基板貼り合わせ装置 |
-
1988
- 1988-07-28 JP JP10050088U patent/JPH0221739U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0346245A (ja) * | 1989-07-13 | 1991-02-27 | Fujitsu Ltd | ボンディング・ツールとその固定方法 |
| JP2008294099A (ja) * | 2007-05-23 | 2008-12-04 | Nikon Corp | 揺動体拘束機構および基板貼り合わせ装置 |